JP2013095123A5 - - Google Patents

Claims (18)

1. 曲率ヘッドの光学シート保持面に光学シートを粘着力を用いて保持し、前記曲率ヘッドを基板上で転動させることで前記光学シートを前記基板上に貼り合わせる光学シート貼り合わせ方法であって、
   曲率ヘッドの光学シート保持面に、貼り合わせ作業を通じて光学シートを保持できる粘着力を持つ第１領域と、その第１領域の粘着力よりも弱い粘着力を持つ第２領域とを有する粘着シートを装着する工程と、
   前記曲率ヘッドの光学シート保持面に装着された前記粘着シートの第１領域に、光学シートの表面を接触させ、もってその光学シートを前記第１領域の粘着力を用いて保持（仮固定）する工程と、
   前記光学シート保持面に保持（仮固定）した前記光学シートの裏面を基板に接触させながら、前記曲率ヘッドを前記基板上で転動させ、もって前記光学シートの裏面全体を前記基板に粘着させる工程と、
   前記光学シートの裏面全体を前記基板に粘着させる工程の完了後、前記曲率ヘッドをさらに転動させ、もって前記光学シート保持面から前記光学シートを離隔する工程とを備え、
   前記光学シート保持面から前記光学シートを離隔する工程では、前記光学シート保持面に装着された前記粘着シートの第２領域が、前記基板に対向せしめられる
   ことを特徴とする光学シート貼り合わせ方法。
2. 前記粘着シートの第１領域の粘着力が、ローリングタック試験２４０ｍｍ未満、前記粘着シートの第２領域の粘着力が、ローリングタック試験２４０ｍｍ以上である請求項１に記載の光学シート貼り合わせ方法。
3. 前記粘着シートが矩形であり、前記第２領域が前記粘着シートの転動させる方向に対して後方に位置する一辺に沿って帯状に配置されている請求項１または２に記載の光学シート貼り合わせ方法。
4. 前記粘着シートが矩形であり、前記第２領域が前記粘着シートの転動させる方向に対して前方および後方に位置して対向する二辺に沿ってそれぞれ帯状に配置されている請求項１または２に記載の光学シート貼り合わせ方法。
5. 前記粘着シートが矩形であり、前記第２領域が前記粘着シートの四辺に沿ってそれぞれ帯状に配置されている請求項１または２に記載の光学シート貼り合わせ方法。
6. 前記粘着シートが矩形であり、前記第２領域が前記粘着シートの四辺に沿ってそれぞれ帯状に且つ同心状に配置されている請求項１または２に記載の光学シート貼り合わせ方法。
7. 前記粘着シート自身が、粘着力が相対的に強い前記第１領域と、粘着力が相対的に弱い前記第２領域に区分けされている請求項１〜６のいずれかに記載の光学シート貼り合わせ方法。
8. 前記粘着シートの全体が、粘着力が相対的に強い前記第１領域として形成され、その一部に粘着力が相対的に弱いダミーシートを取り付けることで、前記第２領域が形成されている請求項１〜６のいずれかに記載の光学シート貼り合わせ方法。
9. 前記基板が基板ステージに保持してあり、
   前記光学シート保持面から前記光学シートを離隔する工程では、前記粘着シートが、前記基板に接触する前に前記基板ステージの側壁に当接して、前記粘着シートが前記基板を押圧する力を低減または消失させるように設定されている請求項１〜８のいずれかに記載の光学シート貼り合わせ方法。
10. 曲率ヘッドの光学シート保持面に光学シートを粘着力を用いて保持し、前記曲率ヘッドを基板上で転動させることで前記光学シートを前記基板上に貼り合わせる光学シート貼り合わせ装置であって、
    凸状に湾曲した光学シート保持面を有する曲率ヘッドと、
    前記光学シート保持面に装着された粘着シートとを備え、
    前記粘着シートは、貼り合わせ作業を通じて光学シートを保持できる粘着力を持つ第１領域と、その第１領域の粘着力よりも弱い粘着力を持つ第２領域とを有しており、
    前記光学シートの裏面全体を前記基板に粘着させた後、前記曲率ヘッドをさらに転動させて前記光学シート保持面から前記光学シートを離隔する際に、前記光学シート保持面に装着された前記粘着シートの第２領域が、前記基板に対向せしめられる
    ことを特徴とする光学シート貼り合わせ装置。
11. 裏面が粘着性を有し、その粘着性を利用して曲率ヘッドの光学シート保持面に粘着可能であり、
    表面が粘着性を有し、保持（仮固定）する光学シートに対向する位置に形成され且つ相対的に強い粘着力を持つ第１領域と、前記光学シートに対向する範囲の外側に少なくとも一部が位置し且つ相対的に弱い粘着力を持つ第２領域とを備えている
    ことを特徴とする粘着シート。
12. 前記粘着シートの第１領域の粘着力が、ローリングタック試験２４０ｍｍ未満、前記粘着シートの第２領域の粘着力が、ローリングタック試験２４０ｍｍ以上である請求項１１に記載の粘着シート。
13. 前記粘着シートが矩形であり、前記第２領域が前記粘着シートの転動させる方向に対して後方に位置する一辺に沿って帯状に配置されている請求項１１または１２に記載の粘着シート。
14. 前記粘着シートが矩形であり、前記第２領域が前記粘着シートの転動させる方向に対して前方および後方に位置して対向する二辺に沿ってそれぞれ帯状に配置されている請求項１１または１２に記載の粘着シート。
15. 前記粘着シートが矩形であり、前記第２領域が前記粘着シートの四辺に沿ってそれぞれ帯状に配置されている請求項１１または１２に記載の粘着シート。
16. 前記粘着シートが矩形であり、前記第２領域が前記粘着シートの四辺に沿ってそれぞれ帯状に且つ同心状に配置されている請求項１１または１２に記載の粘着シート。
17. 前記粘着シート自身が、粘着力が相対的に強い前記第１領域と、粘着力が相対的に弱い前記第２領域に区分けされている請求項１１〜１６のいずれかに記載の粘着シート。
18. 前記粘着シートの全体が、粘着力が相対的に強い前記第１領域として形成され、その一部に粘着力が相対的に弱いダミーシートを取り付けることで、前記第２領域が形成されている請求項１１〜１６のいずれかに記載の粘着シート。