JP2013254855A - 電子デバイスの製造方法およびベース基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡易な工程で、精度よく電子部品を搭載することができる電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る電子デバイス100の製造方法は、セラミック基板を準備する工程S10と、前記セラミック基板にエネルギービームを照射して、前記セラミック基板の一部を溶融させて前記セラミック基板の主面に凸部を形成する工程S11と、前記セラミック基板の前記凸部に電子部品を搭載する工程S13と、を含むことを特徴とする。
【選択図】図4
【解決手段】本発明に係る電子デバイス100の製造方法は、セラミック基板を準備する工程S10と、前記セラミック基板にエネルギービームを照射して、前記セラミック基板の一部を溶融させて前記セラミック基板の主面に凸部を形成する工程S11と、前記セラミック基板の前記凸部に電子部品を搭載する工程S13と、を含むことを特徴とする。
【選択図】図4
Description
本発明は、電子デバイスの製造方法およびベース基板の製造方法に関する。
電子デバイスとして、例えば、圧電振動素子等の電子部品と、電子部品が搭載されるベース基板と、蓋体と、を含んで構成されている圧電デバイスが知られている。圧電振動素子等の電子部品は、ベース基板および蓋体によって囲まれる空間に気密に封止されている。
例えば、特許文献1には、水晶振動片が接着剤によって片持ち式にマウントされるベース部分と、ベース部分の上部に接合される蓋部分と、を有するパッケージを備えた電子デバイスが開示されている。特許文献1の電子デバイスでは、水晶振動片が接着剤によってベース部分の実装面と所定の僅かな間隔を持って略平行に延在するように、片持ち式にマウントされている。
しかしながら、特許文献1の電子デバイスでは、接着剤が水晶振動片とベース部分の実装面との間隔を決めているため、当該間隔を制御することが難しく、水晶振動片をベース部分に精度よく実装することが困難である。
本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、簡易な工程で、精度よく電子部品を搭載することができる電子デバイスの製造方法を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、簡易な工程で、精度よく電子部品を搭載することができるベース基板の製造方法を提供することにある。
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。
[適用例1]
本適用例に係る電子デバイスの製造方法は、
セラミック基板を準備する工程と、
前記セラミック基板にエネルギービームを照射して、前記セラミック基板の一部を溶融させて前記セラミック基板の主面に凸部を形成する工程と、
前記凸部に電子部品を搭載する工程と、
を含む。
本適用例に係る電子デバイスの製造方法は、
セラミック基板を準備する工程と、
前記セラミック基板にエネルギービームを照射して、前記セラミック基板の一部を溶融させて前記セラミック基板の主面に凸部を形成する工程と、
前記凸部に電子部品を搭載する工程と、
を含む。
このような電子デバイスの製造方法によれば、エネルギービームでセラミック基板を溶融させて凸部を形成するため、凸部の高さの制御が容易である。また、凸部は変形せず、電子部品を搭載するための接着剤の量も少なくできるため、電子部品とセラミック基板の主面との間隔を精度よく制御することができる。また、エネルギービームで凸部を形成するため、機械的な動作を伴わずにエネルギービームをスキャンすることにより凸部を形成
することができる。そのため、位置精度がよく、かつ、短時間で凸部を形成することができる。したがって、簡易な工程で精度よく電子部品を搭載することができる。
することができる。そのため、位置精度がよく、かつ、短時間で凸部を形成することができる。したがって、簡易な工程で精度よく電子部品を搭載することができる。
さらに、このような電子デバイスの製造方法によれば、エネルギービームで凸部を形成するため、例えば、焼成後のセラミック基板を用いることができる。したがって、凸部の位置精度を高めることができる。例えば、セラミックグリーンシートに凸部に相当する材料を塗布し、その後焼成することによりベース基板を形成した場合、焼成時の収縮があるため、凸部の位置精度を高めることができない。
[適用例2]
本適用例に係る電子デバイスの製造方法において
前記凸部を形成する工程では、
前記セラミック基板に、前記エネルギービームを照射して貫通孔も形成してもよい。
本適用例に係る電子デバイスの製造方法において
前記凸部を形成する工程では、
前記セラミック基板に、前記エネルギービームを照射して貫通孔も形成してもよい。
このような電子デバイスの製造方法によれば、例えば貫通電極を形成するための貫通孔の形成を、凸部の形成と同時に行うことができるため、製造工程を簡略化することができる。
[適用例3]
本適用例に係る電子デバイスの製造方法において
前記凸部を形成する工程の後に、前記貫通孔内に貫通電極を配置する工程を含んでもよい。
本適用例に係る電子デバイスの製造方法において
前記凸部を形成する工程の後に、前記貫通孔内に貫通電極を配置する工程を含んでもよい。
このような電子デバイスの製造方法によれば、貫通電極を配置するための貫通孔の形成を、凸部の形成と同時に行うことができるため、製造工程を簡略化することができる。
[適用例4]
本適用例に係る電子デバイスの製造方法において
前記凸部を形成する工程では、
前記セラミック基板に、前記エネルギービームを照射して凹部も形成してもよい。
本適用例に係る電子デバイスの製造方法において
前記凸部を形成する工程では、
前記セラミック基板に、前記エネルギービームを照射して凹部も形成してもよい。
このような電子デバイスによれば、凸部に電子部品を搭載する工程において、接着剤が凹部に入りこむため、余分な接着剤が流れ出して、他の部分に付着することを防ぐことができる。また、接着剤が凹部に入り込むため、セラミック基板と電子部品との接合強度を高めることができる(アンカー効果)。また、凹部を画像認識のためのマーカーとして用いることができる。
[適用例5]
本適用例に係る電子デバイスの製造方法において
前記凸部を形成する工程の後に、前記凸部を覆う被覆層を形成する工程を含んでもよい。
本適用例に係る電子デバイスの製造方法において
前記凸部を形成する工程の後に、前記凸部を覆う被覆層を形成する工程を含んでもよい。
このような電子デバイスの製造方法によれば、凸部がセラミック基板から脱落することを防ぐことができる。
[適用例6]
本適用例に係る電子デバイスの製造方法において
前記セラミック基板は、単層であってもよい。
本適用例に係る電子デバイスの製造方法において
前記セラミック基板は、単層であってもよい。
このような電子デバイスの製造方法によれば、多層のセラミック基板と比べて、装置の
低背化、小型化を図ることができる。
低背化、小型化を図ることができる。
[適用例7]
本適用例に係る電子デバイスの製造方法において
前記電子部品を搭載する工程では、
前記凸部に接合材を介して、前記電子部品を搭載してもよい。
本適用例に係る電子デバイスの製造方法において
前記電子部品を搭載する工程では、
前記凸部に接合材を介して、前記電子部品を搭載してもよい。
このような電子デバイスの製造方法によれば、凸部が形成されずに接合材(例えば接着剤)のみで電子部品を搭載する場合と比べて、接合材の量を少なくできる。そのため、例えば、接合材に起因して、電子部品が収容される空間の真空度が低下することを抑制することができる。
[適用例8]
本適用例に係るベース基板の製造方法は、
セラミック基板を準備する工程と、
前記セラミック基板にエネルギービームを照射して前記セラミック基板の一部を溶融させて、前記セラミック基板を貫通する貫通孔を形成し、かつ、前記セラミック基板の主面に凸部を形成する工程と、
前記貫通孔内に貫通電極を形成する工程と、
前記セラミック基板の主面に、前記貫通電極に接続する電極を形成する工程と、
を含む。
本適用例に係るベース基板の製造方法は、
セラミック基板を準備する工程と、
前記セラミック基板にエネルギービームを照射して前記セラミック基板の一部を溶融させて、前記セラミック基板を貫通する貫通孔を形成し、かつ、前記セラミック基板の主面に凸部を形成する工程と、
前記貫通孔内に貫通電極を形成する工程と、
前記セラミック基板の主面に、前記貫通電極に接続する電極を形成する工程と、
を含む。
このようなベース基板の製造方法によれば、エネルギービームでセラミック基板を溶融させて凸部を形成するため、凸部の高さの制御が容易である。また、凸部は変形せず、電子部品を搭載するための接着剤の量も少なくできるため、例えば、電子部品とセラミック基板の主面との間隔を精度よく制御することができる。また、エネルギービームで凸部を形成するため、機械的な動作を伴わずにエネルギービームをスキャンすることにより凸部を形成することができる。したがって、位置精度がよく、かつ、短時間で凸部を形成することができる。したがって、簡易な工程で精度よく電子部品を搭載することができる。
さらに、貫通電極を形成するための貫通孔の形成を、凸部の形成と同時に行うことができるため、製造工程を簡略化することができる。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
1. 電子デバイス
まず、本実施形態に係る電子デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る電子デバイス100を模式的に示す平面図である。図2は、本実施形態に係る電子デバイス100を模式的に示す断面図である。なお、図2は、図1のII−II線断面図である。また、図1では、便宜上、蓋体30およびろう材36の図示を省略している。
まず、本実施形態に係る電子デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る電子デバイス100を模式的に示す平面図である。図2は、本実施形態に係る電子デバイス100を模式的に示す断面図である。なお、図2は、図1のII−II線断面図である。また、図1では、便宜上、蓋体30およびろう材36の図示を省略している。
電子デバイス100は、図1および図2に示すように、本実施形態に係るベース基板1と、蓋体30と、電子部品40と、を含んで構成されている。ベース基板1は、セラミック基板10と、搭載電極20と、実装電極22と、貫通電極24と、接合部26と、を含んで構成されている。ベース基板1は、電子部品40を実装するための基板である。ベース基板1は、電子部品40を収容するためのパッケージを構成することができる。
セラミック基板10は、例えば、単層である。これにより、多層のセラミック基板と比べて、装置の低背化、小型化を図ることができる。なお、セラミック基板10は、単層のセラミック基板が積層された多層構造であってもよい。セラミック基板10の材質は、例えば、アルミナ(Al2O3)、窒素珪素(Si3N4)、炭化珪素(SiC)、サファイア(Al2O3)、ジルコニア(XrO3)、コージライト(2MgO・2Al2O・5SiO2)、イットリア(Y2O3)、窒化アルミニウム(AlN)、ムライト(3Al2O3・2SiO2)、ステアタイト(MgO・SiO2)や、これらの物質に他の物質が添加されたもの等である。
セラミック基板10の主面12a(図示の例では上面)には、凸部14が形成されている。図1に示すように、凸部14は、2つ設けられている。図3(A)は、凸部14および貫通孔16を模式的に示す平面図である。図3(B)は、凸部14および貫通孔16を模式的に示す断面図であり、図3(A)のB−B線断面図である。凸部14は、セラミック基板10の主面12aの突出している部分である。凸部14は、平面視において、貫通孔16を囲むように設けられている。図示の例では、凸部14は、平面視において、環状に設けられており、貫通孔16の周囲を完全に囲んでいる。凸部14,15が、貫通孔16の開口部を規定している。凸部14は、後述するように、セラミック基板にエネルギービームを照射して、該セラミック基板の一部を溶融させることで形成される。そのため、凸部14は、セラミック基板10と一体に設けられている。凸部14上には、電子部品40が搭載(載置)される。凸部14の高さHは、例えば、5μm以上20μm以下である。この凸部14の高さHによって、電子部品40とセラミック基板10の主面12aとの間隔を決めることができる。なお、凸部14の高さHは、電子部品40とセラミック基板10の主面12aとの間隔を所定の大きさにすることができれば、特に限定されない。図2に示すように、凸部14は、搭載電極20で覆われている。これにより、凸部14がセラミック基板10から脱落することを防ぐことができる。
セラミック基板10には、貫通孔16が設けられている。図示の例では、貫通孔16は、2つ設けられている。貫通孔16は、平面視において凸部14に囲まれている。図示の例では、貫通孔16は、平面視において凸部14で閉じられた領域に形成されている。貫
通孔16内には、貫通電極24が設けられている。貫通孔16は、セラミック基板10の一方の主面12a側から他方の主面12b(図示の例では下面)側まで延在している。貫通孔16は、一方の主面12a側の開口から他方の主面12b側の開口に向かうにしたがって径が小さくなるテーパー形状を有している。なお、貫通孔16の形状は、特に限定されず、例えば、円柱状であってもよい。
通孔16内には、貫通電極24が設けられている。貫通孔16は、セラミック基板10の一方の主面12a側から他方の主面12b(図示の例では下面)側まで延在している。貫通孔16は、一方の主面12a側の開口から他方の主面12b側の開口に向かうにしたがって径が小さくなるテーパー形状を有している。なお、貫通孔16の形状は、特に限定されず、例えば、円柱状であってもよい。
セラミック基板10の一方の主面12aには、搭載電極20、および接合部26が設けられている。セラミック基板10の他方の主面12bには、実装電極22が設けられている。ベース基板1は、蓋体30とともに、電子部品40を収容するためのパッケージを構成している。
搭載電極20は、凸部14上に設けられている。搭載電極20は、図示の例では2つ設けられている。搭載電極20は、図示の例では、凸部14を覆っている。搭載電極20上には、接着剤50を介して、電子部品40が接合されている。搭載電極20は、導電性の接着剤50を介して電子部品40のマウント電極48に電気的に接続している。搭載電極20は、電子部品40を搭載するための電極である。搭載電極20は、例えば、単層または複数層の金属層から構成される。
実装電極22は、セラミック基板10の主面12bに設けられている。実装電極22は、2つ設けられている。実装電極22は、貫通電極24を介して、搭載電極20に電気的に接続している。実装電極22は、外部の装置(図示せず)に実装される際に用いられる外部端子として機能することができる。実装電極22は、例えば、単層または複数層の金属層から構成される。搭載電極20および実装電極22の厚さは、例えば、10μm以上15μm以下である。
貫通電極24は、貫通孔16内に設けられている。貫通電極24は、2つ設けられている。貫通電極24は、搭載電極20と実装電極22とを電気的に接続している。貫通電極24は、例えば、単層または複数層の金属層から構成される。搭載電極20、実装電極22、および貫通電極24は、一体に設けられている。そのため、搭載電極20と貫通電極24との間、および貫通電極24と実装電極22との間には界面(繋ぎ目)がない。なお、搭載電極20、実装電極22、および貫通電極24は、一体に設けられていなくてもよい。
接合部26は、セラミック基板10の主面12aに設けられている。接合部26は、図1に示すように、平面視において、電子部品40を囲むように設けられている。接合部26は、蓋体30とセラミック基板10とを接合するための部材である。接合部26は、例えば、単層または複数層の金属層から構成される。
蓋体30は、全周につば部32が設けられたキャップ状(容器状)の形状を有しており、その内側の空間34に、電子部品40を収容することができる。蓋体30は、ベース基板1とともに、電子部品40を気密に封止するパッケージとして機能している。つば部32は、ろう材36および接合部26を介して、セラミック基板10に接合されている。蓋体30の材質は、例えば、コバール、42アロイ、ステンレス鋼などの金属である。
なお、ここでは、蓋体30がキャップ状(容器状)の形状を有しており、その内側の空間34に電子部品40を収容している場合について説明したが、セラミック基板10が窪み部を有しており、この窪み部に電子部品40が収容されてもよい。この場合、蓋体30の形状は、平板状であってもよい。
ろう材36は、蓋体30を、接合部26に固定(接合)することができる。ろう材36
は、少なくとも蓋体30のつば部32と接合部26との間に設けられている。図示の例では、ろう材36は、蓋体30のつば部32および蓋体30の内面に設けられている。ろう材36としては、例えば、銀ろう、ニッケルろう等を用いることができる。
は、少なくとも蓋体30のつば部32と接合部26との間に設けられている。図示の例では、ろう材36は、蓋体30のつば部32および蓋体30の内面に設けられている。ろう材36としては、例えば、銀ろう、ニッケルろう等を用いることができる。
電子部品40は、ベース基板1に搭載されている。具体的には、電子部品40は、セラミック基板10の凸部14上に搭載されている。図示の例では、電子部品40のマウント電極48と、凸部14上の搭載電極20とが、接着剤50によって接合されている。電子部品40は、一方側の端部が固定されて、他方側の端部は固定されていない。すなわち、電子部品40は、片持ちで実装されている。電子部品40は、ベース基板1および蓋体30で囲まれる空間34に収容されている。例えば、空間34は減圧状態または窒素等の不活性気体に満たされた状態であり、電子部品40は、減圧状態または窒素等の不活性気体に満たされた状態で動作する。なお、電子部品40の形態としては、例えば、ジャイロセンサー、加速度センサー、振動子、SAW(弾性表面波)素子、などの各種の電子部品を挙げることができる。
以下では、電子部品40が、振動子である場合について説明する。電子部品40は、圧電振動片42と、励振電極44a,44bと、接続電極46と、マウント電極48と、を含んで構成されている。
圧電振動片42は、例えば、ATカット水晶基板、BTカット水晶基板等の水晶基板からなる。圧電振動片42は、図2に示すように、メサ構造を有している。これにより、圧電振動片42は、高いエネルギー閉じ込め効果を有することができる。
第1励振電極44aは、圧電振動片42の一方の主面(励振面、図示の例では上面)に設けられている。第2励振電極44bは、圧電振動片42の他方の主面(励振面、図示の例では下面)に設けられている。励振電極44a,44bの各々は、接続電極46を介して、マウント電極48に接続している。励振電極44a,44bは、圧電振動片42に電圧を印加することができる。
接着剤50は、電子部品40をベース基板1に固定(接合)することができる。図示の例では、接着剤50は、電子部品40のマウント電極48と、搭載電極20と、を接合している。接着剤50としては、導電性の接着剤を用いることができる。具体的には、接着剤50としては、例えば、銀ペーストを用いることができる。
2. 電子デバイスの製造方法
次に、本実施形態に係る電子デバイスの製造方法について、図面を参照しながら説明する。図4は、本実施形態に係る電子デバイスの製造工程の一例を示すフローチャートである。また、図5〜図8は、本実施形態に係る電子デバイスの製造工程を模式的に示す図である。
次に、本実施形態に係る電子デバイスの製造方法について、図面を参照しながら説明する。図4は、本実施形態に係る電子デバイスの製造工程の一例を示すフローチャートである。また、図5〜図8は、本実施形態に係る電子デバイスの製造工程を模式的に示す図である。
図4に示すように、本実施形態に係る電子デバイスの製造工程は、セラミック基板110を準備する工程(S10)と、セラミック基板110にエネルギービームを照射して、セラミック基板110の一部を溶融させて凸部14および貫通孔16を形成する工程(S11)と、セラミック基板110に搭載電極20、実装電極22、および貫通電極24を形成する工程(S12)と、セラミック基板110の凸部14に電子部品40を搭載する工程(S13)と、セラミック基板110と蓋体30とを接合する工程(S14)と、を含む。以下、各工程について詳細に説明する。
図5に示すように、セラミック基板110を準備する(S10)。セラミック基板110は、平板状であり、図示の例では、単層である。セラミック基板110は、セラミック
ウエハーである。例えば、以下に示す製造工程において、セラミック基板110に複数のベース基板(電子デバイス)を形成してもよい。なお、ここでは、セラミックウエハーであるセラミック基板110を用いてベース基板(電子デバイス)を製造する場合について説明するが、予め個片化されたセラミック基板10を用いてベース基板(電子デバイス)を製造してもよい。
ウエハーである。例えば、以下に示す製造工程において、セラミック基板110に複数のベース基板(電子デバイス)を形成してもよい。なお、ここでは、セラミックウエハーであるセラミック基板110を用いてベース基板(電子デバイス)を製造する場合について説明するが、予め個片化されたセラミック基板10を用いてベース基板(電子デバイス)を製造してもよい。
次に、セラミック基板110にエネルギービームBを照射して、セラミック基板110の主面12aに凸部14を形成し、かつ、セラミック基板110を貫通する貫通孔16を形成する(S11)。エネルギービームBは、例えば、YAGレーザー等から出射されるレーザービームや、電子ビーム等である。このようなエネルギービームBをセラミック基板110に照射することにより、セラミック基板110の一部が溶融して、凸部14および貫通孔16が同時に形成される。凸部14は、セラミック基板110の溶融物が固まったものである。エネルギービームBの照射条件やスキャンの条件を調整することで、凸部14および貫通孔16の形状や大きさを容易に制御することができる。例えば、セラミック基板110にレーザービームを照射することにより、図3(A)および図3(B)に示すように、セラミック基板110に凸部14に囲まれている貫通孔16を形成することができる。
次に、セラミック基板110にエネルギービームBを照射して、セラミック基板110の主面12aにチップ分離用の溝部18を形成する。溝部18は、セラミック基板110を劈開するためのスクライブラインとして機能する。
図6に示すように、セラミック基板110の一方の主面12aに搭載電極20および接合部26を形成し、セラミック基板110の他方の主面12bに実装電極22を形成し、貫通孔16内に貫通電極24を形成する(S12)。搭載電極20、実装電極22、貫通電極24、および接合部26は、例えば、めっき法により形成される。搭載電極20、実装電極22、貫通電極24、および接合部26は、例えば、セミアディティブ法で形成される。これにより、搭載電極20、実装電極22、貫通電極24、および接合部26を同時に形成することができ、搭載電極20、実装電極22、貫通電極24は、一体に形成される。なお、搭載電極20、実装電極22、貫通電極24、および接合部26は、スパッタ法、CVD法等で形成されてもよい。また、例えば、貫通孔16内に貫通電極24を形成した後に、搭載電極20および実装電極22を形成してもよい。
ここで、搭載電極20は、セラミック基板110の主面12aに、凸部14を覆うように形成される。すなわち、凸部14は、搭載電極20を構成する層によって覆われる。このように搭載電極20を構成する層によって、凸部14を覆う被覆層が形成されることにより、凸部14の脱落を防ぐことができる。
図7に示すように、電子部品40をセラミック基板110の凸部14に搭載する(S13)。具体的には、まず、搭載電極20上に接着剤50を塗布する。次に、電子部品40を凸部14(搭載電極20)に押し付けて、搭載電極20と電子部品40のマウント電極48とを、接着剤50(接合材)を介して接合する。電子部品40を凸部14に搭載することにより、電子部品40とセラミック基板110の主面12aとの間隔を精度よく制御することができる。
図8に示すように、セラミック基板110に蓋体30を接合して、セラミック基板110と蓋体30とに囲まれた空間34に電子部品40を収容する(S14)。具体的には、まず、例えば蓋体30の母材であるコバールの一方の面の全面にろう材36(銀ろう)、他方の面にニッケル(図示せず)が形成されたクラッド材を、絞り加工することで蓋体30を凹形状に加工する。次に、蓋体30を、ろう材36を介して、接合部26上に配置す
る。次に、例えば、エネルギービームを蓋体30に照射することにより、ろう材36を加熱溶融させて接合部26に接合させる。以上の工程により、電子部品40を空間34に収容することができる。本工程を減圧雰囲気で行うことにより、空間34を減圧状態にすることができる。
る。次に、例えば、エネルギービームを蓋体30に照射することにより、ろう材36を加熱溶融させて接合部26に接合させる。以上の工程により、電子部品40を空間34に収容することができる。本工程を減圧雰囲気で行うことにより、空間34を減圧状態にすることができる。
図1および図2に示すように、セラミック基板110からベース基板1(電子デバイス100)を切り出す。具体的には、セラミック基板110を、溝部18に沿って劈開させて、ベース基板1(電子デバイス100)を切り出す。
以上の工程により、電子デバイス100を製造することができる。
本実施形態に係る電子デバイス100の製造方法によれば、例えば、以下の特徴を有する。
本実施形態に係る電子デバイス100の製造方法では、セラミック基板110にエネルギービームBを照射して、セラミック基板110の一部を溶融させてセラミック基板110の主面12aに凸部14を形成する工程S11と、凸部14に電子部品40を搭載する工程S13と、を含む。したがって、簡易な工程で精度よく電子部品40を搭載することができる。
例えば、セラミック基板110の主面12aに凸部14が形成されずに、接着剤のみで電子部品40を搭載する場合、接着剤の厚みで電子部品40とセラミック基板110の主面12aとの間隔を制御しなければならない。接着剤の厚みは、接着剤の量や粘度、電子部品40を実装する際の押し付ける力等によって制御することができるが、接着剤の厚みを精度よく制御することは困難である。そのため、接着剤の厚みで電子部品40とセラミック基板110の主面12aとの間隔を精度よく制御することは困難である。本実施形態では、エネルギービームでセラミック基板110を溶融させて凸部14を形成するため、凸部14の高さの制御が容易である。また、凸部14は変形せず、接着剤50の量も少なくできるため、電子部品40とセラミック基板110の主面12aとの間隔を精度よく制御することができる。また、エネルギービームBで凸部14を形成するため、機械的な動作を伴わずにエネルギービームをスキャンすることにより凸部14を形成することができる。したがって、位置精度がよく、短時間で凸部14を形成することができる。
さらに、本実施形態では、エネルギービームBで凸部14を形成するため、焼成後のセラミック基板110を用いることができる。例えば、セラミックグリーンシートに凸部に相当する部分を塗布し、その後焼成することによりベース基板を形成した場合、焼成時の収縮があるため、凸部14の位置精度を高めることができない。本実施形態では、焼成後のセラミック基板110を用いることができるため、凸部14の位置精度を高めることができる。
本実施形態に係る電子デバイス100の製造方法では、上述のように、簡易な工程で、精度よく電子部品40を搭載することができるため、例えば、1枚のセラミック基板110に複数の電子デバイス100を同時に形成する場合に、特に有効である。
本実施形態に係る電子デバイス100の製造方法では、セラミック基板110にエネルギービームBを照射して、凸部14を形成する工程S11において、平面視で凸部14に囲まれている貫通孔16が形成される。これにより、貫通電極24を形成するための貫通孔16の形成を、凸部14の形成と同時に行うことができるため、製造工程を簡略化することができる。
本実施形態に係る電子デバイス100の製造方法では、凸部14を覆う被覆層(搭載電極20を構成する層)を形成する工程S12を含む。これにより、凸部14がセラミック基板110から脱落することを防ぐことができる。
本実施形態に係る電子デバイス100の製造方法では、セラミック基板110は、単層である。そのため、多層のセラミック基板の場合と比べて、装置の低背化、小型化を図ることができる。さらに、製造工程を少なくでき、材料も少なくできる。また、層間のリークがなく、気密性を高めることができる。
本実施形態に係る電子デバイス100の製造方法では、電子部品40を搭載する工程S13では、セラミック基板110の凸部14に接着剤50を介して、電子部品40を搭載する。そのため、凸部14が形成されずに接着剤50のみで電子部品40を搭載する場合と比べて、接着剤50の量を少なくできる。そのため、例えば、接合材(接着剤)に起因して、電子部品40が収容される空間34の真空度が低下することを抑制することができる。
3. 変形例
3.1. 第1変形例
次に、本実施形態の第1変形例に係る電子デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図9は、本実施形態の第1変形例に係る電子デバイス200を模式的に示す断面図である。図10(A)は、凸部14および凹部210を模式的に示す平面図であり、図10(B)は、凸部14および凹部210を模式的に示す断面図である。以下、電子デバイス200において、電子デバイス100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
3.1. 第1変形例
次に、本実施形態の第1変形例に係る電子デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図9は、本実施形態の第1変形例に係る電子デバイス200を模式的に示す断面図である。図10(A)は、凸部14および凹部210を模式的に示す平面図であり、図10(B)は、凸部14および凹部210を模式的に示す断面図である。以下、電子デバイス200において、電子デバイス100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
上述した電子デバイス100では、図1および図2に示すように、セラミック基板10の主面12aに設けられた凸部14は、平面視で貫通孔16を囲むように設けられていた。
これに対して、電子デバイス200では、セラミック基板10の主面12aに形成された凸部14は、平面視で凹部210を囲むように設けられている。
凹部210は、セラミック基板10の主面12aに設けられている。凹部210は、セラミック基板10の主面12aの窪んだ部分である。凹部210は、平面視において環状の凸部14に囲まれている。図示の例では、凹部210は、平面視において、凸部14で閉じられた領域に形成されている。凹部210内には、接着剤50が充填されている。
セラミック基板10の凸部14上には、電子部品40が搭載されている。凸部14と電子デバイス200では、図示はしないが、電子部品40は、配線ワイヤー等によって搭載電極に電気的に接続され、搭載電極は、貫通電極を介して実装電極に電気的に接続されている。図示の例では、凸部14上に電子部品40が、直接搭載されているが、凸部14は、金属層等の被覆層で覆われていてもよい。
電子デバイス200の製造方法は、図4に示す電子デバイス100の製造工程と、セラミック基板110にエネルギービームを照射して、セラミック基板110の一部を溶融させて凹部210を形成すること、電子部品40と搭載電極とを接続する配線をワイヤーボンディングで行うこと、を除いて同様であり、その説明を省略する。
電子デバイス200の製造方法によれば、セラミック基板110にエネルギービームBを照射して、セラミック基板110の一部を溶融させてセラミック基板110の主面12
aに凸部14を形成する工程において、平面視で凹部210を囲むように凸部14が形成される。このため、凸部14に電子部品40を搭載する工程において、接着剤50が凹部210に入りこむため、余分な接着剤50が流れ出して、他の部分に付着することを防ぐことができる。また、接着剤50が凹部210に入り込むため、セラミック基板110と電子部品40の接合強度を高めることができる(アンカー効果)。また、凹部210を画像認識のためのマーカーとして用いることができる。
aに凸部14を形成する工程において、平面視で凹部210を囲むように凸部14が形成される。このため、凸部14に電子部品40を搭載する工程において、接着剤50が凹部210に入りこむため、余分な接着剤50が流れ出して、他の部分に付着することを防ぐことができる。また、接着剤50が凹部210に入り込むため、セラミック基板110と電子部品40の接合強度を高めることができる(アンカー効果)。また、凹部210を画像認識のためのマーカーとして用いることができる。
3.2. 第2変形例
次に、本実施形態の第2変形例に係る電子デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図11は、本実施形態の第2変形例に係る電子デバイス300を模式的に示す断面図である。図12(A)は、凸部14および凹部310を模式的に示す平面図であり、図10(B)は、凸部14および凹部310を模式的に示す断面図である。以下、電子デバイス300において、電子デバイス100,200の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、本実施形態の第2変形例に係る電子デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図11は、本実施形態の第2変形例に係る電子デバイス300を模式的に示す断面図である。図12(A)は、凸部14および凹部310を模式的に示す平面図であり、図10(B)は、凸部14および凹部310を模式的に示す断面図である。以下、電子デバイス300において、電子デバイス100,200の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
上述した電子デバイス100では、図1および図2に示すように、セラミック基板10の主面12aに設けられた凸部14は、平面視で貫通孔16を囲むように設けられていた。また、電子デバイス200では、図9および図10に示すように、セラミック基板10の主面12aに設けられた凸部14は、平面視で凹部210を囲むように設けられていた。
これに対して、電子デバイス300では、セラミック基板10の主面12aに設けられた凹部310が、凸部14を囲むように設けられている。
凹部310は、図12に示すように、環状に設けられている。凹部310は、セラミック基板10の凸部14を囲むように設けられている。凸部14は、平面視において、凹部310で閉じられた領域に設けられている。凸部14の形状は、例えば、円柱状、円錐台状である。例えば、エネルギービームBでセラミック基板110の主面12aを環状に走査することで凹部310が形成され、このときのセラミック基板110の溶融物で凸部14が形成される。このように、凸部14の形状は、電子部品40とセラミック基板110の主面12aとの間隔を所定の大きさにすることができれば、特に限定されない。
また、電子デバイス300では、セラミック基板10の主面12aに突起部320が設けられている。突起部320は、電子部品40がセラミック基板10の主面12aに対して傾いたときに、励振電極44bが形成されていない領域(例えば基板の外縁部)に接触することができる。これにより、励振電極44bがセラミック基板10の主面12aに接触することを防ぐことができる。突起部320は、例えば、凸部14と同様に、エネルギービームをセラミック基板110に照射して、セラミック基板110の一部を溶融させることにより、形成することができる。
4. 電子機器
次に、本実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る電子機器は、本発明に係る電子デバイスを含む。以下では、本発明に係る電子デバイスとして、電子デバイス100を含む電子機器について、説明する。
次に、本実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る電子機器は、本発明に係る電子デバイスを含む。以下では、本発明に係る電子デバイスとして、電子デバイス100を含む電子機器について、説明する。
図13は、本実施形態に係る電子機器として、携帯電話機(PHSも含む)1200を模式的に示す斜視図である。
図13に示すように、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表
示部1208が配置されている。
示部1208が配置されている。
このような携帯電話機1200には、電子デバイス100が内蔵されている。
図14は、本実施形態に係る電子機器として、デジタルスチルカメラ1300を模式的に示す斜視図である。なお、図14には、外部機器との接続についても簡易的に示している。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
デジタルスチルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、表示部1310が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部1310は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部1310に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。
また、このデジタルスチルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子1312には、テレビモニター1430が、データ通信用の入出力端子1314には、パーソナルコンピューター1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1430や、パーソナルコンピューター1440に出力される構成になっている。
このようなデジタルスチルカメラ1300には、電子デバイス100が内蔵されている。
図15(A)は、本実施形態に係る電子機器として、GPS(Global Positioning System)1400を模式的に示す図である。図15(B)は、本実施形態に係る電子機器として、時計1500を模式的に示す斜視図である。図15(C)は、本実施形態に係る電子機器として、ゲーム機器1600を模式的に示す平面図である。
電子デバイス100は、図15に示すGPS1400、時計1500、ゲーム機器1600に搭載されている。
電子デバイス100は、図13〜図15に示すように、様々な電子機器に搭載することができ、電子デバイス100は、基準周波数発生機能、フィルタ機能、圧力センサー、温度センサー、加速度センサー等のセンサー機能としての役割を果たす。
以上のような電子機器1200,1300,1400,1500,1600は、電子部品を収容する空間の気密性を高めることができる電子デバイスを有することができるため
、高い信頼性を有することができる。
、高い信頼性を有することができる。
なお、上記電子デバイス100を備えた電子機器は、上記した電子機器1200,1300,1400,1500,1600の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンター)、パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、ロケット、船舶の計器類)、ロボットや人体などの姿勢制御、フライトシミュレーターなどに適用することができる。
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
1…ベース基板、10…セラミック基板、12a,12b…主面、14…凸部、16…貫通孔、18…溝部、20…搭載電極、22…実装電極、24…貫通電極、26…接合部、30…蓋体、32…つば部、36…ろう材、40…電子部品、42…圧電振動片、44a…第1励振電極、44b…第2励振電極、46…接続電極、48…マウント電極、50…接着剤、100…電子デバイス、110…セラミック基板、200…電子デバイス、210…凹部、300…電子デバイス、310…凹部、320…突起部、1200…携帯電話機、1202…操作ボタン、1204…受話口、1206…送話口、1208…表示部、1300…デジタルスチルカメラ、1302…ケース、1304…受光ユニット、1306…シャッターボタン、1308…メモリー、1310…表示部、1312…ビデオ信号出力端子、1314…入出力端子、1430…テレビモニター、1440…パーソナルコンピューター、1400…GPS、1500…時計、1600…ゲーム機器
Claims (8)
- セラミック基板を準備する工程と、
前記セラミック基板にエネルギービームを照射して、前記セラミック基板の一部を溶融させて前記セラミック基板の主面に凸部を形成する工程と、
前記凸部に電子部品を搭載する工程と、
を含むことを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - 前記凸部を形成する工程では、
前記セラミック基板に、前記エネルギービームを照射して貫通孔も形成することを特徴とする請求項1に記載の電子デバイスの製造方法。 - 前記凸部を形成する工程の後に、前記貫通孔内に貫通電極を配置する工程を含むことを特徴とする請求項2に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記凸部を形成する工程では、
前記セラミック基板に、前記エネルギービームを照射して凹部も形成することを特徴とする請求項1に記載の電子デバイスの製造方法。 - 前記凸部を形成する工程の後に、前記凸部を覆う被覆層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記セラミック基板は、単層であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記電子部品を搭載する工程では、
前記凸部に接合材を介して、前記電子部品を搭載することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の電子デバイスの製造方法。 - セラミック基板を準備する工程と、
前記セラミック基板にエネルギービームを照射して前記セラミック基板の一部を溶融させて、前記セラミック基板を貫通する貫通孔を形成し、かつ、前記セラミック基板の主面に凸部を形成する工程と、
前記貫通孔内に貫通電極を形成する工程と、
前記セラミック基板の主面に、前記貫通電極に接続する電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とするベース基板の製造方法。
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