CN104115083B - 伺服控制装置 - Google Patents

伺服控制装置 Download PDF

Info

Publication number
CN104115083B
CN104115083B CN201280069273.0A CN201280069273A CN104115083B CN 104115083 B CN104115083 B CN 104115083B CN 201280069273 A CN201280069273 A CN 201280069273A CN 104115083 B CN104115083 B CN 104115083B
Authority
CN
China
Prior art keywords
coarse motion
motion
axle
model
coarse
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201280069273.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104115083A (zh
Inventor
长冈弘太朗
福冈辉章
中井孝洋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Publication of CN104115083A publication Critical patent/CN104115083A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104115083B publication Critical patent/CN104115083B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B13/00—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion
    • G05B13/02—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric
    • G05B13/04—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric involving the use of models or simulators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q15/00—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work
    • B23Q15/007—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work while the tool acts upon the workpiece
    • B23Q15/013—Control or regulation of feed movement
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/19—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/402—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for positioning, e.g. centring a tool relative to a hole in the workpiece, additional detection means to correct position
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D3/00—Control of position or direction
    • G05D3/12—Control of position or direction using feedback
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41105—Coarse fine
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/42—Servomotor, servo controller kind till VSS
    • G05B2219/42209—Two slides, fine and quick, coarse and slow, piggyback, multirate positioner
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/42—Servomotor, servo controller kind till VSS
    • G05B2219/42225—Coarse and fine position control combined, added, superposed
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/45—Nc applications
    • G05B2219/45207—Actuator to regulate position, flow, speed, process variable

Abstract

一种伺服控制装置，其具有：粗动规则模型部，其基于位置指令进行规定的滤波运算，从而计算粗动模型位置；粗动追随控制部，其基于粗动模型位置和从粗动轴电动机提供的粗动轴电动机位置，对粗动轴电动机进行控制，以使得粗动轴电动机位置追随粗动模型位置；合成规则模型部，其基于位置指令进行规定的滤波运算，从而计算合成模型位置；以及微动追随控制部，其基于从微动轴电动机提供的微动轴电动机位置、和根据合成模型位置及粗动模型位置而求出的微动模型位置，对微动轴电动机进行控制，以使得微动轴电动机位置追随微动模型位置。

Description

伺服控制装置
技术领域
本发明涉及一种伺服控制装置，其在激光加工机、工作机械等的控制装置中，相对于一个移动方向具有多个致动器，用于协调地对两者进行控制。
背景技术
在使用激光加工机、工作机械等机械进行加工的情况下，进行控制以使得激光头、刀具相对于工件的位置沿着指示的路径行进。该控制被称为轨迹控制，通过进行伺服控制，以使得机械的各可动轴的实际位置追随各可动轴的位置指令的方式进行该轨迹控制。
在通常的机械中相对于一个移动方向使用一个致动器。致动器通常使用伺服电动机。在相对于一个移动方向使用一个致动器而进行伺服控制的情况下，存在由于伺服控制系统的响应延迟而产生追随误差的问题。此外，由于致动器的加速度存在极限，因此也会存在无法实现高速响应这样的问题。在如要求大于或等于数十m/分钟的高速动作的情况下，追随误差、响应性降低的影响特别显著地出现。
因此，提出有多个下述装置，这些装置在到目前为止所采用的致动器的基础上，还追加移动范围较狭窄、但能够高速响应的附加的致动器，从而使用粗动和微动这两个致动器控制一个移动方向的运动。
专利文献1：日本特开2007-95035号公报
专利文献2：日本特开平7-168625号公报
发明内容
但是，根据上述现有技术，例如在专利文献1中，虽然按照规定的条件生成粗动和微动的各自的指令，但是由于相对于各自的指令产生伺服系统的响应延迟，因此存在将粗动伺服响应和微动伺服响应合成而得到的合成位置响应无法正确追随将粗动位置指令和微动位置指令合成而得到的合成位置指令的问题。
此外，在专利文献2中，粗动位置响应由反馈控制系统的响应决定。反馈控制系统需要确保稳定性，因此产生了对该响应的制约，特别地，高速响应由于控制系统变得不稳定而大多无法实现。此外，在专利文献1和2中，都存在由于粗动轴加减速而在微动轴中产生惯性力，从而在微动轴的响应中产生误差的问题。
本发明是鉴于上述情况而提出的，其目的在于得到一种伺服控制装置，该伺服控制装置能够进行控制，以使得在不产生由响应延迟、惯性力的影响而导致的误差的情况下，使粗动轴和微动轴的合成位置追随指示的合成轴位置，并且能够自由地设定粗动轴和微动轴的响应。
为了解决上述课题，并达到目的，本发明的伺服控制装置具有：粗动轴电动机，其驱动粗动轴在所确定的轴向上进行直线移动；以及微动轴电动机，其安装在所述粗动轴的可动部上，驱动微动轴在所述粗动轴的可动部之上进行直线移动，该伺服控制装置对基于所述粗动轴和所述微动轴的位置决定的合成轴的位置进行控制，该伺服控制装置的特征在于，具有：粗动规则模型部，其基于位置指令进行规定的滤波运算，从而计算粗动模型位置；粗动追随控制部，其基于从所述粗动轴电动机提供的粗动轴电动机位置、和所述粗动模型位置，对所述粗动轴电动机进行控制，以使得所述粗动轴电动机位置追随所述粗动模型位置；合成规则模型部，其基于位置指令进行规定的滤波运算，从而计算合成模型位置；以及微动追随控制部，其基于从所述微动轴电动机提供的微动轴电动机位置、和根据所述合成模型位置及所述粗动模型位置求出的微动模型位置，对所述微动轴电动机进行控制，以使得所述微动轴电动机位置追随所述微动模型位置。
发明的效果
根据本发明，能够得到下述效果，即，能够进行控制，以使得粗动轴和微动轴的合成位置完全追随指示的合成轴位置，并且能够自由地设定粗动轴和微动轴的响应。此外，能够使在粗动轴加减速时在微动轴上产生的惯性力不会对微动轴的运动造成影响。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式1涉及的伺服控制装置的结构的框图。
图2是表示本发明的实施方式1的追随控制部的内部结构的框图。
图3是表示本发明的实施方式2涉及的伺服控制装置的结构的框图。
图4是表示本发明的实施方式3涉及的伺服控制装置的结构的框图。
图5是表示本发明的实施方式3的微动追随控制部的内部结构的框图。
图6是表示本发明的实施方式4涉及的粗动轴伺服控制装置和微动轴伺服控制装置的结构的框图。
图7是表示本发明的实施方式1至4涉及的粗动轴和微动轴的关系的示意图。
具体实施方式
以下，基于附图详细地说明本发明涉及的伺服控制装置的实施方式。此外，本发明并不限定于本实施方式。
实施方式1
图1是表示本发明的实施方式1涉及的伺服控制装置10的结构的框图。将结合了粗动轴和微动轴而得到的合成轴的位置作为合成轴位置指令而输入至伺服控制装置10。此外，将粗动轴电动机5和微动轴电动机6的各轴的电动机位置作为反馈信号输入至伺服控制装置10。在粗动轴电动机5和微动轴电动机6上分别安装有旋转编码器、线性标尺等位置检测器，使用这些位置检测器检测各轴的电动机位置。伺服控制装置10向粗动轴电动机5和微动轴电动机6输出用于驱动各个电动机的电动机驱动指令信号。
在伺服控制装置10中，将上述的合成轴位置指令分别输入至粗动规则模型部1和合成规则模型部2。粗动规则模型部1通过后述的运算而输出粗动模型位置和粗动模型加速度。此外，合成规则模型部2通过后述的运算而输出合成模型位置和合成模型加速度。将粗动模型位置和粗动模型加速度输入至粗动追随控制部3，粗动追随控制部3输出用于使从粗动轴电动机5另外输入的粗动轴电动机位置追随粗动模型位置的电动机驱动指令信号。此外，在减法器7中，从合成模型位置减去粗动模型位置，并将该减法计算结果，即合成模型位置和粗动模型位置的差作为微动模型位置输出。将微动模型位置和合成模型加速度输入至微动追随控制部4，微动追随控制部4输出用于使从微动轴电动机6另外输入的微动轴电动机位置追随微动模型位置的电动机驱动指令信号。
在本实施方式中，粗动轴电动机5和微动轴电动机6使用旋转型的伺服电动机。因此，电动机驱动指令信号是转矩的指令信号。粗动轴电动机5和微动轴电动机6按照作为电动机驱动指令信号的转矩指令信号而产生转矩，分别驱动粗动轴和微动轴的各可动部。
在本实施方式1中，作为伺服控制装置10所控制的对象的粗动轴和微动轴，分别在由旋转伺服电动机和滚珠丝杠构成的可动机构所决定的轴向上进行直线移动。粗动轴具有固定部和进行直线移动的可动部。在粗动轴的可动部上安装微动轴，微动轴的可动部在粗动轴的可动部之上进行直线移动。此外，粗动轴和微动轴的移动方向相同。微动轴的可动部相对于粗动轴的固定部的位置为合成轴的位置。图7示意性地表示粗动轴和微动轴的各电动机位置的关系，在粗动轴固定部50之上配置有粗动轴可动部51，进一步在粗动轴可动部51之上配置有微动轴可动部52。本实施方式1中的伺服控制装置10将该合成轴的电动机位置Xa控制为所指示的位置。
图2是表示本实施方式1的粗动追随控制部3和微动追随控制部4的内部结构的框图。粗动轴追随控制部3和微动追随控制部4的内部的模块结构为相同结构，统称为追随控制部20。追随控制部20将模型位置及模型加速度和电动机位置作为输入，输出电动机驱动指令信号。粗动追随控制部3分别将粗动模型位置作为模型位置，将粗动模型加速度作为模型加速度，将粗动轴电动机位置作为电动机位置而输入，将粗动轴电动机驱动指令信号作为电动机驱动指令信号而输出。微动追随控制部4分别将微动模型位置作为模型位置，将合成模型加速度作为模型加速度，将微动轴电动机位置作为电动机位置而输入，将微动轴电动机驱动指令信号作为电动机驱动指令信号而输出。
追随控制部20的内部结构如以下所述。在减法器31中，从模型位置减去电动机位置，并将该减法计算结果，即模型位置和电动机位置的差输入至位置控制部21。在位置控制部21中进行比例控制等控制。此外，将模型位置输入微分运算部24，对模型位置的一阶微分即模型速度进行运算。关于电动机位置也同样，在微分运算部23中对电动机位置的一阶微分即电动机速度进行运算。在加减法器32中进行在位置控制部21的输出上加上模型速度，并进一步减去电动机速度的处理，并将该输出输入至速度控制部22。在速度控制部22中进行比例·积分控制等控制。另一方面，将模型加速度输入至转矩运算部25，对模型转矩进行运算。模型转矩的运算通过在模型加速度上乘以可动部的惯量而进行。可动部的惯量使用设计值或者测定值。利用加法器33将转矩运算部25的输出与速度控制部22的输出相加，将该加法计算结果作为电动机驱动指令信号而输出。
接下来，说明粗动规则模型部1和合成规则模型部2中的运算。在各个规则模型部中使用具有高频截止特性(高频带截止特性)的滤波器。粗动规则模型部1将针对所输入的合成轴位置指令进行了滤波运算得到的结果作为粗动模型位置而输出。此外，将粗动模型位置的二阶微分作为粗动模型加速度而输出。合成规则模型部2将针对所输入的合成轴位置指令进行了滤波运算得到的结果作为合成模型位置而输出。此外，将合成模型位置的二阶微分作为合成模型加速度而输出。
在作为滤波器输出的模型位置的基础上，也需要利用作为其二阶微分的模型加速度，为了得到平稳的模型加速度，优选粗动规则模型部1和合成规则模型部2是大于或等于2阶的低通滤波器。此外，在对模型加速度进行运算的情况下的微分运算，可以利用将模拟微分即差分除以采样周期的方法进行，也可以利用例如日本特开2011-145884号公报中所示的方法，从滤波器内部的积分器输出。能够通过在粗动规则模型部1和合成规则模型部2中使用具有高频截止特性(高频带截止特性)的滤波器，从而使模型位置和作为其二阶微分的模型加速度平滑化，抑制急剧变化而平滑地驱动各驱动轴。
接下来说明本实施方式1的伺服控制装置10的动作。将粗动轴电动机位置设为Xc，将微动轴电动机位置设为Xf，将合成轴电动机位置设为Xa。如图7所示，合成轴电动机位置Xa用粗动轴电动机位置Xc和微动轴电动机位置Xf的和表示。此外，分别将合成轴位置指令设为Xr，将粗动模型位置设为Xmc，将合成模型位置设为Xma，将微动模型位置设为Xmf。此外，将粗动规则模型部1的传递函数，即从作为输入的合成轴位置指令至作为输出的粗动模型位置为止的传递函数设为Gc(s)。传递函数Gc以分母多项式为拉普拉斯运算符s的2次式的下式表示。
【公式1】
G c ( s ) = K c 1 K c 2 s 2 + K c 2 s + K c 1 K c 2 . . . ( 1 )
其中，Kc1和Kc2是取正的常数的参数。此外，将合成规则模型部2的传递函数，即从作为输入的合成轴位置指令至作为输出的合成模型位置为止的传递函数设为Ga(s)。传递函数Ga以分母多项式为拉普拉斯运算符s的2次式的下式表示。
【公式2】
G a ( s ) = K a 1 K a 2 s 2 + K a 2 s + K a 1 K a 2 . . . ( 2 )
其中，Ka1和Ka2是取正的常数的参数。
此时，合成轴位置指令Xr和粗动模型位置Xmc的关系以下式表示。
【公式3】
Xmc(s)＝Gc(s)Xr(s)…(3)
其中，式(3)是以对时间序列信号进行拉普拉斯变换后的s区域表示的式子。在以下的公式中没有特别记载的情况下，是表示s区域的式子。同样地，合成轴位置指令Xr和合成模型位置Xma的关系以下式表示。
【公式4】
Xma(s)＝Ga(s)Xr(s)…(4)
此外，作为合成模型位置Xma和粗动模型位置Xmc的差的微动模型位置Xmf，使用这些传递函数而以下式表示。
【公式5】
Xmf(s)＝Xma(s)-Xmc(s)＝(Ga(s)-Gc(s))Xr(s)…(5)
粗动规则模型部1的传递函数Gc和合成规则模型部2的传递函数Ga均为DC增益为1的低通滤波器，因此在合成轴位置指令Xr为定值的情况下，微动模型位置Xmf收敛于0。
关于粗动轴，如果将粗动轴的可动部的惯量设为Jc，将位置控制部的传递函数设为Cpc(s)，将速度控制部的传递函数设为Cvc(s)，则根据图1和图2的关系，粗动轴的电动机转矩τc由下式表示。
【公式6】
τc(s)＝[(Xmc(s)-Xc(s))Cpc(s)+s(Xmc(s)-Xc(s))]Cvc(s)+Jcs2Xmc(s)…(6)
另外，微动轴加减速时的反作用力转矩作为干扰而施加于粗动轴，但是通常粗动轴的惯量与微动轴的惯量相比充分大，因此，粗动轴受到的干扰的影响充分小。因此，在式(6)中，忽略了微动轴加减速产生的反作用力转矩干扰的影响。此外，将驱动部作为刚体而模型化，也忽略了摩擦等其它干扰的影响。
此外，粗动轴的运动方程式以下式表示。
【公式7】
τc(s)＝Jcs2Xc(s)…(7)
如果联立式(6)和式(7)而求解，则得到下式。
【公式8】
Xc(s)＝Xmc(s)…(8)
即，粗动轴电动机位置Xc，不管粗动追随控制部3的特性如何，完全追随粗动模型位置Xmc。
接下来，关于微动轴，如果将微动轴可动部的惯量设为Jf，将位置控制部的传递函数设为Cpf(s)，将速度控制部的传递函数设为Cvf(s)，则根据图1和图2的关系，微动轴的电动机转矩τf以下式表示。
【公式9】
τf(s)＝[(Xmf(s)-Xf(s))Cpf(s)+s(Xmf(s)-Xf(s))]Cvf(s)+Jfs2Xma(s)…(9)
其中，式(9)的右边的最终项与图1对应，不是微动模型位置的二阶微分，而是合成模型加速度即合成模型位置的二阶微分。
此外，微动轴的运动方程式以下式表示。
【公式10】
τf(s)＝Jfs2Xf(s)+Jfs2Xc(s)…(10)
其中，式(10)的右边第2项表示由粗动轴的加减速产生的惯性力。另外，在式(10)中，将驱动部作为刚体而模型化，忽略了摩擦等干扰的影响。
如果联立式(9)和式(10)求解，则得到下式。
【公式11】
Xf(s)＝Xmf(s)…(11)
即，微动轴电动机位置Xf，不管微动追随控制部4的特性如何，完全追随微动模型位置Xmf。如果合成轴位置指令Xr为定值，则由于微动模型位置Xmf收敛于0，因此微动轴电动机位置Xf也收敛于0。
根据上述内容，合成轴的电动机位置以下式表示。
【公式12】
Xa(s)＝Xmc(s)+Xmf(s)＝Xma(s)＝Ga(s)Xr…(12)
即，不管粗动规则模型部1、追随控制部的特性如何，合成轴电动机位置Xa完全追随合成规则模型部2的输出即合成模型位置Xma。合成规则模型部2不利用反馈信号，因此能够在不损害控制系统的稳定性的情况下设定为自由的响应。
接下来，对规则模型部的设定进行说明。将粗动规则模型部1的稳定状态中的响应延迟设为粗动规则模型部1的响应时间常数Tc。如果使用拉普拉斯变换的最终值定理，则该响应时间常数Tc由与粗动规则模型的参数Kc1相关的下式表示。
【公式13】
T c = lim s → 0 1 - G c ( s ) s = 1 K c 1 . . . ( 13 )
同样地，如果将合成规则模型部2的稳定状态中的响应延迟设为合成规则模型部2的响应时间常数Ta，则Ta由与合成规则模型的参数Ka1相关的下式表示。
【公式14】
T a = lim s → 0 1 - G a ( s ) s = 1 K a 1 . . . ( 14 )
在合成轴位置指令Xr以恒定的速度变化的情况下，将该变化率设为指令速度Fr。此时，追随误差在稳定状态时成为最大，稳定状态中的追随误差以指令速度和响应时间常数的乘积表示。即，粗动轴的追随误差的最大值为Fr·Tc，合成轴的追随误差的最大值成为Fr·Ta。此外，微动轴的追随误差的最大值成为Fr·(Tc－Ta)。
如图7所示，根据微动轴可动部52安装在粗动轴可动部51上的构造的关系，微动轴的可动范围与粗动轴的可动范围相比变小。在微动轴的可动范围处于以原点即微动轴电动机位置Xf为0的点为中心的－L至+L的范围时，为了不使微动模型位置Xmf超过可动范围，微动轴的追随误差的最大值Fr·(Tc－Ta)小于或等于L即可。
此处，假设粗动规则模型的响应时间常数被固定为Tc的情况。在该情况下，将合成规则模型的响应时间常数Ta设定为大于或等于(Tc－L/Fr)，以使得微动模型位置Xmf不超过微动轴的可动范围L。由于微动轴电动机位置Xf完全追随微动模型位置Xmf，因此如果微动模型位置Xmf不超过微动轴的可动范围L，则微动轴电动机位置Xf也不会超过可动范围。
如上所述，根据本实施方式1，能够进行控制以使得粗动轴和微动轴的合成位置完全追随所指示的合成轴位置，并且能够自由地设定粗动轴和微动轴的响应。此外，能够使得粗动轴加减速时在微动轴上产生的惯性力不会对微动轴的运动造成影响。
此外，根据本实施方式1，能够使模型位置和作为其二阶微分的模型加速度平滑化，抑制急剧变化从而平滑地驱动各驱动轴。此外，根据本实施方式1，在微动轴的可动范围受到限制，并且希望将粗动轴的响应保持为恒定的情况下，能够进行控制以使得微动轴的位置不超过可动范围。该操作能够通过在伺服控制装置10内设置的参数变更部(未图示)而执行。
另外，在本实施方式1中，粗动规则模型部1和合成规则模型部2的响应使用了二阶的低通滤波器，但还可以进一步是高阶滤波器。这样，能够进一步以更高的自由度设定伺服控制系统的响应的形状，例如得到平滑的响应，或者得到对称形状的响应等。
此外，在伺服控制装置10内的运算中，微分和减法的顺序也可以相反。例如，也可以从粗动规则模型部1输出对粗动模型位置Xmc进行了一阶微分后的粗动模型速度，从合成规则模型部2输出对合成模型位置Xma进行了一阶微分后的合成模型速度，并将合成模型速度和粗动模型速度的差作为模型速度而输入至微动追随控制部4。在该情况下，不需要微动追随控制部4中的微分运算部24。
如以上说明所示，在本实施方式涉及的伺服控制装置10中，能够进行控制，以使得粗动轴和微动轴的合成位置完全追随所指示的合成轴位置，并且能够自由地设定粗动轴和微动轴的响应。此外，能够使得粗动轴加减速时在微动轴上产生的惯性力不会对微动轴的运动造成影响。
实施方式2
图3是表示本发明的实施方式2涉及的伺服控制装置10的结构的框图。与实施方式1的不同点在于，将粗动轴位置指令而不是合成轴位置指令用于向粗动规则模型部1的输入。
此外，假设合成规则模型的响应时间常数被固定为Ta的情况。为了使微动轴的追随误差的最大值Fr·(Tc－Ta)小于或等于L，在该情况下，将粗动规则模型的响应时间常数Tc设定为小于或等于(Ta+L/Fr)，使得微动模型位置Xmf不超过微动轴的可动范围L。由于微动轴电动机位置Xf完全追随微动模型位置Xmf，因此如果微动模型位置Xmf不超过微动轴的可动范围L，则微动轴电动机位置Xf也不会超过可动范围。
如果将粗动轴位置指令设为Xrc，将合成轴位置指令设为Xra，与实施方式1同样地，以公式表示粗动轴电动机位置Xc，则以下式表示。
【公式15】
Xc(s)＝Xmc(s)＝Gc(s)Xrc(s)…(15)
即，粗动轴电动机位置Xc完全追随输入粗动轴位置指令Xrc时的粗动规则模型部1的响应。此外，合成轴电动机位置Xa以下式表示。
【公式16】
Xa(s)＝Xma(s)＝Ga(s)Xra(s)…(16)
此外，微动轴电动机位置Xf以下式表示。
【公式17】
Xf(s)＝Xma(s)-Xmc(s)＝Ga(s)Xra(s)-Gc(s)Xrc(s)…(17)
在粗动轴位置指令Xrc和合成轴位置指令Xra分别取定值的情况下，粗动轴电动机位置Xc变为与粗动轴位置指令Xrc相等，合成轴电动机位置Xa变为与合成轴位置指令Xra相等，微动轴电动机位置Xf变为与合成轴位置指令和粗动轴位置指令的差Xra－Xrc相等。
在实施方式1中，仅指示合成轴位置指令Xr，并且如果合成轴位置指令Xr为定值则微动轴电动机位置Xf收敛于0。另一方面，根据本实施方式2，能够进行控制，以使得粗动轴和微动轴的合成位置完全追随所指示的合成轴位置，并且能够自由地设定粗动轴和微动轴的响应。另外，能够使得粗动轴加减速时在微动轴上产生的惯性力不会对微动轴的运动造成影响。进而，能够通过在合成轴的位置的基础上，对粗动轴的位置进行指示而进行追随控制，从而能够进行独立地控制，以使得粗动轴和微动轴的位置成为规定的位置。
此外，根据本实施方式2，在微动轴的可动范围受到限制，并且希望将合成轴的响应保持为恒定的情况下，能够进行控制，以使得微动轴的位置不超过可动范围。该控制能够通过在伺服控制装置10内设置的参数变更部(未图示)而执行。
另外，在本实施方式2中，将合成轴位置指令Xra和粗动轴位置指令Xrc以进行输入的方式提供，但也可以提供合成轴位置指令和微动轴位置指令。在该情况下，粗动轴位置指令通过从合成轴位置指令减去微动轴位置指令而求出。此外，也可以提供粗动轴位置指令和微动轴位置指令。在该情况下，合成轴位置指令通过将粗动轴位置指令和微动轴位置指令相加而求出。
实施方式3
图4是表示本发明的实施方式3涉及的伺服控制装置10的结构的框图。与实施方式2大致相同，但不同点在于，将粗动模型位置Xmc输入至单位换算部8，从合成模型位置Xma中减去单位换算部8的输出，而作为微动模型位置Xmf。在本实施方式3中，粗动轴由旋转伺服电动机和滚珠丝杠驱动，微动轴由线性伺服电动机驱动。因此，作为与实施方式2的不同点，在从合成模型位置Xma减去粗动模型位置Xmc时，从合成模型位置Xma减去将粗动模型位置Xmc输入至单位换算部8而得到的输出。即，在将粗动模型位置Xmc换算为微动轴的控制单位之后，再从合成模型位置Xma减去该粗动模型位置Xmc。
此外，在本实施方式3中，将图5中所示的框图的结构使用在微动轴的微动追随控制部4中。图5和图2的不同点在于，与将旋转伺服电动机变更为线性伺服电动机相对应地，将转矩运算部25替换为推力运算部26，进而电动机驱动指令信号不是转矩指令而是推力指令。在推力运算部26中，将微动轴的可动部的总质量乘以模型加速度而运算模型推力。
粗动轴由旋转伺服电动机驱动，因此控制单位为旋转角度(rad)，但微动轴由线性伺服电动机驱动，因此控制单位为长度(m)。因此，在单位换算部8中，将所输入的粗动模型位置除以2π，并进一步乘以滚珠丝杠导程即旋转伺服电动机旋转一圈时可动部移动的距离，通过这样的运算，进行单位的换算。
如上所述，根据本实施方式3，能够进行控制，以使得粗动轴和微动轴的合成位置完全追随所指示的合成轴位置，并且能够自由地设定粗动轴和微动轴的响应。此外，能够使得粗动轴加减速时在微动轴上产生的惯性力不会对微动轴的运动造成影响。进而，即使在例如粗动轴由旋转电动机驱动，微动轴由线性电动机驱动这样的、粗动轴和微动轴的位置控制系统的控制单位不同的情况下，也能够使粗动轴和微动轴协调地进行控制。
另外，即使在如粗动轴由旋转伺服电动机和滚珠丝杠驱动，微动轴由线性伺服电动机驱动的情况下，在粗动轴和微动轴的位置控制系统的控制单位不同的情况下，也可以如实施方式1这样，将合成轴位置指令作为位置指令而同时输入至粗动规则模型部1和合成规则模型部2。或者，也可以作为位置指令而提供合成轴位置指令和微动轴位置指令。在该情况下，通过从合成轴位置指令减去微动轴位置指令而求出粗动轴位置指令。此外，也可以提供粗动轴位置指令和微动轴位置指令。在该情况下，通过将粗动轴位置指令和微动轴位置指令相加而求出合成轴位置指令。
实施方式4
图6是表示本发明的实施方式4涉及的粗动轴伺服控制装置11和微动轴伺服控制装置12的结构的框图。该结构与实施方式2涉及的图3的伺服控制装置10的结构大致相同，但不同点在于，形成分离为粗动轴伺服控制装置11和微动轴伺服控制装置12的装置。另外，不同点还在于，将粗动模型位置Xmc和粗动模型加速度输入至粗动轴定时校正部13所得到的输出作为延迟粗动模型位置和延迟粗动模型加速度而输入至粗动追随控制部3。并且，不同点还在于，将合成模型位置Xma和合成模型加速度输入至合成轴定时校正部14所得到的输出作为延迟合成模型位置和延迟合成模型加速度，将延迟合成模型位置和粗动轴伺服控制装置11的粗动模型位置的差作为延迟微动模型位置，并将延迟微动模型位置和延迟合成模型加速度输入至微动追随控制部4。
在将粗动轴伺服控制装置11和微动轴伺服控制装置12分离的结构的情况下，需要从粗动轴伺服控制装置11向微动轴伺服控制装置12发送粗动模型位置Xmc。在此时的通信所需要的时间是相对于伺服控制系统的响应时间常数不能忽略的数量级的时间的情况下，由于通信的时间延迟而在合成轴的位置响应中产生误差。因此，在粗动轴定时校正部13和合成轴定时校正部14中，进行使模型位置和模型加速度的定时产生与通信的时间延迟相对应的延迟量的运算。使定时延迟的运算采用下述方式进行，即依次存储与希望延迟的时间相当的采样数目的数据，与希望延迟的时间相对应而输出之前的数据。
另外，在本实施方式中，粗动轴也能够由旋转伺服电动机和滚珠丝杠驱动，微动轴也能够由线性伺服电动机驱动。如上所述，如果粗动轴和微动轴的位置控制系统的控制单位不同，则如实施方式3的说明所述，如果设置图4所示的单位换算部8，则能够求出延迟微动模型位置。只要在将粗动模型位置Xmc换算为微动轴的控制单位之后，在减法器7中从延迟合成模型位置中减去换算后的粗动模型位置Xmc而求出延迟微动模型位置，并将其输入至微动追随控制部4即可。在该情况下，单位换算部8可以设置在粗动轴伺服控制装置11和微动轴伺服控制装置12的任意一者中，也可以设置在粗动轴伺服控制装置11和微动轴伺服控制装置12之间。
此外，也可以如实施方式1所述这样，将合成轴位置指令作为位置指令而同时输入至粗动规则模型部1和合成规则模型部2中。或者，也可以作为位置指令提供合成轴位置指令和微动轴位置指令。在该情况下，粗动轴位置指令通过从合成轴位置指令减去微动轴位置指令而求出。此外，也可以提供粗动轴位置指令和微动轴位置指令。在该情况下，合成轴位置指令通过将粗动轴位置指令和微动轴位置指令相加而求出。
根据本实施方式4，能够进行控制，以使得粗动轴和微动轴的合成位置完全追随所指示的合成轴位置，并且能够自由地设定粗动轴和微动轴的响应。此外，能够使得粗动轴加减速时在微动轴上产生的惯性力不会对微动轴的运动造成影响。进而，即使在不能使粗动轴和微动轴的伺服控制装置一体化这样的情况下，也能够使粗动轴和微动轴协调地进行控制。
此外，本申请发明不限于上述实施方式，能够在实施阶段在不超过其要旨的范围内进行各种变形。此外，在上述实施方式中包含各种阶段的发明，能够通过对所公开的多个构成要素进行适当地组合而提取出各种发明。例如，在即使从上述实施方式中所示的全部构成要素中删除几个构成要素，仍能够解决发明所要解决的课题一栏中所述的课题，并能够得到发明的效果一栏中所述的效果的情况下，能够将删除了这些构成要素后的结构作为发明提取出。并且，也可以对不同实施方式的构成要素进行适当地组合。
工业实用性
如上所述，本发明涉及的伺服控制装置在下述伺服控制装置中是有效的，即，该伺服控制装置在使用激光加工机、工作机械等机械进行加工的情况下，进行控制以使得激光头、刀具相对于工件的位置沿着指示的路径行进，特别是，本发明涉及的伺服控制装置适用于使用粗动和微动这两个致动器控制一个移动方向的运动的伺服控制装置。
标号的说明
1粗动规则模型部、2合成规则模型部、3粗动追随控制部、4微动追随控制部、5粗动轴电动机、6微动轴电动机、7减法器、8单位换算部、10伺服控制装置、11粗动轴伺服控制装置、12微动轴伺服控制装置、13粗动轴定时校正部、14合成轴定时校正部、20追随控制部、21位置控制部、22速度控制部、23微分运算部、24微分运算部、25转矩运算部、26推力运算部、31减法器、32加减法器、33加法器、50粗动轴固定部、51粗动轴可动部、52微动轴可动部。

Claims (13)

1.一种伺服控制装置，其具有：粗动轴电动机，其驱动粗动轴在由可动机构确定的移动方向上进行直线移动；以及微动轴电动机，其安装在所述粗动轴的可动部上，驱动微动轴在所述粗动轴的可动部之上进行直线移动，该伺服控制装置对合成轴的位置进行控制，该合成轴的位置是基于所述微动轴的可动部相对于所述粗动轴的固定部的位置而决定的，
该伺服控制装置的特征在于，具有：
粗动规则模型部，其基于位置指令进行规定的滤波运算，从而计算粗动模型位置；
粗动追随控制部，其基于从所述粗动轴电动机提供的粗动轴电动机位置、和所述粗动模型位置，对所述粗动轴电动机进行控制，以使得所述粗动轴电动机位置追随所述粗动模型位置；
合成规则模型部，其基于位置指令进行规定的滤波运算，从而计算合成模型位置；
微动追随控制部，其基于从所述微动轴电动机提供的微动轴电动机位置、和根据所述合成模型位置及所述粗动模型位置求出的微动模型位置，对所述微动轴电动机进行控制，以使得所述微动轴电动机位置追随所述微动模型位置；以及
参数变更部，其基于所述位置指令的变化率、和所述粗动规则模型部的所述粗动模型位置相对于所述位置指令的响应时间常数，在所述微动模型位置不超过所述微动轴的可动范围的范围内，对所述合成规则模型部的所述合成模型位置相对于所述位置指令的响应时间常数进行设定。
2.一种伺服控制装置，其具有：粗动轴电动机，其驱动粗动轴在由可动机构确定的移动方向上进行直线移动；以及微动轴电动机，其安装在所述粗动轴的可动部上，驱动微动轴在所述粗动轴的可动部之上进行直线移动，该伺服控制装置对合成轴的位置进行控制，该合成轴的位置是基于所述微动轴的可动部相对于所述粗动轴的固定部的位置而决定的，
该伺服控制装置的特征在于，具有：
粗动规则模型部，其基于位置指令进行规定的滤波运算，从而计算粗动模型位置；
粗动追随控制部，其基于从所述粗动轴电动机提供的粗动轴电动机位置、和所述粗动模型位置，对所述粗动轴电动机进行控制，以使得所述粗动轴电动机位置追随所述粗动模型位置；
合成规则模型部，其基于位置指令进行规定的滤波运算，从而计算合成模型位置；
微动追随控制部，其基于从所述微动轴电动机提供的微动轴电动机位置、和根据所述合成模型位置及所述粗动模型位置求出的微动模型位置，对所述微动轴电动机进行控制，以使得所述微动轴电动机位置追随所述微动模型位置；以及
参数变更部，该参数变更部基于所述位置指令的变化率、和所述合成规则模型部的所述合成模型位置相对于所述位置指令的响应时间常数，在所述微动模型位置不超过所述微动轴的可动范围的范围内，对所述粗动规则模型部的所述粗动模型位置相对于所述位置指令的响应时间常数进行设定。
3.根据权利要求1或2所述的伺服控制装置，其特征在于，
所述位置指令是与所述合成轴的位置相关的指令，
所述粗动规则模型部基于与所述合成轴的位置相关的指令，计算粗动模型加速度，
所述粗动追随控制部基于所述粗动模型加速度，控制所述粗动轴电动机，
所述合成规则模型部基于与所述合成轴的位置相关的指令，计算合成模型加速度，
所述微动追随控制部基于所述合成模型加速度，控制所述微动轴电动机。
4.根据权利要求1或2所述的伺服控制装置，其特征在于，
所述位置指令是与所述粗动轴的位置和所述合成轴的位置相关的指令，
所述粗动规则模型部基于与所述粗动轴的位置相关的指令，计算所述粗动模型位置和粗动模型加速度，
所述粗动追随控制部基于所述粗动模型加速度，控制所述粗动轴电动机，
所述合成规则模型部基于与所述合成轴的位置相关的指令，计算所述合成模型位置和合成模型加速度，
所述微动追随控制部基于所述合成模型加速度，控制所述微动轴电动机。
5.根据权利要求3所述的伺服控制装置，其特征在于，具有粗动轴伺服控制部和微动轴伺服控制部，其中，
该粗动轴伺服控制部具有：所述粗动规则模型部；粗动轴定时校正部，其使所述粗动模型位置和所述粗动模型加速度的定时分别延迟规定的时间，输出延迟粗动模型位置和延迟粗动模型加速度；以及所述粗动追随控制部，其基于所述延迟粗动模型位置和所述延迟粗动模型加速度，控制所述粗动轴电动机，
该微动轴伺服控制部具有：所述合成规则模型部；合成轴定时校正部，其使所述合成模型位置和所述合成模型加速度的定时分别延迟规定的时间，输出延迟合成模型位置和延迟合成模型加速度；以及所述微动追随控制部，其基于根据所述延迟合成模型位置和所述粗动模型位置而求出的延迟微动模型位置、和所述延迟合成模型加速度，控制所述微动轴电动机。
6.根据权利要求4所述的伺服控制装置，其特征在于，具有粗动轴伺服控制部和微动轴伺服控制部，其中，
该粗动轴伺服控制部具有：所述粗动规则模型部；粗动轴定时校正部，其使所述粗动模型位置和所述粗动模型加速度的定时分别延迟规定的时间，输出延迟粗动模型位置和延迟粗动模型加速度；以及所述粗动追随控制部，其基于所述延迟粗动模型位置和所述延迟粗动模型加速度，控制所述粗动轴电动机，
该微动轴伺服控制部具有：所述合成规则模型部；合成轴定时校正部，其使所述合成模型位置和所述合成模型加速度的定时分别延迟规定的时间，输出延迟合成模型位置和延迟合成模型加速度；以及所述微动追随控制部，其基于根据所述延迟合成模型位置和所述粗动模型位置而求出的延迟微动模型位置、和所述延迟合成模型加速度，控制所述微动轴电动机。
7.根据权利要求5所述的伺服控制装置，其特征在于，
所述延迟微动模型位置是所述延迟合成模型位置和所述粗动模型位置的差。
8.根据权利要求6所述的伺服控制装置，其特征在于，
所述延迟微动模型位置是所述延迟合成模型位置和所述粗动模型位置的差。
9.根据权利要求3所述的伺服控制装置，其特征在于，
所述粗动规则模型部的所述粗动模型位置相对于所述位置指令的响应特性以及所述合成规则模型部的所述合成模型位置相对于所述位置指令的响应特性，都具有高频截止特性，所述粗动模型加速度是所述粗动模型位置的二阶微分，所述合成模型加速度是所述合成模型位置的二阶微分。
10.根据权利要求4所述的伺服控制装置，其特征在于，
所述粗动规则模型部的所述粗动模型位置相对于所述位置指令的响应特性以及所述合成规则模型部的所述合成模型位置相对于所述位置指令的响应特性，都具有高频截止特性，所述粗动模型加速度是所述粗动模型位置的二阶微分，所述合成模型加速度是所述合成模型位置的二阶微分。
11.根据权利要求1或2所述的伺服控制装置，其特征在于，
具有单位换算部，该单位换算部对所述粗动模型位置进行单位换算并输出，
根据所述合成模型位置、和通过所述单位换算部进行单位换算后的所述粗动模型位置，求出所述微动模型位置。
12.根据权利要求1或2所述的伺服控制装置，其特征在于，
所述微动模型位置是所述合成模型位置和所述粗动模型位置的差。
13.根据权利要求1或2所述的伺服控制装置，其特征在于，
基于与所述合成轴的位置和所述微动轴的位置相关的指令求出所述位置指令，或者，基于与所述粗动轴的位置和所述微动轴的位置相关的指令求出所述位置指令。
CN201280069273.0A 2012-02-08 2012-12-20 伺服控制装置 Active CN104115083B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012025542 2012-02-08
JP2012-025542 2012-02-08
PCT/JP2012/083140 WO2013118404A1 (ja) 2012-02-08 2012-12-20 サーボ制御装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104115083A CN104115083A (zh) 2014-10-22
CN104115083B true CN104115083B (zh) 2016-06-15

Family

ID=48947191

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201280069273.0A Active CN104115083B (zh) 2012-02-08 2012-12-20 伺服控制装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10061277B2 (zh)
JP (1) JP5744243B2 (zh)
CN (1) CN104115083B (zh)
DE (1) DE112012005841T5 (zh)
WO (1) WO2013118404A1 (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107077127B (zh) * 2014-09-30 2019-12-31 株式会社牧野铣床制作所 进给轴控制方法及数值控制机床
EP3356671B1 (en) 2015-09-28 2019-11-06 Vestas Wind Systems A/S Fast reacting control system for wind turbine
WO2017212685A1 (ja) * 2016-06-09 2017-12-14 三菱電機株式会社 サーボ制御装置
JP6426770B2 (ja) * 2017-02-06 2018-11-21 ファナック株式会社 サーボ制御装置
JP6426771B2 (ja) * 2017-02-06 2018-11-21 ファナック株式会社 サーボ制御装置
JP6914737B2 (ja) * 2017-06-02 2021-08-04 旭化成エレクトロニクス株式会社 駆動装置、デバイス、駆動システム、駆動方法、およびプログラム
CN110405837B (zh) * 2019-08-12 2021-09-21 广东三维家信息科技有限公司 工艺加工方法、装置及加工设备

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2721757B2 (ja) * 1991-05-24 1998-03-04 工業技術院長 位置決め制御方法及び装置
CN1213440A (zh) * 1996-03-12 1999-04-07 电科学工业公司 多刀具定位系统
JP2003005839A (ja) * 2001-06-22 2003-01-08 Sony Corp サーボ制御装置及びサーボ制御方法
CN1523465A (zh) * 2003-02-20 2004-08-25 ������������ʽ���� 伺服控制装置
JP2007095035A (ja) * 2005-08-16 2007-04-12 Prima Industrie Spa 冗長なアクチュエータを有するシステムの管理方法
CN101523313A (zh) * 2006-09-28 2009-09-02 三菱电机株式会社 伺服控制装置
WO2011039929A1 (ja) * 2009-09-30 2011-04-07 三菱電機株式会社 位置決め制御装置
CN102245349A (zh) * 2008-12-09 2011-11-16 三菱电机株式会社 机械运动轨迹测定装置、数控机床及机械运动轨迹测定方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0737786A (ja) * 1993-07-21 1995-02-07 Canon Inc ステージ位置決め制御方法
US5751585A (en) 1995-03-20 1998-05-12 Electro Scientific Industries, Inc. High speed, high accuracy multi-stage tool positioning system
JP2003141833A (ja) 2001-11-05 2003-05-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd ヘッド位置決め装置、およびこれを用いたディスク装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2721757B2 (ja) * 1991-05-24 1998-03-04 工業技術院長 位置決め制御方法及び装置
CN1213440A (zh) * 1996-03-12 1999-04-07 电科学工业公司 多刀具定位系统
JP2003005839A (ja) * 2001-06-22 2003-01-08 Sony Corp サーボ制御装置及びサーボ制御方法
CN1523465A (zh) * 2003-02-20 2004-08-25 ������������ʽ���� 伺服控制装置
JP2007095035A (ja) * 2005-08-16 2007-04-12 Prima Industrie Spa 冗長なアクチュエータを有するシステムの管理方法
CN101523313A (zh) * 2006-09-28 2009-09-02 三菱电机株式会社 伺服控制装置
CN102245349A (zh) * 2008-12-09 2011-11-16 三菱电机株式会社 机械运动轨迹测定装置、数控机床及机械运动轨迹测定方法
WO2011039929A1 (ja) * 2009-09-30 2011-04-07 三菱電機株式会社 位置決め制御装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20140371916A1 (en) 2014-12-18
US10061277B2 (en) 2018-08-28
JPWO2013118404A1 (ja) 2015-05-11
WO2013118404A1 (ja) 2013-08-15
CN104115083A (zh) 2014-10-22
JP5744243B2 (ja) 2015-07-08
DE112012005841T5 (de) 2014-10-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104115083B (zh) 伺服控制装置
CN102904521B (zh) 具有同时推定惯量、摩擦和弹性的功能的电动机控制装置
Tajima et al. Accurate interpolation of machining tool-paths based on FIR filtering
CN100431785C (zh) 机床加工端控制器
US10481580B2 (en) Trajectory control device
CN100349080C (zh) 同步控制装置
CN101727088B (zh) 用于数控机床的位置控制装置
JP4975872B1 (ja) 多軸加工機用速度制御機能を有する数値制御装置
JP5762625B2 (ja) 軌跡制御装置
CN105814506A (zh) 摩擦辨识方法以及摩擦辨识装置
CN105190462A (zh) 伺服控制装置
CN109474207B (zh) 一种提高多轴运动系统同步性能的控制方法
CN103853099A (zh) 具有被驱动体的位置修正功能的伺服控制装置
CN103760816B (zh) 基于任务极坐标系的伺服系统轮廓控制方法
CN105929791A (zh) 平面直角坐标运动系统的直接轮廓控制方法
JP2003058213A (ja) 数値制御装置
CN103907070A (zh) 伺服控制装置
Zia et al. Application of LabView and cRIO for high precision positioning of mars rover using DC motors
Breaz et al. Computer simulation for the study of CNC feed drives dynamic behavior and accuracy
CN103853098B (zh) 一种应用于雕铣机的伺服位置控制方法
CN105871262B (zh) 电动机控制装置
JP2004130444A (ja) 同期制御装置
RU92975U1 (ru) Система управления многокоординатным следящим электроприводом технологического оборудования
He et al. Synchronization control of biaxial electric coordination
Fujisaki et al. Motion-Copying System with In-Tool Sensing

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant