JP2013232462A - 樹脂多層基板およびその製造方法 - Google Patents

樹脂多層基板およびその製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】樹脂多層基板において、圧着の際の導体部の移動を防止する。
【解決手段】樹脂多層基板101は、複数の樹脂層2を積層した積層体3を備え、積層体3の内部には、複数の樹脂層2の積層方向91に互いに重なるように複数の導体部7が配置され、積層体3は、複数の導体部7の少なくとも一部と同じ層において、平面的に見て複数の導体部7の周囲となる位置に配置された流動防止部5を備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、樹脂多層基板およびその製造方法に関するものである。
従来の樹脂多層基板の一例が特開2006−49502号公報(特許文献1)に記載されている。樹脂多層基板においては、厚み方向(「積層方向」ともいう。)に重なるように導体部が配置される。ここでいう「導体部」とは、配線として機能する膜状の導電性部材であり、「導体パターン」と呼ぶ場合もある。このような樹脂多層基板を作製するには、一方の面に導体部が形成された樹脂シートを用意し、このような樹脂シートを積層し、圧着工程として加熱および加圧を施す。圧着工程を施すことによって、樹脂シート同士は互いに圧着され、積層体の全体が一体化する。こうして樹脂多層基板が得られる。
特開2006−49502号公報
圧着工程においては、樹脂シートの樹脂材料が軟らかくなって流動し、その結果、樹脂シートの表面の所望の位置に固定されていたはずの導体部が不所望に移動してしまうという問題があった。たとえば、図31に示すように、配線となる導体部を内部に含む樹脂多層基板901を想定する。樹脂多層基板901は内部に複数の導体部7を備えている。いくつかの箇所においては、厚み方向91に隣接する導体部7同士がビア導体6によって電気的に接続されている。このような構成の樹脂多層基板901をある断面で見たときに図32に示すような位置関係となることが予定されていると仮定する。実際の製品の設計では、このように導体部の配置が全ての層にわたって揃っているとは限らないが、この例は、説明をわかりやすくするために単純化して示すものである。樹脂シートを積層し終えた直後かつ圧着工程前の状態では、図32に示すように導体部7の左右方向に関する位置は、いずれの層においても揃った位置に配置されている。これに対して圧着工程を施す、すなわち、加熱および加圧を施すことによって、樹脂シートの樹脂材料が流動することにより、図33に示すように導体部7の位置がずれてしまう。
そこで、本発明は、圧着の際の導体部の移動を防止することができる樹脂多層基板およびその製造方法を目的とする。
上記目的を達成するため、本発明に基づく樹脂多層基板は、複数の樹脂層を積層した積層体を備え、上記積層体の内部には、上記複数の樹脂層の積層方向に互いに重なるように複数の導体部が配置され、上記積層体は、上記複数の導体部の少なくとも一部と同じ層において、平面的に見て上記複数の導体部の周囲となる位置に配置された流動防止部を備える。
また、本発明に基づく樹脂多層基板の製造方法は、一方の表面に導体部を備え、厚み方向に貫通するようにビア導体を備える複数の樹脂シートを準備する工程と、上記複数の樹脂シートのうち少なくとも一部において、上記導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成する工程と、上記複数の樹脂シートを積み重ねて積層体を作製する工程と、上記積層体を加熱および加圧することによって上記積層体に含まれる前記複数の樹脂シートを一体化させる圧着工程とを含む。
本発明によれば、樹脂多層基板が流動防止部を備えているので、圧着の際の導体部の移動を防止することができる。
本発明に基づく実施の形態1における樹脂多層基板の断面図である。 本発明に基づく実施の形態1における樹脂多層基板の第1の変形例の断面図である。 本発明に基づく実施の形態1における樹脂多層基板の第2の変形例の断面図である。 本発明に基づく実施の形態1における樹脂多層基板の第3の変形例の断面図である。 本発明に基づく実施の形態2における樹脂多層基板の断面図である。 本発明に基づく実施の形態2における樹脂多層基板の、積層する前の状態の説明図である。 本発明に基づく実施の形態2における樹脂多層基板を製造する過程で、空隙が空隙痕に変化する様子の第1の説明図である。 本発明に基づく実施の形態2における樹脂多層基板を製造する過程で、空隙が空隙痕に変化する様子の第2の説明図である。 本発明に基づく実施の形態2における樹脂多層基板を製造する過程で、空隙が空隙痕に変化する様子の第3の説明図である。 本発明に基づく実施の形態2における樹脂多層基板の変形例の、積層する前の状態の説明図である。 本発明に基づく実施の形態2における樹脂多層基板の変形例の断面図である。 本発明に基づく実施の形態2における樹脂多層基板の変形例において、導体部と重なる位置に凹部を設けた例の説明図である。 本発明に基づく実施の形態2における樹脂多層基板の第1の例の平面的位置関係の説明図である。 本発明に基づく実施の形態2における樹脂多層基板の第1の例を得るための積層前の樹脂シートにおける平面的位置関係の説明図である。 本発明に基づく実施の形態2における樹脂多層基板の第2の例の平面的位置関係の説明図である。 本発明に基づく実施の形態2における樹脂多層基板の第2の例を得るための積層前の樹脂シートにおける平面的位置関係の説明図である。 本発明に基づく実施の形態3における樹脂多層基板の断面図である。 1つのビア導体の近傍の拡大図である。 導体部によって第2端面が覆われた1つのビア導体の近傍の拡大図である。 本発明に基づく実施の形態3における樹脂多層基板の圧着前の状態の断面図である。 本発明に基づく実施の形態3における樹脂多層基板の第1の変形例の断面図である。 本発明に基づく実施の形態3における樹脂多層基板の第2の変形例を作製する途中の状態の断面図である。 本発明に基づく実施の形態3における樹脂多層基板の第2の変形例を作製するために用いる樹脂シートの断面図である。 本発明に基づく実施の形態3における樹脂多層基板の第2の変形例の断面図である。 本発明に基づく実施の形態4における樹脂多層基板の製造方法のフローチャートである。 本発明に基づく実施の形態4における樹脂多層基板の製造方法の第1の工程の説明図である。 本発明に基づく実施の形態4における樹脂多層基板の製造方法の第2の工程の説明図である。 本発明に基づく実施の形態4における樹脂多層基板の製造方法の第3の工程の説明図である。 本発明に基づく実施の形態4における樹脂多層基板の製造方法の一部の工程を異なる順序で行なった場合についての説明図である。 本発明に基づく実施の形態4における樹脂多層基板の製造方法の第4の工程の説明図である。 従来技術に基づく樹脂多層基板の断面図である。 従来技術に基づく樹脂多層基板を単純化した例の圧着工程前の状態の断面図である。 従来技術に基づく樹脂多層基板を単純化した例の圧着工程後の状態の断面図である。
(実施の形態1)
(構成)
図1を参照して、本発明に基づく実施の形態1における樹脂多層基板101について説明する。本実施の形態における樹脂多層基板101は、複数の樹脂層2を積層した積層体3を備える。積層体3の内部には、複数の樹脂層2の積層方向に互いに重なるように複数の導体部7が配置されている。積層体3は、複数の導体部7の少なくとも一部と同じ層において、平面的に見て複数の導体部7の周囲となる位置に配置された流動防止部5を備える。
(作用・効果)
本実施の形態における樹脂多層基板101では、流動防止部5を備えているので、圧着の際の導体部7の移動を防止することができる。図1に示した樹脂多層基板101のような構成の他に、図2に示した樹脂多層基板102のような構成であってもよい。図3に示した樹脂多層基板103のような構成であってもよい。図4に示した樹脂多層基板104のような構成であってもよい。
本実施の形態で示したように、流動防止部5は、ダミー導体51であることが好ましい。この構成であれば、導体部7を形成する際に同時に流動防止部5としてのダミー導体51も形成することが可能となるので、好ましい。
本実施の形態で示したように、積層体3の厚み方向91の中央においては、積層体3の厚み方向91の両端に比べて流動防止部5の数が多くなっていることが好ましい。これは、図1に示した樹脂多層基板101のような構成を意味する。樹脂多層基板101では、流動防止部5としてのダミー導体51は同じサイズの細分化された導体パターンとなっているが、図1に示した例では、積層体3の厚み方向91の中央においては、積層体3の厚み方向91の両端に比べてダミー導体51の数が多くなっている。この例では、圧着の際に特に樹脂の流動が起こりやすい樹脂多層基板の厚み方向中央にダミー導体が数多く配置されているので、圧着の際の導体部の移動をより効果的に防止することができる。
積層体3の厚み方向91の中央においては、積層体3の厚み方向91の両端に比べて流動防止部5と導体部7との間の距離が狭くなっていることが好ましい。これは、図3に示した樹脂多層基板103のような構成を意味する。樹脂多層基板103では、流動防止部5としてのダミー導体51は、各層に同じ数だけ配置されているが、その存在する位置は層によって異なり、積層体3の厚み方向91の中央においては、積層体3の厚み方向91の両端に比べてダミー導体51と導体部7との間の距離が狭くなっている。この構成では、圧着の際に特に樹脂の流動が起こりやすい樹脂多層基板の厚み方向中央において、ダミー導体51が導体部7に近接して配置されているので、圧着の際の導体部の移動をより効果的に防止することができる。
流動防止部5は、積層体3の厚み方向の中央においては、積層体3の厚み方向91の両端に比べて平面的に見たときの面積が大きくなっている。これは、図1、図2に示した樹脂多層基板101,102のような構成を意味する。
図1に示した樹脂多層基板101では、流動防止部5としてのダミー導体51の数が層によって異なり、積層体3の厚み方向の中央においては、積層体3の厚み方向91の両端に比べて、ダミー導体51の数が多くなっているので、ダミー導体51の合計面積を考えれば、面積が大きくなっているといえる。
図2に示した樹脂多層基板102では、流動防止部5としてのダミー導体51の数は各層で同じであるが、その個々のダミー導体51の面積に差がつけられており、積層体3の厚み方向の中央においては、積層体3の厚み方向91の両端に比べて面積が大きくなっている。これらの構成では、圧着の際に特に樹脂の流動が起こりやすい樹脂多層基板の厚み方向中央において、ダミー導体51の面積が大きくなっているので、圧着の際の導体部の移動をより効果的に防止することができる。
なお、図4に示す樹脂多層基板104のような構成であってもよい。樹脂多層基板104においては、いずれの層にも同じ数で同じ面積の流動防止部5としてのダミー導体51が配置されている。このように広い面積の流動防止部5を多くの層に設けることとすれば、他の配線を配置するためのスペースが減ってしまうという欠点はあるが、流動を抑える効果は大きくなる。
(実施の形態2)
(構成)
図5を参照して、本発明に基づく実施の形態2における樹脂多層基板について説明する。
樹脂多層基板が流動防止部5を備えるところまでは、実施の形態1で説明したものと同様である。本実施の形態では、実施の形態1に比べて、流動防止部の種類が異なる。図5に示すように、本実施の形態における樹脂多層基板105では、流動防止部5は、空隙痕52である。「空隙痕」とは、空隙が周辺の樹脂の流入によって埋まったものを意味する。ただし、空隙が完全に埋まり切ったものに限らない。空隙が周辺の樹脂の流入によって埋まった後の状態においても依然わずかな空隙が残っているものであってもよい。
(作用・効果)
本実施の形態における樹脂多層基板では、流動防止部としての空隙痕を備えているので、圧着の際の導体部の移動を防止することができる。この流動防止部は、製品においては空隙痕となっているが、元はといえば、圧着工程の直前までは樹脂シートに設けられた空隙としての凹部である。このように空隙を以て流動防止部とすれば、導体部と流動防止部との間での短絡のおそれがないので、実施の形態1のようにダミー導体を以て流動防止部とする場合に比べて、導体部により近い位置に流動防止部を配置することも可能となる。
本実施の形態における樹脂多層基板の積層する前の状態を図6に示す。図6に示すように、のちに樹脂層2となる樹脂シート12の各々は、一方の面に導体部7を有している。積層後に下面に外部電極を設けるために、積層時には最下層の樹脂シートのみ裏向きとなっている。最上層および最下層を除いて、中間に配置される樹脂シートには空隙として凹部53が設けられている。空隙は流動防止部5である。図6に示した複数の樹脂シート12を積層し、さらに圧着工程を施すことにより、空隙としての凹部53がつぶれて図5に示すようになる。元は各樹脂シート12の表面にあった導体部も圧着工程を経ることによって樹脂の中に半分沈み込んだ状態となる。
空隙が空隙痕に変化する様子を、拡大して示す。図7に示すように樹脂シート12の一方の表面にレーザ加工によって凹部53が形成されている。凹部53を塞ぐようにもう1枚の樹脂シート12が重ねられる。こうして図8に示すように凹部53は密閉された状態となる。この時点では凹部53は空隙として内部に存在する。圧着工程が行なわれることにより、樹脂の流動が起こり、図9に示すように凹部53はつぶれて空隙痕52となる。この際に、樹脂の流動を空隙が吸収するので、導体部が移動することを抑制することができる。
図5、図6では、各樹脂シート12の導体部7と同じ側の表面に凹部53を形成した例を示したが、図10に示すように、各樹脂シート12の導体部7と反対側の表面に凹部53を形成することとしてもよい。図10に示した複数の樹脂シート12を積層し、さらに圧着工程を施すことにより、空隙としての凹部53がつぶれて図11に示すようになる。
図5、図6に示したように凹部53を導体部7と同じ表面に設ける場合は、凹部53によって導体部7が不安定になる可能性があるが、図10、図11に示したように凹部53を導体部7と反対側の表面に設ける場合は、導体部7が安定し、より精度良く導体を配置することができる。また、前者の場合、凹部53を形成するためのレーザ照射は、導体部7のパターニングをした後にしか行なえないが、図10、図11に示したように凹部53を導体部7と反対側の表面に設ける後者の場合は、凹部53を形成するためのレーザ照射は、導体部7のパターニングをする前に行なうことも可能となる。また、図12に示すように導体部7と重なる位置に凹部53を設けることも可能となるので、好ましい。
平面的に見たときの空隙または空隙痕の形状について説明する。図13に示すように、流動防止部5としての空隙痕52は、平面的に見て線状であってよい。図13では、積層体3の内部に隠れている導体部7および空隙痕52を透視して表示している。この構成は、図14に示すように、線状に凹部53を設けた樹脂シート12を積層して圧着することによって得ることができる。図14では樹脂シート12を単独で取り出した状態を平面図で示している。線状に設けられた凹部53は樹脂シート12の表面に設けられた溝として把握することができる。図13では図14に比べて流動によって凹部53がつぶれ、空隙痕52となっている。樹脂多層基板にこの構成を設けることにより、圧着工程における樹脂の流れを線状の流動防止部によって確実に抑制することができる。
あるいは、他の例として、図15に示すように、流動防止部5としての空隙痕52は、平面的に見て点状であってもよい。図15では、積層体3の内部に隠れている導体部7および空隙痕52を透視して表示している。図15では空隙痕52を「×」という記号で表示している。この構成は、図16に示すように、点状に凹部53を設けた樹脂シート12を積層して圧着することによって得ることができる。図15では図16に比べて流動によって凹部53がつぶれ、空隙痕52となっている。樹脂多層基板にこの構成を設けることにより、圧着工程における樹脂の流れを点状の流動防止部によって抑制することができる。流動防止部が線状である場合に比べて点状で配置する場合は、樹脂シートの強度低下を抑えることができ、積層時の樹脂シートのハンドリングが容易となる。また、凹部53の形成をレーザ照射によって行なう場合、点状であればレーザ照射の時間を短縮することができ、その結果、製造コストを低減することができる。
ここまで、空隙痕52は空隙としての凹部が圧着時に樹脂流動によってつぶれたものとして説明してきたが、空隙痕52の元となる空隙は凹部に限らず、樹脂シートを厚み方向に貫通する貫通孔であってもよい。
(実施の形態3)
(構成)
図17〜図20を参照して、本発明に基づく実施の形態3における樹脂多層基板について説明する。本実施の形態における樹脂多層基板107の断面図を図17に示す。樹脂多層基板107は、流動防止部としての空隙痕を備えていることまでは実施の形態2で説明したものと同様である。本実施の形態では、空隙痕は貫通孔がつぶれることによって形成された空隙痕54である。
積層体3の内部には、樹脂層2を貫通するように設けられた複数のビア導体6が配置されている。1つのビア導体6を取り出して拡大したところを図18に示す。複数のビア導体6の各々は、樹脂層2の一方の表面に露出する第1端面31と、樹脂層2の他方の表面に露出し、第1端面31より面積が小さい第2端面32とを有する。樹脂層2の他方の表面に露出する第2端面32は、図19に示すように導体部7によって覆われていてもよい。図17に示すように、積層体3の内部には、第1端面31同士が当接している面であるビア導体合体面35がある。空隙痕54は、ビア導体合体面35のある樹脂層2同士の接合面36から積層体3の外部まで連なるように配置されている。
この構成は、図20に示すように、厚み方向91に複数の樹脂層2にわたって連なるように流動防止部5としての貫通孔55を設けた樹脂シート12を積層して圧着することによって得ることができる。この際、貫通孔55はビア導体合体面35のある樹脂層2同士の接合面36から積層体3の外部まで連なるように設けられる。圧着前には実際に、貫通孔55が連通しており、圧着工程を行なうことによりこの貫通孔55の連なりが樹脂流動によってつぶれ、空隙痕54の連なりへと変化する。
(作用・効果)
本実施の形態における樹脂多層基板には、接合面36から積層体3の外部まで連なるように空隙痕54の連なりが存在するが、これは貫通孔55が設けられていたものが元となっており、圧着工程においては、ビア導体合体面35の不所望な空隙にあった空気が貫通孔55を通じて積層体3の外部に逃げることができる。
そもそもビア導体6を形成する際には、一般的には、レーザ加工などによってあけた孔の内部に導体ペーストが充填されるが、この際の導体ペーストの充填不足などによって、第1端面31が凹む傾向がある。凹んだ第1端面31同士を対向させて当接させた場合、その界面には空隙が生じることとなる。「ビア導体合体面35の不所望な空隙」とは、このような理由から第1端面31同士の間に生じる空隙を意味する。
なお、図21に示す樹脂多層基板107iのように、圧着後に、空隙痕54が積層体3の外部に接する箇所に蓋37を設けてもよい。蓋37はたとえば樹脂によって設けることができる。蓋37を設置するためには樹脂で予め形成した蓋を貼り付けることとしてもよい。液状の樹脂を滴下して積層体3の表面で硬化させることによって蓋37を形成してもよい。
たとえ蓋37がなくとも、図20に示す状態から圧着工程を行なうことにより、貫通孔55の連なりは空隙痕54の連なりに変化し、その結果、積層体3の表面付近においても貫通孔55は閉塞されていると考えられるが、貫通孔55が空隙痕54となってもまだ十分に閉塞していない可能性がある場合は、水分などの侵入をより確実に防ぐために蓋37によって空隙痕54を塞いでおくことが好ましい。以上のように、空隙痕54が積層体3の外部に接する箇所に蓋37が設けられていることが好ましい。
図22に示すように、途中まで積層した後に、これを圧着し、さらに図23に示すようなもう1枚の樹脂シート12を積み重ねて圧着することとしてもよい。この場合、図22に示した状態では、接合面36から積層体3の外部まで連なるように貫通孔55が連通していたが、最後に積み重ねた樹脂シート12には貫通孔は設けられておらず、この最後に積み重ねる樹脂シート12が蓋代わりとなる。図23に示した樹脂シート12を積み重ねてさらに圧着することによって、図24に示す樹脂多層基板108が得られる。樹脂多層基板108においては、流動防止部5としての貫通孔55はつぶれて空隙痕54となっているが、空隙痕54の端は積層体3の表面には達していない。したがって、空隙痕54から水分などが侵入することを防ぐことができる。
(実施の形態4)
(製造方法)
図25〜図30を参照して、本発明に基づく実施の形態4における樹脂多層基板の製造方法について説明する。本実施の形態における樹脂多層基板の製造方法のフローチャートを図25に示す。
本実施の形態における樹脂多層基板の製造方法は、一方の表面に導体部を備え、厚み方向に貫通するようにビア導体を備える複数の樹脂シートを準備する工程S1と、前記複数の樹脂シートのうち少なくとも一部において、前記導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成する工程S2と、前記複数の樹脂シートを積み重ねて積層体を作製する工程S3と、前記積層体を加熱および加圧することによって前記積層体に含まれる前記複数の樹脂シートを一体化させる圧着工程S4とを含む。
本実施の形態における樹脂多層基板の製造方法について説明する。
まず、工程S1としては、図26に示すように、熱可塑性樹脂層20の一方の主表面に導体箔17が貼り付けられたものである樹脂シート12を用意する。熱可塑性樹脂層20は、液晶ポリマー(LCP)や、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)などに代表される250℃以上の融点を持つ熱可塑性樹脂からなる絶縁層である。
樹脂シート12において、熱可塑性樹脂層20上の導体箔17をエッチングして、図27に示すように、所望のパターンの導体部7を形成する。導体部7は「導体パターン」とも呼ばれる。
なお、導体部7を形成するにあたっては、たとえば、導体箔17の表面に、所定のレジストパターンを形成し、エッチング液に浸漬してエッチングを行なった後、レジストパターンを除去することにより、図27に示すような所望のパターンの導体部7を得ることができる。
ただし、エッチングする代わりに、予めパターン化した金属箔を熱可塑性樹脂層20の一方の表面に張り付けることによって図27に示す構造を得てもよい。
次に、レーザ加工により、図28に示すように、熱可塑性樹脂層の所定の位置にビア孔11を形成し、樹脂層2とする。なお、レーザ加工の際には、導体部7が形成されていない側の主表面からレーザ光を照射して、導体部7の裏面に達するようにビア孔11を形成する。このようにした結果、図28に示すように、ビア孔11が形成された樹脂層2の表面に、パターン化された導体部7が配置され、導体部7の一部がビア孔11を覆っている構造が得られる。ビア孔11を形成するためのレーザ加工によって、ビア孔11だけでなく、導体部7の周囲に凹部または貫通孔(図示せず)を形成する。ここで、導体部7の周囲に凹部または貫通孔(図示せず)を形成する工程が工程S2に相当する。
なお、ここまでの工程の順序は上述のものに限られない。たとえば、図29に示すように、導体部7を形成する前に熱可塑性樹脂層にビア孔11を形成し、さらにエッチングを行なうことによって、所望のパターンの導体部7を形成するようにしてもよい。そのようにしても図28に示す構造が得られる。あるいは、さらに他の手順で形成してもよい。その場合、凹部または貫通孔(図示せず)の形成は、ビア孔の形成と同時に行なってもよく、導体部7を形成した後で行なってもよい。
次に、図30に示すように、各樹脂シート12の樹脂層2に設けられたビア孔11に導電性ペースト6aを充填する。導電性ペースト6aは、たとえばAg粒子を主成分とするものである。このように処理をされた樹脂シート12を所定の順に積層する。すなわち、複数の樹脂シートを積み重ねて積層体を作製する工程S3を行なう。
樹脂シート12を積層して得られた積層体に対して真空プレスを行なう。この真空プレスの際の温度は、ビア孔11に充填された導電性ペースト6aに含まれる金属粒子としてのAg粒子の融点よりも低い温度であって、かつ、樹脂層2が可塑性を示すが溶融はしない程度の温度とする。この温度はたとえば250℃〜350℃である。このようにして加熱および加圧をすることによって圧着を行なう。なお、この250℃〜350℃の温度は、導体部7を構成する材料が溶融しない温度でもある。
このように圧着工程S4を行なうことによって、積層体に含まれる樹脂シート12は一体化し、導電性ペースト6aは焼成されてビア導体6となり、ビア導体6と導体部7とが接合される。
上記各実施の形態において説明した樹脂多層基板は、ここで述べたような製造方法により得ることができる。
(作用・効果)
本実施の形態における樹脂多層基板の製造方法では、工程S2において、導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成することとしているので、これらの「凹部または貫通孔」が流動防止部の役割を果たし、圧着工程S4において、樹脂シートの樹脂が流動しても、これらの「凹部または貫通孔」によって流動が吸収されるので、導体部の位置がずれることを防止することができる。
したがって、本実施の形態では、圧着の際の導体部の移動を防止することができる樹脂多層基板の製造方法とすることができる。
本実施の形態における樹脂多層基板の製造方法の好ましい態様について説明する。前記導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成する工程S2は、前記樹脂シートの前記導体部が形成されていない側の表面から貫通しない凹部を形成する工程を含むことが好ましい。これは、図6に示したように樹脂シートの導体部が形成されている側の表面から凹部を形成するよりも、図10に示したように樹脂シートの導体部が形成されていない側の表面から凹部を形成することの方が好ましいということを意味する。理由は、実施の形態2で、図5〜図6、図10〜図12を参照して既に述べたとおりである。
前記導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成する工程S2は、前記樹脂シートに貫通孔を形成する工程を含み、前記積層体を作製する工程S3は、前記樹脂シートの両面のうち前記導体部が形成されていない側の表面同士を対向させるように、前記樹脂シートを重ね合わせることによって、同時に、前記ビア導体同士が連結され、かつ、前記貫通孔同士が連結され、前記貫通孔の連なりの端は、前記積層体の表面に露出するように、前記複数の樹脂シートを積層する工程を含むことが好ましい。工程S3がこのような条件を満たすということは、図20に示したように、複数の樹脂シートにわたる貫通孔の連なりによって、ビア導体合体面35がある接合面36から積層体の外部に連通するように空気の逃げ道が形成されるということである。したがって、ビア導体合体面35の不所望な空隙の内部にあった空気は、圧着工程S4の際に貫通孔の連なりを通って積層体の外部に排出される。したがって、圧着工程後に積層体の内部に空気が閉じ込められた状態となることを回避することができる。
圧着工程S4においては、前記凹部または前記貫通孔がつぶれて空隙痕となり、圧着工程S4の後に、前記空隙痕が前記積層体の外部に接する箇所に蓋を設ける工程を含むことが好ましい。このようにして蓋を設けることによって、水分などの侵入をより確実に防ぐことができるからである。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
2 樹脂層、3 積層体、5 流動防止部、6 ビア導体、6a 導体ペースト、7 導体部、11 ビア孔、12 樹脂シート、17 導体箔、20 熱可塑性樹脂層、31 第1端面、32 第2端面、35 ビア導体合体面、36 接合面、37 蓋、51 ダミー導体、52,54 空隙痕、53 凹部、55 貫通孔、91 厚み方向、101,102,103,104,105,106 樹脂多層基板。

Claims (14)

  1. 複数の樹脂層を積層した積層体を備え、
    前記積層体の内部には、前記複数の樹脂層の積層方向に互いに重なるように複数の導体部が配置され、
    前記積層体は、前記複数の導体部の少なくとも一部と同じ層において、平面的に見て前記複数の導体部の周囲となる位置に配置された流動防止部を備える、樹脂多層基板。
  2. 前記積層体の厚み方向の中央においては、前記積層体の厚み方向の両端に比べて前記流動防止部の数が多くなっている、請求項1に記載の樹脂多層基板。
  3. 前記積層体の厚み方向の中央においては、前記積層体の厚み方向の両端に比べて前記流動防止部と前記導体部との間の距離が狭くなっている、請求項1または2に記載の樹脂多層基板。
  4. 前記流動防止部は、ダミー導体である、請求項1から3のいずれかに記載の樹脂多層基板。
  5. 前記流動防止部は、前記積層体の厚み方向の中央においては、前記積層体の厚み方向の両端に比べて平面的に見たときの面積が大きくなっている、請求項4に記載の樹脂多層基板。
  6. 前記流動防止部は、空隙痕である、請求項1から3のいずれかに記載の樹脂多層基板。
  7. 前記空隙痕は、平面的に見て線状である、請求項6に記載の樹脂多層基板。
  8. 前記空隙痕は、平面的に見て点状である、請求項6に記載の樹脂多層基板。
  9. 前記積層体の内部には、前記樹脂層を貫通するように設けられた複数のビア導体が配置されており、前記複数のビア導体の各々は、前記樹脂層の一方の表面に露出する第1端面と、前記樹脂層の他方の表面に露出し、前記第1端面より面積が小さい第2端面とを有し、前記積層体の内部には、前記第1端面同士が当接している面であるビア導体合体面があり、前記空隙痕は、前記ビア導体合体面のある前記樹脂層同士の接合面から前記積層体の外部まで連なるように配置されている、請求項6から8のいずれかに記載の樹脂多層基板。
  10. 前記空隙痕が前記積層体の外部に接する箇所に蓋が設けられている、請求項9に記載の樹脂多層基板。
  11. 一方の表面に導体部を備え、厚み方向に貫通するようにビア導体を備える複数の樹脂シートを準備する工程と、
    前記複数の樹脂シートのうち少なくとも一部において、前記導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成する工程と、
    前記複数の樹脂シートを積み重ねて積層体を作製する工程と、
    前記積層体を加熱および加圧することによって前記積層体に含まれる前記複数の樹脂シートを一体化させる圧着工程とを含む、樹脂多層基板の製造方法。
  12. 前記導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成する工程は、前記樹脂シートの前記導体部が形成されていない側の表面から貫通しない凹部を形成する工程を含む、請求項11に記載の樹脂多層基板の製造方法。
  13. 前記導体部の周囲に凹部または貫通孔を形成する工程は、前記樹脂シートに貫通孔を形成する工程を含み、
    前記積層体を作製する工程は、前記樹脂シートの両面のうち前記導体部が形成されていない側の表面同士を対向させるように、前記樹脂シートを重ね合わせることによって、同時に、前記ビア導体同士が連結され、かつ、前記貫通孔同士が連結され、前記貫通孔の連なりの端は、前記積層体の表面に露出するように、前記複数の樹脂シートを積層する工程を含む、請求項11に記載の樹脂多層基板の製造方法。
  14. 前記圧着工程においては、前記凹部または前記貫通孔がつぶれて空隙痕となり、前記圧着工程の後に、前記空隙痕が前記積層体の外部に接する箇所に蓋を設ける工程を含む、請求項13に記載の樹脂多層基板の製造方法。
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