JP2013232560A - 炭化珪素半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】n+型炭化珪素基板1のおもて面に堆積されたn型炭化珪素エピタキシャル層2の表面には、MOS構造が形成されている。MOS構造を構成するゲート導電膜9は、層間絶縁膜10で覆われている。層間絶縁膜10は、第1層間絶縁膜と、第2層間絶縁膜とが積層されてなる。第1層間絶縁膜は、リンおよびボロンを含まない絶縁体で構成される。第2層間絶縁膜は、リンおよびボロンを含む絶縁体で構成される。層間絶縁膜10は、キャップ絶縁膜11で覆われている。キャップ絶縁膜11は、バリアメタル膜12で覆われている。バリアメタル膜12の表面の一部とコンタクトホールとを覆うように、ソース電極13が設けられている。
【選択図】図1
Description
まず、実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の製造方法により作製(製造)される炭化珪素半導体装置について、炭化珪素MOSFET(絶縁ゲート型電界効果トランジスタ)を例に説明する。図1は、実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の製造方法により製造される半導体装置の一例を示す断面図である。図1に示すように、実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置において、n+型炭化珪素基板1のおもて面(第1主面)には、n型炭化珪素エピタキシャル層(第1導電型炭化珪素エピタキシャル層)2が堆積されている。
2 n型炭化珪素エピタキシャル層
3 p+ベース領域
4 p-型炭化珪素エピタキシャル層
5 n+ソース領域
6 p+コンタクト領域
7 n型チャネル領域
8 ゲート絶縁膜
9 ゲート導電膜
10 層間絶縁膜
10a 第1層間絶縁膜
10b 第2層間絶縁膜
11 キャップ絶縁膜
12 バリアメタル膜
13 ソース電極
14 おもて面電極層
15 裏面オーミック電極
16 裏面電極層
Claims (9)
- 炭化珪素基板の第1主面に、前記炭化珪素基板よりも不純物濃度が低い第1導電型炭化珪素エピタキシャル層を成長させる工程と、
前記第1導電型炭化珪素エピタキシャル層の表面に、金属−酸化膜−半導体からなる絶縁ゲート構造を形成する工程と、
リンおよびボロンを含まない不純物からなる第1層間絶縁膜で前記絶縁ゲート構造を構成するゲート導電膜を覆う工程と、
リンおよびボロンを含む不純物からなる第2層間絶縁膜で前記第1層間絶縁膜を覆う工程と、
熱処理によって、前記第2層間絶縁膜を平坦化する工程と、
前記第1層間絶縁膜および前記第2層間絶縁膜を深さ方向に貫通するコンタクトホールを形成する工程と、
前記第2層間絶縁膜中のボロンの拡散を防ぐためのキャップ絶縁膜で前記第2層間絶縁膜を覆う工程と、
少なくともチタンを含むバリアメタル膜で前記キャップ絶縁膜を覆う工程と、
前記バリアメタル膜の表面の一部と前記コンタクトホールとを覆うように入力電極を形成する工程と、
前記炭化珪素基板の第2主面に出力電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記第2層間絶縁膜中に含まれる不純物の総不純物濃度は4wt%以上12wt%未満であることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記第2層間絶縁膜中のボロン濃度は2wt%以上5.5wt%未満であることを特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記キャップ絶縁膜は、TEOS、NSG、HTO、窒化シリコン、LTO、PSGおよびボロン濃度1wt%未満のBPSGのいずれか1つを主成分とする単層膜、もしくは2つ以上が積層されてなる積層膜からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理の温度は、750℃以上900℃未満であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記キャップ絶縁膜の厚さは、前記第2層間絶縁膜の厚さの30%以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 化学気相成長法により、大気圧より低い減圧状態で前記ゲート導電膜を形成することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理は、水素を4mol%含む雰囲気中で行うことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記絶縁ゲート構造を形成する工程は、
前記第1導電型炭化珪素エピタキシャル層の表面層に、第1の第2導電型半導体領域を選択的に形成する工程と、
前記第1導電型炭化珪素エピタキシャル層および前記第1の第2導電型半導体領域の表面に、前記第1の第2導電型半導体領域よりも不純物濃度が低い第2導電型炭化珪素エピタキシャル層を成長させる工程と、
前記第2導電型炭化珪素エピタキシャル層の表面層に、前記炭化珪素基板よりも不純物濃度が高い第1の第1導電型半導体領域を形成する工程と、
前記第1の第1導電型半導体領域に接し、かつ前記第2導電型炭化珪素エピタキシャル層を貫通し前記第1の第2導電型半導体領域に接するように、前記第2導電型炭化珪素エピタキシャル層よりも不純物濃度が高い第2の第2導電型半導体領域を形成する工程と、
前記第2導電型炭化珪素エピタキシャル層を貫通し前記第1導電型炭化珪素エピタキシャル層に達するように、前記第1導電型炭化珪素エピタキシャル層よりも不純物濃度が高く、かつ前記第1の第1導電型半導体領域よりも不純物濃度が低い第1導電型チャネル領域を形成する工程と、
前記第2導電型炭化珪素エピタキシャル層の、前記第1の第1導電型半導体領域と前記第1導電型チャネル領域とに挟まれた部分の表面に、ゲート絶縁膜を介して前記ゲート導電膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
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