JP2013064623A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. ガイド部材が設けられた第１部材と、
   第２部材と、
   前記第１部材と前記第２部材とによって挟持される複数の圧電素子保持板と、を含み、
   複数の前記圧電素子保持板は、それぞれ挿通孔が形成され、
   複数の前記圧電素子保持板は、前記ガイド部材が前記挿通孔に挿通されることにより、積層される、
   ことを特徴とする力センサー。
2. 請求項１に記載の力センサーであって、
   前記第1部材と前記第２部材とを締結する与圧ボルトを更に含み、
   前記ガイド部材は、弾性材料によって中空形状に形成され、
   前記ガイド部材は、中空部分が前記与圧ボルトの外径よりも小さく形成されており、前記ガイド部材を前記圧電素子保持板の前記挿通孔に挿通させた状態で前記中空部分に前記与圧ボルトを通すと、前記与圧ボルトによって押し広げられて該挿通孔に当接する、
   ことを特徴とする力センサー。
3. 請求項１または請求項２に記載の力センサーであって、
   前記ガイド部材は、絶縁材料によって形成されている、
   ことを特徴とする力センサー。
4. 請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の力センサーであって、
   互いに直交するｘ方向，ｙ方向，ｚ方向の三軸に対し、複数の前記圧電素子保持板は、ｘ方向の力に感度を有するｘ方向用圧電素子が設けられた圧電素子保持板と、ｙ方向の力に感度を有するｙ方向用圧電素子が設けられた圧電素子保持板と、ｚ方向の力に感度を有するｚ方向用圧電素子が設けられた圧電素子保持板と、を含み、前記三軸方向の力を検出する、
   ことを特徴とする力センサー。
5. 加えられた力を検出する力検出装置であって、
   請求項４に記載の力センサーを２つ以上備え、所望の軸回りのモーメントを検出する、
   ことを特徴とする力検出装置。
6. 請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の力センサーを搭載したロボットハンド。
7. 請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の力センサーを搭載したロボット。
8. ガイド部材を第１部材の所定位置に設ける第１の工程と、
   挿通孔が形成された複数の圧電素子保持板を、前記挿通孔に前記ガイド部材を挿通させることにより積層する第２の工程と、
   積層した複数の前記圧電素子保持板の上に第２部材を載置する第３の工程と、
   前記第１部材と前記第２部材とによって、複数の前記圧電素子保持板を挟持する第４の工程と、
   与圧ボルトを用いて、前記第1部材と前記第２部材とを締結する第５の工程と
   を含むことを特徴とする力センサーの製造方法。