JP2013232462A

JP2013232462A - 樹脂多層基板およびその製造方法

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Publication number: JP2013232462A
Application number: JP2012102600A
Authority: JP
Inventors: Yoshito Otsubo; 喜人大坪
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2012-04-27
Filing date: 2012-04-27
Publication date: 2013-11-14
Anticipated expiration: 2032-04-27
Also published as: JP5962184B2

Abstract

【課題】樹脂多層基板において、圧着の際の導体部の移動を防止する。
【解決手段】樹脂多層基板１０１は、複数の樹脂層２を積層した積層体３を備え、積層体３の内部には、複数の樹脂層２の積層方向９１に互いに重なるように複数の導体部７が配置され、積層体３は、複数の導体部７の少なくとも一部と同じ層において、平面的に見て複数の導体部７の周囲となる位置に配置された流動防止部５を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、樹脂多層基板およびその製造方法に関するものである。

従来の樹脂多層基板の一例が特開２００６−４９５０２号公報（特許文献１）に記載されている。樹脂多層基板においては、厚み方向（「積層方向」ともいう。）に重なるように導体部が配置される。ここでいう「導体部」とは、配線として機能する膜状の導電性部材であり、「導体パターン」と呼ぶ場合もある。このような樹脂多層基板を作製するには、一方の面に導体部が形成された樹脂シートを用意し、このような樹脂シートを積層し、圧着工程として加熱および加圧を施す。圧着工程を施すことによって、樹脂シート同士は互いに圧着され、積層体の全体が一体化する。こうして樹脂多層基板が得られる。

特開２００６−４９５０２号公報

圧着工程においては、樹脂シートの樹脂材料が軟らかくなって流動し、その結果、樹脂シートの表面の所望の位置に固定されていたはずの導体部が不所望に移動してしまうという問題があった。たとえば、図３１に示すように、配線となる導体部を内部に含む樹脂多層基板９０１を想定する。樹脂多層基板９０１は内部に複数の導体部７を備えている。いくつかの箇所においては、厚み方向９１に隣接する導体部７同士がビア導体６によって電気的に接続されている。このような構成の樹脂多層基板９０１をある断面で見たときに図３２に示すような位置関係となることが予定されていると仮定する。実際の製品の設計では、このように導体部の配置が全ての層にわたって揃っているとは限らないが、この例は、説明をわかりやすくするために単純化して示すものである。樹脂シートを積層し終えた直後かつ圧着工程前の状態では、図３２に示すように導体部７の左右方向に関する位置は、いずれの層においても揃った位置に配置されている。これに対して圧着工程を施す、すなわち、加熱および加圧を施すことによって、樹脂シートの樹脂材料が流動することにより、図３３に示すように導体部７の位置がずれてしまう。

そこで、本発明は、圧着の際の導体部の移動を防止することができる樹脂多層基板およびその製造方法を目的とする。

上記目的を達成するため、本発明に基づく樹脂多層基板は、複数の樹脂層を積層した積層体を備え、上記積層体の内部には、上記複数の樹脂層の積層方向に互いに重なるように複数の導体部が配置され、上記積層体は、上記複数の導体部の少なくとも一部と同じ層において、平面的に見て上記複数の導体部の周囲となる位置に配置された流動防止部を備える。

また、本発明に基づく樹脂多層基板の製造方法は、一方の表面に導体部を備え、厚み方向に貫通するようにビア導体を備える複数の樹脂シートを準備する工程と、上記複数の樹脂シートのうち少なくとも一部において、上記導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成する工程と、上記複数の樹脂シートを積み重ねて積層体を作製する工程と、上記積層体を加熱および加圧することによって上記積層体に含まれる前記複数の樹脂シートを一体化させる圧着工程とを含む。

本発明によれば、樹脂多層基板が流動防止部を備えているので、圧着の際の導体部の移動を防止することができる。

本発明に基づく実施の形態１における樹脂多層基板の断面図である。本発明に基づく実施の形態１における樹脂多層基板の第１の変形例の断面図である。本発明に基づく実施の形態１における樹脂多層基板の第２の変形例の断面図である。本発明に基づく実施の形態１における樹脂多層基板の第３の変形例の断面図である。本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板の断面図である。本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板の、積層する前の状態の説明図である。本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板を製造する過程で、空隙が空隙痕に変化する様子の第１の説明図である。本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板を製造する過程で、空隙が空隙痕に変化する様子の第２の説明図である。本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板を製造する過程で、空隙が空隙痕に変化する様子の第３の説明図である。本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板の変形例の、積層する前の状態の説明図である。本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板の変形例の断面図である。本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板の変形例において、導体部と重なる位置に凹部を設けた例の説明図である。本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板の第１の例の平面的位置関係の説明図である。本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板の第１の例を得るための積層前の樹脂シートにおける平面的位置関係の説明図である。本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板の第２の例の平面的位置関係の説明図である。本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板の第２の例を得るための積層前の樹脂シートにおける平面的位置関係の説明図である。本発明に基づく実施の形態３における樹脂多層基板の断面図である。１つのビア導体の近傍の拡大図である。導体部によって第２端面が覆われた１つのビア導体の近傍の拡大図である。本発明に基づく実施の形態３における樹脂多層基板の圧着前の状態の断面図である。本発明に基づく実施の形態３における樹脂多層基板の第１の変形例の断面図である。本発明に基づく実施の形態３における樹脂多層基板の第２の変形例を作製する途中の状態の断面図である。本発明に基づく実施の形態３における樹脂多層基板の第２の変形例を作製するために用いる樹脂シートの断面図である。本発明に基づく実施の形態３における樹脂多層基板の第２の変形例の断面図である。本発明に基づく実施の形態４における樹脂多層基板の製造方法のフローチャートである。本発明に基づく実施の形態４における樹脂多層基板の製造方法の第１の工程の説明図である。本発明に基づく実施の形態４における樹脂多層基板の製造方法の第２の工程の説明図である。本発明に基づく実施の形態４における樹脂多層基板の製造方法の第３の工程の説明図である。本発明に基づく実施の形態４における樹脂多層基板の製造方法の一部の工程を異なる順序で行なった場合についての説明図である。本発明に基づく実施の形態４における樹脂多層基板の製造方法の第４の工程の説明図である。従来技術に基づく樹脂多層基板の断面図である。従来技術に基づく樹脂多層基板を単純化した例の圧着工程前の状態の断面図である。従来技術に基づく樹脂多層基板を単純化した例の圧着工程後の状態の断面図である。

（実施の形態１）
（構成）
図１を参照して、本発明に基づく実施の形態１における樹脂多層基板１０１について説明する。本実施の形態における樹脂多層基板１０１は、複数の樹脂層２を積層した積層体３を備える。積層体３の内部には、複数の樹脂層２の積層方向に互いに重なるように複数の導体部７が配置されている。積層体３は、複数の導体部７の少なくとも一部と同じ層において、平面的に見て複数の導体部７の周囲となる位置に配置された流動防止部５を備える。

（作用・効果）
本実施の形態における樹脂多層基板１０１では、流動防止部５を備えているので、圧着の際の導体部７の移動を防止することができる。図１に示した樹脂多層基板１０１のような構成の他に、図２に示した樹脂多層基板１０２のような構成であってもよい。図３に示した樹脂多層基板１０３のような構成であってもよい。図４に示した樹脂多層基板１０４のような構成であってもよい。

本実施の形態で示したように、流動防止部５は、ダミー導体５１であることが好ましい。この構成であれば、導体部７を形成する際に同時に流動防止部５としてのダミー導体５１も形成することが可能となるので、好ましい。

本実施の形態で示したように、積層体３の厚み方向９１の中央においては、積層体３の厚み方向９１の両端に比べて流動防止部５の数が多くなっていることが好ましい。これは、図１に示した樹脂多層基板１０１のような構成を意味する。樹脂多層基板１０１では、流動防止部５としてのダミー導体５１は同じサイズの細分化された導体パターンとなっているが、図１に示した例では、積層体３の厚み方向９１の中央においては、積層体３の厚み方向９１の両端に比べてダミー導体５１の数が多くなっている。この例では、圧着の際に特に樹脂の流動が起こりやすい樹脂多層基板の厚み方向中央にダミー導体が数多く配置されているので、圧着の際の導体部の移動をより効果的に防止することができる。

積層体３の厚み方向９１の中央においては、積層体３の厚み方向９１の両端に比べて流動防止部５と導体部７との間の距離が狭くなっていることが好ましい。これは、図３に示した樹脂多層基板１０３のような構成を意味する。樹脂多層基板１０３では、流動防止部５としてのダミー導体５１は、各層に同じ数だけ配置されているが、その存在する位置は層によって異なり、積層体３の厚み方向９１の中央においては、積層体３の厚み方向９１の両端に比べてダミー導体５１と導体部７との間の距離が狭くなっている。この構成では、圧着の際に特に樹脂の流動が起こりやすい樹脂多層基板の厚み方向中央において、ダミー導体５１が導体部７に近接して配置されているので、圧着の際の導体部の移動をより効果的に防止することができる。

流動防止部５は、積層体３の厚み方向の中央においては、積層体３の厚み方向９１の両端に比べて平面的に見たときの面積が大きくなっている。これは、図１、図２に示した樹脂多層基板１０１，１０２のような構成を意味する。

図１に示した樹脂多層基板１０１では、流動防止部５としてのダミー導体５１の数が層によって異なり、積層体３の厚み方向の中央においては、積層体３の厚み方向９１の両端に比べて、ダミー導体５１の数が多くなっているので、ダミー導体５１の合計面積を考えれば、面積が大きくなっているといえる。

図２に示した樹脂多層基板１０２では、流動防止部５としてのダミー導体５１の数は各層で同じであるが、その個々のダミー導体５１の面積に差がつけられており、積層体３の厚み方向の中央においては、積層体３の厚み方向９１の両端に比べて面積が大きくなっている。これらの構成では、圧着の際に特に樹脂の流動が起こりやすい樹脂多層基板の厚み方向中央において、ダミー導体５１の面積が大きくなっているので、圧着の際の導体部の移動をより効果的に防止することができる。

なお、図４に示す樹脂多層基板１０４のような構成であってもよい。樹脂多層基板１０４においては、いずれの層にも同じ数で同じ面積の流動防止部５としてのダミー導体５１が配置されている。このように広い面積の流動防止部５を多くの層に設けることとすれば、他の配線を配置するためのスペースが減ってしまうという欠点はあるが、流動を抑える効果は大きくなる。

（実施の形態２）
（構成）
図５を参照して、本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板について説明する。

樹脂多層基板が流動防止部５を備えるところまでは、実施の形態１で説明したものと同様である。本実施の形態では、実施の形態１に比べて、流動防止部の種類が異なる。図５に示すように、本実施の形態における樹脂多層基板１０５では、流動防止部５は、空隙痕５２である。「空隙痕」とは、空隙が周辺の樹脂の流入によって埋まったものを意味する。ただし、空隙が完全に埋まり切ったものに限らない。空隙が周辺の樹脂の流入によって埋まった後の状態においても依然わずかな空隙が残っているものであってもよい。

（作用・効果）
本実施の形態における樹脂多層基板では、流動防止部としての空隙痕を備えているので、圧着の際の導体部の移動を防止することができる。この流動防止部は、製品においては空隙痕となっているが、元はといえば、圧着工程の直前までは樹脂シートに設けられた空隙としての凹部である。このように空隙を以て流動防止部とすれば、導体部と流動防止部との間での短絡のおそれがないので、実施の形態１のようにダミー導体を以て流動防止部とする場合に比べて、導体部により近い位置に流動防止部を配置することも可能となる。

本実施の形態における樹脂多層基板の積層する前の状態を図６に示す。図６に示すように、のちに樹脂層２となる樹脂シート１２の各々は、一方の面に導体部７を有している。積層後に下面に外部電極を設けるために、積層時には最下層の樹脂シートのみ裏向きとなっている。最上層および最下層を除いて、中間に配置される樹脂シートには空隙として凹部５３が設けられている。空隙は流動防止部５である。図６に示した複数の樹脂シート１２を積層し、さらに圧着工程を施すことにより、空隙としての凹部５３がつぶれて図５に示すようになる。元は各樹脂シート１２の表面にあった導体部も圧着工程を経ることによって樹脂の中に半分沈み込んだ状態となる。

空隙が空隙痕に変化する様子を、拡大して示す。図７に示すように樹脂シート１２の一方の表面にレーザ加工によって凹部５３が形成されている。凹部５３を塞ぐようにもう１枚の樹脂シート１２が重ねられる。こうして図８に示すように凹部５３は密閉された状態となる。この時点では凹部５３は空隙として内部に存在する。圧着工程が行なわれることにより、樹脂の流動が起こり、図９に示すように凹部５３はつぶれて空隙痕５２となる。この際に、樹脂の流動を空隙が吸収するので、導体部が移動することを抑制することができる。

図５、図６では、各樹脂シート１２の導体部７と同じ側の表面に凹部５３を形成した例を示したが、図１０に示すように、各樹脂シート１２の導体部７と反対側の表面に凹部５３を形成することとしてもよい。図１０に示した複数の樹脂シート１２を積層し、さらに圧着工程を施すことにより、空隙としての凹部５３がつぶれて図１１に示すようになる。

図５、図６に示したように凹部５３を導体部７と同じ表面に設ける場合は、凹部５３によって導体部７が不安定になる可能性があるが、図１０、図１１に示したように凹部５３を導体部７と反対側の表面に設ける場合は、導体部７が安定し、より精度良く導体を配置することができる。また、前者の場合、凹部５３を形成するためのレーザ照射は、導体部７のパターニングをした後にしか行なえないが、図１０、図１１に示したように凹部５３を導体部７と反対側の表面に設ける後者の場合は、凹部５３を形成するためのレーザ照射は、導体部７のパターニングをする前に行なうことも可能となる。また、図１２に示すように導体部７と重なる位置に凹部５３を設けることも可能となるので、好ましい。

平面的に見たときの空隙または空隙痕の形状について説明する。図１３に示すように、流動防止部５としての空隙痕５２は、平面的に見て線状であってよい。図１３では、積層体３の内部に隠れている導体部７および空隙痕５２を透視して表示している。この構成は、図１４に示すように、線状に凹部５３を設けた樹脂シート１２を積層して圧着することによって得ることができる。図１４では樹脂シート１２を単独で取り出した状態を平面図で示している。線状に設けられた凹部５３は樹脂シート１２の表面に設けられた溝として把握することができる。図１３では図１４に比べて流動によって凹部５３がつぶれ、空隙痕５２となっている。樹脂多層基板にこの構成を設けることにより、圧着工程における樹脂の流れを線状の流動防止部によって確実に抑制することができる。

あるいは、他の例として、図１５に示すように、流動防止部５としての空隙痕５２は、平面的に見て点状であってもよい。図１５では、積層体３の内部に隠れている導体部７および空隙痕５２を透視して表示している。図１５では空隙痕５２を「×」という記号で表示している。この構成は、図１６に示すように、点状に凹部５３を設けた樹脂シート１２を積層して圧着することによって得ることができる。図１５では図１６に比べて流動によって凹部５３がつぶれ、空隙痕５２となっている。樹脂多層基板にこの構成を設けることにより、圧着工程における樹脂の流れを点状の流動防止部によって抑制することができる。流動防止部が線状である場合に比べて点状で配置する場合は、樹脂シートの強度低下を抑えることができ、積層時の樹脂シートのハンドリングが容易となる。また、凹部５３の形成をレーザ照射によって行なう場合、点状であればレーザ照射の時間を短縮することができ、その結果、製造コストを低減することができる。

ここまで、空隙痕５２は空隙としての凹部が圧着時に樹脂流動によってつぶれたものとして説明してきたが、空隙痕５２の元となる空隙は凹部に限らず、樹脂シートを厚み方向に貫通する貫通孔であってもよい。

（実施の形態３）
（構成）
図１７〜図２０を参照して、本発明に基づく実施の形態３における樹脂多層基板について説明する。本実施の形態における樹脂多層基板１０７の断面図を図１７に示す。樹脂多層基板１０７は、流動防止部としての空隙痕を備えていることまでは実施の形態２で説明したものと同様である。本実施の形態では、空隙痕は貫通孔がつぶれることによって形成された空隙痕５４である。

積層体３の内部には、樹脂層２を貫通するように設けられた複数のビア導体６が配置されている。１つのビア導体６を取り出して拡大したところを図１８に示す。複数のビア導体６の各々は、樹脂層２の一方の表面に露出する第１端面３１と、樹脂層２の他方の表面に露出し、第１端面３１より面積が小さい第２端面３２とを有する。樹脂層２の他方の表面に露出する第２端面３２は、図１９に示すように導体部７によって覆われていてもよい。図１７に示すように、積層体３の内部には、第１端面３１同士が当接している面であるビア導体合体面３５がある。空隙痕５４は、ビア導体合体面３５のある樹脂層２同士の接合面３６から積層体３の外部まで連なるように配置されている。

この構成は、図２０に示すように、厚み方向９１に複数の樹脂層２にわたって連なるように流動防止部５としての貫通孔５５を設けた樹脂シート１２を積層して圧着することによって得ることができる。この際、貫通孔５５はビア導体合体面３５のある樹脂層２同士の接合面３６から積層体３の外部まで連なるように設けられる。圧着前には実際に、貫通孔５５が連通しており、圧着工程を行なうことによりこの貫通孔５５の連なりが樹脂流動によってつぶれ、空隙痕５４の連なりへと変化する。

（作用・効果）
本実施の形態における樹脂多層基板には、接合面３６から積層体３の外部まで連なるように空隙痕５４の連なりが存在するが、これは貫通孔５５が設けられていたものが元となっており、圧着工程においては、ビア導体合体面３５の不所望な空隙にあった空気が貫通孔５５を通じて積層体３の外部に逃げることができる。

そもそもビア導体６を形成する際には、一般的には、レーザ加工などによってあけた孔の内部に導体ペーストが充填されるが、この際の導体ペーストの充填不足などによって、第１端面３１が凹む傾向がある。凹んだ第１端面３１同士を対向させて当接させた場合、その界面には空隙が生じることとなる。「ビア導体合体面３５の不所望な空隙」とは、このような理由から第１端面３１同士の間に生じる空隙を意味する。

なお、図２１に示す樹脂多層基板１０７ｉのように、圧着後に、空隙痕５４が積層体３の外部に接する箇所に蓋３７を設けてもよい。蓋３７はたとえば樹脂によって設けることができる。蓋３７を設置するためには樹脂で予め形成した蓋を貼り付けることとしてもよい。液状の樹脂を滴下して積層体３の表面で硬化させることによって蓋３７を形成してもよい。

たとえ蓋３７がなくとも、図２０に示す状態から圧着工程を行なうことにより、貫通孔５５の連なりは空隙痕５４の連なりに変化し、その結果、積層体３の表面付近においても貫通孔５５は閉塞されていると考えられるが、貫通孔５５が空隙痕５４となってもまだ十分に閉塞していない可能性がある場合は、水分などの侵入をより確実に防ぐために蓋３７によって空隙痕５４を塞いでおくことが好ましい。以上のように、空隙痕５４が積層体３の外部に接する箇所に蓋３７が設けられていることが好ましい。

図２２に示すように、途中まで積層した後に、これを圧着し、さらに図２３に示すようなもう１枚の樹脂シート１２を積み重ねて圧着することとしてもよい。この場合、図２２に示した状態では、接合面３６から積層体３の外部まで連なるように貫通孔５５が連通していたが、最後に積み重ねた樹脂シート１２には貫通孔は設けられておらず、この最後に積み重ねる樹脂シート１２が蓋代わりとなる。図２３に示した樹脂シート１２を積み重ねてさらに圧着することによって、図２４に示す樹脂多層基板１０８が得られる。樹脂多層基板１０８においては、流動防止部５としての貫通孔５５はつぶれて空隙痕５４となっているが、空隙痕５４の端は積層体３の表面には達していない。したがって、空隙痕５４から水分などが侵入することを防ぐことができる。

（実施の形態４）
（製造方法）
図２５〜図３０を参照して、本発明に基づく実施の形態４における樹脂多層基板の製造方法について説明する。本実施の形態における樹脂多層基板の製造方法のフローチャートを図２５に示す。

本実施の形態における樹脂多層基板の製造方法は、一方の表面に導体部を備え、厚み方向に貫通するようにビア導体を備える複数の樹脂シートを準備する工程Ｓ１と、前記複数の樹脂シートのうち少なくとも一部において、前記導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成する工程Ｓ２と、前記複数の樹脂シートを積み重ねて積層体を作製する工程Ｓ３と、前記積層体を加熱および加圧することによって前記積層体に含まれる前記複数の樹脂シートを一体化させる圧着工程Ｓ４とを含む。

本実施の形態における樹脂多層基板の製造方法について説明する。
まず、工程Ｓ１としては、図２６に示すように、熱可塑性樹脂層２０の一方の主表面に導体箔１７が貼り付けられたものである樹脂シート１２を用意する。熱可塑性樹脂層２０は、液晶ポリマー（ＬＣＰ）や、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）などに代表される２５０℃以上の融点を持つ熱可塑性樹脂からなる絶縁層である。

樹脂シート１２において、熱可塑性樹脂層２０上の導体箔１７をエッチングして、図２７に示すように、所望のパターンの導体部７を形成する。導体部７は「導体パターン」とも呼ばれる。

なお、導体部７を形成するにあたっては、たとえば、導体箔１７の表面に、所定のレジストパターンを形成し、エッチング液に浸漬してエッチングを行なった後、レジストパターンを除去することにより、図２７に示すような所望のパターンの導体部７を得ることができる。

ただし、エッチングする代わりに、予めパターン化した金属箔を熱可塑性樹脂層２０の一方の表面に張り付けることによって図２７に示す構造を得てもよい。

次に、レーザ加工により、図２８に示すように、熱可塑性樹脂層の所定の位置にビア孔１１を形成し、樹脂層２とする。なお、レーザ加工の際には、導体部７が形成されていない側の主表面からレーザ光を照射して、導体部７の裏面に達するようにビア孔１１を形成する。このようにした結果、図２８に示すように、ビア孔１１が形成された樹脂層２の表面に、パターン化された導体部７が配置され、導体部７の一部がビア孔１１を覆っている構造が得られる。ビア孔１１を形成するためのレーザ加工によって、ビア孔１１だけでなく、導体部７の周囲に凹部または貫通孔（図示せず）を形成する。ここで、導体部７の周囲に凹部または貫通孔（図示せず）を形成する工程が工程Ｓ２に相当する。

なお、ここまでの工程の順序は上述のものに限られない。たとえば、図２９に示すように、導体部７を形成する前に熱可塑性樹脂層にビア孔１１を形成し、さらにエッチングを行なうことによって、所望のパターンの導体部７を形成するようにしてもよい。そのようにしても図２８に示す構造が得られる。あるいは、さらに他の手順で形成してもよい。その場合、凹部または貫通孔（図示せず）の形成は、ビア孔の形成と同時に行なってもよく、導体部７を形成した後で行なってもよい。

次に、図３０に示すように、各樹脂シート１２の樹脂層２に設けられたビア孔１１に導電性ペースト６ａを充填する。導電性ペースト６ａは、たとえばＡｇ粒子を主成分とするものである。このように処理をされた樹脂シート１２を所定の順に積層する。すなわち、複数の樹脂シートを積み重ねて積層体を作製する工程Ｓ３を行なう。

樹脂シート１２を積層して得られた積層体に対して真空プレスを行なう。この真空プレスの際の温度は、ビア孔１１に充填された導電性ペースト６ａに含まれる金属粒子としてのＡｇ粒子の融点よりも低い温度であって、かつ、樹脂層２が可塑性を示すが溶融はしない程度の温度とする。この温度はたとえば２５０℃〜３５０℃である。このようにして加熱および加圧をすることによって圧着を行なう。なお、この２５０℃〜３５０℃の温度は、導体部７を構成する材料が溶融しない温度でもある。

このように圧着工程Ｓ４を行なうことによって、積層体に含まれる樹脂シート１２は一体化し、導電性ペースト６ａは焼成されてビア導体６となり、ビア導体６と導体部７とが接合される。

上記各実施の形態において説明した樹脂多層基板は、ここで述べたような製造方法により得ることができる。

（作用・効果）
本実施の形態における樹脂多層基板の製造方法では、工程Ｓ２において、導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成することとしているので、これらの「凹部または貫通孔」が流動防止部の役割を果たし、圧着工程Ｓ４において、樹脂シートの樹脂が流動しても、これらの「凹部または貫通孔」によって流動が吸収されるので、導体部の位置がずれることを防止することができる。

したがって、本実施の形態では、圧着の際の導体部の移動を防止することができる樹脂多層基板の製造方法とすることができる。

本実施の形態における樹脂多層基板の製造方法の好ましい態様について説明する。前記導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成する工程Ｓ２は、前記樹脂シートの前記導体部が形成されていない側の表面から貫通しない凹部を形成する工程を含むことが好ましい。これは、図６に示したように樹脂シートの導体部が形成されている側の表面から凹部を形成するよりも、図１０に示したように樹脂シートの導体部が形成されていない側の表面から凹部を形成することの方が好ましいということを意味する。理由は、実施の形態２で、図５〜図６、図１０〜図１２を参照して既に述べたとおりである。

前記導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成する工程Ｓ２は、前記樹脂シートに貫通孔を形成する工程を含み、前記積層体を作製する工程Ｓ３は、前記樹脂シートの両面のうち前記導体部が形成されていない側の表面同士を対向させるように、前記樹脂シートを重ね合わせることによって、同時に、前記ビア導体同士が連結され、かつ、前記貫通孔同士が連結され、前記貫通孔の連なりの端は、前記積層体の表面に露出するように、前記複数の樹脂シートを積層する工程を含むことが好ましい。工程Ｓ３がこのような条件を満たすということは、図２０に示したように、複数の樹脂シートにわたる貫通孔の連なりによって、ビア導体合体面３５がある接合面３６から積層体の外部に連通するように空気の逃げ道が形成されるということである。したがって、ビア導体合体面３５の不所望な空隙の内部にあった空気は、圧着工程Ｓ４の際に貫通孔の連なりを通って積層体の外部に排出される。したがって、圧着工程後に積層体の内部に空気が閉じ込められた状態となることを回避することができる。

圧着工程Ｓ４においては、前記凹部または前記貫通孔がつぶれて空隙痕となり、圧着工程Ｓ４の後に、前記空隙痕が前記積層体の外部に接する箇所に蓋を設ける工程を含むことが好ましい。このようにして蓋を設けることによって、水分などの侵入をより確実に防ぐことができるからである。

なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。

２樹脂層、３積層体、５流動防止部、６ビア導体、６ａ導体ペースト、７導体部、１１ビア孔、１２樹脂シート、１７導体箔、２０熱可塑性樹脂層、３１第１端面、３２第２端面、３５ビア導体合体面、３６接合面、３７蓋、５１ダミー導体、５２，５４空隙痕、５３凹部、５５貫通孔、９１厚み方向、１０１，１０２，１０３，１０４，１０５，１０６樹脂多層基板。

Claims

複数の樹脂層を積層した積層体を備え、
前記積層体の内部には、前記複数の樹脂層の積層方向に互いに重なるように複数の導体部が配置され、
前記積層体は、前記複数の導体部の少なくとも一部と同じ層において、平面的に見て前記複数の導体部の周囲となる位置に配置された流動防止部を備える、樹脂多層基板。
前記積層体の厚み方向の中央においては、前記積層体の厚み方向の両端に比べて前記流動防止部の数が多くなっている、請求項１に記載の樹脂多層基板。
前記積層体の厚み方向の中央においては、前記積層体の厚み方向の両端に比べて前記流動防止部と前記導体部との間の距離が狭くなっている、請求項１または２に記載の樹脂多層基板。
前記流動防止部は、ダミー導体である、請求項１から３のいずれかに記載の樹脂多層基板。
前記流動防止部は、前記積層体の厚み方向の中央においては、前記積層体の厚み方向の両端に比べて平面的に見たときの面積が大きくなっている、請求項４に記載の樹脂多層基板。
前記流動防止部は、空隙痕である、請求項１から３のいずれかに記載の樹脂多層基板。
前記空隙痕は、平面的に見て線状である、請求項６に記載の樹脂多層基板。
前記空隙痕は、平面的に見て点状である、請求項６に記載の樹脂多層基板。
前記積層体の内部には、前記樹脂層を貫通するように設けられた複数のビア導体が配置されており、前記複数のビア導体の各々は、前記樹脂層の一方の表面に露出する第１端面と、前記樹脂層の他方の表面に露出し、前記第１端面より面積が小さい第２端面とを有し、前記積層体の内部には、前記第１端面同士が当接している面であるビア導体合体面があり、前記空隙痕は、前記ビア導体合体面のある前記樹脂層同士の接合面から前記積層体の外部まで連なるように配置されている、請求項６から８のいずれかに記載の樹脂多層基板。
前記空隙痕が前記積層体の外部に接する箇所に蓋が設けられている、請求項９に記載の樹脂多層基板。
一方の表面に導体部を備え、厚み方向に貫通するようにビア導体を備える複数の樹脂シートを準備する工程と、
前記複数の樹脂シートのうち少なくとも一部において、前記導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成する工程と、
前記複数の樹脂シートを積み重ねて積層体を作製する工程と、
前記積層体を加熱および加圧することによって前記積層体に含まれる前記複数の樹脂シートを一体化させる圧着工程とを含む、樹脂多層基板の製造方法。
前記導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成する工程は、前記樹脂シートの前記導体部が形成されていない側の表面から貫通しない凹部を形成する工程を含む、請求項１１に記載の樹脂多層基板の製造方法。
前記導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成する工程は、前記樹脂シートに貫通孔を形成する工程を含み、
前記積層体を作製する工程は、前記樹脂シートの両面のうち前記導体部が形成されていない側の表面同士を対向させるように、前記樹脂シートを重ね合わせることによって、同時に、前記ビア導体同士が連結され、かつ、前記貫通孔同士が連結され、前記貫通孔の連なりの端は、前記積層体の表面に露出するように、前記複数の樹脂シートを積層する工程を含む、請求項１１に記載の樹脂多層基板の製造方法。
前記圧着工程においては、前記凹部または前記貫通孔がつぶれて空隙痕となり、前記圧着工程の後に、前記空隙痕が前記積層体の外部に接する箇所に蓋を設ける工程を含む、請求項１３に記載の樹脂多層基板の製造方法。