JP5268567B2 - 試料ホルダ及びこれを用いた試料の観測方法 - Google Patents
試料ホルダ及びこれを用いた試料の観測方法 Download PDFInfo
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Description
1a…ハウジング
1b,1c…気密端子
1d…突出部
2…試料保持部
3…台座
4a,4b…連結部材
5a,5b…電極
6…押止部材
7…試料
8…電気特性検出部
9a,9b…導線
11…電気特性測定機器
11a〜11c…導線
12…電気特性検出用プローブ
13…プローブ保持部材
13a…貫通穴
14…ビス
15…導線
16…電気特性検出用プローブ移動部
17…レバー
17a…穴
18…V字溝
19…球体
19a,19b…バネ
20…球体支持軸
21,23,25,35,37,39…マイクロメータ
22,24,26,36,38,40…ピエゾ素子
22a,22c,24a,24c,26a,26c,36a,36c,38a,38c,40a,40c…導線
22b,24b,26b,36b,38b,40b…バネ
27…光照射部
27a…光照射用プローブ
28…光ファイバ
29…光照射用プローブ装着部材
29a…貫通穴
30…光ファイバ収納パイプ
31…光源
32…レバー
32…光照射用プローブ移動部
33…レバー
34…V字溝
41…ピエゾ素子駆動電源
Claims (5)
- 試料観察用の荷電粒子線が照射される試料を保持する試料保持部と、
前記試料の電気特性を検出する電気特性検出部と、
前記試料に光を照射する光照射部とを備え、
前記電気特性検出部は、
前記試料のいずれかの部分に接触することで、当該部分の電気特性を検出する電気特性検出用プローブと、
操作者による入力操作に応じて、前記電気特性検出用プローブを前記試料の所望部分に接触させる電気特性検出用プローブ移動部とを備え、
前記光照射部は、
前記試料に光を照射する光照射用プローブと、
操作者による入力操作に応じて、前記光照射用プローブを所望位置に移動させる光照射用プローブ移動部と、を備えることを特徴とする試料ホルダ。 - 前記光照射プローブ移動部は、複数種類の光照射用プローブを着脱可能となっていることを特徴とする請求項1に記載の試料ホルダ。
- 所望の光照射用プローブを光照射用プローブ移動部に装着し、前記試料上の着目点のみに光を照射したときの電気特性や、前記試料の全体に光を照射したときの電気特性を検出し、その値を測定することを特徴とする請求項2に記載の試料ホルダ。
- 導体である連結部材(4a)は電極(5a)と前記試料とに接触し、導体である連結部材(4b)は電極(5b)と前記試料とに接触し、
前記電極(5a、5b)間に特定の電圧をかけ、前記電気特性検出用プローブは、前記試料の着目点の電流を検出し、検出された電流を、導線(15、11b)を介して、電気特性測定機器に入力して前記試料の着目点に発生する電流の量を測定可能にし、
または、導線(11a)から特定の電流を前記試料に流し、この電流は電気特性検出用プローブ、導線(15、11b)を介して、電気特性測定機器に入力され、着目点の電気特性として、前記試料の着目点の電圧降下に基づいて前記試料の着目点の抵抗を測定可能にしたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の試料ホルダ。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の試料ホルダを用いた試料の観測方法であって、
試料を前記試料保持部に保持させる保持ステップと、
前記光照射部から前記試料に光を照射する照射ステップと、
前記照射ステップと並行して行われ、前記試料の電気特性を前記電気特性検出部を用いて検出する検出ステップと、を含むことを特徴とする試料の観測方法。
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JP2008281720A JP5268567B2 (ja) | 2008-10-31 | 2008-10-31 | 試料ホルダ及びこれを用いた試料の観測方法 |
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