JP2013511579A - ポリマー変性された液状シラン調製物からなるシリコン層 - Google Patents
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Abstract
Description
(A) 一般式SinR2n+2及び/又はSinR2nのシランから選択される少なくとも1種のシランと、
(B) 成分(A)中のケイ素の質量に対して0.001〜15質量%の割合の、成分(A)と混合可能な少なくとも1種の高分子量の炭素ポリマーとの、
少なくとも1種の反応生成物を含有する液状シラン調製物である。
(a) 本発明による液状シラン調製物を準備する工程、
(b) 基板に前記液状シラン調製物を塗布する工程、
(c) 電磁エネルギー及び/又は熱エネルギーを導入し、1種以上の高分子量の炭素ポリマーを少なくとも部分的にモノマーの形に分解し、このモノマーを少なくとも部分的に液状シラン調製物から排出し、少なくとも部分的に多形のシリコン層を得る工程
を有する、基板上にシリコン層を製造方法である。
(a) 本発明による液状シラン調製物を準備する工程、
(b) 基板に前記液状シラン調製物を塗布する工程、
(c) 電磁エネルギー及び/又は熱エネルギーを導入し、1種以上の高分子量の炭素ポリマーを少なくとも部分的にモノマーの形に分解し、このモノマーを少なくとも部分的に液状シラン調製物から排出し、少なくとも部分的に多形のシリコン層を得る工程
を有する、基板上にシリコン層の製造方法である。
0.5ppm未満の酸素濃度及び最大で0.5ppmの含水量を有するアルゴン雰囲気を有するグローブボックス中で、シクロペンタシラン5gに、開放した容器中で、254nmの波長のUVランプを15ワットの出力で、6cmの距離で、15分間の時間にわたり照射した。この場合、流動性のシランが粘性になった。
比較例1を実施するが、UV照射により製造された、オリゴマーの及びモノマーのシクロペンタシランからなる混合物に、希釈の際に、トルエンと一緒に、重量平均分子量Mw=2200g/molを有するフェニルホスフィンとシクロペンタシランとのコオリゴマーをドーピング材として添加することが異なっていた。
比較例1を実施するが、UV照射により製造された、オリゴマーの及びモノマーのシクロペンタシランからなる混合物に、希釈の際に、トルエンと一緒に、重量平均分子量Mw=2500g/molを有するデカボラン−14とシクロペンタシランとのコオリゴマーをドーピング材として添加することが異なっていた。
アルゴン雰囲気を有するグローブボックス中で、UV照射によるオリゴマー及びモノマーのシクロペンタシランからなる混合物の、比較例1に記載した方法を繰り返した。この場合、オリゴマーの割合は、GPCで測定して2500g/molの重量平均分子量Mwを有していた。
実施例1を実施するが、シクロペンタシランのオリゴマー、モノマーのシクロペンタシラン及びポリスチレンからなる混合物のトルエン希釈の工程において、重量平均分子量Mw=2200g/molを有するフェニルホスフィン及びシクロペンタシランからなるコオリゴマーをドーピング材として添加することが異なっていた。
実施例1を実施するが、シクロペンタシランのオリゴマー及びモノマーのシクロペンタシランからなる混合物のトルエン希釈の際に、重量平均分子量Mw=2500g/molを有するデカボラン−14及びシクロペンタシランからなるコオリゴマーをドーピング材として添加することが異なっていた。
Claims (12)
- 液状シラン調製物において、
(A) 一般式SinR2n+2及び/又はSinR2nのシランから選択される少なくとも1種のシランと、
(B) 成分(A)中のケイ素の質量に対して0.001〜15質量%の割合の、成分(A)と混合可能な少なくとも1種の高分子量の炭素ポリマーとの、
少なくとも1種の反応生成物を含有する液状シラン調製物。 - 前記調製物は
(C) 室温で液状の炭化水素から選択される、少なくとも1種の溶剤を有することを特徴とする、請求項1記載の液状シラン調製物。 - 前記成分(A)が、
3≦n≦1000、及び/又は
R=H、ハロゲン、オルガニルから選択され、
前記1種以上のシランの基Rは同じ又は異なることを特徴とする、請求項1又は2記載の液状シラン調製物。 - 前記成分(B)が、主鎖中に−C−C−結合、環、ヘテロ原子、及び/又は複素環を有するコポリマー及び/又は線状ポリマー、又はこれらのポリマーの組合せから選択され、その際、前記ポリマーは、飽和ポリマー、ポリアクリラート、メタクリラート、ポリビニレン、ポリビニルケトン、ポリビニルエーテル、ポリスチレン又は前記ポリマーの混合物から選択されるサブグループを有することを特徴とする、請求項1又は2記載の液状シラン調製物。
- 前記調製物が少なくとも1種の他の成分(D)のドーピング材を有することを特徴とする、請求項1から4までのいずれか1項記載の液状シラン調製物。
- 10〜20 000mPasの粘度を有する、請求項1から5までのいずれか1項記載の液状シラン調製物。
- 基板上にシリコン層を製造する方法において、
(a) 請求項1から6までのいずれか1項記載の液状シラン調製物を準備する工程、
(b) 前記基板に前記液状シラン調製物を塗布する工程、
(c) 電磁エネルギー及び/又は熱エネルギーを導入し、1種以上の高分子量の炭素ポリマーを少なくとも部分的にモノマーの形に分解し、このモノマーを少なくとも部分的に液状シラン調製物から排出し、少なくとも部分的に多形のシリコン層を得る工程
を有する、基板上にシリコン層を製造方法。 - 工程(c)により得られたシリコン層を更なる工程(d)で
300〜1000℃の温度に加熱し、引き続き冷却することを特徴とする、請求項7記載の方法。 - 請求項7又は8に記載の方法により得られたシリコン層。
- クレーター状の構造を有し、前記シリコン層が10nm以上の平均層厚を有する場合に連続している、請求項9記載のシリコン層。
- 請求項9又は10記載の少なくとも1つのシリコン層を有する感光素子。
- 請求項11記載の感光素子を有する、電子コンポーネント。
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