JP2013524447A - 電子顕微鏡用マニピュレーターキャリヤ - Google Patents
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Abstract
【選択図】図3
Description
1.今までのすべてのマニピュレーション/ナノマニピュレーションシステムと比較した場合、ナノマニピュレーターを含むマニピュレーターの取り付け/取り外しを行っても、また末端作動体(end−effector)を交換しても、試料室の高真空に影響はない。
2.マニピュレーター/ナノマニピュレーターの取り付け/取り外しのために末端作動体の交換を行うために真空試料室を開ける必要がないため、真空環境への汚染が少なく、結果としてよりよい画像形成特性が実現できる。
3.試料室内の真空が解放されないため、ポンプダウン(pump−down)時間が長くなく、実際用途においてすぐれて有利である。
4.本発明の装置設計およびシステム設計はいずれも、画像形成/分析を対象とする走査型電子顕微鏡(SEM)を始めとする電子顕微鏡の標準的な使用方法にとって邪魔になるものではなく、高い自由度を確保できる。SEMの内部でマニピュレーション/ナノマニピュレーションを行うユーザーや(マニピュレーション/ナノマニピュレーションを行う必要なく)SEMを画像形成/分析のみに使用するユーザーの場合、相互の作業を妨害せずに同じSEMを使用できる。
5.本発明の装置設計およびシステム設計はいずれも、検査/マニピュレーション対象の半導体ウェハ全体などの面積の大きいサンプルに対処でき、現在は特殊な装置のみが行えるタスクを標準的なSEMを使用して実行できる。
(a)(i)一つかそれ以上のマニピュレーター700が着脱自在に固定されたキャリヤプラットホーム320、および(ii)キャリヤプラットホーム320に固定され、一つかそれ以上のマニピュレーター700に電気的に接続する電気コネクター330を有するキャリヤ装置300、900を用意する工程、
(b)キャリヤ装置330、900を一つかそれ以上のマニピュレーター700とともに試料交換室130内に置く工程、および
(c)キャリヤ装置300、900を試料交換室130から真空試料室90内に移送する工程。
320:キャリヤプラットホーム
330:電気コネクター
340:ベースアダプター
350:ホルダーマウント、スロット
360:係合手段
370:固定手段
Claims (24)
- 電子顕微鏡の真空試料室内へ一つかそれ以上のマニピュレーターを移送するためのキャリヤ装置であって、(i)固定手段を有するプラットホームであって、この固定手段によって前記一つかそれ以上のマニピュレーターを着脱自在に固定するプラットホーム、および(ii)前記プラットホームに固定され、前記一つかそれ以上のマニピュレーターを電気的に接続する電気コネクターからなることを特徴とするキャリヤ装置。
- さらに、前記キャリヤ装置を前記電子顕微鏡のサンプルステージに結合する手段を有することを特徴とする請求項1に記載のキャリヤ装置。
- 前記電子顕微鏡が試料交換室を有し、前記電子顕微鏡の前記試料交換室を介して前記キャリヤ装置を前記真空試料室に移送し、これによって前記真空試料室内の該真空を維持するように構成した請求項1に記載のキャリヤ装置。
- 前記キャリヤ装置がさらに前記電子顕微鏡のサンプルステージに結合するベース部を有し、該ベース部が前記マニピュレーターキャリヤを挿入ロッドに解放自在に接続する係合部を有し、そして前記挿入ロッドによって前記キャリヤ装置を前記交換室から前記真空試料室に移送できることを特徴とする請求項3に記載のキャリヤ装置。
- 前記プラットホームがさらに、解放自在にサンプルホルダーに結合する取り付け手段を有することを特徴とする請求項1に記載のキャリヤ装置。
- 前記プラットホームがさらにサンプルを受け取り、前記一つかそれ以上のマニピュレーターによって画像形成および/またはマニピュレーションを行うスペースを有することを特徴とする請求項1に記載のキャリヤ装置。
- 前記キャリヤ装置がさらに前記プラットホームに着脱自在に固定された前記一つかそれ以上のマニピュレーターを有することを特徴とする請求項1に記載のキャリヤ装置。
- 電子顕微鏡の真空試料室に一つかそれ以上のマニピュレーターを移送するシステムであって、
(a)(i)固定手段を有するプラットホームであって、この固定手段によって前記一つかそれ以上のマニピュレーターを着脱自在に固定するプラットホーム、および(ii)前記プラットホームに固定され、前記一つかそれ以上のマニピュレーターを電気的に接続する電気コネクターからなるキャリヤ装置、および
(b)前記電子顕微鏡の前記真空試料室内に固定された一つかそれ以上の補完的電気コネクターであって、前記キャリヤ装置の前記電気コネクターに係合されるように構成された前記一つかそれ以上の補完的電気コネクターからなることを特徴とする移送システム。
- 前記キャリヤ装置がさらに該キャリヤ装置を前記電子顕微鏡のサンプルステージに結合する手段を有することを特徴とする請求項8に記載のシステム。
- 前記キャリヤ装置がさらに前記プラットホームに着脱自在に固定された一つかそれ以上のマニピュレーターを有することを特徴とする請求項8に記載のシステム。
- 前記電子顕微鏡が試料交換室を有し、そして前記キャリヤ装置が前記電子顕微鏡の前記試料交換室を介して前記真空試料室に移送することによって、前記試料真空室内の該真空を維持するように構成したことを特徴とする請求項8に記載のシステム。
- 前記キャリヤ装置がさらに前記電子顕微鏡のサンプルステージに結合するように構成されたベース部を有し、そして該ベース部が前記キャリヤ装置を挿入ロッドに解放自在に接続する係合部を有し、該挿入ロッドによって前記マニピュレーターキャリヤを前記交換室から前記真空試料室に移送することを特徴とする請求項11に記載のシステム。
- さらに前記電子顕微鏡のサンプルステージに取り付けられ、前記補完的電気コネクターを前記真空試料室内に固定する取り付け手段を有し、そして該取り付け手段が前記電子顕微鏡の各構成成分と干渉しないように構成されていることを特徴とする請求項8に記載のシステム。
- 前記補完的電気コネクターがさらに前記キャリヤ装置の前記一つかそれ以上の電気コネクターと前記一つかそれ以上の補完的電気コネクターとの係合を案内する案内手段を有することを特徴とする請求項8に記載のシステム。
- 前記プラットホームがさらにサンプルホルダーに解放自在に結合する取り付け手段を有することを特徴とする請求項8に記載のシステム。
- 前記プラットホームがサンプルを受け取り、画像形成および/またはマニピュレーションを行うスペースを有することを特徴とする請求項8に記載のシステム。
- さらに前記真空室内に、前記キャリヤ装置の前記プラットホームに載っているサンプルを前記キャリヤ装置の前記サンプルステージによる移動から切り離す切り離しシステムを有し、そして該切り離しシステムが前記プラットホームに載っている前記サンプルを持ち上げる手段を有し、かつ前記サンプルを支持して、マニピュレーションおよび画像形成を行うことができるようにしたことを特徴とする請求項16に記載のシステム。
- 前記プラットホームがさらに一つかそれ以上の孔を有し、前記切り離しシステムがこれら一つかそれ以上の孔に延入して、前記スペースに載っている前記サンプルを持ち上げ、マニピュレーションおよび画像形成を行えるように前記サンプルを支持することができる一つかそれ以上のポストを有することを特徴とする請求項17に記載のシステム。
- 前記切り離しシステムがさらに前記一つかそれ以上のポストに連動接続され、前記一つかそれ以上のポストを昇降させる駆動手段を有することを特徴とする請求項18に記載のシステム。
- 電子顕微鏡の真空試料室内におけるサンプルをマニピュレーションするシステムであって、
(a)(i)固定手段を有するプラットホームであって、この固定手段によって一つかそれ以上のマニピュレーターを着脱自在に固定するプラットホーム、および(ii)前記プラットホームに固定され、前記一つかそれ以上のマニピュレーターを電気的に接続する電気コネクターからなるキャリヤ装置、および
(b)前記電子顕微鏡の真空試料室内に固定された一つかそれ以上の補完的電気コネクターであって、前記キャリヤ装置の前記電気コネクターに係合されるように構成された一つかそれ以上の補完的電気コネクターからなることを特徴とするシステム。
- 前記電子顕微鏡が試料交換室を有し、そして前記キャリヤ装置が前記電子顕微鏡の前記試料交換室を介して前記真空試料に移送することによって、前記試料真空室内の該真空を維持するように構成したことを特徴とする請求項20に記載のシステム。
- 試料交換室を有する電子顕微鏡の真空試料室内の真空を変えることなく電子顕微鏡のこの真空試料室へ一つかそれ以上のマニピュレーターを移送する方法であって、
(a)(i)前記一つかそれ以上のマニピュレーターが着脱自在に固定されたプラットホーム、および(ii)このプラットホームに固定され、前記一つかそれ以上のマニピュレーターを電気的に接続する電気コネクターからなるキャリヤ装置を用意する工程、
(b)前記キャリヤ装置に前記交換室において前記一つかそれ以上のマニピュレーターを設ける工程、および
(c)前記キャリヤ装置を前記試料交換室から前記真空試料室に移送する工程を有することを特徴とする方法。
- 前記プラットホームがサンプルホルダーに解放自在に結合する取り付け手段を有し、そして前記工程(b)に先立って、サンプルを保持したサンプルホルダーを前記取り付け手段に取り付けることを特徴とする請求項22に記載の方法。
- 前記プラットホームがサンプルホルダーに解放自在に結合する取り付け手段を有し、そしてさらに
(d)前記試料交換室を介してサンプルを保持したサンプルホルダーを前記真空試料室に移送する工程、および
(e)前記真空試料室内の前記プラットホームの前記取り付け手段に前記サンプルホルダーを取り付ける工程を有することを特徴とする請求項22に記載の方法。
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