JP2013243309A - 表面保護テープ貼着システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のデバイスが形成されたデバイス領域を囲繞する外周余剰領域を有するウエーハ11に表面保護テープ16を貼着するシステムであって、チャックテーブル10に裏面側を保持されたウエーハから所定距離離間した複数の位置合わせ用凸部12と、剥離シート14に貼着されたウエーハの直径と略同一の直径を有する基材シート18と基材シートの外周部に配設された環状粘着層20とからなる表面保護テープと、表面保護テープから所定距離離間して剥離シートに形成された位置合わせ用凸部に対応する複数の位置合わせ穴22と、を含むテープユニット8とを備え、表面保護テープをウエーハに対面させ、位置合わせ穴に位置合わせ用凸部を嵌合させて位置決めし、外周余剰領域に環状粘着層を対応させて表面保護テープをウエーハ表面に貼着する。
【選択図】図4
Description
10 チャックテーブル
11 半導体ウエーハ
12 位置合わせ用凸部
14 剥離シート
16 表面保護テープ
17 デバイス領域
18 基材シート
19 外周余剰領域
20 環状粘着層
22 位置合わせ穴
34 貼着ローラ
36 表面保護テープ
38 基材シート
39 位置合わせ穴
42 貼着層
43 貼着層不存在領域
Claims (2)
- 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有するウエーハに表面保護テープを貼着する表面保護テープの貼着システムであって、
該ウエーハの裏面側を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持されたウエーハから所定距離離間して配設された複数の位置合わせ用凸部と、
剥離シートと、該剥離シートに貼着された該ウエーハの直径と略同一の直径を有する基材シートと該基材シートの外周部に配設された環状粘着層とからなる表面保護テープと、該表面保護テープから前記所定距離離間して該剥離シートに形成された前記位置合わせ用凸部に対応する複数の位置合わせ穴と、を含むテープユニットとを備え、
該表面保護テープを該ウエーハの表面に向かって対面させ、該位置合わせ穴に該位置合わせ用凸部を嵌合させることにより位置決めして、該ウエーハの該外周余剰領域に該環状粘着層を対応させて該表面保護テープを該ウエーハの表面に貼着することを特徴とする表面保護テープ貼着システム。 - 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有するウエーハに表面保護テープを貼着する表面保護テープの貼着システムであって、
ウエーハの裏面側を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持されたウエーハから所定距離離間して配設された複数の位置合わせ用凸部と、
基材シートと、該ウエーハの該デバイス領域に対応する直径の粘着層不存在領域を有する該基材シートに配設された粘着層と、該粘着層不存在領域から前記所定距離離間して該粘着層を貫通して該基材シートに形成された前記位置合わせ用凸部に対応する複数の位置合わせ穴と、を含む表面保護テープと、
該チャックテーブルに保持された該ウエーハの外周に沿って移動可能に配設されたカッターと、を備え、
該表面保護テープの該粘着層を該ウエーハの表面に向かって対面させ、該位置合わせ穴に該位置合わせ用凸部を嵌合させることにより位置決めして、該粘着層不存在領域を該ウエーハの該デバイス領域に対応させて該表面保護テープを該ウエーハに貼着した後、該カッターで表面保護テープを該ウエーハの外周に沿って切断することを特徴とする表面保護テープ貼着システム。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2020196794A1 (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 三井化学東セロ株式会社 | 保護フィルム及びその貼着方法並びに半導体部品の製造方法 |
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