JP2013239499A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 基板と、接着層と、上記基板を支持する支持体とをこの順に積層してなる積層体に押圧力を加えることにより、上記基板と支持体とを接着層を介して貼り付ける貼付装置であって、
   積層体を挟み込む上下一対のプレート部材を備え、
   上側のプレート部材における積層体と接する部位に、プレート部材への積層体の貼り付きを防止する防止部が設けられており、
   上記防止部は、上側のプレート部材から離れる方向に上記積層体を押圧する押圧部材を備えており、
   上側のプレート部材における積層体と接する部位には、上記押圧部材を収納する凹部が設けられており、上記押圧部材は、上側のプレート部材から離れる方向に上記積層体を押圧するように、弾性的に付勢されていることを特徴とする貼付装置。
2. 上記押圧部材における上記積層体と接触する側の先端が丸められていることを特徴とする請求項１に記載の貼付装置。
3. 上記防止部は、上側のプレート部材における積層体と接する部位から上記積層体に向かって気体を送出する送出部を備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の貼付装置。
4. 上記プレート部材は、積層体と接する部位の非押圧時の平面度が１．０μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の貼付装置。
5. 上記プレート部材を支持する支柱部材を備え、
   上記支柱部材は、プレート部材の少なくとも中心部を支持する中心支持部材と、当該中心支持部材に設けられ、プレート部材の中心部以外を支持する複数の周辺支持部材とからなり、上記中心支持部材は一対のプレート部材のうち少なくとも一方を、積層体に押圧力を加えるために移動自在に支持すると共に、上記周辺支持部材はプレート部材の移動方向に伸縮自在となっており、
   上記積層体に押圧力を加えたときに生じるプレート部材の撓み量を検知する検知部と、
   上記検知部が検知した撓み量が相殺されるように周辺支持部材を伸縮させる制御部と、
   をさらに備えることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の貼付装置。
6. 基板と、接着層と、上記基板を支持する支持体とをこの順に積層してなる積層体に押圧力を加えることにより、上記基板と支持体とを接着層を介して貼り付ける貼付装置であって、
   積層体を挟み込む上下一対のプレート部材を備え、
   上側のプレート部材における積層体と接する部位に、プレート部材への積層体の貼り付きを防止する防止部が設けられており、
   上記プレート部材を支持する支柱部材を備え、
   上記支柱部材は、プレート部材の少なくとも中心部を支持する中心支持部材と、当該中心支持部材に設けられ、プレート部材の中心部以外を支持する複数の周辺支持部材とからなり、上記中心支持部材は一対のプレート部材のうち少なくとも一方を、積層体に押圧力を加えるために移動自在に支持すると共に、上記周辺支持部材はプレート部材の移動方向に伸縮自在となっており、
   上記積層体に押圧力を加えたときに生じるプレート部材の撓み量を検知する検知部と、
   上記検知部が検知した撓み量が相殺されるように周辺支持部材を伸縮させる制御部と、
   をさらに備えることを特徴とする貼付装置。
7. 基板と、接着層と、上記基板を支持する支持体とをこの順に積層してなる積層体に押圧力を加えることにより、上記基板と支持体とを接着層を介して貼り付ける貼付方法であって、
   上下一対のプレート部材によって積層体を挟み込んで押圧する貼付工程と、
   貼付工程の後、一対のプレート部材を互いに離間させる離間工程とを包含しており、
   離間工程では、上側のプレート部材における積層体と接する部位に設けられた防止部が、上側のプレート部材へ積層体が貼り付くことを防止し、
   上記離間工程では、上記防止部が備える押圧部材によって、上側のプレート部材から離れる方向に上記積層体を押圧し、
   上側のプレート部材における積層体と接する部位には、上記押圧部材を収納する凹部が設けられており、上記押圧部材は、上側のプレート部材から離れる方向に上記積層体を押圧するように、弾性的に付勢されていることを特徴とする貼付方法。
8. 基板と、接着層と、上記基板を支持する支持体とをこの順に積層してなる積層体に押圧力を加えることにより、上記基板と支持体とを接着層を介して貼り付ける貼付方法であって、
   上下一対のプレート部材によって積層体を挟み込んで押圧する貼付工程と、
   貼付工程の後、一対のプレート部材を互いに離間させる離間工程とを包含しており、
   離間工程では、上側のプレート部材における積層体と接する部位に設けられた防止部が、上側のプレート部材へ積層体が貼り付くことを防止し、
   上記プレート部材を支持する支柱部材が、プレート部材の少なくとも中心部を支持する中心支持部材と、当該中心支持部材に設けられ、プレート部材の中心部以外を支持する複数の周辺支持部材とからなり、上記中心支持部材は一対のプレート部材のうち少なくとも一方を、積層体に押圧力を加えるために移動自在に支持すると共に、上記周辺支持部材はプレート部材の移動方向に自在に伸縮し、
   上記積層体に押圧力を加えたときに生じるプレート部材の撓み量を検知し、
   検知した撓み量が相殺されるように周辺支持部材を伸縮させることを特徴とする貼付方法。
9. 離間工程では、上記防止部が、上側のプレート部材における上記積層体と接する部位から上記積層体に向かって気体を送出することを特徴とする請求項７又は８に記載の貼付方法。