JP2013254231A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013254231A5
JP2013254231A5 JP2012123580A JP2012123580A JP2013254231A5 JP 2013254231 A5 JP2013254231 A5 JP 2013254231A5 JP 2012123580 A JP2012123580 A JP 2012123580A JP 2012123580 A JP2012123580 A JP 2012123580A JP 2013254231 A5 JP2013254231 A5 JP 2013254231A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
feed drive
control signal
drive system
displacement
compensator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012123580A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2013254231A (ja
JP6340160B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2012123580A priority Critical patent/JP6340160B2/ja
Priority claimed from JP2012123580A external-priority patent/JP6340160B2/ja
Publication of JP2013254231A publication Critical patent/JP2013254231A/ja
Publication of JP2013254231A5 publication Critical patent/JP2013254231A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6340160B2 publication Critical patent/JP6340160B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2012123580A 2011-05-31 2012-05-30 送り駆動系の設計方法 Active JP6340160B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012123580A JP6340160B2 (ja) 2011-05-31 2012-05-30 送り駆動系の設計方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011121449 2011-05-31
JP2011121449 2011-05-31
JP2012123580A JP6340160B2 (ja) 2011-05-31 2012-05-30 送り駆動系の設計方法

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016190065A Division JP2017033587A (ja) 2011-05-31 2016-09-28 送り駆動系及び送り駆動系の設計方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013254231A JP2013254231A (ja) 2013-12-19
JP2013254231A5 true JP2013254231A5 (enExample) 2015-07-23
JP6340160B2 JP6340160B2 (ja) 2018-06-06

Family

ID=49951710

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012123580A Active JP6340160B2 (ja) 2011-05-31 2012-05-30 送り駆動系の設計方法
JP2016190065A Pending JP2017033587A (ja) 2011-05-31 2016-09-28 送り駆動系及び送り駆動系の設計方法

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016190065A Pending JP2017033587A (ja) 2011-05-31 2016-09-28 送り駆動系及び送り駆動系の設計方法

Country Status (1)

Country Link
JP (2) JP6340160B2 (enExample)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6760975B2 (ja) * 2015-06-19 2020-09-23 エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． 制御システム、位置決めシステム、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法
CN108021039B (zh) * 2017-12-23 2020-03-17 西安交通大学 一种直线电机进给系统机电集成建模方法
JP7019857B1 (ja) 2021-07-20 2022-02-15 Dmg森精機株式会社 情報処理装置、情報処理方法および情報処理プログラム
KR102750080B1 (ko) * 2021-12-10 2025-01-07 한국철도기술연구원 대차 진동 시뮬레이터를 구현하는 방법 및 장치
CN115951575B (zh) * 2022-12-19 2025-07-29 西安精擘华科技有限公司 基于复位积分控制的进给系统摩擦力补偿方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05285786A (ja) * 1992-04-06 1993-11-02 Mitsubishi Electric Corp 位置決め制御装置
JPH0764644A (ja) * 1993-08-31 1995-03-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 位置決めサーボ機構のゲイン切換装置
JP3446595B2 (ja) * 1998-03-30 2003-09-16 三菱電機株式会社 サーボ装置
JP2000267712A (ja) * 1999-03-15 2000-09-29 Toyoda Mach Works Ltd 移動体の移動方向反転検出方法および該方法を用いたサーボ制御方法ならびにサーボ制御装置
JP2006079526A (ja) * 2004-09-13 2006-03-23 Mitsubishi Electric Corp 位置決め制御装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5496365B2 (ja) モータ制御装置
JP5648870B2 (ja) モータ制御装置、モータ制御方法及び機械システム
JP2013254231A5 (enExample)
JP6305283B2 (ja) 動力装置の制御システム
CN105619424B (zh) 电机驱动设备的控制设备及方法、多轴电机的控制设备
EP2492063A3 (en) Horizontal articulated robot, and method of controlling the same
JP6051970B2 (ja) 数値制御装置と摩擦補償方法
JP5970662B2 (ja) 電動機の制御装置に用いられる制御パラメータの調整方法、および、この制御パラメータの調整方法が用いられる電動機の制御装置
TWI501540B (zh) 電動機控制裝置
JP2016105686A5 (ja) ロボット装置の制御方法、及びロボット装置
JP2007098507A (ja) 作業補助装置
CN104115083B (zh) 伺服控制装置
JP2004364396A (ja) モータの制御装置および制御方法
CN105388914A (zh) 位置控制设备
JP5441944B2 (ja) モータ制御装置
JP7068133B2 (ja) 制御システム、制御方法、及び制御プログラム
JP2015170208A (ja) 制御装置、制御方法及び制御プログラム
JP2017033587A (ja) 送り駆動系及び送り駆動系の設計方法
JP2006121806A (ja) モータ制御装置における摩擦補償方法およびモータ制御装置
JP5369291B2 (ja) 産業機械の制御装置および制御方法
JP2016177513A5 (enExample)
JP2010022132A (ja) 慣性モーメント同定器を備えたモータ制御装置
JP5653804B2 (ja) 深度信号生成装置
KR101355948B1 (ko) 기계제어장치
JP4367041B2 (ja) 機械制御装置