JP2013225358A5 - - Google Patents

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磁気ヘッドサスペンション

本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションに関する。

磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションには、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックの中心に高速に且つ高精度に位置させることが要求される。

前記磁気ヘッドサスペンションは、ボイスコイルモータ等のアクチュエータによって基端側が直接又は間接的に揺動中心回りに揺動されることで、先端側において支持する前記磁気ヘッドスライダをディスク面に平行なシーク方向に沿って目的トラックへ向けて移動させる。

ここで、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックに高速に且つ正確に位置させる為には、前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高めた場合であっても前記磁気ヘッドスライダの振動を可及的に低減させる必要がある。

下記特許文献１には、ディスク面に平行に配置されるプレート状本体部と前記本体部の両側縁から前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた左右一対のフランジとを有するロードビーム部において、前記本体部に補助フランジを形成することで前記ロードビーム部の剛性を高めることが開示されている。

前記特許文献１に記載の構成は、質量増加を招くこと無く前記ロードビーム部の剛性を高めることができる為、共振周波数を有効に上昇させることができる点においては有用である。
しかしながら、前記補助フランジを形成する為には専用の製造工程を追加しなければならず、製造工程の増加及び金型の追加によってコスト高騰化を招くという問題がある。

また、アクチュエータによってディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端側が前記支持部に連結された状態で、先端側が前記ディスク面に近接するように荷重曲げ線回りに曲げられ且つ前記荷重曲げ線回りの曲げが曲げ戻されるように弾性変形されることで磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する一対の第１及び第２板バネと、基端側が前記第１及び第２板バネに連結され且つ先端側に設けられたディンプルを介して前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションも提案されている（下記特許文献２及び３参照）。

特開昭６２−２７９５７０号公報 特開２０１１−２５８２５７号公報 特開２０１２−００３７９４号公報

本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、コスト高騰を可及的に防止しつつ、質量増加を招くこと無く剛性を向上させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を、目的とする。

本発明は、前記目的を達成する為に、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端側が前記支持部に連結された状態で互いに対してサスペンション幅方向に離間され且つサスペンション長手方向中心線を基準にして対称に配置された左右一対の第１及び第２板バネであって、先端側が前記ディスク面に近接するように荷重曲げ線回りに曲げられ且つ前記荷重曲げ線回りの曲げが曲げ戻されるように弾性変形されることで磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する一対の第１及び第２板バネと、基端側が前記第１及び第２板バネに連結され且つ先端側に設けられたディンプルを介して前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記第１板バネにおける前記荷重曲げ線は、サスペンション幅方向内側から外側へ行くに従ってサスペンション長手方向一方側に位置するようにサスペンション幅方向に対して傾斜され、前記第２板バネにおける前記荷重曲げ線は、前記中心線を基準にして前記第１板バネの前記荷重曲げ線と対称となるようにサスペンション幅方向に対して傾斜され、前記ロードビーム部は、前記第１及び第２板バネにおける前記荷重曲げ線回りの曲げに基づいて前記ディスク面と直交する方向に凸状に撓んでいる磁気ヘッドサスペンションを提供する。

一形態においては、前記荷重曲げ線は、サスペンション幅方向内側から外側へ行くに従ってサスペンション長手方向基端側に位置するように傾斜される。
この場合、前記ロードビーム部は、前記ディスク面とは反対側に凸状に撓む。

他形態においては、前記荷重曲げ線は、サスペンション幅方向内側から外側へ行くに従ってサスペンション長手方向先端側に位置するように傾斜される。
この場合、前記ロードビーム部は、前記ディスク面に向かって凸状に撓む。

前記種々の構成において、好ましくは、前記板バネのサスペンション幅方向内側のエッジ及び外側のエッジは前記荷重曲げ線と直交するように構成される。

又、前記ロードビーム部が、前記ディスク面と略平行に配置される平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは反対側へ延びる左右一対のロードビーム側フランジ部とを有する場合には、好ましくは、前記板バネのサスペンション幅方向外側のエッジには、対応する前記ロードビーム側フランジ部と一体形成され且つ前記荷重曲げ線よりサスペンション長手方向先端側で終焉する板バネ側フランジ部が設けられる。

前記種々の構成において、好ましくは、前記支持部及び前記第１板バネの境界線、並びに、前記支持部及び前記第２板バネの境界線は、対応する前記荷重曲げ線と略平行とされる。

本発明に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては、第１板バネにおける荷重曲げ線がサスペンション幅方向内側から外側へ行くに従ってサスペンション長手方向一方側に位置するようにサスペンション幅方向に対して傾斜され、且つ、第２板バネにおける荷重曲げ線がサスペンション長手方向中心線を基準にして前記第１板バネの前記荷重曲げ線と対称となるようにサスペンション幅方向に対して傾斜されており、ロードビーム部は、前記第１及び第２板バネにおける前記荷重曲げ線回りの曲げに基づいてディスク面と直交する方向に凸状に撓んでいる。
斯かる構成によれば、実質的に製造工程を追加すること無く、前記ロードビーム部をディスク面とは直交する方向へ凸状に撓ませることができる。
従って、コスト高騰を可及的に防止しつつ、質量増加を招くこと無く剛性を向上させることができる。

図１は、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図２は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図３(a)及び(b)は、それぞれ、図１におけるIIIa-IIIa線及びIIIb-IIIb線に沿った断面図である。 図４は、前記実施の形態１の第１変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図５は、前記実施の形態１の第２変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図６は、前記実施の形態１の第３変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図７は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図８は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図９(a)及び(b)は、それぞれ、図７におけるIXa-IXa線及びIXb-IXb線に沿った断面図である。 図１０は、前記実施の形態２の第１変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１１は、前記実施の形態２の第２変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１２は、前記実施の形態２の第３変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。

実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１及び図２に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から視た平面図）及び下面図（前記ディスク面から視た底面図）を示す。

前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、図１及び図２に示すように、ボイスコイルモータ等のアクチュエータ（図示せず）によって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に向けて押し付ける為の押し付け荷重を発生し得るように基端部が前記支持部１０に連結された左右一対の第１及び第２板バネ２１、２２と、前記一対の板バネ２１、２２を介して前記支持部１０に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達するロードビーム部３０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０とを備えている。

前記支持部１０は、前記アクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記一対の板バネ２１、２２を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。

本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記支持部１０は、前記アクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記アクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。

前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。

前記ロードビーム部３０は、前記ディスク面と略平行に配置され且つ前記フレクシャ部４０が接合される平板状の本体部３１を有している。
本実施の形態においては、剛性を向上させる為に、図１〜図３に示すように、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１のサスペンション幅方向両端部からディスク面とは反対側に延びる左右一対のフランジ部３２を有している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。

図１及び図２に示すように、前記本体部３１には、先端側に、所謂ディンプル３３と呼ばれる突起が形成されている。
前記ディンプル３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。このディンプル３３は、前記フレクシャ部４０における下記ヘッド搭載領域４１５の上面（前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面）に接触しており、このディンプル３３を介して前記荷重が前記フレクシャ部４０の前記ヘッド搭載領域４１５に伝達されるようになっている。

本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記アクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面と直交するｚ方向に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。

本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１のサスペンション幅方向両端部は、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように略直線状に傾斜されている。

斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０の先端側における前記中心線ＣＬ回りの慣性モーメントを低減でき、捩れモード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させることができる。

前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２は、図１及び図２に示すように、基端側が前記支持部１０に連結された状態で互いに対してサスペンション幅方向に離間され且つサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称に配置されている。

前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２は、荷重曲げ線ＢＬ回りの曲げが曲げ戻される方向へ弾性変形することで、前記押し付け荷重を発生する。
前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
なお、前記荷重曲げ線ＢＬ回りの曲げについては後述する。

前記フレクシャ部４０は、前記ディスク面と略平行に配置される平板状のフレクシャ基板４１０であって、前記ヘッド搭載領域４１５を有し且つ前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０にスポット溶接によって固着されるフレクシャ基板４１０を有している。
図２中の○印は溶接点を示している。

詳しくは、図２に示すように、前記フレクシャ基板４１０は、前記本体部３１のディスク対向面に接合された状態で溶接等によって前記本体部３１に固着されるロードビーム部接合領域４１１と、前記支持部１０のディスク対向面に接合された状態で溶接等によって前記支持部１０に固着される支持部接合領域４１２と、前記ロードビーム部接合領域４１１及び前記支持部接合領域４１２の間に延びる非接合領域４１３と、前記ロードビーム部接合領域４１１のサスペンション幅方向両側からサスペンション長手方向先端側へ延びる一対の支持片４１４と、前記一対の支持片４１４によって支持された前記ヘッド搭載領域４１５とを有している。

前記ヘッド搭載領域４１５は、図２に示すように、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４１５の上面には前記ディンプル３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４１５は前記ディンプル３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。

前記フレクシャ基板４１０は、前記ヘッド搭載領域４１５がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ基板４１０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス等の金属材料によって好適に形成される。

本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０には、図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ５０を外部部材に電気的に接続する為の配線構造体４２０が一体的に備えられている。

詳しくは、前記配線構造体４２０は、前記フレクシャ基板４１０における前記ディスク面と対向する下面に積層される絶縁層と前記絶縁層における前記ディスク面と対向する面に積層される信号配線とを含み得る。
好ましくは、前記配線構造体は、前記信号配線を囲繞する絶縁性のカバー層を有し得る。

好ましくは、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部接合領域４１１及び前記支持部接合領域４１２の間に延びる前記非接合領域４１３は、前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２間の間隙に配置される。
斯かる構成によれば、前記非接合領域４１３によって前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２の弾性変形動作が阻害されることを有効に防止でき、前記押し付け荷重が変動することを防ぐことができる。

ここで、前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２における前記荷重曲げ線ＢＬでの曲げについて説明する。
前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２は、図１及び図２に示すように、先端側が前記ディスク面に近接するように前記荷重曲げ線ＢＬ回りに曲げられている。
前記荷重曲げ線ＢＬのサスペンション長手方向位置及び／又は前記荷重曲げ線ＢＬでの曲げ角度を調整することによって、前記押し付け荷重を所定値に設定することができる。

即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａがハードディスク装置に組み込まれる前の状態において、前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２は前記荷重曲げ線ＢＬにおいて先端側がディスク面に近接する方向へ曲げられる。
そして、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記ハードディスク装置に組み込まれる際には、前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ハードディスク装置における前記ディスク面上に位置するように前記荷重曲げ線ＢＬでの曲げが曲げ戻されて前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２が弾性変形される。

さらに、前記ハードディスク装置が作動状態となって前記ディスク面が回転されると、前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面の回転に伴う空気圧を受けて前記ディスク面から離間する方向へ浮上し、この磁気ヘッドスライダ５０の浮上動作に応じて前記荷重曲げ線ＢＬでの曲げがさらに曲げ戻されるように前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２が弾性変形する。

即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａを前記ハードディスク装置へ組み込む際の前記第１及び第２板バネ２１、２２の弾性変形及び前記ディスク面の回転に伴う前記磁気ヘッドスライダ５０の浮上動作による前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２の弾性変形によって前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２は保有弾性を有する状態となり、この保有弾性が前記押し付け荷重として作用する。

さらに、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記第１及び第２板バネ２１、２２における前記荷重曲げ線ＢＬは、サスペンション幅方向に対して傾斜されている。

具体的には、図１及び図２に示すように、前記第１板バネ２１における前記荷重曲げ線ＢＬは、サスペンション幅方向内側から外側へ行くに従ってサスペンション長手方向基端側に位置するようにサスペンション幅方向に対して傾斜されており、前記第２板バネ２２における前記荷重曲げ線ＢＬは、前記中心線ＣＬを基準にして前記第１板バネ２１の前記荷重曲げ線ＢＬと対称となるようにサスペンション幅方向に対して傾斜されている。

このように、前記第１及び第２板バネ２１、２２における前記荷重曲げ線ＢＬをサスペンション幅方向に対して傾斜させることによって、前記ロードビーム部３０は前記ディスク面と直交する方向に凸状に撓むことになる。

図３(a)及び(b)に、それぞれ、図１におけるIIIa-IIIa線及びIIIb-IIIb線に沿った断面図を示す。
本実施の形態においては、前述の通り、前記第１及び第２板バネ２１、２２における前記荷重曲げ線ＢＬは、サスペンション幅方向内側から外側へ行くに従ってサスペンション長手方向基端側に位置するように傾斜されている。
この場合には、図３(a)及び(b)に示すように、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１は、前記ディスク面とは反対側に向かって凸状に撓むことになる。

前記本体部３１が凸状に撓まされることにより、前記本体部３１が平板状の通常の構成に比して、質量増加を招くこと無く、前記ロードビーム部３０（即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａ）の剛性を高めることができる。従って、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの共振周波数を高めることができる。
なお、図３(a)及び(b)に示すように、前記ロードビーム部３０の本体部３１は、前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２に近接するに従って、前記撓みの程度が大きくなる。

本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２は前記ロードビーム部３０と一体形成されている。
即ち、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記ロードビーム部３０並びに前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２を一体的に形成するロードビーム部／板バネ形成体３００を有している。

図２に示すように、前記形成体３００は、前記ロードビーム部３０と、前記ロードビーム部３０における前記本体部３１のサスペンション幅方向両側から基端側へ延びる前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２と、前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２から基端側へそれぞれ延びる一対の支持部接合領域３１０とを一体的に有している。

前記形成体３００は、図２に示すように、前記一対の支持部接合領域３１０が前記支持部１０におけるディスク対向面の先端側に当接された状態で複数の溶接点８０におけるスポット溶接によって、前記支持部１０に連結されている。
好ましくは、前記スポット溶接は、前記形成体３００の側から行うことができ、これにより、溶接作業の容易化を図ることができる。

当然ながら、前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２並びに前記ロードビーム部３０を個別に形成することも可能である。
この場合には、前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２並びに前記ロードビーム部３０を溶接等によって固着させた後に、前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２を前記荷重曲げ線ＢＬ回りに曲げることで、前記ロードビーム部３０が前記第１及び第２板バネ２１、２２における前記荷重曲げ線ＢＬ回りの曲げに基づいて前記ディスク面と直交する方向に凸状に撓まされることになる。

図４に、本実施の形態の第１変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１におけると同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。

図４に示すように、前記第１変形例１Ｂにおいては、前記荷重曲げ線ＢＬが対応する第１及び第２板バネ２１ａ、２２ａのサスペンション幅方向内側のエッジ及び外側のエッジと直交するように構成されている。

具体的には、前記第１変形例１Ｂは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａに比して、前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２に代えて、前記一対の第１及び第２板バネ２１ａ、２２ａを有している。

図１及び図２に示すように、前記実施の形態１における前記第１及び第２板バネ２１、２２の各々においては、サスペンション幅方向内側及び外側のエッジは、前記サスペンション長手方向中心線ＣＬと平行に延びている。

これに対し、前記第１変形例１Ｂにおける前記第１及び第２板バネ２１ａ、２２ａの各々においては、サスペンション幅方向内側のエッジ及び外側のエッジは、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション幅方向外方側に位置するように、前記中心線ＣＬに対して傾斜されており、これにより、前記荷重曲げ線ＢＬが対応する前記第１及び第２板バネ２１ａ、２２ａのサスペンション幅方向内側のエッジ及び外側のエッジと直交している。

斯かる構成の前記第１変形例１Ｂによれば、前記荷重曲げ線ＢＬ回りの前記第１及び第２板バネ２１ａ、２２ａの曲げを前記荷重曲げ線ＢＬの全域に亘って均等に行うことができ、これにより、前記荷重曲げ線ＢＬ回りの曲げの安定化、即ち、前記押し付け荷重の安定化を図ることができる。

図５に、本実施の形態の第２変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃの上面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及び前記第１変形例におけると同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。

図５に示すように、前記第２変形例１Ｃは、前記第１及び第２板バネ２１ａ、２２ａの各々におけるサスペンション幅方向外側のエッジに板バネ側フランジ部２５が設けられている点において、前記第１変形例１Ｂと相違している。

詳しくは、図５に示すように、前記板バネ側フランジ部２５は、対応する前記ロードビーム側フランジ部３２と一体形成され且つ前記荷重曲げ線ＢＬよりサスペンション長手方向先端側で終焉している。

斯かる構成の前記第２変形例１Ｃによれば、前記一対の第１及び第２板バネ２１ａ、２２ａのうち前記荷重曲げ線ＢＬより先端側の領域の剛性を効果的に向上させることができ、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｃの共振周波数をより高めることができる。

なお、図５に示す前記第２変形例１Ｃにおいては、前記第１変形例１Ｂにおいて前記板バネ側フランジ部２５が設けられているが、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて前記板バネ側フランジ部２５を設けることも可能である。

図６に、本実施の形態の第３変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄの上面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１並びに前記第１及び第２変形例におけると同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。

図６に示すように、前記第３変形例１Ｄは、前記第１及び第２板バネ２１ａ、２２ａの各々と支持部１０ａとの境界線が、対応する前記荷重曲げ線ＢＬと略平行とされている点において、前記第１変形例１Ｂと相違している。

詳しくは、前記第３変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄは、前記第１変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂに比して、前記支持部１０の代わりに支持部１０ａを有している。

図６に示すように、前記支持部１０ａは、前記第１及び第２板バネ２１ａ、２２ａがそれぞれ連結される第１及び第２先端側領域１１ａ、１２ａを有している。
前記第１及び第２先端側領域１１ａ、１２ａの先端エッジは対応する前記第１及び第２板バネ２１ａ、２２ａの前記荷重曲げ線ＢＬと略平行になるように、サスペンション幅方向に対して傾斜されている。

詳しくは、前記荷重曲げ線ＢＬは、サスペンション幅方向内側から外側へ行くに従ってサスペンション長手方向基端側に位置するようにサスペンション幅方向に対して傾斜されている。
従って、前記第１及び第２先端側領域１１ａ、１２ａの先端エッジも同様に、サスペンション幅方向内側から外側へ行くに従ってサスペンション長手方向基端側に位置するようにサスペンション幅方向に対して傾斜されている。

斯かる構成の前記第３変形例１Ｄによれば、前記一対の第１及び第２板バネ２１ａ、２２ａのうち前記荷重曲げ線ＢＬより基端側の領域の剛性を効果的に向上させることができ、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｄの共振周波数をより高めることができる。

なお、図６に示す前記第３変形例１Ｄにおいては、前記第１変形例１Ｂを例に説明したが、前記実施の形態１及び前記第２変形例において、前記支持部１０及び前記第１板バネ２１（２１ａ）の境界線並びに前記支持部１０及び前記第２板バネ２２（２２ａ）の境界線が対応する前記荷重曲げ線ＢＬと略平行となるように構成することも可能である。

実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。

図７及び図８に、それぞれ本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａの上面図及び下面図を示す。
又、図９(a)及び(b)に、それぞれ、図７におけるIXa-IXa線及びIXb-IXb線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及びその第１〜第３変形例におけると同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａは、前記荷重曲げ線ＢＬの傾斜方向が異なる点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと異なっている。

即ち、前記実施の形態１においては、図１及び図２に示すように、前記荷重曲げ線ＢＬは、サスペンション幅方向内側から外側へ行くに従ってサスペンション長手方向基端側に位置するように傾斜されている。

これに対し、本実施の形態においては、図７及び図８に示すように、前記荷重曲げ線ＢＬは、サスペンション幅方向内側から外側へ行くに従ってサスペンション長手方向先端側に位置するように傾斜されている。
この場合には、図９(a)及び(b)に示すように、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１は、前記ディスク面に向かって凸状に撓むことになる。

斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンションにおいても、前記実施の形態１におけると同様に、質量増加を招くこと無く、前記ロードビーム部３０（即ち、前記磁気ヘッドサスペンション２Ａ）の剛性を高めることができる。従って、前記磁気ヘッドサスペンション２Ａの共振周波数を高めることができる。
なお、図９(a)及び(b)に示すように、前記ロードビーム部３０の本体部３１は、前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２に近接するに従って、前記撓みの程度が大きくなる。

図１０に、本実施の形態の第１変形例に係る磁気ヘッドサスペンション２Ｂの上面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及びその変形例並びに前記実施の形態２におけると同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。

図１０に示すように、前記第１変形例２Ｂにおいては、前記荷重曲げ線ＢＬが対応する第１及び第２板バネ２１ｂ、２２ｂのサスペンション幅方向内側のエッジ及び外側のエッジと直交するように構成されている。

具体的には、前記第１変形例２Ｂは、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａに比して、前記一対の第１及び第２板バネ２１、２２に代えて、前記一対の第１及び第２板バネ２１ｂ、２２ｂを有している。

図７及び図８に示すように、前記実施の形態２における前記第１及び第２板バネ２１、２２の各々においては、サスペンション幅方向内側及び外側のエッジは、前記サスペンション長手方向中心線と平行に延びている。

これに対し、前記第１変形例２Ｂにおける前記第１及び第２板バネ２１ｂ、２２ｂの各々においては、サスペンション幅方向内側のエッジ及び外側のエッジは、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション幅方向内方側に位置するように、前記中心線ＣＬに対して傾斜されており、これにより、前記荷重曲げ線ＢＬが対応する前記第１及び第２板バネ２１ｂ、２２ｂのサスペンション幅方向内側のエッジ及び外側のエッジと直交している。

斯かる構成の前記第１変形例２Ｂによれば、前記荷重曲げ線ＢＬ回りの前記第１及び第２板バネ２１ｂ、２２ｂの曲げを前記荷重曲げ線ＢＬの全域に亘って均等に行うことができ、これにより、前記荷重曲げ線ＢＬ回りの曲げの安定化、即ち、前記押し付け荷重の安定化を図ることができる。

図１１に、本実施の形態の第２変形例に係る磁気ヘッドサスペンション２Ｃの上面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及びその変形例並びに前記実施の形態２及び前記第１変形例におけると同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。

図１１に示すように、前記第２変形例２Ｃは、前記第１及び第２板バネ２１ｂ、２２ｂの各々におけるサスペンション幅方向外側のエッジに板バネ側フランジ部２５が設けられている点において、前記第１変形例２Ｂと相違している。

詳しくは、図１１に示すように、前記板バネ側フランジ部２５は、対応する前記ロードビーム側フランジ部３２と一体形成され且つ前記荷重曲げ線ＢＬよりサスペンション長手方向先端側で終焉している。

斯かる構成の前記第２変形例２Ｃによれば、前記一対の第１及び第２板バネ２１ｂ、２２ｂのうち前記荷重曲げ線ＢＬより先端側の領域の剛性を効果的に向上させることができ、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション２Ｃの共振周波数をより高めることができる。

なお、図１１に示す前記第２変形例においては、前記第１変形例２Ｂにおいて前記板バネ側フランジ部２５が設けられているが、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａにおいて前記板バネ側フランジ部２５を設けることも可能である。

図１２に、本実施の形態の第３変形例に係る磁気ヘッドサスペンション２Ｄの上面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態及びその変形例並びに前記実施の形態２及びその変形例におけると同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。

図１２に示すように、前記第３変形例２Ｄは、前記第１及び第２板バネ２１ｂ、２２ｂの各々と支持部１０ｂとの境界線が、対応する前記荷重曲げ線ＢＬと略平行とされている点において、前記第１変形例２Ｂと相違している。

詳しくは、前記第３変形例に係る磁気ヘッドサスペンション２Ｄは、前記第１変形例に係る磁気ヘッドサスペンション２Ｂに比して、前記支持部１０の代わりに支持部１０ｂを有している。

図１２に示すように、前記支持部１０ｂは、前記第１及び第２板バネ２１ｂ、２２ｂがそれぞれ連結される第１及び第２先端側領域１１ｂ、１２ｂを有している。
前記第１及び第２先端側領域１１ｂ、１２ｂの先端エッジは対応する前記第１及び第２板バネ２１ｂ、２２ｂの前記荷重曲げ線ＢＬと略平行になるように、サスペンション幅方向に対して傾斜されている。

詳しくは、前記荷重曲げ線ＢＬは、サスペンション幅方向内側から外側へ行くに従ってサスペンション長手方向先端側に位置するようにサスペンション幅方向に対して傾斜されている。
従って、前記第１及び第２先端側領域１１ｂ、１２ｂの先端エッジも同様に、サスペンション幅方向内側から外側へ行くに従ってサスペンション長手方向先端側に位置するようにサスペンション幅方向に対して傾斜されている。

斯かる構成の前記第３変形例２Ｄによれば、前記一対の第１及び第２板バネ２１ｂ、２２ｂのうち前記荷重曲げ線ＢＬより基端側の領域の剛性を効果的に向上させることができ、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション２Ｄの共振周波数をより高めることができる。

なお、図１２に示す前記第３変形例２Ｄにおいては、前記第１変形例２Ｂを例に説明したが、前記実施の形態２及び前記第２変形例において、前記支持部１０及び前記第１板バネ２１（２１ｂ）の境界線並びに前記支持部１０及び前記第２板バネ２２（２２ｂ）の境界線が対応する前記荷重曲げ線ＢＬと略平行となるように構成することも可能である。

１Ａ〜１Ｄ、２Ａ〜２Ｄ 磁気ヘッドサスペンション
１０、１０ａ、１０ｂ 支持部
２１、２１ａ、２１ｂ 第１板バネ
２２、２２ａ、２２ｂ 第２板バネ
２５ 板バネ側フランジ部
３０ ロードビーム部
３１ 本体部
３３ ディンプル
４０ フレクシャ部
５０ 磁気ヘッドスライダ
ＢＬ 荷重曲げ線
ＣＬ サスペンション長手方向中心線