JP2013258452A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013258452A5 JP2013258452A5 JP2012131639A JP2012131639A JP2013258452A5 JP 2013258452 A5 JP2013258452 A5 JP 2013258452A5 JP 2012131639 A JP2012131639 A JP 2012131639A JP 2012131639 A JP2012131639 A JP 2012131639A JP 2013258452 A5 JP2013258452 A5 JP 2013258452A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- vibrating
- thick
- vibration element
- outer edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 235000013372 meat Nutrition 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 20
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 6
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012131639A JP2013258452A (ja) | 2012-06-11 | 2012-06-11 | 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体、および振動素子の製造方法 |
CN201210291072.7A CN102957394B (zh) | 2011-08-18 | 2012-08-15 | 振动元件、振子、电子装置、电子设备、移动体及振动元件的制造方法 |
US13/587,252 US8791766B2 (en) | 2011-08-18 | 2012-08-16 | Resonating element, resonator, electronic device, electronic apparatus, moving vehicle, and method of manufacturing resonating element |
US14/312,060 US20140300252A1 (en) | 2011-08-18 | 2014-06-23 | Resonating element, resonator, electronic device, electronic apparatus, moving vehicle and method of manufacturing resonating element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012131639A JP2013258452A (ja) | 2012-06-11 | 2012-06-11 | 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体、および振動素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013258452A JP2013258452A (ja) | 2013-12-26 |
JP2013258452A5 true JP2013258452A5 (ko) | 2015-07-09 |
Family
ID=49954573
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012131639A Withdrawn JP2013258452A (ja) | 2011-08-18 | 2012-06-11 | 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体、および振動素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013258452A (ko) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016174328A (ja) * | 2015-03-18 | 2016-09-29 | セイコーエプソン株式会社 | ウェーハの製造方法及びウェーハ |
JP7256680B2 (ja) * | 2019-04-24 | 2023-04-12 | 京セラ株式会社 | 振動素子用圧電片、圧電振動素子及び圧電デバイス |
WO2021131121A1 (ja) | 2019-12-27 | 2021-07-01 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動素子、圧電振動子及び電子装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000013176A (ja) * | 1998-06-25 | 2000-01-14 | Victor Co Of Japan Ltd | ディジタル温度制御発振器用振動子 |
JP2002033640A (ja) * | 2000-07-17 | 2002-01-31 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電デバイス |
JP5218543B2 (ja) * | 2000-12-12 | 2013-06-26 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス |
JP3767425B2 (ja) * | 2001-06-13 | 2006-04-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP2005020141A (ja) * | 2003-06-24 | 2005-01-20 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片の製造方法及び圧電デバイスの製造方法 |
JP2005033293A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電デバイス |
JP4241483B2 (ja) * | 2004-04-14 | 2009-03-18 | 株式会社大真空 | 水晶フィルタ |
JP4591364B2 (ja) * | 2006-01-27 | 2010-12-01 | エプソントヨコム株式会社 | 水晶振動子、高精度水晶発振器 |
JP2009159000A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Epson Toyocom Corp | 逆メサ型圧電振動片、逆メサ型圧電デバイスおよび逆メサ型圧電デバイスの製造方法 |
JP2012029262A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-09 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片及びその製造方法 |
-
2012
- 2012-06-11 JP JP2012131639A patent/JP2013258452A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2014007693A5 (ko) | ||
JP5104867B2 (ja) | 圧電振動子 | |
JP2013255052A5 (ko) | ||
JP2001244778A (ja) | 高周波圧電振動子 | |
JP5835765B2 (ja) | 弾性波素子 | |
JP2014027505A5 (ko) | ||
JP2011019159A5 (ko) | ||
US20140125422A1 (en) | Self-oscillation circuit | |
JP2014027506A5 (ko) | ||
TW201236362A (en) | Piezoelectric oscillator | |
JP4989743B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP2013255051A5 (ko) | ||
JP2007208771A (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子及び圧電発振器 | |
JP2013258452A5 (ko) | ||
WO2005074130A1 (ja) | 音叉型振動片、圧電振動子、角速度センサ、及び電子機器 | |
US20140210567A1 (en) | Crystal resonator, crystal resonator package, and oscillator | |
KR102561011B1 (ko) | 감소된 가속 민감도를 가지는 발진기 | |
JP2007274633A (ja) | デュアルモード水晶発振回路 | |
JP4640511B2 (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子、及び圧電発振器 | |
JP2006108949A (ja) | 水晶振動子 | |
JP4325178B2 (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子及び圧電発振器 | |
JP6087527B2 (ja) | 音叉型水晶振動子 | |
RU2582476C1 (ru) | Кварцевый пьезоэлемент среза ат, изготовленный по третьей механической гармонике на частоты от 20 до 120 мгц | |
JP6238639B2 (ja) | 圧電振動子 | |
JP7448901B2 (ja) | 圧電デバイス |