JP2013218771A5 - - Google Patents

Description

磁気ヘッドサスペンション

本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法に関する。

磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションには、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックの中心に高速に且つ高精度に位置させることが要求される。

前記磁気ヘッドサスペンションは、ボイスコイルモータ等のアクチュエータによって基端側が直接又は間接的に揺動中心回りに揺動されることで、先端側において支持する前記磁気ヘッドスライダをディスク面に平行なシーク方向に沿って目的トラックへ向けて移動させる。

ここで、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックに高速に且つ正確に位置させる為には、前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高めた場合であっても前記磁気ヘッドスライダの振動を可及的に低減させる必要がある。

下記特許文献１には、ディスク面に平行に配置されるプレート状本体部と前記本体部の両側縁から前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた左右一対のフランジとを有するロードビーム部において、前記本体部に補助フランジを形成することで前記ロードビーム部の剛性を高めることが開示されている。

前記特許文献１に記載の構成は、質量増加を招くこと無く前記ロードビーム部の剛性を高めることができる為、共振周波数を有効に上昇させることができる点においては有用である。
しかしながら、前記補助フランジを形成する為には専用の製造工程を追加しなければならず、製造工程の増加及び金型の追加によってコスト高騰化を招くという問題がある。

また、アクチュエータによって揺動される支持部に荷重曲げ部を介してロードビーム部が支持され、磁気ヘッドスライダを支持するフレクシャ部が前記ロードビーム部に固着された磁気ヘッドサスペンションも提案されている（下記特許文献２及び３参照）。

特開昭６２−２７９５７０号公報 特開２０１１−２５８２５７号公報 特開２０１２−００３７９４号公報

本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、コスト高騰を可及的に防止しつつ、質量増加を招くこと無く剛性を向上させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を、目的とする。

本発明は、前記目的を達成する為に、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する荷重曲げ部と、基端側が前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ先端側に設けられたディンプルを介して前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記ロードビーム部は前記ディスク面と略平行に配置される平板状の本体部を有し、前記フレクシャ部は前記ディスク面と略平行に配置される平板状のフレクシャ基板を有し、前記フレクシャ基板は前記本体部におけるディスク対向面に接合されるロードビーム部接合領域を有し、前記ロードビーム部接合領域及び前記本体部は複数のロードビーム部側溶接点においてスポット溶接されることで固着されており、前記複数のロードビーム部側溶接点は、前記支持部の先端側エッジ及び前記ディンプル間のサスペンション長手方向距離をＬとした場合に、前記支持部の先端側エッジから０．４×Ｌ以上で且つ０．６×Ｌ以下の中央領域においてサスペンション長手方向中心線を挟んで対称に配置された左右一対のメイン溶接点を含んでいる磁気ヘッドサスペンションを提供する。

好ましくは、前記複数のロードビーム部側溶接点は、前記一対のメイン溶接点よりサスペンション長手方向基端側において前記中心線を挟んで対称に配置された左右一対のロードビーム部基端側溶接点を含み得る。

第１の態様においては、前記一対のメイン溶接点におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板又は前記本体部の一方の側から行われ、前記一対のロードビーム部基端側溶接点におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板又は前記本体部の他方の側から行われる。

第２の態様においては、前記一対のメイン溶接点及び前記一対のロードビーム部基端側溶接点におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板又は前記本体部の同一側から行われる。

前記第１及び第２の態様において、好ましくは、前記一対のメイン溶接点におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板の側から行われる。

好ましくは、前記複数のロードビーム部側溶接点は、前記中心線上に配置され且つ前記一対のメイン溶接点におけるスポット溶接と同一側からスポット溶接が行われる中央溶接点を含み得る。
第１の形態においては、前記中央溶接点は、前記一対のメイン溶接点とサスペンション長手方向同一位置に配置される。

第２の形態においては、前記中央溶接点は、前記一対のメイン溶接点とはサスペンション長手方向に関し変位される。
この場合、前記一対のメイン溶接点の溶接強度が前記中央溶接点の溶接強度よりも大とされる。

前記第２の形態においては、好ましくは、前記中央溶接点は、前記一対のメイン溶接点からサスペンション長手方向先端側及び基端側へそれぞれ変位された先端側中央溶接点及び基端側中央溶接点を含み得る。
前記先端側中央溶接点及び前記基端側中央溶接点は、前記一対のメイン溶接点を結ぶ仮想線を基準にして対称配置される。

又、本発明は、前記目的を達成する為に、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する荷重曲げ部と、基端側が前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ先端側に設けられたディンプルを介して前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記ロードビーム部は前記ディスク面と略平行に配置される平板状の本体部を有し、前記フレクシャ部は前記ディスク面と略平行に配置される平板状のフレクシャ基板を有し、前記フレクシャ基板は前記本体部におけるディスク対向面に接合されるロードビーム部接合領域を有し、前記ロードビーム部接合領域及び前記本体部は複数のロードビーム部側溶接点においてスポット溶接されることで固着されており、前記複数のロードビーム部側溶接点は、前記支持部の先端側エッジ及び前記ディンプル間のサスペンション長手方向距離をＬとした場合に、前記支持部の先端側エッジから０．４×Ｌ以上で且つ０．６×Ｌ以下の中央領域においてサスペンション長手方向中心線上に配置された中央溶接点と、前記中央溶接点よりサスペンション長手方向先端側において前記中心線を挟んで対称に配置された左右一対の先端側溶接点と、前記中央溶接点よりサスペンション長手方向基端側において前記中心線を挟んで対称に配置された左右一対の基端側溶接点とを含み、前記一対の先端側溶接点及び前記一対の基端側溶接点は、前記中央溶接点を挟んでサスペンション長手方向に関し対称配置され、前記中央溶接点、前記一対の先端側溶接点及び前記一対の基端側溶接点におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板又は前記本体部の同一側から行われている磁気ヘッドサスペンションを提供する。

好ましくは、前記複数のロードビーム部側溶接点は、前記一対の基端側溶接点よりサスペンション長手方向基端側において前記中心線を挟んで対称に配置された左右一対のロードビーム部基端側溶接点を含み得る。

第１の態様においては、前記中央溶接点、前記一対の先端側溶接点及び前記一対の基端側溶接点におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板又は前記本体部の一方の側から行われ、前記一対のロードビーム部基端側溶接点におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板又は前記本体部の他方の側から行われる。

第２の態様においては、前記中央溶接点、前記一対の先端側溶接点、前記一対の基端側溶接点及び前記一対のロードビーム部基端側溶接点におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板又は前記本体部の同一側から行われる。

前記種々の構成において、前記荷重曲げ部は、サスペンション幅方向に離間配置され且つ板面が前記ディスク面に対して略平行とされた左右一対の板バネを有し、
前記フレクシャ基板は、前記支持部におけるディスク対向面に接合された状態で複数の支持部側溶接点におけるスポット溶接によって前記支持部に固着される支持部接合領域と、前記一対の板バネの間の間隙内において前記ロードビーム部接合領域及び前記支持部接合領域を連結する非接合領域とを含むものとされ得る。

この場合には、好ましくは、前記一対のロードビーム部基端側溶接点は、前記ロードビーム部接合領域のうち前記非接合領域に隣接するように配置され、前記複数の支持部側溶接点は、前記支持部接合領域のうち前記非接合領域に隣接する部分を前記支持部に溶接する左右一対の支持部先端側溶接点を含む。

本発明の一態様に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては、フレクシャ基板のロードビーム部接合領域とロードビーム部の平板状本体部とをスポット溶接する複数のロードビーム部側溶接点が、支持部の先端側エッジ及びディンプル間のサスペンション長手方向距離をＬとした場合に、前記支持部の先端側エッジから０．４×Ｌ以上で且つ０．６×Ｌ以下の中央領域においてサスペンション長手方向中心線を挟んで対称に配置された左右一対のメイン溶接点を含んでいる。

斯かる構成によれば、実質的に製造工程を追加すること無く、前記ロードビーム部及び前記フレクシャ基板の接合体をディスク面とは直交する方向へ凸状に撓ませることができる。
従って、コスト高騰を可及的に防止しつつ、質量増加を招くこと無く剛性を向上させることができる。

特に、前記中央領域において前記接合体が大きく撓むことになる。
従って、曲げ一次モードの振動に対する共振周波数及び捩れ一次モードの振動に対する共振周波数を効果的に上昇させることができ、ボイスコイルモータ等のアクチュエータによって磁気ヘッドスライダを目的トラック上へ位置させる際に、曲げ一次モード及び捩れ一次モードの共振が生じることを有効に防止することができる。

又、本発明の他態様に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては、フレクシャ基板のロードビーム部接合領域とロードビーム部の平板状本体部とをスポット溶接する複数のロードビーム部側溶接点が、支持部の先端側エッジ及びディンプル間のサスペンション長手方向距離をＬとした場合に、支持部の先端側エッジから０．４×Ｌ以上で且つ０．６×Ｌ以下の中央領域においてサスペンション長手方向中心線上に配置された中央溶接点と、前記中央溶接点よりサスペンション長手方向先端側において前記中心線を挟んで対称に配置された左右一対の先端側溶接点と、前記中央溶接点よりサスペンション長手方向基端側において前記中心線を挟んで対称に配置された左右一対の基端側溶接点とを含み、前記一対の先端側溶接点及び前記一対の基端側溶接点は、前記中央溶接点を挟んでサスペンション長手方向に関し対称配置され、前記中央溶接点、前記一対の先端側溶接点及び前記一対の基端側溶接点におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板又は前記本体部の同一側から行われている。

斯かる構成においても、実質的に製造工程を追加すること無く、前記ロードビーム部及び前記フレクシャ基板の接合体をディスク面とは直交する方向へ凸状に撓ませることができる。
従って、コスト高騰を可及的に防止しつつ、質量増加を招くこと無く剛性を向上させることができる。

前記他形態に係る磁気ヘッドサスペンションにおいても、前記中央領域において前記接合体が大きく撓むことになる。
従って、曲げ一次モードの振動に対する共振周波数及び捩れ一次モードの振動に対する共振周波数を効果的に上昇させることができ、ボイスコイルモータ等のアクチュエータによって磁気ヘッドスライダを目的トラック上へ位置させる際に、曲げ一次モード及び捩れ一次モードの共振が生じることを有効に防止することができる。

図１は、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図２は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図３は、図２におけるIII-III線に沿った断面図である。 図４は、前記実施の形態１の第１変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図５は、前記実施の形態１の第２変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図６は、前記実施の形態１の第３変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図７は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図８は、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図９は、前記実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図１０(a)及び(b)は、それぞれ、図８におけるXa-Xa線及びXb-Xb線に沿った断面図である。

実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１及び図２に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から視た平面図）及び下面図（前記ディスク面から視た底面図）を示す。

前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、図１及び図２に示すように、ボイスコイルモータ等のアクチュエータ（図示せず）によって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に向けて押し付ける為の押し付け荷重を発生し得るように基端部が前記支持部１０に連結された荷重曲げ部２０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記支持部１０に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達するロードビーム部３０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０とを備えている。

前記支持部１０は、前記アクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。

本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記支持部１０は、前記アクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記アクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。

前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。

前記ロードビーム部３０は、前記ディスク面と略平行に配置され且つ前記フレクシャ部４０が接合される平板状の本体部３１を有している。
本実施の形態においては、剛性を向上させる為に、図１〜図３に示すように、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１のサスペンション幅方向両端部からディスク面とは反対側に延びる左右一対のフランジ部３２を有している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。

図１及び図２に示すように、前記本体部３１には、先端側に、所謂ディンプル３３と呼ばれる突起が形成されている。
前記ディンプル３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。このディンプル３３は、前記フレクシャ部４０における下記ヘッド搭載領域４１５の上面（前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面）に接触して、このディンプル３３を介して前記荷重が前記フレクシャ部４０の前記ヘッド搭載領域４１５に伝達されるようになっている。

本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記アクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面と直交するｚ方向に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。

本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１のサスペンション幅方向両端部は、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように略直線状に傾斜されている。

斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０の先端側における前記中心線ＣＬ回りの慣性モーメントを低減でき、捩れモード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させることができる。

前記荷重曲げ部２０は、自己の弾性変形に応じて前記押し付け荷重を発生する限り、種々の形態を取り得る。
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記荷重曲げ部２０は、サスペンション幅方向に離間配置され且つ板面が前記ディスク面に対して略平行とされた左右一対の板バネ２１を有している。

前記一対の板バネ２１は、図１及び図２に示すように、先端側が前記ディスク面に近接するように曲げ線ＢＬにおいて曲げられている。
前記曲げ線ＢＬのサスペンション長手方向位置及び／又は前記曲げ線ＢＬでの曲げ角度を調整することによって、前記押し付け荷重を所定値に設定することができる。

即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａがハードディスク装置に組み込まれる前の状態において、前記一対の板バネ２１は前記曲げ線ＢＬにおいて先端側がディスク面に近接する方向へ曲げられる。
そして、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記ハードディスク装置に組み込まれる際には、前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ハードディスク装置における前記ディスク面上に位置するように前記曲げ線ＢＬでの曲げが曲げ戻されて前記一対の板バネ２１が弾性変形される。

さらに、前記ハードディスク装置が作動状態となって前記ディスク面が回転されると、前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面の回転に伴う空気圧を受けて前記ディスク面から離間する方向へ浮上し、この磁気ヘッドスライダ５０の浮上動作に応じて前記曲げ線ＢＬでの曲げがさらに曲げ戻されるように前記一対の板バネ２１が弾性変形する。

即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａを前記ハードディスク装置へ組み込む際の前記板バネ２１の弾性変形及び前記ディスク面の回転に伴う前記磁気ヘッドスライダ５０の浮上動作による前記板バネ２１の弾性変形によって前記板バネ２１は保有弾性を有する状態となり、この保有弾性が前記押し付け荷重として作用する。

前記板バネ２１は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。

なお、本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記一対の板バネ２１は、前記ロードビーム部３０と一体形成されている。
即ち、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記ロードビーム部３０及び前記一対の板バネ２０を一体的に形成するロードビーム部／板バネ形成体３００を有している。

図２に示すように、前記形成体３００は、前記ロードビーム部３０と、前記ロードビーム部３０における前記本体部３１のサスペンション幅方向両側から基端側へ延びる前記一対の板バネ２１と、前記一対の板バネ２１から基端側へそれぞれ延びる一対の支持部接合領域３１０とを一体的に有している。

前記形成体３００は、図２に示すように、前記一対の支持部接合領域３１０が前記支持部１０におけるディスク対向面の先端側に当接された状態で複数の溶接点８０におけるスポット溶接によって、前記支持部１０に連結されている。
好ましくは、前記スポット溶接は、前記形成体３００の側から行うことができ、これにより、溶接作業の容易化を図ることができる。

前記フレクシャ部４０は、前記ディスク面と略平行に配置される平板状のフレクシャ基板４１０であって、前記ヘッド搭載領域４１５を有し且つ前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０にスポット溶接によって固着されるフレクシャ基板４１０を有している。

詳しくは、図２に示すように、前記フレクシャ基板４１０は、前記本体部３１のディスク対向面に接合された状態で複数のロードビーム部側溶接点６０におけるスポット溶接によって前記本体部３１に固着されるロードビーム部接合領域４１１と、前記支持部１０のディスク対向面に接合された状態で複数の支持部側溶接点７０におけるスポット溶接によって前記支持部１０に固着される支持部接合領域４１２と、前記ロードビーム部接合領域４１１及び前記支持部接合領域４１２の間に延びる非接合領域４１３と、前記ロードビーム部接合領域４１１のサスペンション幅方向両側からサスペンション長手方向先端側へ延びる一対の支持片４１４と、前記一対の支持片４１４によって支持された前記ヘッド搭載領域４１５とを有している。

前記ヘッド搭載領域４１５は、図４に示すように、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４１５の上面には前記ディンプル３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４１５は前記ディンプル３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。

前記フレクシャ基板４１０は、前記ヘッド搭載領域４１５がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ基板４１０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス等の金属材料によって好適に形成される。

本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０には、図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ５０を外部部材に電気的に接続する為の配線構造体４２０が一体的に備えられている。

詳しくは、前記配線構造体４２０は、前記フレクシャ基板４１０における前記ディスク面と対向する下面に積層される絶縁層と前記絶縁層における前記ディスク面と対向する面に積層される信号配線とを含み得る。
好ましくは、前記配線構造体は、前記信号配線を囲繞する絶縁性のカバー層を有し得る。

ここで、前記フレクシャ基板４１０を前記本体部３１及び前記支持部１０にスポット溶接する前記複数の溶接点６０、７０について説明する。

図２に示すように、前記複数のロードビーム側溶接点６０は、前記支持部１０の先端側エッジ（前記支持部１０と前記一対の板バネ２１との境界）及び前記ディンプル３３間のサスペンション長手方向距離をＬとした場合に、前記支持部１０の先端側エッジから０．４×Ｌ以上で且つ０．６×Ｌ以下の中央領域において前記サスペンション長手方向中心線ＣＬを挟んで対称に配置された左右一対のメイン溶接点６１を含んでいる。

ところで、第１及び第２の２枚の平板状部材を重合させた状態で複数の溶接点において一方の平板状部材（第１平板部材）の側からスポット溶接を行うと、前記複数の溶接点を結ぶ方向に沿って前記第１及び第２平板状部材が縮むが、この縮みの程度は、前記スポット溶接を行う側の前記第１平板部材の方が前記第２平板部材よりも大きくなる。

本実施の形態においては、図２に示すように、前記一対のメイン溶接点６１におけるスポット溶接は、前記フレクシャ基板４１０の側から行われている。
この場合には、前記一対のメイン溶接点６１を結ぶサスペンション幅方向に沿った方向に関し、前記フレクシャ基板４１０（前記ロードビーム部接合領域４１１）の方が前記本体部３１よりも大きく縮むことになる。

その結果、前記ロードビーム部３０及び前記フレクシャ基板４１０の接合体は、前記ディスク面とは反対側に凸状に撓むことになる。
図３に、図２におけるIII-III線に沿った断面図であって、前記一対のメイン溶接点６１を通る切断面に沿った断面図を示す。

このように、前記一対のメイン溶接点６１におけるスポット溶接によって前記フレクシャ基板４１０及び前記本体部３１を固着することによって、図３に示すように、前記ロードビーム部３０及び前記フレクシャ基板４１０の接合体を撓ませることができ、これにより、質量増加を招くこと無く、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの剛性を高めることができる。従って、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの共振周波数を高めることができる。
なお、本実施の形態においては、前記一対のメイン溶接点６１におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板４１０の側から行われている。この場合には、前述の通り、前記ロードビーム部３０及び前記フレクシャ基板４１０の接合体は前記ディスク面とは反対側に凸状に撓む。

又、本実施の形態においては、前述の通り、前記一対のメイン溶接点６１は、サスペンション長手方向に関する前記ロードビーム部３０の前記中央領域に配置されている。
斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０を前記中央領域において大きく撓ませることができ、前記中央部分の剛性を効果的に高めることができる。
従って、曲げ一次モードの振動に対する共振周波数及び捩れ一次モードの振動に対する共振周波数を効果的に高めることができる。

即ち、曲げ一次モードの振動とは、前記支持部１０の先端側エッジ（前記支持部１０と前記荷重曲げ部２０との境界）と前記ディンプル３３とを支点（即ち、前記ディスク面に直交するｚ方向に関し変位ゼロ）とした状態で前記ロードビーム部３０がｚ方向に曲げ動作する振動であり、前記２つの支点間のサスペンション長手方向中央部分の振幅が最も大きくなる。

又、捩れ一次モードの振動とは、前記支持部１０の前記先端側エッジにおける幅方向中央付近と前記ディンプル３３とを結ぶ仮想線回りに前記ロードビーム部３０が捩れ動作する振動であり、前記支持部１０の先端側エッジと前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向中央部分の振幅が最も大きくなる。

従って、前記一対のメイン溶接点６１を前記支持部１０の先端側エッジから０．４×Ｌ以上で且つ０．６×Ｌ以下の前記中央領域に配置させることにより、曲げ一次モードの共振周波数及び捩れ一次モードの共振周波数の双方を効果的に向上させることができる。

図２に示すように、本実施の形態においては、前記ロードビーム部接合領域４１１及び前記本体部３１は、さらに、前記一対のメイン溶接点６１よりサスペンション長手方向基端側において前記中心線ＣＬを挟んで対称に配置された左右一対のロードビーム部基端側溶接点６９におけるスポット溶接によっても互いに固着されている。

斯かる構成によれば、前記一対のメイン溶接点６１よりサスペンション長手方向基端側においても、前記ロードビーム部３０及び前記フレクシャ基板４１０の接合体を撓ませることができる。

なお、本実施の形態においては、図２に示すように、前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９におけるスポット溶接は、前記一対のメイン溶接点６１におけるスポット溶接と同一側から行われている。
即ち、前述の通り、前記一対のメイン溶接点６１におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板４１０の側から行われており、従って、前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９におけるスポット溶接も前記フレクシャ基板４１０の側から行われている。

前述の通り、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０はサスペンション幅方向に離間配置された前記一対の板バネ２１によって形成されている。
この場合、好ましくは、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部接合領域４１１及び前記支持部接合領域４１２の間に延びる前記非接合領域４１３は、前記一対の板バネ２１間の間隙に配置される。
斯かる構成によれば、前記非接合領域４１３によって前記一対の板バネ２１の弾性変形動作が阻害されることを有効に防止でき、前記押し付け荷重が変動することを防ぐことができる。

より好ましくは、図２に示すように、前記一対のロードビーム部基端側溶接点を、前記ロードビーム部接合領域のうち前記非接合領域に隣接するように配置させ、且つ、前記支持部接合領域４１２のうち前記非接合領域４１３に隣接する部分と前記支持部１０とを左右一対の溶接点においてスポット溶接することができる。

斯かる構成によれば、前記一対の板バネ２１が弾性変形動作した際に、前記ロードビーム部接合領域４１１と前記本体部３１との間、並びに、前記支持部接合領域４１２と前記支持部１０との間に隙間が生じることを有効に防止でき、これにより、前記非接合領域４１３が主となる振動（前記非接合領域４１３の「ばたつき」）を有効に抑えることができる。

好ましくは、さらに、前記中心線ＣＬ上に配置された中央溶接点６２において、前記一対のメイン溶接点６１と同一側から前記ロードビーム部接合領域４１１及び前記本体部３１をスポット溶接することができる。
即ち、前記複数のロードビーム部側溶接点６０が、さらに、前記中心線ＣＬ上に配置され且つ前記一対のメイン溶接点６１におけるスポット溶接と同一側からスポット溶接が行われる前記中央溶接点６２を含むものとされ得る。

図４〜図６に、それぞれ、本実施の形態の第１〜第３変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂ、１Ｃ、１Ｄの下面図を示す。

図４に示すように、前記第１変形例１Ｂにおいては、前記中央溶接点６２は、前記一対のメイン溶接点６１とサスペンション長手方向同一位置に配置されている。

斯かる構成によれば、前記一致のメイン溶接点６１及び前記中央溶接点６２を通る仮想線に沿った前記ロードビーム部接合領域４１１の縮み量を前記本体部３１の縮み量よりもより大きくすることができ、前記ロードビーム部３０及び前記フレクシャ基板４１０の接合体をより大きく撓ませることができる。

図５に示すように、前記第２変形例１Ｃにおいては、前記中央溶接点６２は、前記一対のメイン溶接点６１とはサスペンション長手方向に関し変位配置される。

この場合には、前記一対のメイン溶接点６１の溶接強度が前記中央溶接点６２の溶接強度よりも大とすることができる。
図中、溶接点を示す○印の大きさによって、溶接点の溶接強度を表している。
斯かる構成においても、前記ロードビーム部３０及び前記フレクシャ基板４１０の接合体をより大きく撓ませることができる。

なお、図５に示す例においては、前記中央溶接点６２は、サスペンション長手方向に関し、前記一対のメイン溶接点６１と前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９との間の中央に配置されている。

斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０及び前記フレクシャ基板４１０の接合体をより大きく撓ませつつ、前記ロードビーム部３０及び前記フレクシャ基板４１０の密着度を向上させることができる。

図６に示すように、前記第３変形例１Ｄにおいては、前記中央溶接点６２は、前記一対のメイン溶接点６１からサスペンション長手方向先端側及び基端側へそれぞれ変位された先端側中央溶接点６２ａ及び基端側中央溶接点６２ｂを含んでいる。
前記先端側中央溶接点６２ａ及び前記基端側中央溶接点６２ｂは、前記一対のメイン溶接点６１を結ぶ仮想線を基準にして対称配置される。

斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０及び前記フレクシャ基板４１０の接合体をより大きく撓ませつつ、前記ロードビーム部３０及び前記フレクシャ基板４１０の密着度を向上させることができる。

より好ましくは、前記基端側中央溶接点６２ｂは、サスペンション長手方向に関し、前記一対のメイン溶接点６１と前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９との間の中央に配置される。

なお、本実施の形態においては、溶接作業の容易化を考慮して、前記一対のメイン溶接点６１におけるスポット溶接を前記フレクシャ基板４１０の側から行っているが、これに代えて、前記一対のメイン溶接点６１におけるスポット溶接を前記本体部３１の側から行うことも可能である。
この場合には、前記ロードビーム部３０及び前記フレクシャ基板４１０の接合体は前記ディスク面に向かって凸状に撓む。

実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図７に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２の下面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａ及び前記第１〜第３変形例１Ｂ〜１Ｄにおいては、前記中央領域内に前記一対のメイン溶接点６１が設けられている。
これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２においては、前記中央領域に中央溶接点６５が設けられている。

即ち、本実施の形態においては、図７に示すように、前記複数のロードビーム部側溶接点６０は、前記支持部１０の先端側エッジから０．４×Ｌ以上で且つ０．６×Ｌ以下の前記中央領域においてサスペンション長手方向中心線ＣＬ上に配置された前記中央溶接点６５を含んでいる。

本実施の形態においては、前記複数のロードビーム部側溶接点６０は、さらに、前記中央溶接点６５よりサスペンション長手方向先端側において前記中心線ＣＬを挟んで対称に配置された左右一対の先端側溶接点６６と、前記中央溶接点６５よりサスペンション長手方向基端側において前記中心線ＣＬを挟んで対称に配置された左右一対の基端側溶接点６７を含んでいる。
前記一対の先端側溶接点６６及び前記一対の基端側溶接点６７は、前記中央溶接点６５を挟んでサスペンション長手方向に関し対称配置されている。

前記中央溶接点６５、前記一対の先端側溶接点６６及び前記一対の基端側溶接点６７におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板４１０又は前記本体部３１の同一側から行われる。

本実施の形態においても、実質的に製造工程を増加させること無く且つ質量増加を招くこと無く、前記磁気ヘッドサスペンション２の剛性を高めることができ、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション２の共振周波数、特に、曲げ一次モード及び捩れ一次モードの共振周波数を高めることができる。

本実施の形態においては、図７に示すように、前記溶接点６５、６６、６７におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板４１０の側から行われているが、これに代えて、前記溶接点６５、６６、６７におけるスポット溶接を前記本体部３１の側から行うことも可能である。

又、図７に示すように、本実施の形態においても、前記ロードビーム部接合領域４１１及び前記本体部３１は、前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９におけるスポット溶接によっても互いに固着されている。
本実施の形態においては、前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９は、前記一対の基端側溶接点６７よりもサスペンション長手方向基端側に配置される。

なお、本実施の形態においては、図７に示すように、前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９におけるスポット溶接は、前記中央溶接点６５、前記一対の先端側溶接点６６及び前記一対の基端側溶接点６７におけるスポット溶接と同一側から行われている。
即ち、前述の通り、前記溶接点６５、６６、６７におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板４１０の側から行われており、従って、前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９におけるスポット溶接も前記フレクシャ基板４１０の側から行われている。

実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図８及び図９に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション３の上面図及び下面図を示す。
又、図１０(a)及び(b)に、それぞれ、図８におけるXa-Xa線及びXb-Xb線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及び２における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションは、前記一対のメイン溶接点におけるスポット溶接の方向と前記一対のロードビーム部基端側溶接点におけるスポット溶接の方向とが異なる点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションと相違している。

即ち、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては、図２に示すように、前記一対のメイン溶接点６１におけるスポット溶接及び前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９におけるスポット溶接の双方共に前記フレクシャ基板４１０の側から行われている。

これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては、図８及び図９に示すように、前記一対のメイン溶接点におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板４１０又は前記本体部３１の一方の側から行われ、前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板４１０又は前記本体部３１の他方の側から行われている。

本実施の形態においては、具体的には、図９に示すように、前記一対のメイン溶接点におけるスポット溶接は前記フレクシャ基板４１０の側から行われており、前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９におけるスポット溶接は前記本体部３１の側から行われている。

斯かる構成においては、前記ロードビーム部３０及び前記フレクシャ基板４１０の接合体は、前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９を結ぶ断面においては前記ディスク面に向かって凸状に撓み（図１０(a)参照）、前記一対のメイン溶接点６１を結ぶ断面においては前記ディスク面とは反対側に凸状に撓む（図１０(b)参照）。

斯かる構成の本実施の形態においても、実質的に製造工程を増加させること無く且つ質量増加を招くこと無く、前記磁気ヘッドサスペンション２の剛性を高めることができ、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション２の共振周波数、特に、曲げ一次モード及び捩れ一次モードの共振周波数を高めることができる。

なお、本実施の形態においては、前記一対のメイン溶接点６１におけるスポット溶接を前記本体部３１の側から行い且つ前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９におけるスポット溶接を前記フレクシャ基板４１０の側から行うことで、前記一対のメイン溶接点６１におけるスポット溶接の方向と前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９におけるスポット溶接の方向とを異ならせることも可能である。

又、本実施の形態においては、スポット溶接の方向を異ならせるという技術的思想を実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションに適用した場合を例に説明したが、前記技術的思想を実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションに適用することも可能である。

即ち、前記中央溶接点６５、前記一対の先端側溶接点６６及び前記一対の基端側溶接点６７（以下、長手方向中央近傍の溶接点という）におけるスポット溶接を前記フレクシャ基板４１０又は前記本体部３１の一方の側から行い、前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９におけるスポット溶接を前記フレクシャ基板４１０又は前記本体部３１の他方の側から行うことができる。

具体的には、前記長手方向中央近傍の溶接点におけるスポット溶接を前記フレクシャ基板４１０の側から行い且つ前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９におけるスポット溶接を前記本体部３１の側から行うことができる。

若しくは、前記長手方向中央近傍の溶接点におけるスポット溶接を前記本体部３１の側から行い且つ前記一対のロードビーム部基端側溶接点６９におけるスポット溶接を前記フレクシャ基板４１０の側から行うことができる。

１Ａ〜１Ｄ、２、３ 磁気ヘッドサスペンション
１０ 支持部
２０ 荷重曲げ部
２１ 板バネ
３０ ロードビーム部
３１ 本体部
３３ ディンプル
４０ フレクシャ部
５０ 磁気ヘッドスライダ
６０ ロードビーム部側溶接点
６１ メイン溶接点
６２ 中央溶接点
６２ａ 先端側中央溶接点
６２ｂ 基端側中央溶接点
６５ 中央溶接点
６６ 先端側溶接点
６７ 基端側溶接点
６９ ロードビーム部基端側溶接点
７０ 支持部側溶接点
７１ 支持部先端側溶接点
４１０ フレクシャ基板
４１１ ロードビーム部接合領域
４１２ 支持部固着領域
４１３ 非接合領域
ＣＬ サスペンション長手方向中心線