JP5296149B2 - 磁気ヘッドサスペンション - Google Patents

Description

本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションに関する。

磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションには、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックの中心に高速に且つ高精度に位置させることが要求される。

即ち、前記磁気ヘッドサスペンションは、ボイスコイルモータ等のアクチュエータによって基端側が直接又は間接的に揺動中心回りに揺動されることで、先端側において支持する前記磁気ヘッドスライダをディスク面に平行なシーク方向に沿って目的トラックへ向けて移動させる為の部材である。

前記磁気ヘッドスライダを目的トラックに高速に位置させる為には前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高める必要がある。
従って、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックに高速且つ正確に位置させる為には、前記磁気ヘッドサスペンションを前記揺動中心回りに揺動させる際に前記磁気ヘッドサスペンションに共振が生じることを可及的に防止することが望まれる。

前記磁気ヘッドスライダには種々の振動モードが生じる。このうち曲げ一次モード及び曲げ二次モードは共振周波数が低周波数帯域に存在する。
従って、前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高めても前記磁気ヘッドサスペンションに曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振が生じることを可及的に防止し得るように、曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数を高めることが必要となる。

なお、前記曲げ一次モードとは、荷重曲げ部の基端部（支持部に連結される部位）及びディンプルを支点とした状態でロードビーム部のサスペンション長手方向中央部分がディスク面と直交するｚ方向に振動するモードである。
前記曲げ二次モードとは、支持部のうちｚ方向に関し強固に固定される部位（支持部がベースプレートの場合には、アクチュエータに連結されたキャリッジアームにかしめを介して固定されるボス部であり、以下、支持部固定位置という）の先端側位置とロードビーム部におけるサスペンション長手方向中央部及び基端部の間の基端側中間位置とディンプルとの３点を支点とした状態で、前記支持部固定位置及び前記基端側中間位置の間の領域（以下、基端側領域という）がｚ方向に振動し且つ前記基端側中間位置及び前記ディンプルの間の領域が前記基端側領域とは逆相状態でｚ方向に振動するモードである。

前記曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数を高めることは、前記ロードビーム部のｚ方向に関する剛性を高めることによって達成される。
この点に関し、例えば、下記特許文献１には、ディスク面に平行に延びる本体部及び前記本体部のサスペンション幅方向両側に設けられた左右一対のフランジ部を備えたロードビーム部であって、前記本体部のサスペンション幅方向略中央に補助フランジ部を設けたロードビーム部が開示されている。

前記特許文献１に記載のロードビーム部は、前記一対のフランジ部に加えて前記補助フランジ部を有することによって、質量増加を招くことなくｚ方向に関する剛性を高めることができる点において有用であるが、前記補助フランジ部が前記本体部のサスペンション幅方向中央に設けられている為、前記本体部へのフレクシャ部の固着が困難になる（即ち、前記本体部への固着を可能とする為には前記フレクシャ部を複雑な構造とする必要がある）という問題があった。
又、必要及び／又は所望に応じて、前記本体部にダンパー部材を固着させる場合があるが、このダンパー部材の前記本体部への固着も困難になる。

特開昭６２−２７９５７０号公報

本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、質量増加を招くこと無く曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数を上昇させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。

本発明は、前記目的を達成する為に、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部及び前記支持部に支持され且つ先端側に前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と、前記本体部のサスペンション幅方向両外端部から前記ディスク面とは反対側へ折り曲げられた左右一対のフランジ部とを備え、前記本体部と前記一対のフランジ部との間の左右一対の境界部分には左右一対の膨出領域が形成されており、前記一対の膨出領域の各々は、前記本体部及び対応する前記フランジ部の間の境界線から所定距離だけサスペンション幅方向内方に位置する内方地点と対応する前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点とによって挟まれる領域に位置され、前記本体部及び対応する前記フランジ部の残りの領域に対して前記ディスク面とは反対側へ押し出し成形されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。

一形態においては、前記左右の境界部分の各々は、前記膨出領域と、前記膨出領域を挟んでサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置し、前記フランジ部が前記本体部に対して前記境界線回りに曲げられている先端側非膨出領域及び基端側非膨出領域とを含み得る。
この場合には、前記膨出領域は、前記ヘッド搭載領域における前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面に当接すべく前記ディスク面に近接する方向へ突出するように前記本体部に形成されたディンプルと前記荷重曲げ部の基端部との間のサスペンション長手方向中央を跨ぐように配置される。

前記膨出領域と前記先端側非膨出領域及び前記基端側非膨出領域との間にはそれぞれスリットが設けられる。

前記スリットが設けられた構成においては、前記膨出領域は、前記本体部のサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置された内方地点から前記ディスク面とは反対側へ延びる縦延在部と、対応する前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点からサスペンション幅方向内方側へ延びて前記縦延在部の先端に連結される横延在部とを含み得る。

好ましくは、前記縦延在部は対応する前記フランジ部に対して平行で且つ前記横延在部は前記本体部に対して平行とされる。

これに代えて、前記スリットが設けられた構成において、前記膨出領域が、前記本体部のサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置された内方地点と前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点とを連結する延在部を有するものとされ得る。
前記延在部は、前記内方地点及び前記中間地点を結ぶ仮想面を基準にして前記本体部及び前記フランジ部間の境界線とは反対側に凸状とされた湾曲形状とされ得る。
若しくは、前記延在部は、前記内方地点及び前記中間地点を結ぶ仮想面に沿った平面状とされ得る。

前記膨出領域と前記先端側非膨出領域及び前記基端側非膨出領域とが連接するように構成することも可能である。
この場合、前記膨出領域は、前記本体部のサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置された内方地点と前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点とを連結する延在部を有するものとされ、前記延在部は、前記内方地点及び前記中間地点を結ぶ仮想面を基準にして前記本体部及び前記フランジ部間の曲げ線とは反対側に凸状とされた湾曲形状とされ得る。
これに代えて、前記延在部を、前記内方地点及び前記中間地点を結ぶ仮想面に沿った平面状とすることも可能である。

好ましくは、前記本体部は、前記荷重曲げ部に連結された基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション幅方向外端部が第１傾斜角でサスペンション長手方向中心線に近接する基端側部位と、前記基端側部位に連結される基端側から先端側行くに従ってサスペンション幅方向外端部から前記第１傾斜角よりも小さい第２傾斜角でサスペンション長手方向中心線に近接する先端側部位とを含み得る。
この場合、前記膨出領域は、前記基端側部位及び前記先端側部位の間の境界をサスペンション長手方向に関し跨ぐように配置される。

本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、ロードビーム部の本体部と一対のフランジ部との間の左右一対の境界部分に左右一対の膨出領域が設けられており、前記一対の膨出領域の各々は、前記本体部及び対応する前記フランジ部の間の境界線から所定距離だけサスペンション幅方向内方に位置する内方地点と対応する前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点とによって挟まれる領域に位置され、前記本体部及び対応する前記フランジ部の残りの領域に対して前記ディスク面とは反対側へ押し出し成形されているので、質量増加を招くこと無く曲げ剛性を効果的に向上させることができ、これにより、曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数を上昇させることができる。
又、前記本体部のサスペンション幅方向中央にはフリースペースを確保できるので、前記本体部へのフレクシャ部やダンパー部材への固着性を損なうことも無い。

図１は、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図２は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図３は、図１におけるIII部拡大図である。 図４(a)及び(b)は、それぞれ、図３におけるIV(a)−IV(a)線及びIV(b)−IV(b)線に沿った断面図である。 図５は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるロードビーム部の製造方法の一例の工程模式図である。 図６は、前記ロードビーム部の製造方法の他の例の工程模式図であり、先端側非膨出領域及び基端側非膨出領域の製造方法を示している。 図７は、前記ロードビーム部の製造方法の他の例の工程模式図であり、膨出領域の製造方法を示している。 図８は、実施例１及び比較例１に対して行った曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数に関する解析結果を示すグラフである。 図９は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１０は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図１１は、図９におけるXI部拡大図である。 図１２(a)及び(b)は、それぞれ、図１１におけるXII(a)-XII(a)線及びXII(b)-XII(b)線に沿った断面図である。 図１３は、実施例２及び比較例２に対して行った曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数に関する解析結果を示すグラフである。 図１４は、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１５は、図１４におけるXV-XV線に沿った断面図である。 図１６は、前記実施の形態３の変形例に係る磁気ヘッドサスペンションのロードビーム部の断面図であり、図１５に対応した断面を示している。

実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１及び図２に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から視た平面図）及び下面図（前記ディスク面から視た底面図）を示す。
なお、図２中の○は溶接点を示している。

前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、図１及び図２に示すように、ボイスコイルモータ等のアクチュエータ（図示せず）によって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように前記支持部１０に連結された荷重曲げ部２０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記支持部１０に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達するロードビーム部３０Ａと、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０Ａ及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０とを備えている。

前記支持部１０は、前記アクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０Ａを支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。

本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記支持部１０は、前記アクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記アクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。

前記ロードビーム部３０Ａは、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。

図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０Ａは、前記ディスク面と対向する平板状の本体部３１Ａと、前記本体部３１Ａのサスペンション幅方向両端部からディスク面とは反対側に延びる左右一対のフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を向上させている。

さらに、前記ロードビーム部３０Ａには、前記本体部３１Ａと前記一対のフランジ部３２との間の左右の境界部分に左右一対の膨出領域３５が設けられている。
この膨出領域３５の詳細については後述する。
前記ロードビーム部３０Ａは、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。

図１に示すように、前記本体部３１Ａには、先端側に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３が形成されている。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０における下記ヘッド搭載領域４１５の上面（前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面）に接触して、この突起３３を介して前記荷重を前記フレクシャ部４０の前記ヘッド搭載領域４１５に伝達するようになっている。

本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０Ａは、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記アクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面と直交するｚ方向に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。

本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０Ａの前記本体部３１Ａのサスペンション幅方向両端部は、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように平面視においてテーパ状とされている。
斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０Ａの先端側における前記中心線ＣＬ回りの慣性モーメントを低減でき、種々の振動モードのうち、特にサスペンション長手方向中心線に沿った捩れ中心線回りに捩れる捩れモードの共振周波数を上昇させることができる。

本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は左右一対の板バネ２１を有している。
図１及び図２に示すように、前記左右一対の板バネ２１は、互いに対してサスペンション幅方向に離間された状態で、基端部が前記支持部１０に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０Ａに連結されている。
前記左右一対の板バネ２１は、基端部及び先端部の間においてサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ線（図示せず）回りに先端部が前記ディスク面に近接する方向へ予め曲げられており、曲げ戻し方向への弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。

前記一対の板バネ２１は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、前記一対の板バネ２１は前記ロードビーム部３０Ａを形成するロードビーム形成部材３００に一体形成されている。
詳しくは、本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部形成部材３００は、前記ロードビーム部３０Ａを形成するロードビーム形成領域３０１と、前記ロードビーム形成領域３０１から基端側へ延びる板バネ形成領域３０５とを一体的に有しており、前記板バネ形成領域３０５はサスペンション幅方向中央に間隙が設けられることで前記左右一対の板バネ２１を形成している。

前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０Ａ及び前記支持部１０に溶接等によって固着される。

詳しくは、図２に示すように、前記フレクシャ部４０はフレクシャ金属プレート４１０を有している。
前記フレクシャ金属プレート４１０は、図２に示すように、前記支持部１０に溶接等によって固着される支持部固着領域４１１と、前記ロードビーム部３０Ａに溶接等によって固着されるロードビーム部固着領域４１２と、前記ロードビーム部固着領域４１２の先端部におけるサスペンション幅方向両側からサスペンション長手方向先端側へ延びる一対の支持片４１３（図１参照）と、前記一対の支持片４１３によって支持された前記ヘッド搭載領域４１５とを有している。

前記ヘッド搭載領域４１５は、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４１５の上面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４１５は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。

前記フレクシャ金属プレート４１０は、前記ヘッド搭載領域４１５がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０Ａよりも低剛性とされる。
前記フレクシャ金属プレート４１０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板とされる。

好ましくは、前記フレクシャ部４０には、図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ５０を外部部材に電気的に接続する為の配線構造体４２０が一体的に備えられる。

詳しくは、前記配線構造体４２０は、前記フレクシャ金属プレート４１０における前記ディスク面と対向する下面に積層される絶縁層と前記絶縁層における前記ディスク面と対向する面に積層される信号配線とを含み得る。
好ましくは、前記配線構造体は、前記信号配線を囲繞する絶縁性のカバー層を有し得る。

ここで、前記ロードビーム部３０Ａに備えられた前記左右一対の膨出領域３５について説明する。
図３に、図１におけるIII部拡大図を示す。
又、図４(a)及び(b)に、それぞれ、図３におけるIV(a)−IV(a)線及びIV(b)−IV(b)線に沿った断面図を示す。

図１、図３、図４(a)及び図４(b)に示すように、前記左右一対の膨出領域３５は、前記本体部３１Ａと前記一対のフランジ部３２との間の左右一対の境界部分に設けられている。

詳しくは、図４(b)に示すように、前記左右一対の膨出領域３５の各々は、前記本体部３１Ａ及び対応する前記フランジ部３２の間の境界線３２Ｌから所定距離だけサスペンション幅方向内方に位置する内方地点３１０と対応する前記フランジ部３２の基端部及び先端部の間の中間地点３２０とによって挟まれる領域に位置されており、前記本体部３１Ａ及び対応する前記フランジ部３２の残りの領域に対して前記ディスク面とは反対側へ押し出し成形されている。

前記膨出領域３５を設けることにより、比較的に低い周波数帯域に存在する前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数を高めることができる。

即ち、曲げ一次モードとは、前記荷重曲げ部２０の基端部（前記荷重曲げ部２０のうち前記支持部１０に連結される部位）及び前記ディンプル３３を支点とした状態で前記両支点の間の領域がｚ方向に振動する振動モードである。

曲げ二次モードとは、前記支持部１０のうちｚ方向に関し強固に固定される部位（前記支持部１０がベースプレートの場合には、アクチュエータに連結されたキャリッジアームにかしめを介して固定される前記ボス部１５であり、以下、支持部固定位置という）の先端側位置と前記ロードビーム部３０Ａにおけるサスペンション長手方向中央部及び基端部の間の基端側中間位置と前記ディンプル３３との３点を支点とした状態で、前記支持部固定位置及び前記基端側中間位置の間の領域（以下、基端側領域という）がｚ方向に振動し且つ前記基端側中間位置及び前記ディンプルの間の領域（以下、先端側領域という）が前記基端側領域とは逆相状態でｚ方向に振動する振動モードである。

前記膨出領域３５を有さない従来のロードビーム部は、サスペンション長手方向全域において図４(a)のような断面形状を有することになる。
即ち、従来のロードビーム部においては、サスペンション長手方向に沿った曲げ線回りに曲げ加工された曲げ部がサスペンション長手方向全域に亘って一カ所のみとなる。

これに対し、本実施の形態における前記ロードビーム部の前記膨出領域においては、サスペンション長手方向に沿った曲げ線回りに曲げ加工された曲げ部が三カ所、存在する。

詳しくは、図３及び図４(b)に示すように、本実施の形態においては、前記膨出領域３５は、前記本体部３１Ａのサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置された内方地点３１０から前記ディスク面とは反対側へ延びる縦延在部３５１と、前記フランジ部３２の基端部から所定距離だけ先端側に位置された中間地点３２０からサスペンション幅方向内方側へ延びて前記縦延在部３５１の先端に連結される横延在部３５２とを含んでいる。

斯かる構成の前記膨出領域３５においては、前記本体部３１Ａ及び前記縦延在部３５１の間に位置する第１曲げ部と、前記縦延在部３５１及び前記横延在部３５２の間に位置する第２曲げ部と、前記横延在部及び前記フランジ部３２の間に位置する第３曲げ部との三カ所の曲げ部が存在する。

ここで、サスペンション長手方向に離間された２点を支点とした状態でその２点の間の領域がｚ方向に振動する前記曲げ一次モード及び前記曲げ二次モードに対する剛性は、前記曲げ部の数を増やすほど、高くなる。
従って、前記膨出領域３５においては前記曲げ部が三カ所とされている前記ロードビーム部３０Ａは、質量増加を招くこと無く、前記曲げ部が一カ所である従来構成に比して、前記曲げ一次モード及び前記曲げ二次モードに対する剛性を高めることができる。

又、前記一対の膨出領域３５は前記本体部３１Ａと前記一対のフランジ部３２との間の境界部分に設けられているので、前記本体部３１Ａのサスペンション幅方向中央にはフリースペースを確保することができる。
従って、前記フレクシャ部４０や必要又は所望に応じて備えられるダンパー部材の前記本体部３１Ａへの固着性が損なわれることも無い。

本実施の形態においては、前記膨出領域３５は、前記ロードビーム部３０Ａのサスペンション長手方向中間にのみ設けられている。

即ち、図１及び図３に示すように、前記左右の境界部分の各々は、前記膨出領域３５と、前記膨出領域３５を挟んでサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置し、前記フランジ部３２が前記本体部３１Ａに対して前記境界線３２Ｌ回りに曲げられている先端側非膨出領域３６及び基端側非膨出領域３７とを含んでいる。

このように、前記膨出領域３５が前記ロードビーム部３０Ａのサスペンション長手方向中間にのみ設けられる場合には、前記膨出領域３５は、好ましくは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが曲げモードで振動した際に最もｚ方向への変位量が大きくなる部位に設けられる。

この点を考慮して、本実施の形態においては、前記膨出領域３５は、前記荷重曲げ部２０の基端部及び前記ディンプル３３の間のサスペンション長手方向中央を跨ぐように配置されている。
斯かる構成によれば、前記膨出領域３５を形成する範囲を可及的に小さくしつつ、曲げ一次モードに対する剛性を効率的に向上させることができる。

図３に示すように、本実施の形態においては、前記膨出領域３５と前記先端側非膨出領域３６及び前記基端側非膨出領域３６との間にはそれぞれスリット３６ａ、３７ａが設けられている。
前記スリット３６ａ、３７ａを設けることにより、前記膨出領域３５の形成によって前記フランジ部３２が変形することを可及的に防止できる。

斯かる構成の前記ロードビーム部３０Ａは、図５に示すように、フランジ用上側金型１５１及びフランジ用下側金型１５２を用いて前記本体部３１Ａのサスペンション幅方向両側にサスペンション長手方向全域に延びる前記一対のフランジ部３２を形成する工程と、前記一対のフランジ部３２のうち前記膨出領域３５を形成すべき領域に対してのみ膨出用上側金型１６１及び膨出用下側金型１６２を作用させて前記一対の膨出領域３５を形成する工程とを含む製造方法によって製造され得る。

これに代えて、前記フランジ用上側金型１５１及び前記フランジ用下側金型１５２を用いて前記先端側非膨出領域３６及び前記基端側非膨出領域３７において前記一対のフランジ３２を形成する工程（図６参照）と、前記膨出用上側金型１６１及び前記膨出用下側金型１６２を用いて前記膨出領域３５及び前記一対のフランジ３２を形成する工程（図７参照）とを同時に行うことも可能である。

好ましくは、前記縦延在部３５１を前記フランジ部３２と平行（図４(a)において、β２＝β１）とし、且つ、前記横延在部３５２を前記本体部３１Ａと平行にすることができる。

斯かる好ましい構成によれば、曲げ加工時における前記膨出領域３５の前記本体部３１Ａに対するスプリングバック量を前記フランジ部３２の前記本体部３１Ａに対するスプリングバック量と同一にでき、前記フランジ部及び前記膨出領域が所望形状に対して変形することを有効に防止できる。

ここで、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションの一例（以下、実施例１という）に対して行った解析結果について説明する。
本解析においては、有限要素法を用いた固有値解析によって前記実施例１の曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数を求めた。
なお、前記実施例１は下記寸法（図１及び図４参照）を有するものとした。
本解析結果を図８に示す。

支持部１０の材質：ＳＵＳ３０４
支持部１０の厚み：０．１５ｍｍ
ロードビーム部３０の材質：ＳＵＳ３０４
ロードビーム部３０の厚み：０．０３ｍｍ
支持部１０の基準部位からディンプル３３までのサスペンション長手方向距離Ｌ０：１１ｍｍ
支持部１０の基準部位と先端部との間のサスペンション長手方向距離Ｌ１：４．８ｍｍ
一対の板バネ２１のサスペンション長手方向距離Ｌ２：０．５ｍｍ
ロードビーム部３０の基端部の幅Ｗ：３．８ｍｍ
本体部３１Ａのサスペンション幅方向外端部のサスペンション長手方向中心線ＣＬに対する傾斜角α：１４°
基端側非膨出領域３７のサスペンション長手方向距離Ｌ３：１．５７ｍｍ
膨出領域３５のサスペンション長手方向距離Ｌ４：３．０ｍｍ
フランジ部３２の角度β１：７５°
フランジ部３２の高さＨ１：０．３１ｍｍ
膨出領域３５の高さＨ２：０．１２５ｍｍ
フランジ部３２及び本体部３１Ａの境界線３２Ｌと膨出領域３５のサスペンション幅方向内端部３５との間の距離Ｄ：０．１５ｍｍ
縦延在部３５１の角度β２：７５°

前記膨出領域３５を有さない点を除き前記実施例１と同一構成を有する比較例１の曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数についても同様の方法で求めた。
この結果を図８に併せて示す。

図８から明らかなように、前記膨出領域３５が形成された前記実施例１は前記膨出領域３５を有さない前記比較例１に比して、曲げ一次モード及び曲げ二次モードの双方において高い共振周波数を有している。
このことは、前記実施例１は前記比較例１に比して、前記磁気ヘッドスライダ５０を目的のトラック上に高速に移動させるべくボイスコイルモータ等のアクチュエータの駆動信号の周波数を上昇させても、共振の発生を防止し得ることを意味する。

実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図９及び図１０に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び側面図を示す。
又、図１１に、図９におけるXI部拡大図を示す。
さらに、図１２(a)及び(b)に、それぞれ、図１１におけるXII(a)-XII(a)線及びXII(b)-XII(b)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記本体部３１Ａのサスペンション幅方向外端部は略一定の角度でサスペンション長手方向中心線ＣＬに対して傾斜されている。

これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては、ロードビーム部３０Ｂにおける本体部３１Ｂのサスペンション幅方向外端部は、基端側においては第１傾斜角α１でサスペンション長手方向中心線ＣＬに対して傾斜され、且つ、先端側においては前記第１傾斜角α１よりも小さい第２傾斜角α２でサスペンション長手方向中心線ＣＬに対して傾斜されている。

詳しくは、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、前記ロードビーム部３０Ａがロードビーム部３０Ｂに変更されている点においてのみ、前記実施の形態１に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。

前記ロードビーム部３０Ｂは、前記ディスク面と対向する平板状の本体部３１Ｂと、前記一対のフランジ部３２と、前記一対の膨出領域３５とを有している。

前記本体部３１Ｂは、図９に示すように、前記荷重曲げ部２０に連結される基端側部位３６１と、前記基端側部位３６１から先端側へ延びる先端側部位３６２とを有している。

前記基端側部位３６１は、基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション幅方向外端部が第１傾斜角α１でサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように構成されている。
前記先端側部位３６２は、基端側から先端側行くに従ってサスペンション幅方向外端部から前記第１傾斜角α１よりも小さい第２傾斜角α２でサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように構成されている。
斯かる構成によれば、捩れモードの共振周波数を高めることができ、捩れモードの共振が生じることを有効に防止できる。

本実施の形態におけるように、前記本体部３１Ｂのサスペンション幅方向外端部のサスペンション長手方向中心線ＣＬに対する傾斜角が変曲点３６０（前記基端側部位３６１及び前記先端側部位３６２の境界）において変化する構成においては、前記膨出領域３５は、好ましくは、前記基端側部位３６１及び前記先端側部位３６２の境界をサスペンション長手方向に関し跨ぐように配置される。

斯かる構成によれば、前記変曲点３６０における曲げ剛性を高めることができ、曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振が生じることを有効に防止できる。

ここで、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションの一例（以下、実施例２という）に対して行った解析結果について説明する。
本解析においても、有限要素法を用いた固有値解析によって前記実施例２の曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数を求めた。
なお、前記実施例２は下記寸法を除き前記実施例１と同一寸法を有するものとした。
本解析結果を図１３に示す。

ロードビーム部３０Ｂの基端部から変曲点３６０までのサスペンション長手方向距離Ｌ５：３．５ｍｍ
基端側部位３６１のサスペンション幅方向外端部のサスペンション長手方向中心線ＣＬに対する傾斜角α１：２１．３°
先端側部位３６２のサスペンション幅方向外端部のサスペンション長手方向中心線ＣＬに対する傾斜角α１：６．０°

前記膨出領域３５を有さない点を除き前記実施例２と同一構成を有する比較例２の曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数についても同様の方法で求めた。
この結果を図１３に併せて示す。

図１３から明らかなように、前記膨出領域３５が形成された前記実施例２は前記膨出領域３５を有さない前記比較例２に比して、曲げ一次モード及び曲げ二次モードの双方において高い共振周波数を有している。
このことは、前記実施例２は前記比較例２に比して、前記磁気ヘッドスライダ５０を目的のトラック上に高速に移動させるべくボイスコイルモータ等のアクチュエータの駆動信号の周波数を上昇させても、共振の発生を防止し得ることを意味する。

実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１４に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）を示す。
又、図１５に、図１４におけるXV-XV線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１又は２における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃは、膨出領域３５Ｃの具体的構造において前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂと相違している。

具体的には、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃは、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおいて、前記ロードビーム部３０Ｂの代わりにロードビーム部３０Ｃを有している。

前記実施の形態２における前記ロードビーム部３０Ｂにおいては、前記膨出領域３５と前記先端側非膨出領域３６及び前記基端側非膨出領域３７との間にはそれぞれ前記スリット３６ａ、３７ａ（図１１参照）が設けられている。

これに対し、本実施の形態における前記ロードビーム部３０Ｃにおいては、前記スリット３６ａ、３７ａが省略されており、前記膨出領域３５Ｃが前記先端側非膨出領域３６及び前記基端側非膨出領域３７に連接されている。

前記先端側非膨出領域３６及び前記基端側非膨出領域３７に連接しつつ、前記膨出領域３５Ｃを前記ディスク面とは反対側へ膨出させることを可能とする為に、本実施の形態においては、前記膨出領域３５Ｃは、図１５に示すように、前記本体部３１Ｂのサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置する内方地点３１０と前記フランジ部３２の基端部及び先端部の間の中間地点３２０とを連結する延在部３５５を有しており、前記延在部３５５は前記内方地点３１０及び前記中間地点３２０を結ぶ仮想面を基準にして前記本体部３１Ｂ及び前記フランジ部３２間の境界線３２Ｌとは反対側に凸状とされた湾曲形状を有している。

このように、前記膨出領域３５Ｃと前記先端側非膨出領域３６及び前記基端側非膨出領域３７とを連接することにより、前記スリット３６ａ、３７ａの存在によって前記ロードビーム部３０Ｃの剛性が悪化することを防止できる。

又、本実施の形態においては、前記膨出領域３５Ｃの展開長さを前記膨出領域３５の展開長さよりも短くできる為、サスペンション長手方向に沿った捩れ中心線回りに捩れる捩れモードに対する剛性を高めることができる。

図１６に示すように、前記膨出領域３５Ｃが、前記延在部３５５に代えて、前記内方地点３１０及び前記中間地点３２０を結ぶ前記仮想面に沿った平面状の延在部３５５’を有するように構成することも可能である。
この場合には、捩れモードに対する剛性をより向上させることができる。

なお、本実施の形態においては、図１４に示すように、前記膨出領域３５Ｃは、前記変曲点３６０より先端側の前記先端側部位３６２に設けられており、曲げ二次モードの共振周波数の有効な向上を図っている。
当然ながら、前記膨出領域３５Ｃを、サスペンション長手方向に関し前記変曲点３６０を跨ぐように配置させることも可能である。

又、前記スリット３６ａ、３７ａが設けられている前記実施の形態１及び２において、前記膨出領域３５の代わりに前記膨出領域３５Ｃを適用することも可能である。

１Ａ〜１Ｃ 磁気ヘッドサスペンション
１０ 支持部
２０ 荷重曲げ部
３０Ａ〜３０Ｃ ロードビーム部
３１Ａ、３１Ｂ 本体部
３２ フランジ部
３３ ディンプル
３５、３５Ｃ 膨出領域
３６ 先端側非膨出領域
３６ａ スリット
３７ 基端側非膨出領域
３７ａ スリット
４０ フレクシャ部
５０ 磁気ヘッドスライダ
３１０ 内方地点
３２０ 中間地点
３５１ 縦延在部
３５２ 横延在部
３５５ 延在部
３６０ 基端側部位及び先端側部位の境界
３６１ 基端側部位
３６２ 先端側部位
４１５ ヘッド搭載領域

Claims (10)

1. アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部及び前記支持部に支持され且つ先端側に前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
   前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と、前記本体部のサスペンション幅方向両外端部から前記ディスク面とは反対側へ折り曲げられた左右一対のフランジ部とを備え、前記本体部と前記一対のフランジ部との間の左右一対の境界部分には左右一対の膨出領域が形成されており、
   前記一対の膨出領域の各々は、前記本体部及び対応する前記フランジ部の間の境界線から所定距離だけサスペンション幅方向内方に位置する内方地点と対応する前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点とによって挟まれる領域に位置され、前記本体部及び対応する前記フランジ部の残りの領域に対して前記ディスク面とは反対側へ押し出し成形されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
2. 前記本体部には、前記ヘッド搭載領域における前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面に当接するように前記ディスク面に近接する方向へ突出されたディンプルが形成されており、
   前記左右の境界部分の各々は、前記膨出領域と、前記膨出領域を挟んでサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置し、前記フランジ部が前記本体部に対して前記境界線回りに曲げられている先端側非膨出領域及び基端側非膨出領域とを含み、
   前記膨出領域は、前記荷重曲げ部の基端部及び前記ディンプルの間のサスペンション長手方向中央を跨ぐように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
3. 前記膨出領域と前記先端側非膨出領域及び前記基端側非膨出領域との間にはそれぞれスリットが設けられていることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
4. 前記膨出領域は、前記本体部のサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置された内方地点から前記ディスク面とは反対側へ延びる縦延在部と、対応する前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点からサスペンション幅方向内方側へ延びて前記縦延在部の先端に連結される横延在部とを含むことを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッドサスペンション。
5. 前記縦延在部は対応する前記フランジ部に対して平行で且つ前記横延在部は前記本体部に対して平行であることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドサスペンション。
6. 前記膨出領域は、前記本体部のサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置された内方地点と前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点とを連結する延在部を有していることを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッドサスペンション。
7. 前記延在部は、前記内方地点及び前記中間地点を結ぶ仮想面を基準にして前記本体部及び前記フランジ部間の境界線とは反対側に凸状とされた湾曲形状とされていることを特徴とする請求項６に記載の磁気ヘッドサスペンション。
8. 前記延在部は、前記内方地点及び前記中間地点を結ぶ仮想面に沿った平面状とされていることを特徴とする請求項６に記載の磁気ヘッドサスペンション。
9. 前記膨出領域と前記先端側非膨出領域及び前記基端側非膨出領域とは連接されており、
   前記膨出領域は、前記本体部のサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置された内方地点と前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点とを連結する延在部を有し、前記延在部は、前記内方地点及び前記中間地点を結ぶ仮想面を基準にして前記本体部及び前記フランジ部間の曲げ線とは反対側に凸状とされた湾曲形状を有していることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
10. 前記本体部は、前記荷重曲げ部に連結された基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション幅方向外端部が第１傾斜角でサスペンション長手方向中心線に近接する基端側部位と、前記基端側部位に連結される基端側から先端側行くに従ってサスペンション幅方向外端部から前記第１傾斜角よりも小さい第２傾斜角でサスペンション長手方向中心線に近接する先端側部位とを含み、
    前記膨出領域は、前記基端側部位及び前記先端側部位の間の境界をサスペンション長手方向に関し跨ぐように配置されていることを特徴とする請求項１から９の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。

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