JP2013250231A - 位相差検出装置、位相差検出プログラム及び位相差検出装置を用いたプラズマ処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】位相差演算部は、検出される2つの電圧v1(位相角φ1),v2(位相角φ2)の位相差φr(=φ2−φ1)を算出する。生成された電圧v1,v2の基本周波数と同一周波数の正弦波vsと余弦波vcを用いてv2s=v2×vs、v2c=v2×vc、v1s=v1×vs、v1c=v1×vcの演算をした後、ローパスフィルタで直流成分I2=(A2/2)・sin(φ2)、R2=(A2/2)・cos(φ2)、I1=(A1/2)・sin(φ1)、R1=(A1/2)・cos(φ1)を抽出する。複素乗算器でR3=R1×R2+I1×I2を演算してR3=(A1・A2/4)・cos(φr)算出し、I3=R2×I1−R1×I2を演算してI3=(A1・A2/4)・sin(φr)を算出し、逆正接演算器でφr=tan-1(I3/R3)を演算して位相差φrを算出する。
【選択図】図5
Description
sa=s1×s3=A1・cos(ω・t)・cos((ω+ωo)・t)
=(1/2)・[cos((2ω+ωo)・t)+cos(ωo・t)]
sb=s2×s3=A1・cos(ω・t+φ)・cos((ω+ωo)・t)
=(1/2)・[cos((2ω+ωo+φ)・t)+cos(ωo・t+φ)]
で表わされる。
v1[k]=A1・cos(2π・f0・k+φ1)+h1[k]
v2[k]=A2・cos(2π・f0・k+φ2)+h2[k]
で表わされる。
v1c[k]=v1[k]×vc[k] …(1)
v2c[k]=v2[k]×vc[k] …(2)
v1s[k]=v1[k]×vs[k] …(3)
v2s[k]=v2[k]×vs[k] …(4)
の演算処理を行って離散時間信号v1c[k],v2c[k],v1s[k],v2s[k]を算出する。
v1c[k]=(A1/2)・cos(φ1)+(A1/2)・cos(4π・f0・k+φ1))
+h1[k]・cos(2π・f0・k)…(5)
v2c[k]=(A2/2)・(cos(φ2)+(A2/2)・cos(4π・f0・k+φ2)
+h2[k]・cos(2π・f・k)…(6)
v1s[k]=(A1/2)・(-sin(φ1)+(A1/2)・sin(4π・f0・k+φ1))
+h1[k]・sin(2π・f0・k)…(7)
v2s[k]=(A2/2)・(-sin(φ2)+(A2/2)・sin(4π・f0・k+φ2))
+h2[k]・sin(2π・f0・k)…(8)
となる。
R3=R1×R2+I1×I2 …(9)
=(A1・A2/4)[cos(φ1)・cos(φ2)+sin(φ1)・sin(φ2)]
=(A1・A2/4)・cos(φ2−φ1)=(A1・A2/4)・cos(φr)
I3=R2×I1−R1×I2 …(10)
=(A1・A2/4)・[−sin(φ1)・cos(φ2)+cos(φ1)・sin(φ2)]
=(A1・A2/4)・sin(φ2−φ1)=(A1・A2/4)・sin(φr)
I3/R3=tan(φr)
であるから、位相差φrは、
φr=tan-1(I3/R3) …(11)
の、演算式によって求めることができる。
2 高周波電源装置(第1の高周波発生手段)
3 高周波電源装置(第2の高周波発生手段)
4,5 インピーダンス整合装置
6,7 交流電圧計(交流電圧検出手段)
8 位相差制御装置
81 第1信号生成部(第1の高周波指令信号生成手段)
811 加算器(第2の加算手段)
812 周波数設定用レジスタ(第2の周波数保持手段)
813 ルックアップテーブル(第2の波形記憶手段)
814 D/A変換器(第1の信号変換手段)
82 第2信号生成部(第2の高周波指令信号生成手段)
821 加算器(第3の加算手段)
822 周波数設定用レジスタ(第3の周波数保持手段)
823 ルックアップテーブル(第2の波形記憶手段)
824 D/A変換器(第2の信号変換手段)
825 位相差設定用レジスタ(位相差保持手段)
826 加算器(第4の加算手段)
83 第3信号生成部(余弦波生成手段)
84 第4信号生成部(正弦波生成手段)
85 位相差演算部(位相差検出装置)
851a,851b A/D変換器
852a 乗算器(第3の信号乗算手段)
852b 乗算器(第4の信号乗算手段)
852c 乗算器(第1の信号乗算手段)
852d 乗算器(第2の信号乗算手段)
853a〜853d ローパスフィルタ(直流成分抽出手段)
854 符号反転器(三角関数値演算手段の要素)
855 複素乗算器(三角関数値演算手段)
856 逆正接演算器(位相差演算手段)
86 加算器(演算手段)
87 クロック(第1,第2のクロック発生手段)
9 プラズマチャンバー
10 入力装置(入力手段)
Claims (6)
- 第1の交流信号と、この第1の交流信号の基本周波数と同一の周波数を有する第2の交流信号との位相差を検出する位相差検出装置であって、
前記基本周波数と同一の周波数を有する正弦波信号を生成する正弦波生成手段と、
前記基本周波数と同一の周波数を有する余弦波信号を生成する余弦波生成手段と、
前記第1の交流信号と前記正弦波信号との乗算を行う第1の信号乗算手段と、
前記第1の交流信号と前記余弦波信号との乗算を行う第2の信号乗算手段と、
前記第2の交流信号と前記正弦波信号との乗算を行う第3の信号乗算手段と、
前記第2の交流信号と前記余弦波信号との乗算を行う第4の信号乗算手段と、
前記第1の信号乗算手段乃至前記4の信号乗算手段の各乗算結果に含まれる交流成分をそれぞれ除去して4つの直流成分を抽出する直流成分抽出手段と、
前記4つの直流成分を用いた所定の演算処理によって前記位相差の余弦値と正弦値の三角関数値を算出する三角関数値演算手段と、
前記三角関数値演算手段で算出された前記余弦値と前記正弦値を用いて、前記余弦値に対する前記正弦値の比の逆正接演算を行うことにより前記位相差を算出する位相差演算手段と、
を備えたことを特徴とする位相差検出装置。 - 前記第1の交流信号をA1・cos(2π・f0・t+φ1)+h1(t)(h1(t)は高調波成分の総和)とし、前記第2の交流信号をA2・cos(2π・f0・t+φ2)+h2(t)(h1(t)は高調波成分の総和)とすると、
前記正弦波生成手段により生成される正弦波信号と前記余弦波生成手段により生成される余弦波信号は、sin(2π・f0・t)とcos(2π・f0・t)で表わされ、
前記直流分成分抽出手段より抽出される4つの直流成分は、R1=(A1/2)・cos(φ1)、I1=(A1/2)・sin(φ1)、R2=(A2/2)・cos(φ2)、I2=(A2/2)・sin(φ2)で表わされ、
前記三角関数値演算手段は、R1×R2+I1×I2の演算処理により(A1・A2/4)・cos(φr)(但し、φr=φ2−φ1)で表わされる余弦値を算出し、R2×I1−R1×I2の演算処理により(A1・A2/4)・sin(φr)で表わされる正弦値を算出する、請求項1に記載の位相差検出装置。 - 前記正弦波生成手段と前記余弦波生成手段は、
第1の基準クロックを発生する第1のクロック発生手段と、
前記第1の交流信号の基本周波数の値を保持する第1の周波数保持手段と、
前記第1の基準クロックのクロックパルスが入力される毎に前記第1の周波数保持手段に保持された前記基本周波数の値と加算結果とを加算して出力する第1の加算手段と、
所定の正弦波又は余弦波の波高値のテーブルが記憶され、前記第1の加算器から加算結果が出力される毎にその加算結果に対応する波高値を出力する第1の波形記憶手段と、
を含むダイレクト・ディジタル・シンセサイザによって構成される、請求項1又は2に記載の位相差検出装置。 - コンピュータを、第1の交流信号と、この第1の交流信号の基本周波数と同一の周波数を有する第2の交流信号との位相差を検出する位相差検出装置として機能させる位相差検出プログラムであって、
前記コンピュータを、
前記基本周波数と同一の周波数を有する正弦波信号を生成する正弦波生成手段と、
前記基本周波数と同一の周波数を有する余弦波信号を生成する余弦波生成手段と、
前記第1の交流信号と前記正弦波信号との乗算を行う第1の信号乗算手段と、
前記第1の交流信号と前記余弦波信号との乗算を行う第2の信号乗算手段と、
前記第2の交流信号と前記正弦波信号との乗算を行う第3の信号乗算手段と、
前記第2の交流信号と前記余弦波信号との乗算を行う第4の信号乗算手段と、
前記第1の信号乗算手段乃至前記4の信号乗算手段の各乗算結果に含まれる交流成分をそれぞれ除去して4つの直流成分を抽出する直流成分抽出手段と、
前記4つの直流成分を用いた所定の演算処理によって前記位相差の余弦値と正弦値の三角関数値を算出する三角関数値演算手段と、
前記三角関数値演算手段で算出された前記余弦値と前記正弦値を用いて、前記余弦値に対する前記正弦値の比の逆正接演算を行うことにより前記位相差を算出する位相差演算手段と、
して機能させることを特徴とする位相差検出プログラム。 - プラズマチャンバーの一対の電極に周波数が同一で所定の位相差を有する2つの高周波電圧を供給して被加工物のプラズマ処理を行うプラズマ処理システムであって、
請求項1乃至3のいずれかに記載の位相差検出装置と、
前記一対の電極の各入力端における交流電圧を検出し、一方の検出電圧を前記第1の交流信号とし、他方の検出電圧を前記第2の交流信号として前記位相差検出装置に出力する交流電圧検出手段と、
前記周波数と前記位相差の制御値を入力する入力手段と、
前記入力手段で入力された前記位相差の制御値と前記位相差検出装置で検出された位相差との差分を算出する演算手段と、
前記周波数の制御値に基づいて当該周波数を有し且つ位相角が零の第1の高周波指令信号を生成する第1の高周波指令信号生成手段と、
前記周波数の制御値と前記演算手段で算出された前記位相差の差分とに基づいて当該周波数を有し且つ当該位相差の差分の位相角を有する第2の高周波指令信号を生成する第2の高周波指令信号生成手段と、
前記第1の高周波指令信号に基づいて前記周波数の制御値を有し且つ位相角が零の高周波電圧を前記一対の電極の一方に出力する第1の高周波発生手段と、
前記第2の高周波指令信号に基づいて前記周波数の制御値を有し且つ前記位相差の差分の位相角を有する高周波電圧を前記一対の電極の他方に出力する第2の高周波発生手段と、
を備えたことを特徴とするプラズマ処理システム。 - 前記第1の高周波指令信号生成手段は、
第2の基準クロックを発生する第2のクロック発生手段と、
前記入力手段で入力された周波数の制御値を保持する第2の周波数保持手段と、
前記第2の基準クロックのクロックパルスが入力される毎に前記第2の周波数保持手段に保持された前記周波数の制御値と加算結果とを加算して出力する第2の加算手段と、
所定の正弦波又は余弦波の波高値のテーブルが記憶され、前記第2の加算器から加算結果が出力される毎にその加算結果に対応する波高値を出力する第2の波形記憶手段と、
前記第2の波形記憶手段から出力される波高値をアナログ信号に変換する第1の信号変換手段と、
を含むダイレクト・ディジタル・シンセサイザによって構成され、
前記第2の高周波指令信号生成手段は、
前記入力手段で入力された周波数の制御値を保持する第3の周波数保持手段と、
前記演算手段で算出された前記位相差の差分を保持する位相差保持手段と、
前記第2の基準クロックのクロックパルスが入力される毎に前記第3の周波数保持手段に保持された前記周波数の制御値と加算結果とを加算して出力する第3の加算手段と、
前記第2の基準クロックのクロックパルスが入力される毎に前記位相差保持手段に保持された前記位相差の差分と加算結果とを加算して出力する第4の加算手段と、
所定の正弦波又は余弦波の波高値のテーブルが記憶され、前記第4の加算器から加算結果が出力される毎にその加算結果に対応する波高値を出力する第3の波形記憶手段と、
前記第3の波形記憶手段から出力される波高値をアナログ信号に変換する第2の信号変換手段と、
を含むダイレクト・ディジタル・シンセサイザによって構成される、請求項5に記載のプラズマ処理システム。
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