JP2013217862A - 電気的接触子 - Google Patents
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Abstract
【課題】繰り返し使用されても安定した抵抗値を有する電気的接触子を提供する。
【解決手段】検査対象物と接触する接触部を有するプランジャ、位置決めに用いられる支持部、および、前記プランジャと前記支持部を接続するスプリングコイルを有する電気的接触子であって、前記スプリングコイルは、前記支持部と接続される側に、異なる2つの線材からなる2重螺旋構造の密巻き部を有し、前記プランジャに設けられた制動軸部は、前記プランジャから前記スプリングコイル内を前記密巻き部まで延伸し、前記制動軸部の先端部分の外周面が前記密巻き部の内側面において前記2つの線材の一方の表面と接触する。
【選択図】図1
【解決手段】検査対象物と接触する接触部を有するプランジャ、位置決めに用いられる支持部、および、前記プランジャと前記支持部を接続するスプリングコイルを有する電気的接触子であって、前記スプリングコイルは、前記支持部と接続される側に、異なる2つの線材からなる2重螺旋構造の密巻き部を有し、前記プランジャに設けられた制動軸部は、前記プランジャから前記スプリングコイル内を前記密巻き部まで延伸し、前記制動軸部の先端部分の外周面が前記密巻き部の内側面において前記2つの線材の一方の表面と接触する。
【選択図】図1
Description
本発明は、プローブ等の電気的接触子に関するものである。
電気的接触子、例えばプローブは、その形状から垂直型プローブとカンチレバー型プローブに区分される。前記垂直型プローブにもいくつかの種類があり、例えば、外筒を用いたプローブと、外筒を用いないでスプリングが露出した状態のバレルレスのプローブがある。
しかしながら、特許文献1に記載されているような外筒を用いたプローブの場合、外筒の材料が高価なためにコストが高く、また外筒の分だけ外径が大きくなるので狭ピッチに対応する際に問題が生じる。このような問題を解決するために、外筒を用いないでスプリングが露出した状態の垂直型プローブ(特許文献2参照)が用いられている。
上述のような外筒を用いないでスプリングが露出したプローブの場合、プローブを保持するガイド部材が外筒の役割を果たす構造である。スプリングを外筒として用いる場合、スプリングを伝送路として用いるために、スプリング内に位置する部材をスプリングの内面とコンタクトさせて導通する構造となっており、スプリングのコンタクト部分のメッキが剥がれて抵抗値を不安定にさせるという問題が生じる。
そこで、本発明はこのような従来の問題を解決し、安定した抵抗値を有する電気的接触子を提供することを目的とする。
本発明の電気的接触子は、検査対象物と接触する接触部を有するプランジャ、位置決めに用いられる支持部、および、前記プランジャと前記支持部を接続するスプリングコイルを有する電気的接触子であって、前記スプリングコイルは、前記支持部と接続される側に、異なる2つの線材からなる2重螺旋構造の密巻き部を有し、前記プランジャに設けられた制動軸部は、前記プランジャから前記スプリングコイル内を前記密巻き部まで延伸し、前記制動軸部の先端部分の外周面が前記密巻き部の内側面において前記2つの線材の一方の表面と接触することを特徴とする。
前記密巻き部を構成する2つの異なる線材は、第1の線材と、前記第1の線材よりも大径の断面を有する第2の線材からなり、前記密巻き部の内側面において前記第2の線材の表面が、前記第1の線材の表面よりも内側に突出しており、前記制動軸部の先端部分の外周面と接触する。
または、前記密巻き部を構成する2つの異なる線材は、第1の線材と、前記第1の線材よりも内側に位置する第2の線材からなり、前記第2の線材が前記制動軸部の先端部分の外周面と接触する。
本発明の電気的接触子は、検査対象物と接触する接触部を有するプランジャ、位置決めに用いられる支持部、および、前記プランジャと前記支持部を接続するスプリングコイルを有する電気的接触子であって、前記スプリングコイルは、前記支持部と接続される側に、異なる2つの線材からなる2重螺旋構造の密巻き部を有し、前記プランジャに設けられた制動軸部は、前記プランジャから前記スプリングコイル内を前記密巻き部まで延伸し、前記制動軸部の先端部分の外周面が前記密巻き部の内側面において前記2つの線材の一方の表面と接触することにより、電気的接触子が安定した抵抗値を保つことが可能となる。
本発明の電気的接触子について図面を用いて説明する。ここでは、電気的接触子としてプローブ1を用いて説明するが、プローブ以外の電気的接触子とすることも可能である。図1に示すのが、プローブ1の側面図である。
図1に示すように、本発明のプローブ1は、検査対象と接触する、先端がクラウン形状となっている接触部3を有する円筒形のプランジャ2、支持部4、および、前記プランジャ2と前記支持部4を接続するスプリングコイル5を有する垂直型のプローブであり、外筒を用いない形態としている。前記プローブ1はプローブカードによる検査時に通電するために前記支持部4から前記接触部3までの伝送路が形成されている。
前記スプリングコイル5は、粗巻き部6と前記粗巻き部6よりも密に巻回された2つの密巻き部7,8からなり、前記粗巻き部6は2つの前記密巻き部7,8の間に位置している。密巻き部8は一端が前記プランジャ2と接続され、他端が前記粗巻き部6と接続される。前記密巻き部7は一端が前記支持部4と接続され、他端が前記粗巻き部6と接続される。前記密巻き部7,8はスプリングが密着した状態となっているために、縦方向および横方向にはほとんど変位しない。検査時に前記接触部3に力が加えられると粗に巻回された前記粗巻き部6が主に変形してスプリングの働きをし、検査時に前記スプリングコイル5が伸縮して前記接触部3を上下動させることでプローブ1が摺動する。
前記密巻き部8は単に前記粗巻き部6のスプリングを密巻きにしたものであり、これに対して前記密巻き部7は、図2に示すように、異なる2つの線材、第1の線材9と第2の線材10から構成される2重螺旋構造を用いている。
前記支持部4は、図3に示すように、先端部11がプローブカードの基板の電極32と接触し、前記プローブ1に通電する構造でああり、さらに、前記先端部11と反対側に前記密巻き部7内に延伸された円筒形の制動軸部12が設けられている。また、前記プランジャ2は、前記接触部3に向かって径が小さくなる段差部16が設けられ、さらに前記スプリングコイル5内を前記密巻き部8から前記粗巻き部6へと延び、さらに前記密巻き部8へと延伸された円筒形の制動軸部13が設けられている。
前記制動軸部13の先端部分14は他の部分よりも径が大きく形成されており、前記先端部分14の外周面が、前記スプリングコイル5の前記密巻き部7の内側において、前記第2の線材10と接触する。このように、前記先端部分14と前記第2の線材10との接触によって導通が確保され、プローブ1における伝送路が形成される。
前記密巻き部7の2重螺旋構造は様々な形態が考えられる。そこで、次に前記密巻き部7の2重螺旋構造について、いくつかの形態を用いて詳しく説明する。図2(a)に示すのが、第1の形態の密巻き部7である。第1の形態の密巻き部7は、前記第1の線材9と、前記第1の線材9よりも径の大きい第2の線材10を交互に巻回させた2重螺旋構造である。
そして、前記第2の線材10は、図2(a)に示すように、前記密巻き部7の内側面において、前記第1の線材9よりも内側に突出するように配置している。これにより、前記密巻き部7の内部に位置する前記制動軸部13の先端部分14の外周面が、前記第2の線材10の表面と接触する。前記プローブ1による検査時に、前記制動軸部13が上下動すると、前記先端部分14は前記第1の線材9と接触することなく、前記第2の線材10とだけ接触しながら上下動する。
次に、第2の形態の密巻き部7について、図2(b)を用いて説明する。図2(b)に示すように、第2の形態の密巻き部7は、第1の線材9と第2の線材10を、前記第1の線材9の内側に前記第2の線材10を配置して巻回させた2重螺旋構造である。図2(a)では、前記第2の線材10の径は、前記第1の線材9よりも小さくしているが、前記第2の線材10の径の大きさは特に限定するものではなく、第2の線材10が第1の線材9よりも内側に位置すればよい。
このように前記第2の線材10を前記第1の線材9の内側に配置すると、前記第1の形態と同様に、前記密巻き部7の内側面において、前記第1の線材9よりも内側に突出することとなる。これにより、前記密巻き部7の内部に位置する前記制動軸部13の先端部分14の外周面が、前記第2の線材10の表面と接触し、前記制動軸部13が上下動したとしても、前記先端部分14は前記第1の線材9と接触することなく、前記第2の線材10とだけ接触しながら上下動することができる。
このように、前記第1の線材9と前記第2の線材10は、径の大きさや、互いの地関係によって様々な形態を選択することができるが、どのような形態を用いたとしても、前記密巻き部7の内側面において一方の線材を内側に突出させることで、1つの線材だけが前記制動軸部13の先端部分14と接触することができればよい。
次に、前記第1の線材9および前記第2の線材10の材質について説明する。前記第1の線材9の材質としてはピアノ線を用い、さらにその表面にAuメッキを施しておく。これは、前記粗巻き部6および前記密巻き部8と同じ材質を用いればよい。
そして、前記第2の線材10の材質としては、表面のメッキが削れても抵抗値が安定している材質を用いることが必要である。例えば、前記第2の線材10の材質として、金線、パラジウム線等の導電性の高い単一材料を用いることが好ましい。
前記第2の線材10の材質のその他の条件としては、摩耗しにくいことが求められる。この条件を満たすための1つの方法として、互いに接触する前記制動軸部13の先端部分14と材質を統一することがある。これにより、前記第2の線材10および前記先端部分14は共に摩耗しにくくなる。
前記第2の線材10を摩耗しにくくする方法としてその他に、例えば、表面を、ロジウム等の高硬度接点材料を用いてメッキする方法がある。このような材料によるメッキを行うことにより、接触時に前記第2の線材10が摩耗しにくくなり、接触性が安定する。このようなメッキを行うと、前記先端部分14は摩耗し易くなるが、前記プランジャ2は先端部分14を含めて単一材料で形成されていることによって、前記プランジャ2側は多少摩耗したとしても抵抗値の変化は少なくなる。
前記第2の線材10の材質に求められる条件を満たす方法は上述のように複数存在するが、これらを組み合わせることによって、より好ましい第2の線材10とすることができる。
このようにして、前記密巻き部7を、第1の線材9および第2の線材10からなる2重螺旋構造とし、前記第2の線材10と前記プランジャー2の先端部分14とを接触させることにより、前記プローブ1における伝送路が形成される。
前記スプリングコイル5の粗巻き部6および密巻き部8の材質については、上述のように前記第1の線材9と同じ材質、例えば、表面にAuメッキを施したピアノ線を用いる。そして、前記第1の線材9、前記粗巻き部6および密巻き部8は1つのスプリングとして形成する。よって、スプリングコイル5は1つのスプリングに前記第2の線材10を組み合わせることにより、前記制動軸部13の先端部分14と接触する部分を2重螺旋構造としたものとなる。前記スプリングコイル5以外の部材、前記プランジャ2および前記支持部4等については、導電性材料を用いればよい。
図3に示すように、プローブカードに配置されたプローブ1における伝送路は、検査対象物の電極31と接触する前記接触部3から前記プランジャー2の本体を経て、前記プランジャー2の制動軸部13、そして、前記制動軸部13の先端部分14へと形成され、そして、前記先端部分14が前記第2の線材10と接触すると、前記第2の線材10を通じて前記密巻き部7を経て前記支持部4から前記支持部4の先端部11まで繋がる。前記先端部11がプローブカードの電極32と接することで、検査対象物とプローブカードはプローブ1を通じて導通される。
このようなプランジャー2の制動軸部13の先端部分14と、前記密巻き部7との接触に、前記第2の線材10を用いることにより、繰り返し接触が行われても、第2の線材10の抵抗が変化するのを抑制することが可能となり、プローブ1による安定した検査が確保される。
本発明の電気的接触子は、プローブの形態以外にも適用可能であり、目的に応じて変更可能である。
1 プローブ
2 プランジャ
3 接触部
4 支持部
5 スプリングコイル
6 粗巻き部
7,8 密巻き部
9 第1の線材
10 第2の線材
11 先端部
13 制動軸部
14 先端部分
16 段差部
2 プランジャ
3 接触部
4 支持部
5 スプリングコイル
6 粗巻き部
7,8 密巻き部
9 第1の線材
10 第2の線材
11 先端部
13 制動軸部
14 先端部分
16 段差部
Claims (3)
- 検査対象物と接触する接触部を有するプランジャ、位置決めに用いられる支持部、および、前記プランジャと前記支持部を接続するスプリングコイルを有する電気的接触子であって、
前記スプリングコイルは、前記支持部と接続される側に、異なる2つの線材からなる2重螺旋構造の密巻き部を有し、
前記プランジャに設けられた制動軸部は、前記プランジャから前記スプリングコイル内を前記密巻き部まで延伸し、前記制動軸部の先端部分の外周面が前記密巻き部の内側面において前記2つの線材の一方の表面と接触することを特徴とする電気的接触子。 - 前記密巻き部を構成する2つの異なる線材は、第1の線材と、前記第1の線材よりも大径の断面を有する第2の線材からなり、前記密巻き部の内側面において前記第2の線材の表面が、前記第1の線材の表面よりも内側に突出しており、前記制動軸部の先端部分の外周面と接触することを特徴とする請求項1に記載の電気的接触子。
- 前記密巻き部を構成する2つの異なる線材は、第1の線材と、前記第1の線材よりも内側に位置する第2の線材からなり、前記第2の線材が前記制動軸部の先端部分の外周面と接触することを特徴とする請求項1に記載の電気的接触子。
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JP2012090575A JP2013217862A (ja) | 2012-04-11 | 2012-04-11 | 電気的接触子 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016006401A (ja) * | 2014-06-20 | 2016-01-14 | 日本電子材料株式会社 | プローブを保持したガイド部材 |
KR102121754B1 (ko) * | 2018-12-19 | 2020-06-11 | 주식회사 오킨스전자 | 상하 2개의 영역으로 구분되는 단일 코일 스프링을 포함하는 테스트 소켓 |
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- 2012-04-11 JP JP2012090575A patent/JP2013217862A/ja active Pending
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