JP2013236006A - 回転導入機構を備えた真空装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空引き可能な第1の処理室、第1の処理室に隣接する真空引き可能な第2の処理室、及び第1の処理室内で軸部材を回転させる回転構を備えた真空装置において、回転機構は、第1の処理室内に配置された第1の回転軸、第2の処理室を貫通するように配置され、第1の回転軸と同軸かつ連動可能にカップリング部材を介して結合された第2の回転軸、第2の処理室外でかつ第1の処理室の反対側に配置され、第2の回転軸に回転力を伝達する駆動源、第2の回転軸が第2の処理室内で気密状態となるように第2の回転軸を覆う筒状のカバー、及び第2の回転軸とカバーの間を封止する真空シール部材を備える。
【選択図】図1
Description
図1に本発明の実施例による真空装置を示す。真空装置は、真空引き可能な主処理室1、主処理室1の両側に隣接する真空引き可能な追加の処理室2及び4、及び主処理室1内に配置された回転機構6を備える。本実施例における回転機構6は、回転駆動により処理対象物である基板10を移動させるための機構であり、回転導入の方向と基板搬送方向が一致している。処理室2と処理室4は基板搬送方向に主処理室1を挟んで配置され、主処理室1と処理室2及び4との間にはゲートバルブ3及び5がそれぞれ設けられる。基板10には、例えば水晶振動子等の圧電素子が配列される。なお、本明細書において、図面は寸法通りではない。
2、4.処理室
3、5.ゲートバルブ
6、7.回転機構
10.基板
41、42.壁部
60.駆動源
61.ボールネジ
62.基板ホルダ
63.延長軸
64.カップリング部材
65.カバー
65a.フランジ部
66.取り付け部材
67.真空シール部材
68、69.ベアリング
600.カップリング部材
601.モータ
602.取り付け部材
603.配線
604.配線
661〜663、651.パッキン
664.挿通固定具
Claims (6)
- 真空引き可能な第1の処理室、該第1の処理室に隣接する真空引き可能な第2の処理室、及び該第1の処理室内の軸部材を回転させる回転機構を備えた真空装置であって、
前記回転機構が、
前記第1の処理室内に配置された第1の回転軸、
前記第2の処理室を貫通するように配置され、前記第1の回転軸と同軸かつ連動可能にカップリング部材を介して結合された第2の回転軸、
前記第2の処理室外でかつ前記第1の処理室の反対側に配置され、前記第2の回転軸に回転力を伝達する駆動源、
前記第2の回転軸が前記第2の処理室内で気密状態となるように該延長軸を覆う筒状のカバー、及び
前記第2の回転軸と前記カバーの間を封止する真空シール部材
を備えた真空装置。 - 請求項1に記載の真空装置において、前記第1の回転軸がボールネジからなり、前記回転機構が、該ボールネジの回転により該ボールネジの軸方向に移動する基板ホルダを備え、該基板ホルダに搭載された処理対象物が前記第1の処理室内で搬送されるように構成された真空装置。
- 請求項1に記載の真空装置において、前記カバーの前記駆動源側の一端にフランジ部が形成され、該フランジが前記第2の処理室の該駆動源側の外壁面に当接され、該カバーの他端が取り付け部材によって該第2の処理室の前記第1の処理室側の内壁面に結合された真空装置。
- 請求項1に記載の真空装置において、前記真空シール部材が前記筒状カバーの長手方向中心よりも前記第1の処理室側に設けられた真空装置。
- 請求項1に記載の真空装置において、前記第2の回転軸と前記筒状カバーの間に配置された複数のベアリングを備え、該複数のベアリングのうちの少なくとも一部が前記真空シール部材よりも前記駆動源側に配置された真空装置。
- 請求項1から5いずれか一項に記載の真空装置であって、さらに、前記第1の処理室に隣接する第3の処理室を備え、該第1の処理室が前記第2の処理室と該第3の処理室の間に配置された真空装置。
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Citations (10)
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---|---|---|---|---|
JPS5733216A (en) * | 1980-08-01 | 1982-02-23 | Lamb Co F Jos | Bearing for spindle of machine tool |
JPS63157870A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-30 | Anelva Corp | 基板処理装置 |
JPH01225330A (ja) * | 1988-03-04 | 1989-09-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 搬送装置 |
JPH03218017A (ja) * | 1990-01-23 | 1991-09-25 | Tokyo Electron Ltd | 縦型熱処理装置 |
JPH0680718B2 (ja) * | 1984-10-27 | 1994-10-12 | 日新電機株式会社 | エンドステ−シヨン |
JPH07122613A (ja) * | 1993-10-21 | 1995-05-12 | Ebara Corp | 半導体製造装置 |
JPH08227877A (ja) * | 1995-10-27 | 1996-09-03 | Hitachi Ltd | プラズマ処理方法及びその装置 |
JPH10135146A (ja) * | 1996-10-29 | 1998-05-22 | Nissin Electric Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
US20070080156A1 (en) * | 2005-10-04 | 2007-04-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Heat treatment equipment and method of driving the same |
JP2007103651A (ja) * | 2005-10-04 | 2007-04-19 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
-
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5733216A (en) * | 1980-08-01 | 1982-02-23 | Lamb Co F Jos | Bearing for spindle of machine tool |
JPH0680718B2 (ja) * | 1984-10-27 | 1994-10-12 | 日新電機株式会社 | エンドステ−シヨン |
JPS63157870A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-30 | Anelva Corp | 基板処理装置 |
JPH01225330A (ja) * | 1988-03-04 | 1989-09-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 搬送装置 |
JPH03218017A (ja) * | 1990-01-23 | 1991-09-25 | Tokyo Electron Ltd | 縦型熱処理装置 |
JPH07122613A (ja) * | 1993-10-21 | 1995-05-12 | Ebara Corp | 半導体製造装置 |
JPH08227877A (ja) * | 1995-10-27 | 1996-09-03 | Hitachi Ltd | プラズマ処理方法及びその装置 |
JPH10135146A (ja) * | 1996-10-29 | 1998-05-22 | Nissin Electric Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
US20070080156A1 (en) * | 2005-10-04 | 2007-04-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Heat treatment equipment and method of driving the same |
JP2007103651A (ja) * | 2005-10-04 | 2007-04-19 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
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