JP4502193B2 - 回路形成用カセットおよびその利用 - Google Patents
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Description
当該突起部が当該凹部へ挿入されることによって当該基板と当該ホルダーとが固定されることを特徴としている。
2 絶縁体
3 電極
4 絶縁チューブ
5 案内部材
6 突起部
7 操作部
8 リング
9 突起部
10 凹部
11 遊嵌部
12 凹部
13 試料
14 ヒータ
15 板ばね
16 ねじ
17 リード
18 熱電対
19 蒸着部
20 リード
21 熱電対
22 坩堝
23 コイル支持体
24 コイル
25 遮蔽体
26 絶縁体
27 加熱部
28 試料
29 絶縁体
30 ねじ
31 リード
32 リード
33 リード
34 碍子
35 フィラメント
36 試料
37 プローブ
38 光ファイバー
39 光ファイバー接合部
40 絶縁体
41 絶縁体
42 試料台
43 ねじ
44 絶縁体
45 リード
46 試料
47 開口
48 試料保持台
49 開口
50 照射光
51 試料片
52 試料ホルダ
53 保持台
54 ステージ
55 走査ピエゾ
56 プローブ
100 基板
200 ホルダー
300 操作補助部材
400 基板
Claims (37)
- 基板と、該基板を固定するためのホルダーと、該基板を該ホルダーの向きに導くための案内部材とを備えた回路形成用カセットであって、
該基板には、端子が設けられているとともに、該ホルダーの遠位側から該ホルダーの近位側へ向けて該基板内部を貫通する貫通孔が設けられており、
該案内部材は、該貫通孔を貫くことによって、該基板から該ホルダー側へ突出した突起部を一端に形成し、かつ該突起部とは逆側に該基板から突出した、該基板を該ホルダーに固定する操作を行うための操作部を他端に形成し、
該ホルダーには、該端子と接触する電極が設けられているとともに、該突起部が挿入されるための凹部が設けられており、
該突起部が該凹部へ挿入されることによって該基板と該ホルダーとが固定されることを特徴とする回路形成用カセット。 - 真空中で用いられることを特徴とする請求項1に記載の回路形成用カセット。
- 回路が上記基板上に形成されることを特徴とする請求項1に記載の回路形成用カセット。
- 上記突起部がテーパー形状であることを特徴とする請求項1に記載の回路形成用カセット。
- 上記基板を上記ホルダーに固定する操作を補助するための操作補助部材をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の回路形成用カセット。
- 上記操作部が突起部を有し、上記操作補助部材には当該突起部が遊挿されるための溝が形成されていることを特徴とする請求項5に記載の回路形成用カセット。
- 上記操作部を回転させることによって上記基板が上記ホルダーに導かれることを特徴とする請求項1に記載の回路形成用カセット。
- 上記操作補助部材を用いて上記操作部を回転させることを特徴とする請求項6に記載の回路形成用カセット。
- 上記操作補助部材は真空中を直線および回転運動することができる搬送器具に接続されることを特徴とする請求項8に記載の回路形成用カセット。
- 上記突起部および上記凹部は螺合することを特徴とする請求項1に記載の回路形成用カセット。
- 請求項1に記載の回路形成用カセットの基板上に当該回路形成用カセットの端子と電気的に接続されたヒータを備える試料加熱器具。
- 真空中で用いられることを特徴とする請求項11に記載の試料加熱器具。
- 上記ヒータが板ばねによって上記基板上に固定されていることを特徴とする請求項11に記載の試料加熱器具。
- 上記端子と接続された温度センサをさらに備えることを特徴とする請求項11に記載の試料加熱器具。
- 上記温度センサが熱電対からなることを特徴とする請求項14に記載の試料加熱器具。
- 請求項1に記載の回路形成用カセットの基板上に当該回路形成用カセットの端子と電気的に接続された蒸着部を備える蒸着器具。
- 真空中で用いられることを特徴とする請求項16に記載の蒸着器具。
- 上記蒸着部は、蒸着源物質を挿入する坩堝であることを特徴とする請求項16に記載の蒸着器具。
- 上記坩堝を加熱するためのヒーターをさらに備えることを特徴とする請求項16に記載の蒸着器具。
- 上記ヒーターが板状であることを特徴とする請求項19に記載の蒸着器具。
- 上記ヒーターが上記端子と電気的に接続されかつコイル支持体を挟んで当該坩堝を覆うコイルであることを特徴とする請求項19に記載の蒸着器具。
- 上記坩堝の最外層が遮蔽体からなることを特徴とする請求項21に記載の蒸着器具。
- 上記坩堝がアルミナ、タンタル、石英または窒化ボロンからなることを特徴とする請求項16に記載の蒸着器具。
- 上記コイルがタングステン、モリブデンまたはタンタルからなることを特徴とする請求項20に記載の蒸着器具。
- 請求項1に記載の回路形成用カセットの基板上に当該回路形成用カセットの端子と電気的に接続されたフィラメントおよび試料と接続された加速電圧配線を備えることを特徴とする電子ビーム加熱器具。
- 真空中で用いられることを特徴とする請求項25に記載の電子ビーム加熱器具。
- 上記フィラメントが、タングステンまたはモリブデンからなるコイルであることを特徴とする請求項25に記載の電子ビーム加熱器具。
- 請求項1に記載の回路形成用カセットの基板上に設けた光ファイバー接合部を介してホルダーに接続された光ファイバーと接続可能なプローブを当該基板上に備えることを特徴とする光照射または光取り込みのための光ファイバー結合器具。
- 真空中で用いられることを特徴とする請求項28に記載の光ファイバー結合器具。
- 上記光ファイバーを用いて光照射することを特徴とする請求項28に記載の光ファイバー結合器具。
- 上記光照射に基づく発光を検出するための検出手段をさらに備えることを特徴とする請求項30に記載の光ファイバー結合器具。
- 試料から生じる光を上記光ファイバーを用いて検出することを特徴とする請求項28に記載の光ファイバー結合器具。
- 上記試料から生じる光が透過光、散乱光または発光であることを特徴とする請求項32に記載の光ファイバー結合器具。
- 請求項1に記載の回路形成用カセットの基板が、試料保持台を備え、かつ外部からの照射光および/または照射された試料の発する発光が通過する開口を有することを特徴とする発光検出器具。
- 真空中で用いられることを特徴とする請求項34に記載の発光検出器具。
- 上記基板が、試料保持台および走査ピエゾをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の回路形成用カセット。
- 請求項36に記載の回路形成用カセットを用いることを特徴とする走査型トンネル顕微鏡、走査型原子間力顕微鏡または走査型近接場顕微鏡。
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