JP2013202605A - 洗浄装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】洗浄液の流量を簡易かつ正確に監視することができ、メンテナンスが容易な洗浄装置及び洗浄方法を提供すること。
【解決手段】オーバーフロー部12に設けられたセンサー41によって液面CSの高さに関する情報を検出するので、洗浄液CAの循環状態を監視することができ、洗浄液CAの循環状態を比較的正確にチェックすることができる。また、オーバーフロー部12での液面監視は、洗浄液CA中の異物や気泡等によって影響受けにくい。さらに、オーバーフロー部12は開放し易く、センサー41のメンテナンスや交換も容易になる。
【選択図】図1
【解決手段】オーバーフロー部12に設けられたセンサー41によって液面CSの高さに関する情報を検出するので、洗浄液CAの循環状態を監視することができ、洗浄液CAの循環状態を比較的正確にチェックすることができる。また、オーバーフロー部12での液面監視は、洗浄液CA中の異物や気泡等によって影響受けにくい。さらに、オーバーフロー部12は開放し易く、センサー41のメンテナンスや交換も容易になる。
【選択図】図1
Description
本発明は、洗浄液を洗浄槽外に延びる経路で循環させつつ光学素子その他の対象物を洗浄するための洗浄装置及び洗浄方法に関する。
洗浄装置として、洗浄槽とサブタンクとをそれぞれ有する4つの洗浄ユニットを備え、サブタンクにオーバーフロー管を設けて洗浄液の液面高さを調節して、洗浄液が被洗浄物の移動方向の下流側から上流側に向かって移送されるものがある(特許文献1参照)。このような、洗浄装置では、被洗浄物の移動先の洗浄ユニットすなわち洗浄の進んだ後段洗浄ユニットが清浄に保たれる。
しかしながら、上記のような洗浄装置において、洗浄槽に還流させる洗浄液を正確に管理できない場合がある。すなわち、洗浄液の流量を監視する方法として、配管に圧力計を接続する方法があるが、洗浄液中の異物や気泡(液中の微小な気体)等によって検出値が変動しやすく、正確な管理に向かない。また、流量を監視する別の方法として、浮子流量計を用いる方法があるが、流量計内に汚れ成分が混入するため汚れが進行すると流量計の使用が不可能になり、或いは洗浄液の液質(強アルカリ性、高温使用等)によって流量計が劣化・破損するので、定期的に交換や分解洗浄が必要になる。流量を監視するさらに別の方法として、超音波流量計を用いる方法があるが、装置が高価なものとなってしまう。
本発明は、上記背景技術に鑑みてなされたものであり、洗浄液の流量を簡易かつ正確に監視することができ、メンテナンスが容易な洗浄装置及び洗浄方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明に係る洗浄装置は、対象物(具体的にはレンズ)を洗浄液に浸漬させて洗浄を行うための槽本体と当該槽本体から溢れた洗浄液を受けるオーバーフロー部とを有する洗浄槽と、オーバーフロー部で受けた洗浄液を回収するサブタンクと、サブタンク内の洗浄液を槽本体に還流させる液体循環装置と、オーバーフロー部に設けられて液面の高さに関する情報(例えば液面が所定高さを超えたか否か)を検出するセンサーとを備える。
上記洗浄装置では、オーバーフロー部に設けられたセンサーによって液面の高さに関する情報を検出するので、洗浄液の循環状態を監視することができ、洗浄液の循環状態を比較的正確にチェックすることができる。また、オーバーフロー部での液面監視は、検出を阻害する要因となりやすい洗浄液中の異物や気泡等によって影響受けにくい。さらに、オーバーフロー部は開放し易く、センサーのメンテナンスや交換も容易になる。
本発明の具体的な側面によれば、上記洗浄装置において、オーバーフロー部が槽本体の周囲に環状に配置されている。槽本体内の洗浄液に偏らない流れを形成することができる。これにより、異物等の排出が容易になる。
本発明の別の側面によれば、オーバーフロー部が一箇所にドレン孔を有し、センサーがドレン孔の周辺領域とドレン孔から最も離れた反対領域との間に配置される。ドレン孔から最も離れた反対領域では、洗浄液の流れが少なくなって泡(洗剤等に起因して液面に浮かぶもの)の影響が大きくなるため、洗浄液の流量の判断がしにくく、ドレン孔の周辺領域では、洗浄液の流れが集中して検出が不安定になり易い。
本発明のさらに別の側面によれば、センサーが光学式漏液センサー及び静電式液面センサーのいずれかである。これにより、簡易かつ高精度で洗浄液の液面を検出することができる。
本発明のさらに別の側面によれば、センサーによって検出された液面が所定以下である場合、異常を通知するアラームの出力を行う制御部をさらに備える。この場合、洗浄液の循環状態の異常を迅速かつ正確に通報することができる。
本発明のさらに別の側面によれば、液体循環装置がポンプ及びフィルターを有し、槽本体が洗浄液に超音波振動を付与する振動装置を有する。
上記目的を達成するため、本発明に係る洗浄方法は、対象物を洗浄液に浸漬させて洗浄を行うための槽本体と当該槽本体から溢れた洗浄液を受けるオーバーフロー部とを有する洗浄槽と、オーバーフロー部で受けた洗浄液を回収するサブタンクと、サブタンク内の洗浄液を槽本体に還流させる液体循環装置とを備える洗浄装置を用いた洗浄方法であって、オーバーフロー部に設けられたセンサーによって、液面の高さに関する情報を検出することで、洗浄液の循環状態を監視する。
上記洗浄方法では、オーバーフロー部に設けられたセンサーによって液面の高さに関する情報を検出することで洗浄液の循環状態を監視するので、洗浄液の循環状態を比較的正確にチェックすることができる。また、オーバーフロー部での液面監視は、洗浄液中の異物や気泡等によって影響受けにくい。さらに、オーバーフロー部は開放し易く、センサーのメンテナンスや交換も容易になる。
以下、図面を参照しつつ、本発明に係る洗浄装置及び洗浄方法の実施形態について説明する。
図1等に示すように、洗浄装置を構成する洗浄ユニット100は、対象物を洗浄液CA中に浸漬させて洗浄を行うための洗浄槽10と、洗浄槽10からオーバーフローした洗浄液CAを貯留するサブタンク20と、サブタンク20内の洗浄液CAを洗浄槽10に還流させる液体循環装置30と、液体循環装置30による洗浄液CAの循環状態を監視する流量監視装置40と、洗浄ユニット100の動作を制御する洗浄制御部50とを備える。
洗浄槽10は、洗浄液CAを収容する槽本体11と、槽本体11の上部から溢れた洗浄液CAを受けるオーバーフロー部12と、槽本体11の底部に設けられ槽本体11中の洗浄液CAに振動を与える振動付与装置13とを有する。
槽本体11は、四角柱状の容器であり、上部開口11aは、水平面に沿って延びる矩形の縁部11bを有する。これにより、槽本体11から溢れた洗浄液CAは、縁部11bに沿った全周から略一様に溢れ出してオーバーフロー部12に流れ込む。オーバーフロー部12は、槽本体11の上部開口11aを囲むように矩形の縁部11bに沿って環状に設けられている。オーバーフロー部12は、図2(A)にも示すように、4辺の流路部分12a,12b,12c,12dに分けることができるが、そのうち1辺の流路部分12aの中央にドレン孔12fを有する。このドレン孔12fには、最も遠い流路部分(反対領域)12dで溢れ出した洗浄液CAが中間の流路部分12b,12cを経て流れ込み、中間の流路部分12b,12cに溢れ出した洗浄液CAがより近い流路部分12aを経て流れ込み、最も近い流路部分(周辺領域)12aに溢れ出した洗浄液CAが中央に向かって流れ込む。通常の動作時は、槽本体11に洗浄液CAが常時追加供給されるので、オーバーフロー部12には、洗浄液CAが定常的に流れ込んでおり、ドレン孔12fに向かう洗浄液CAの定常的な流れが形成される。つまり、オーバーフロー部12における洗浄液CAの液面は、一定レベル以上に保たれる。振動付与装置13は、槽本体11の底面に設けた振動板13aを介して洗浄液CAに超音波振動を付与する。
サブタンク20は、配管61を介してドレン孔12fに連通している。サブタンク20は、オーバーフロー部12で受けた洗浄液CAを貯留するとともに洗浄液CAを槽本体11に供給するための部分である。サブタンク20には、必要ならばオーバーフロー管等を設けて過剰な洗浄液CAを排出させることもできる。なお、洗浄液CAは、水、洗剤を添加した水又は有機溶媒等であり、アルカリ性や酸性を有するものである場合もある。また、洗浄液CAが室温以上で使用される場合もあり、この場合、サブタンク20には、洗浄液CAの温度を調整する温度調節装置25と、槽本体11内の洗浄液CAの温度を検出する温度センサー26とが設けられる。温度調節装置25と温度センサー26とにより、洗浄液CAの温度を検出することができ、洗浄液CAの温度を洗浄に適するものとできる。結果的に、槽本体11に供給する洗浄液CAの温度を適切な状態に設定し維持することができる。
液体循環装置30は、ポンプ31とフィルター32と配管34とを有する。ポンプ31は、配管34を介してサブタンク20中の洗浄液CAを洗浄槽10の槽本体11に所望の流量で還流させる。フィルター32は、配管34の経路上に設けられており、異物粒子や汚れ成分が槽本体11に戻されることを防止している。
流量監視装置40は、液面を検出する複数のセンサー41と、センサー41を駆動して異常を検出する駆動回路42とを有する。センサー41は、図2(A)に示すように、オーバーフロー部12のうち中間の流路部分12bに略均等な間隔で配置されている。センサー41は、例えば光学式漏液センサーとすることができる。光学式漏液センサーは、図2(B)に示すように、支持体44等を利用してオーバーフロー部12の適当な高さ位置にセットされており、洗浄液CAの液面CSが所定の基準値以下になったことを検出する。センサー41は、静電式液面センサーとすることもできる。静電式液面センサーによっても、洗浄液CAの液面CSが所定の基準値以下になったことを検出できる。なお、オーバーフロー部12の流路部分12bを流れる洗浄液CAの液面CSの基準値は、洗浄液CAの流量が通常以下に減少した場合を想定しており、例えば試運転等によって経験的に定める。
洗浄制御部(制御部)50は、洗浄槽10の振動付与装置13やサブタンク20の温度調節装置25の動作状態を制御している。洗浄制御部50は、液体循環装置30のポンプ31の動作状態を制御して洗浄液CAを所期の流量で循環させる。洗浄制御部50は、流量監視装置40を介してオーバーフロー部12における洗浄液CAの液面CSを監視しており、オーバーフロー部12における液面CSの異常な低下、すなわち洗浄液CAの異常な流量減少を検出している。なお、洗浄液CAの流量が減少又は停止すると、洗浄液CAの循環も減少又は停止するため、槽本体11内に洗浄液CAが汚れとともに滞留し、洗浄液CAの劣化が急速に進行し易く、対象物に対する洗浄効率が下がってしまいやすい。よって、洗浄液CAの異常な流量減少を監視して早い段階で対処することが極めて重要になる。
図3は、図1に示す洗浄ユニット100を複数組み込んだ洗浄装置の構造を説明する図である。
図示の洗浄装置200は、複数の洗浄ユニット100と、仕上げ用の乾燥槽300と、搬送装置80と、制御装置90とを備える。複数の洗浄ユニット100は、洗浄液CAのタイプや清浄度が互いに異なっており、選択又は設定された洗浄プロセスによって、使用される洗浄ユニット100や順序が変更される。搬送装置80は、レンズ等である洗浄の対象物WOを保持するホルダー85を把持して昇降可能なチャック装置81を有しており、複数の洗浄ユニット100のうち任意の洗浄ユニット100から別の洗浄ユニット100や乾燥槽300にホルダー85を移し替えることができる。制御装置90は、搬送装置80の動作を制御するとともに、各洗浄ユニット100と乾燥槽300との状態を監視している。
以下、図4を参照して、各洗浄ユニット100の動作の一例について説明する。まず、電源スイッチのオン後にメニューから洗浄モードを起動することで、予め設定された洗浄条件に応じた洗浄環境とする動作を開始する(ステップS11)。洗浄条件には、ホルダー85の浸漬時間、浸漬期間中の超音波の付与タイミング、ポンプ31による洗浄液CAの流量等が含まれる。その後、例えば液体循環装置30のポンプ31の動作を継続することで洗浄液CAを洗浄槽10の槽本体11に供給し、サブタンク20の温度調節装置25の動作を継続することで槽本体11内の洗浄液CAの温度を目標値にまで上昇等させる(ステップS12)。次に、洗浄制御部50は、洗浄液CAの温度チェック等を行って、洗浄液CAによる処理の準備が完了したか否かを判断する(ステップS13)。洗浄液CAによる処理の準備が完了したと判断された場合、洗浄制御部50は、流量監視装置40によるオーバーフロー部12における流量チェックを開始する(ステップS14)。具体的には、オーバーフロー部12の流路部分12bを流れる洗浄液CAの液面CSが基準値よりも低下したか否かが判断される(ステップS15)。流量監視装置40による検出結果、洗浄液CAの液面CSが基準値以上であると判断された場合、オーバーフロー部12における洗浄液CAの流量が正常であると考えられるので、洗浄制御部50は、ステップS14に戻って流量監視装置40による流量チェックを継続する。一方、流量監視装置40による検出結果、洗浄液CAの液面CSが基準値よりも低いと判断された場合、オーバーフロー部12における洗浄液CAの流量が異常であると考えられるので、洗浄制御部50は、例えば不図示の供給源からサブタンク20又は液体循環装置30に対して洗浄液CAを追加供給する(ステップS06)。洗浄液CAの追加供給量は、オーバーフロー部12に洗浄液CAが適度に満たされるような量とする。
次に、洗浄制御部50は、一定時間の待機後、流量監視装置40による流量チェックを再度行う(ステップS07)。流量監視装置40による検出結果、洗浄液CAの液面CSが基準値以上に回復したと判断された場合(ステップS08のN)、オーバーフロー部12における洗浄液CAの循環が正常に回復したと考えられるので、洗浄制御部50は、ステップS14に戻って流量監視装置40によるオーバーフロー部12における流量チェックを継続する。
一方、ステップS07の流量チェックで、洗浄液CAの液面CSが基準値以上に回復していないと判断された場合(ステップS08のY)、洗浄制御部50は、ステップS16に進んでアラーム出力を行う。具体的には、モニター画面にアラーム表示を行ったり、不図示の警報ランプを点滅させたり、不図示のブザーに警告音を出力させたりすることができる。
ステップS16でアラーム出力が行われた場合、オペレータは、異常の原因を特定することになる。具体的には、フィルター32の目詰まり、洗浄液CAの減少又は劣化、ポンプ31の異常、配管34の詰まり、追加洗浄液用の供給バルブの状態等がチェックされる。例えばフィルター32が目詰まり等によって劣化している場合、フィルター32が交換され、洗浄液CAの異常の場合、洗浄液CAの交換や補充が行われる。フィルター32の交換の際には、併せて洗浄液CAの交換を行うこともできる。
ステップS16でアラーム出力が行われた場合、その後に一定期間が経過するまでにアラーム状態が解除されたか否かが判断される(ステップS17)。アラーム状態の解除は、オペレータが洗浄制御部50の入力装置を操作して行うことができる。ステップS17でアラーム状態が解除されない場合、洗浄制御部50は、洗浄ユニット100を待機状態とする(ステップS18)。待機状態では、例えば液体循環装置30のポンプ31の動作を停止させたり、振動付与装置13及び温度調節装置25の動作を停止させたりする。
ステップS18で待機状態とされた場合、洗浄制御部50は、その待機状態が解除されたか否かを判断する(ステップS19)。待機状態の解除は、オペレータが洗浄制御部50の入力装置を操作して行うことができる。
ステップS17でアラーム状態が解除され、或いはステップS19で待機状態が解除された場合、洗浄制御部50は、ステップS14に戻って流量監視装置40によるオーバーフロー部12における流量チェックを再開する。
以下、図5を参照して、図3に示す洗浄装置200の動作の概要について説明する。まず、制御装置90は、洗浄プログラムの指定を受け付ける(ステップS21)。オペレータは、モニター画面や入力装置を利用して、洗浄プログラムを指定する。洗浄プログラムは、複数の洗浄ユニット100をどの順番で使用するか、各洗浄ユニット100における洗浄液CAの温度、各洗浄ユニット100において対象物WOを洗浄液CAに浸漬する時間等の情報を含む。
次に、制御装置90は、洗浄ユニット100の準備が完了しているか否かを確認する(ステップS22)。具体的には、図4の処理のステップS14で洗浄液CAの液面CSが基準値以上であると判断されている状態が継続している場合、洗浄ユニット100の準備が完了していることになる。なお、洗浄ユニット100は、複数あり、洗浄プログラムで指定された全ての洗浄ユニット100について状態がチェックされる。
ステップS22で洗浄ユニット100の準備が完了していると判断された場合、制御装置90は、洗浄プログラム中の複数工程のうち残っている最初の工程を開始させる(ステップS23)。例えば洗浄プログラムの開始直後であれば、制御装置90は、第1洗浄工程に相当する洗浄ユニット100による処理を開始させる。この場合、制御装置90は、搬送装置80にホルダー85を搬送させて、このホルダー85を第1洗浄工程に相当する洗浄ユニット100の洗浄槽10に浸漬させる。
次に、制御装置90は、洗浄ユニット100の洗浄槽10に異常が発生したか否かを判断する(ステップS24)。洗浄槽10の異常は、図4の処理のステップS16でアラーム出力が行われている場合、或いはステップS18で洗浄ユニット100が待機状態に設定された場合に対応する。制御装置90は、ステップS24で洗浄槽10に異常がないと判断した場合、ステップS23で開始した工程が終了したか否かを判断する(ステップS25)。具体的には、例えば所定の浸漬時間が経過していれば工程が終了したと判断し、所定の浸漬洗浄時間が経過していなければ工程が終了していないと判断する。工程が終了していない場合、ステップS24に戻って洗浄槽10に異常が発生したか否かを再度判断し、開始した特定段階の洗浄工程が終了するまでステップS24の異常発生の検出を繰り返す。
ステップS25で工程が終了したと判断した場合、この終了した工程が最後の乾燥槽300における乾燥処理であるか否かを判断する(ステップS26)。乾燥処理が完了していない場合、ステップS23に戻って洗浄プログラム中の工程のうち残りの最初の工程を開始させる。具体的には、第1洗浄工程が終了した直後であれば、制御装置90は、第2洗浄工程を開始させ、搬送装置80によって第1洗浄工程に対応する洗浄ユニット100から第2洗浄工程に対応する洗浄ユニット100にホルダー85を移し替える。
一方、最終の乾燥槽300における乾燥処理が終了した場合(ステップS26のY)。制御装置90は、最終の乾燥槽300からホルダー85を取り出す。ホルダー85に保持された対象物WOは、洗浄処理済みの製品となっている。
上記ステップS24において、処理の実行中に洗浄槽10に異常が生じていると判断した場合、制御装置90は、ステップS31に進んでアラーム出力を行う。具体的には、モニター画面にアラーム表示を行ったり、不図示の警報ランプを点滅させたりする。なお、洗浄装置200側で警報が行われている場合、制御装置90側からのアラーム出力は不要である。
ステップS31でアラーム出力が行われた場合、その後に一定期間が経過するまでにアラーム状態が解除されたか否かが判断される(ステップS32)。アラーム状態の解除は、オペレータが制御装置90の入力装置を操作して行うことができる。オペレータは、アラーム状態を解除する前提として、異常の原因を特定し、原因に対応する処置(フィルター32の洗浄や交換、洗浄液CAの交換や補充等)を行う。アラーム状態が一定時間以上解除されない場合、制御装置90は、洗浄装置200を一時中断状態とする(ステップS33)。ステップS33で一時中断状態とされた場合、制御装置90は、その一時中断状態が解除されたか否かを判断する(ステップS34)。一時中断状態の解除も、オペレータが制御装置90の入力装置を操作して行うことができる。
ステップS32でアラーム状態が解除され、或いはステップS34で一時中断状態が解除されていると判断された場合、制御装置90は、ステップS24に戻って洗浄ユニット100の洗浄槽10に異常が発生したか否かの監視を継続する。
以上説明した実施形態の洗浄装置及び方法によれば、オーバーフロー部12に設けられたセンサー41によって液面CSの高さに関する情報を検出するので、洗浄液CAの循環状態を監視することができ、洗浄液CAの循環状態を比較的正確にチェックすることができる。オーバーフロー部12での液面監視は、洗浄液CA中の異物や気泡等によって影響受けにくいという特徴を有する。さらに、オーバーフロー部12は開放し易く、センサー41のメンテナンスや交換も容易になる。つまり、洗浄液CAの循環状態の監視がこれまでに比較して格段に確実で効率的なものとなる。
以上、実施形態に即して本発明を説明したが本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば上記実施形態では、センサー41は、オーバーフロー部12のうち中間の流路部分12bに配置する必要はなく、例えば流路部分12a,12dに配置することができる。センサー41を多数設ける場合、例えば半数以上のセンサー41が液面CS低下を示す場合、液面CSの低下が生じていると判断することができる。
また、流量監視装置40に追加して、液体循環装置30の配管34の途中に流量計138を設けることもできる(図1参照)。流量計138の状態を監視することで、洗浄液CAの流量監視をより正確にすることができる。流量計138は、圧力計に置き換えることもできる。流量計138や圧力計を用いる場合、流量監視装置40が流量の異常な減少を検出し、かつ、流量計138が極端な流量減少を示したり圧力計が極端な圧力上昇を示したりした場合に、洗浄液CAの追加補充やアラーム出力を行うことができる。
流量監視装置40は、洗浄液CAの液面CSが基準値よりも下がったか否かを検出しているが、液面CSを複数段階で管理することもできる。この場合、洗浄液CAの流量の減少程度を判断することもでき、洗浄液CAの流量管理がより精密になる。
洗浄装置200の洗浄ユニット100は、全てがオーバーフロー部12やサブタンク20を備えるものである必要はなく、特に最終段階に近い水洗いの洗浄ユニット100では、サブタンク20等を省略した非循環式とすることができる。この場合、流量監視装置40は不要となる。
振動付与装置13は、不可欠ではなく、洗浄液CAにバブルを発生させる装置であってもよい。
以上の洗浄ユニット100では、洗浄槽10ごとにサブタンク20を設けているが、複数の洗浄槽10を一組として1つのサブタンク20を設けることができる。この場合、上流の洗浄槽10でオーバーフローした洗浄液CAを下流の洗浄槽10に移すことができ、下流の洗浄槽10でオーバーフローした洗浄液CAをサブタンク20に回収することになる。この場合、全ての洗浄槽10に流量監視装置40を設ける必要はなく、最も下流の洗浄槽10に流量監視装置40を設ければ足る。
10…洗浄槽、 11…槽本体、 12…オーバーフロー部、 12a,12b,12c,12d…流路部分、 12f…ドレン孔、 13…振動付与装置、 13a…振動板、 25…温度調節装置、 20…サブタンク、 30…液体循環装置、 31…ポンプ、 32…フィルター、 40…流量監視装置、 41…センサー、 50…洗浄制御部、 80…搬送装置、 81…チャック装置、 90…制御装置、 100…洗浄ユニット、 200…洗浄装置、 300…乾燥槽、 CA…洗浄液、 CS…液面、 WO…対象物
Claims (7)
- 対象物を洗浄液に浸漬させて洗浄を行うための槽本体と、当該槽本体から溢れた洗浄液を受けるオーバーフロー部とを有する洗浄槽と、
前記オーバーフロー部で受けた洗浄液を回収するサブタンクと、
前記サブタンク内の洗浄液を前記槽本体に還流させる液体循環装置と、
前記オーバーフロー部に設けられて液面の高さに関する情報を検出するセンサーとを備える洗浄装置。 - 前記オーバーフロー部は、前記槽本体の周囲に環状に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記オーバーフロー部は、一箇所にドレン孔を有し、前記センサーは、前記ドレン孔の周辺領域と、前記ドレン孔から最も離れた反対領域との間に配置されることを特徴とする請求項2に記載の洗浄装置。
- 前記センサーは、光学式漏液センサー及び静電式液面センサーのいずれかであることを特徴とする請求項1から3までのいずれか一項に記載の洗浄装置。
- 前記センサーによって検出された液面が所定以下である場合、異常を通知するアラームの出力を行う制御部をさらに備えることを特徴とする請求項1から4までのいずれか一項に記載の洗浄装置。
- 前記液体循環装置は、ポンプ及びフィルターを有し、前記槽本体は、洗浄液に超音波振動を付与する振動装置を有することを特徴とする請求項1から5までのいずれか一項に記載の洗浄装置。
- 対象物を洗浄液に浸漬させて洗浄を行うための槽本体から溢れた洗浄液を受けるオーバーフロー部を有する洗浄槽と、前記オーバーフロー部で受けた洗浄液を回収するサブタンクと、前記サブタンク内の洗浄液を前記槽本体に還流させる液体循環装置とを備える洗浄装置を用いた洗浄方法であって、
前記オーバーフロー部に設けられたセンサーによって、液面が所定高さを超えたか否かを検出することで、洗浄液の循環状態を監視することを特徴とする洗浄方法。
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