JP2013500503A5 - - Google Patents
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Claims (16)
- ポストイオン注入フォトレジスト剥離用の組成物であって、
（ａ）アミン、
（ｂ）有機溶媒Ａ、及び
（ｃ）共溶媒を含み、
前記組成物は実質的に水分を含まず；
前記アミンは水酸化第４級アンモニウムであり；
前記有機溶媒Ａは、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、ジメチルスルホン（ＤＭＳＯ２）、１-メチル-２-ピロリジノン（ＮＭＰ）、ｙ-ブチロラクトン（ＢＬＯ）（ＧＢＬ）、エチルメチルケトン、２-ペンタノン、３-ペンタノン、２-ヘキサノン及びイソブチルメチルケトン、１-プロパノール、２-プロパノール、ブチルアルコール、ペンタノール、１-ヘキサノール、１-ヘプタノール、１-オクタノール、エチルジグリコール（ＥＤＧ），ブチルジグリコール（ＢＤＧ）、ベンジルアルコール、ベンズアルデヒド、トリデカン、ドデカン、ウンデカン、デカン、Ｎ，Ｎ-ジメチルエタノールアミン、ジ-ｎ-プロピルアミン、トリ-ｎ-プロピルアミン、イソブチルアミン、sec-ブチルアミン、シクロヘキシルアミン、メチルアニリン、ｏ-トルイジン、ｍ-トルイジン、ｏ-クロロアニリン、ｍ-クロロアニリン、オクチルアミン、Ｎ，Ｎ-ジエチルヒドロキシルアミン、キノリン、Ｎ，Ｎ-ジメチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ-ジメチルホルムアミド；又はそれらの混合物であり、及び
前記共溶媒は、
イソプロピルアルコール、イソブチルアルコール、sec-ブチルアルコール、イソペンチルアルコール、tert-ペンチルアルコール、エチレングリコール（ＥＧ）、プロピレングリコール、１，２-プロパンジオール、１，３-プロパンジオール、１，２，３-プロパントリオール、１-アミノ-２-プロパノール、イソプロピルアセテート、エチルアセトアセテート、トリエタノールアミン、エタノールアミン（ＭＥＡ）、ホルムアミド、ジメチルアセトアミド（ＤＭＡＣ）、２-メチルアミノ-エタノール（ＮＭＥＡ）、Ｎ-エチルジイソプロピルアミン又はこれらの混合物であることを特徴とする組成物。 - 前記アミンは、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）、水酸化ベンジルトリメチルアンモニウム（ＢＴＭＡＨ）又はそれらの混合物であることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
- 前記アミンは、前記組成物の１から１０質量％の量であることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
- 前記アミンは、前記組成物の１から４質量％の量であることを特徴とする請求項３に記載の組成物。
- 前記有機溶媒Ａは、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、１-メチル-２-ピロリジノン（ＮＭＰ）、ベンジルアルコール、プロパノール、ブチルジグリコール、ペンタノール、Ｎ，Ｎ-ジメチルエタノールアミン、ベンズアルデヒド又はそれらの混合物であることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
- 前記有機溶媒Ａは、ＤＭＳＯ，ＮＭＰ、ベンジルアルコール、ブチルジグリコール又はそれらの混合物であることを特徴とする請求項５に記載の組成物。
- 前記共溶媒は、エチレングリコール、１，２-プロパンジオール、１-アミノ-２-プロパノール、トリエタノールアミン、エタノールアミン（ＭＥＡ）、イソプロピルアセテート又はそれらの混合物であることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
- 前記共溶媒は、エチレングリコール、トリエタノールアミン、ＭＥＡ又はそれらの混合物であることを特徴とする請求項７に記載の組成物。
- 前記組成物の水分含有量は、前記組成物の３質量％より少ないことを特徴とする請求項１に記載の組成物。
- 前記組成物の水分含有量は、前記組成物の１質量％より少ないことを特徴とする請求項９に記載の組成物。
- 前記組成物の水分含有量は、前記組成物の０．５質量％より少ないことを特徴とする請求項１０に記載の組成物。
- 工程：
（ａ）イオン注入フォトレジストをその上に有する基板を準備すること、及び
（ｂ）前記基板を請求項１に記載の組成物と、前記基板から前記フォトレジストが剥離されるための充分の時間、所定のプロセス温度で接触させること
を含むポストイオン注入フォトレジスト剥離の方法。 - 前記プロセス温度は、２５℃から９０℃の範囲であることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
- 前記プロセス温度は、４０℃から８０℃の範囲であることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
- 前記プロセス温度は、６０℃から８０℃の範囲であることを特徴とする請求項１４に記載の方法。
- 前記接触時間は、２０分から１時間の間であることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
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