JP2014082380A - 表面保護テープの剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 表面に複数のバンプを有するとともに該バンプを介して表面に表面保護テープが貼着されたウエーハから該表面保護テープを剥離する表面保護テープの剥離方法であって、表面に複数のバンプを有するとともに該バンプを介して表面に表面保護テープが貼着されたウエーハを減圧雰囲気中に載置して、該バンプの下方縮径部の外周側に残存する空気を膨張させる空気膨張ステップと、該空気膨張ステップを実施した後、該表面保護テープをウエーハから剥離する剥離ステップと、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図6
Description
15 デバイス
17 バンプ
18 研削ホイール
23 表面保護テープ
25 基材シート
26 ウエーハユニット
27 糊層
29 隙間
30 減圧容器
32 チャンバー
34,36 手袋
Claims (2)
- 表面に複数のバンプを有するとともに該バンプを介して表面に表面保護テープが貼着されたウエーハから該表面保護テープを剥離する表面保護テープの剥離方法であって、
表面に複数のバンプを有するとともに該バンプを介して表面に表面保護テープが貼着されたウエーハを減圧雰囲気中に載置して、該バンプの下方縮径部の外周側に残存する空気を膨張させる空気膨張ステップと、
該空気膨張ステップを実施した後、該表面保護テープをウエーハから剥離する剥離ステップと、
を備えたことを特徴とする表面保護テープの剥離方法。 - 前記剥離ステップは、前記空気膨張ステップに引き続いて減圧雰囲気中で実施される請求項1記載の表面保護テープの剥離方法。
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