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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103969940A (zh) 2014-04-22 2014-08-06 京东方科技集团股份有限公司 相移掩模板和源漏掩模板
JP6581759B2 (ja) * 2014-07-17 2019-09-25 Hoya株式会社 フォトマスク、フォトマスクの製造方法、フォトマスクブランク及び表示装置の製造方法
JP6335735B2 (ja) * 2014-09-29 2018-05-30 Hoya株式会社 フォトマスク及び表示装置の製造方法
JP6767735B2 (ja) * 2015-06-30 2020-10-14 Hoya株式会社 フォトマスク、フォトマスクの設計方法、フォトマスクブランク、および表示装置の製造方法
JP6726553B2 (ja) * 2015-09-26 2020-07-22 Hoya株式会社 フォトマスクの製造方法、及び表示装置の製造方法
WO2018123462A1 (ja) * 2016-12-28 2018-07-05 富士フイルム株式会社 パターンの製造方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法
JP6259509B1 (ja) * 2016-12-28 2018-01-10 株式会社エスケーエレクトロニクス ハーフトーンマスク、フォトマスクブランクス及びハーフトーンマスクの製造方法
CN108319103B (zh) * 2017-01-16 2023-11-28 Hoya株式会社 相移掩模坯料及使用其的相移掩模的制造方法、以及显示装置的制造方法
JP7080070B2 (ja) * 2017-03-24 2022-06-03 Hoya株式会社 フォトマスク、及び表示装置の製造方法
JP2019012280A (ja) * 2018-09-19 2019-01-24 Hoya株式会社 フォトマスク、フォトマスクの製造方法、フォトマスクブランク及び表示装置の製造方法
TWI712851B (zh) * 2018-10-22 2020-12-11 日商Hoya股份有限公司 光罩、光罩之製造方法及電子元件之製造方法
JP7261709B2 (ja) * 2019-09-13 2023-04-20 Hoya株式会社 フォトマスク、フォトマスクの製造方法及び表示装置の製造方法
JP7383490B2 (ja) * 2020-01-07 2023-11-20 株式会社エスケーエレクトロニクス フォトマスク
JP6872061B2 (ja) * 2020-05-11 2021-05-19 Hoya株式会社 フォトマスク及び表示装置の製造方法

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0311345A (ja) * 1989-06-08 1991-01-18 Oki Electric Ind Co Ltd ホトマスク及びこれを用いたパターン形成方法
JPH03177841A (ja) * 1989-12-06 1991-08-01 Oki Electric Ind Co Ltd ネガ型レジスト用ホトマスク
JPH05158214A (ja) * 1991-03-13 1993-06-25 Ryoden Semiconductor Syst Eng Kk 位相シフトマスクおよびその製造方法
JP2933759B2 (ja) * 1991-09-12 1999-08-16 川崎製鉄株式会社 位相シフトマスクの製造方法
JPH06123961A (ja) * 1992-10-12 1994-05-06 Hoya Corp 位相シフトマスク及び位相シフトマスクブランク並びに位相シフトマスクの製造方法
JPH0798493A (ja) * 1993-09-28 1995-04-11 Toppan Printing Co Ltd 位相シフトマスク及びその製造方法
KR19980016800A (ko) * 1996-08-29 1998-06-05 김광호 위상반전 마스크 및 그 제조방법
EP1542073A3 (en) * 1999-11-08 2009-02-18 Panasonic Corporation Patterning method
JP4314288B2 (ja) * 2001-12-26 2009-08-12 パナソニック株式会社 フォトマスク
JP3984626B2 (ja) * 2001-12-26 2007-10-03 松下電器産業株式会社 パターン形成方法
US7011910B2 (en) * 2002-04-26 2006-03-14 Hoya Corporation Halftone-type phase-shift mask blank, and halftone-type phase-shift mask
JP3759138B2 (ja) * 2003-02-17 2006-03-22 松下電器産業株式会社 フォトマスク
US7147975B2 (en) * 2003-02-17 2006-12-12 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Photomask
JP4314285B2 (ja) * 2003-02-17 2009-08-12 パナソニック株式会社 フォトマスク
JP2004279484A (ja) * 2003-03-12 2004-10-07 Dainippon Printing Co Ltd 位相シフトマスク
JP4009219B2 (ja) * 2003-04-10 2007-11-14 松下電器産業株式会社 フォトマスク、そのフォトマスクを用いたパターン形成方法及びマスクデータ作成方法
JP4574343B2 (ja) * 2004-12-15 2010-11-04 三星電子株式会社 位相シフトマスク及びパターン形成方法
CN100570480C (zh) * 2005-08-02 2009-12-16 联华电子股份有限公司 设计掩模的方法
KR20080107242A (ko) * 2006-03-06 2008-12-10 파나소닉 주식회사 포토마스크, 그 작성방법, 그 포토마스크를 이용한패턴형성방법 및 마스크데이터 작성방법
JP4993934B2 (ja) * 2006-03-31 2012-08-08 Hoya株式会社 パターン欠陥検査方法、フォトマスクの製造方法、及び表示デバイス用基板の製造方法
TWI331253B (en) * 2006-12-25 2010-10-01 Nanya Technology Corp Alternating phase shift mask and method of the same
TWI422961B (zh) * 2007-07-19 2014-01-11 Hoya Corp 光罩及其製造方法、圖案轉印方法、以及顯示裝置之製造方法
JP4934237B2 (ja) * 2007-09-29 2012-05-16 Hoya株式会社 グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク、並びにパターン転写方法
JP2009128558A (ja) * 2007-11-22 2009-06-11 Hoya Corp フォトマスク及びフォトマスクの製造方法、並びにパターン転写方法
JP5588633B2 (ja) 2009-06-30 2014-09-10 アルバック成膜株式会社 位相シフトマスクの製造方法、フラットパネルディスプレイの製造方法及び位相シフトマスク
TWI461833B (zh) * 2010-03-15 2014-11-21 Hoya Corp 多調式光罩、多調式光罩之製造方法及圖案轉印方法
JP2011215226A (ja) * 2010-03-31 2011-10-27 Hoya Corp 多階調フォトマスク、多階調フォトマスクの製造方法、多階調フォトマスク用ブランク及びパターン転写方法
JP5400698B2 (ja) * 2010-04-28 2014-01-29 Hoya株式会社 多階調フォトマスク、多階調フォトマスクの製造方法、パターン転写方法及び多階調フォトマスクの使用方法

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