JP2013200478A - 走査型画像投影装置及び走査型画像投影装置の駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 走査型画像投影装置で、スクリーン上の異なる位置に移動させて画面表示を行おうとする場合、移動機構として回転台や角度変更鏡を用いており、移動機構が大型化して画像投影装置の小型化ができず、本発明は小型化を可能にした走査型画像投影装置を提供する。
【解決手段】 反射鏡を有するMEMSスキャナと、反射鏡を高速で共振振動させる高速駆動回路と、反射鏡を低速で非共振振動させる低速駆動回路とを備えたMEMS制御部を有し、前記MEMS制御部は前記低速振動を行う非共振振動領域内の位置を所定量オフセットさせるオフセット駆動回路を備え、前記高速駆動回と低速駆動回路との駆動信号によって所定の表示領域に画像表示を行うと共に、前記オフセット駆動回路からのオフセット信号によって、前記非共振振動領域内における表示領域の位置を移動変更することを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】 反射鏡を有するMEMSスキャナと、反射鏡を高速で共振振動させる高速駆動回路と、反射鏡を低速で非共振振動させる低速駆動回路とを備えたMEMS制御部を有し、前記MEMS制御部は前記低速振動を行う非共振振動領域内の位置を所定量オフセットさせるオフセット駆動回路を備え、前記高速駆動回と低速駆動回路との駆動信号によって所定の表示領域に画像表示を行うと共に、前記オフセット駆動回路からのオフセット信号によって、前記非共振振動領域内における表示領域の位置を移動変更することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明はMEMSスキャナを用いた走査型画像投影装置及び走査型画像投影装置の駆動方法に関し、特に画像を表示する表示領域の位置を、移動変更可能にした走査型画像投影装置に関する。
従来より、走査型画像投影装置(プロジェクター)において、スクリーン等に表示する表示領域の位置を変化させて、異なる位置に投影画像を表示させることが考えられている。この目的としては例えば投影型キーボードのように必要に応じてキーボードの投影場所を変えることにより、複数の操作者に1つのキーボードを共通使用させることや、レストランのテーブル上にメニュー画像を移動表示させることによって、複数の紙のメニューを廃止することが考えられている。
これらの異なる位置に投影画像を表示させる方法としては、色々な提案があり、たとえば特許文献1には画像表示を行う光走査手段を搭載した回転光学部材を設け、回転光学部材全体を回転することにより、投射画像の位置を変化させる構成が記載されている。また特許文献2には投射用の反射鏡に回転制御用のサーボモータを設け、このサーボモータによって反射鏡の角度を変化させてスクリーン上の投射画像の位置を変化させる構成が記載されている。
また、近年光走査手段としてガルバノミラーやポリゴンミラーを用いた方式に変えて小型化が可能なMEMSスキャナを用いた光走査方式が開発されている(例えば非特許文献1の217頁、図1参照)。以下図5〜7により従来のMEMSスキャナの構成及びMEMSスキャナを用いた走査型画像投影装置の説明を行う。このMEMSスキャナ技術は本発明おいて利用する技術であり、本発明における参照例として説明する。
図5はMEMSスキャナ4を模擬的に表わした斜視図であり、1枚の反射鏡を有する二軸MEMS5の斜視図である。二軸MEMS5は1枚の反射鏡5mをX軸支持枠5aに取り付けられた第1の軸であるX軸部材5xで支持し、さらにこのX軸支持枠5aをY軸支持枠5bに取り付けられた第2の軸であるY軸部材5yで支持した構成となっている。そして反射鏡5mはX軸部材5xを中心としてX軸上を振動し、さらにX軸支持枠5aに取り付けられた反射鏡5mがY軸部材5yを中心としてY軸上を振動することにより、反射鏡5mがXY軸方向に振動して2次元の表示領域に投射を行う。
次に上記二軸MEMS5の動作を説明する。まず反射鏡5mを振動させる電気駆動方式としては、電磁駆動方式、静電駆動方式、ピエゾ駆動方式等があり、画像作成の駆動方式の1例としてはX軸方向は反射鏡5mの質量とX軸部材5xのバネ定数で決まる共振周波数による共振駆動により高速振動を行い、Y軸方向は強制駆動による低速振動を行うものであり、X軸方向の共振周波数より十分低い周波数での非共振振動により低速振動を行う。
そして、レーザー光源(後述する)からの入射光L1を二軸MEMS5の反射鏡5mで反射した反射光を出射光L3として出力する。
そして、レーザー光源(後述する)からの入射光L1を二軸MEMS5の反射鏡5mで反射した反射光を出射光L3として出力する。
なお、高速振動の駆動周波数としては10KHz〜20KHz、低速振動の駆動周波数としては60Hz程度の周波数が用いられている。さらに二軸MEMS5の電気駆動方式としては、高速振動、低速振動共に電磁駆動方式あるいはピエゾ駆動方式を用いたり、高速振動に静電駆動方式、低速振動共に電磁駆動方式を用いることが行われている。
図6もMEMSスキャナ4を模擬的に表した斜視図であり、1枚の反射鏡を有する2個の一軸MEMS6、7によって構成されている。すなわち第1の一軸MEMS6は第1の反射鏡6mをX軸支持枠6aに取り付けられた第1の軸であるX軸部材6xで支持した構成であり、また第2の一軸MEMS7は第2の反射鏡7mをY軸支持枠7aに取り付けられた第2の軸であるY軸部材7yで支持した構成である。第1、第2の一軸MEMS6,7は図6に示す状態に配置され、レーザー光源からの入射光L1を一軸MEMS6の反射鏡6mで反射した反射光L2を、一軸MEMS7の反射鏡7mでさらに反射して出射光L3として出力する。すなわち、図5及び図6に示すMEMSスキャナ4は、構成は異なるが同様な機能を果たしている。
次にMEMSスキャナ4を光走査手段とする走査型画像投影装置の構成を説明する。図7はMEMSスキャナ4を光走査手段とする走査型画像投影装置の構成図であり、走査型画像投影装置100は図5に示す二軸MEMS5を光走査手段とし、ビデオ信号Sbを入力する制御回路12によって制御される電流制御手段10の出力で動作するレーザー光源20と、制御回路12によって制御され、高速振動を行うMEMSの共振周波数信号の出力に同期して二軸MEMS5を駆動するMEMS制御部11より構成されており、さらにMEMS制御部11は二軸MEMS5に共振周波数の高速駆動信号であるX駆動信号Sxを供給する高速駆動回路11aと、二軸MEMS5に低速駆動信号であるY駆動信号Syを供給する低速駆動回路11bを有する。また170は画像投影を行うスクリーンである。
次に上記走査型画像投影装置100の動作を説明する。制御回路12は、外部から入力したビデオ信号Sbと、高速駆動を行う共振周波数信号に同期した輝度信号Skを電流制御手段10に供給し、電流制御手段10によるレーザー光源20の光強度が制御され、入射光L1として二軸MEMS5の反射鏡5mに入射される。また制御回路12はMEMS制御部11に共振周波数信号を含む同期信号Sdを供給することによって、MEMS制御部11は二軸MEMS5に共振周波数信号に基づくX駆動信号Sxと共振周波数信号に同期したY駆動信号Syとを供給し、二軸MEMS5の反射鏡5mをX軸方向に20KHzで高速振動させ、またY軸方向に60Hzで低速振動させることによって入射光L1の光走査を行う。
上記二軸MEMS5の反射鏡5mがX軸方向及びY軸方向に光走査されることによって、スクリーン170上には入射光L1の投影スポットPtがX方向及Y方向に走査を繰り返して表示領域Rdを形成する。このスクリーン170における表示領域Rdは横幅がX駆動領域Rx、縦幅がY駆動領域Ryの面積となり、縦方向のY駆動領域Ryは低速駆動による非共振駆動領域Rnである。
解説レーザーディスプレイ(217頁、図1参照)オプトロニクス社、2010年2月8日発行
しかしながら、特許文献1及び特許文献2に記載された従来技術における表示領域の位置を変化させて、異なる位置に投影画像を表示させる方式は、光走査手段を搭載した回転
光学部材を設けて表示位置を変化させたり、反射鏡に回転制御用のサーボモータを設け、このサーボモータによって反射鏡の角度を変化させて表示位置を変化させる方式が行われており、表示位置を変化させるための構成として回転光学部材や回転制御用のサーボモータのような専用の駆動手段を設ける方式であった。このために走査型画像投影装置の大型化は避けられず、期待される走査型画像投影装置の小型化が困難であった。
光学部材を設けて表示位置を変化させたり、反射鏡に回転制御用のサーボモータを設け、このサーボモータによって反射鏡の角度を変化させて表示位置を変化させる方式が行われており、表示位置を変化させるための構成として回転光学部材や回転制御用のサーボモータのような専用の駆動手段を設ける方式であった。このために走査型画像投影装置の大型化は避けられず、期待される走査型画像投影装置の小型化が困難であった。
また、小型化が期待されるMEMS構成の走査型画像投影装置においては、1つの表示領域を構成する光走査手段としてのみ使用し、表示領域の位置を変化させて、異なる位置に投影画像を表示させる場合には、特許文献1や特許文献2のような専用の回転機構と組み合わせて行う必要があり、やはり、期待される走査型画像投影装置の小型化は困難であった。
(発明の目的)
本発明は上記問題に鑑みなされたもので、表示領域の位置を変化させて、異なる位置に投影画像を表示させる走査型画像投影装置において、画像走査信号とは異なる電気信号をMEMSスキャナに印加することによって、画像表示位置の移動が可能になるものであり、小型で応答速度が速く、表示領域の位置を変えることのできる走査型画像投影装置を提供することを目的としている。
本発明は上記問題に鑑みなされたもので、表示領域の位置を変化させて、異なる位置に投影画像を表示させる走査型画像投影装置において、画像走査信号とは異なる電気信号をMEMSスキャナに印加することによって、画像表示位置の移動が可能になるものであり、小型で応答速度が速く、表示領域の位置を変えることのできる走査型画像投影装置を提供することを目的としている。
上記目的を達成するための本発明における走査型画像投影装置の構成は、レーザー光源と、直交する第1及び第2の軸を中心に振動する反射鏡を有するMEMSスキャナと、MEMSスキャナの反射鏡を第1の軸を中心に高速で共振振動させる高速駆動回路と、反射鏡を第2の軸を中心に低速で非共振振動させる低速駆動回路とを備えたMEMS制御部を有する走査型画像投影装置において、MEMS制御部は低速振動を行う非共振振動領域内の第2の軸上の位置を所定量オフセットさせるオフセット駆動回路を備え、高速駆動回と低速駆動回路との駆動信号によって所定の表示領域に画像表示を行うと共に、オフセット駆動回路からのオフセット信号によって、非共振振動領域内における表示領域の位置を移動変更することを特徴とする。
またMEMSスキャナは、第1及び第2の軸を中心に高速振動及び低速振動を行う1個の反射鏡を有すると良い。
またMEMSスキャナは第1の軸を中心に振動する第1反射鏡を有する第1MEMSスキャナと、第2の軸を中心に振動する第2反射鏡を有する第2MEMSスキャナにより構成されると良い。
また本発明の走査型画像投影装置の駆動方法は、レーザー光源と、直交する第1及び第2の軸を中心に振動する反射鏡を有するMEMSスキャナと、この反射鏡を第1の軸を中心に高速で共振振動させ、さらに第2の軸を中心に低速で非共振振動させるMEMS制御部を有する走査型画像投影装置において、MEMS制御部は低速振動を行う非共振振動領域内の第2の軸上の位置を所定量オフセットさせるオフセット手段を備え、オフセット手段からのオフセット信号によって、非共振振動領域内における表示領域の位置を移動変更した後、MEMS制御部からの駆動信号によって所定の表示領域に画像表示を行なうことを特徴とする。
以上のように、本発明の走査型画像投影装置は、画像走査信号とは異なる電気信号をMEMSスキャナに印加することによって、画像表示位置の移動が可能になるものであり、小型で応答速度が速く、表示領域の位置を変えることのできる走査型画像投影装置を提供
することができる。
することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお本発明における実施形態としては代表的なMEMSである二軸MEMSの事例を中心に説明するが、これに限定されるものでないことは当然である。
図1は本発明における走査型画像投影装置1の構成図であり、図7に示す従来の走査型画像投影装置100と基本的構成は同じであり、同一要素には同一番号を付し、重複する説明は省略する場合がある。
走査型画像投影装置1は図7に示す走査型画像投影装置100と同じに、図5に示す二軸MEMS5を光走査手段とし、ビデオ信号Sbを入力する制御回路12によって制御される電流制御手段10の出力で動作するレーザー光源20と、制御回路12によって制御され、高速振動するMEMSの共振周波数に同期して二軸MEMS5を駆動するMEMS制御部11より構成されており、さらにMEMS制御部11は二軸MEMS5に高速駆動信号であるX駆動信号Sxを供給する高速駆動回路11aと、二軸MEMS5に低速駆動信号であるY駆動信号Syを供給する低速駆動回路11bに加えて、本発明の特徴である、二軸MEMS5にオフセット信号Soを供給するオフセット駆動回路11cを有する。上記オフセット駆動回路11cは制御回路12又は外部よりオフセット指令信号Sosを受けて、オフセット信号Soを出力する。また17は画像投影を行うスクリーンである。
ここでは、駆動方式として、X軸(高速駆動)、Y軸(低速駆動)ともに電磁駆動方式を用いる。具体的には、図8に示すように、X軸の駆動は反射鏡5mの外周に沿って配置されたX軸コイルLxに電流を流すことにより、またY軸の駆動はX軸支持枠5aの外周に沿って配置されたY軸コイルLyに電流を流すことによりそれぞれ、X軸およびY軸を駆動する。電磁力の発生に必要な外部磁界は小型磁石5n、5sを用い、X軸とY軸を含む平面内でかつX軸からY軸へ45度傾斜した方向に磁界が向くよう磁石を配置する。X軸コイル駆動回路11xおよびY軸コイル駆動回路11yはそれぞれ設け、X駆動信号Sxに比例した電流IxをX軸コイルに流すことで、反射鏡5mをX軸を中心に共振駆動させ、Y軸制御信号Syとオフセット信号Soの和に比例した電流IyをY軸コイルに流すことで、反射鏡5mをY軸を中心に強制駆動させる。
次に上記走査型画像投影装置1の動作を説明する。制御回路12は、外部から入力したビデオ信号Sbと、高速駆動を行う共振周波数信号に同期した輝度信号Skを電流制御手段10に供給し、電流制御手段10によるレーザー光源20の光強度が制御され、入射光L1として二軸MEMS5の反射鏡5mに入射される。また制御回路12はMEMS制御
部11に共振周波数信号を含む同期信号Sdを供給することによって、MEMS制御部11は二軸MEMS5に共振周波数信号に基づくX駆動信号Sxと共振周波数信号に同期したY駆動信号Syとを供給し、二軸MEMS5の反射鏡5mをX軸方向に20KHzで高速振動させ、またY軸方向に60Hzで低速振動させることによって入射光L1の光走査を行う。
部11に共振周波数信号を含む同期信号Sdを供給することによって、MEMS制御部11は二軸MEMS5に共振周波数信号に基づくX駆動信号Sxと共振周波数信号に同期したY駆動信号Syとを供給し、二軸MEMS5の反射鏡5mをX軸方向に20KHzで高速振動させ、またY軸方向に60Hzで低速振動させることによって入射光L1の光走査を行う。
上記二軸MEMS5の反射鏡5mがX軸方向及びY軸方向に光走査されることによって、スクリーン17上には入射光L1の投影スポットPtがX方向及Y方向に走査を繰り返して表示領域Rd1を形成する。このスクリーン17における表示領域Rd1は横幅がX駆動領域Rx、縦幅がY駆動領域Ryの面積となり、縦方向のY駆動領域Ryは低速駆動による非共振駆動領域Rnである。なお、上記表示領域Rd1の画面サイズは必要に応じて任意の大きさに形成することが可能であり、この方法としてはMEMS駆動信号であるX駆動信号Sx及びY駆動信号Syの振幅を変化させることによって、X駆動領域Rx及びY駆動領域Ryの面積が変化させ、表示画面のサイズが任意に可変できる。
以上の走査型画像投影装置1における動作は、表示領域Rd1の透写動作であり、従来技術における走査型画像投影装置100の動作とおなじである。
以上の走査型画像投影装置1における動作は、表示領域Rd1の透写動作であり、従来技術における走査型画像投影装置100の動作とおなじである。
次に本発明における走査型画像投影装置1の従来の走査型画像投影装置100と異なる構成及び動作に付いて説明する。走査型画像投影装置100では図7に示す如くMEMS制御部11からのX駆動信号SxとY駆動信号Syによって二軸MEMS5が動作してスクリーン170に投影する画像は1つの表示領域Rdのみであった。すなわち表示領域Rdを形成するY駆動領域Ryと非共振駆動領域Rnとが同じ長さであった。これに対して、本発明の走査型画像投影装置1は、スクリーン17上に1つの表示領域Rdより大きい非共振駆動領域Rnを設け(Y駆動領域Ryより非共振駆動領域Rnが大きい)、この大きな非共振駆動領域Rnの内部に複数の表示領域Rd1、Rd2(実施形態では2個の表示領域Rdを示している)を形成している。
この動作は、MEMS制御部11より二軸MEMS5にX駆動信号SxとY駆動信号Syに加えてオフセット信号Soが供給されることにより、二軸MEMS5の反射鏡5mがX駆動信号SxとY駆動信号SyによりXYの走査を行って表示領域Rdを形成すると共に、オフセット信号Soによってオフセットされた角度位置を取ることにより、異なる角度の出射光L3a、L3bの出射が行われ、スクリーン17上の非共振駆動領域Rn内に位置が移動変更された2つの表示領域Rd1、Rd2が形成される。
この際、オフセット信号Soの供給に先立って、表示領域Rd1またはRd2の画像表示が行なわれるため、あたかも表示が移動したように見える。
この際、オフセット信号Soの供給に先立って、表示領域Rd1またはRd2の画像表示が行なわれるため、あたかも表示が移動したように見える。
次に図2により、図1に示す表示領域Rd1の詳細について説明する。図2は図1におけるスクリーン17上に二軸MEMS5によって投影された1画面分の表示領域Rd1を示す平面である。表示領域Rd1は図1で説明した如く二軸MEMS5によって水平駆動されたX駆動領域Rxと垂直駆動されたY駆動領域Ryによる走査領域によって形成される。具体的には二軸MEMS5における反射鏡5mの振動によってスクリーン17上に投影されるレーザー光の投影スポットPtは、矢印Xs方向に走査して軌跡Lxを形成する。すなわち投影スポットPtの軌跡Lxは点P1を始点として矢印Xsにそって移動し、後述するX駆動信号Sxの正弦波形を複数周期繰り返してP2でスクリ−ン17上への1画面分の描画を終了する。そして上方への戻りの軌跡Lyにそって上方の始点P1に戻る。以上の動作を繰り返すことにより連続した画像が表示可能となる。なお、表示領域Rd2に付いても同様の構成及び動作である。また、説明を分かり易くするため、図2においては、走査線の本数を少なくして説明いているが、実際のX方向の走査本数は500〜800本程度である。
本発明とは直接関係は無いが、実際の走査型画像投影装置においては、レーザー光の投影スポットPtが正弦波形状に走査しているので、正弦波形状が折り返す頂点部分近傍は零を含む低速領域となる。従ってこの低速度領域では投影される画像に歪みが生じるので、この部分では画像の投影を行わない方式が取られており、この領域をブランキング領域と呼んでいる。このブランキング領域の作り方としては、見切り枠を設ける方式や、電気的にマスクをかける方式があるが、本実施形態においては電気的な処理によってブランキング領域を形成しており、図2のハッチングで示す枠形状の領域がブランキング領域Rbである。上記ブランキング領域Rbの機能により、ブランキング領域Rb内に点線で示す走査軌跡に対してはレーザー光源からの入射光を止める等の処理によって画像の投影を行わないようになっている。
従って、図1で説明した表示領域Rd1は、ブランキング領域Rbを設けない場合の表示領域であり、実際の画像投影が行われる表示領域は図1における表示領域Rd1から図2に示すブランキング領域Rbを差し引いた表示領域Rdsとなり、少し面積は小さくなるが画像歪みの無い投影画像が得られる。また、表示する画像の種類が例えば操作ボタンのように、あまり形状に拘らない画像の場合は、ブランキング領域Rbを設けずに、表示領域Rd1をそのまま表示領域にしても良い。
次に図3、図4により本発明における走査型画像投影装置1の駆動波形に付いて説明する。
図3は図2に示す1画面分の表示領域Rd1の駆動波形図であり、(a)は水平方向駆動信号、すなわちX駆動信号Sxの波形図であり、(b)は垂直方向駆動信号、すなわちY駆動信号Syの波形図である。図3(a)(b)における縦軸は電圧、横軸は時間軸であり、各々X駆動信号Sx及びY駆動信号Syによって二軸MEMS5の反射鏡5mが走査される走査角度の時間的変化に対応している。
図3は図2に示す1画面分の表示領域Rd1の駆動波形図であり、(a)は水平方向駆動信号、すなわちX駆動信号Sxの波形図であり、(b)は垂直方向駆動信号、すなわちY駆動信号Syの波形図である。図3(a)(b)における縦軸は電圧、横軸は時間軸であり、各々X駆動信号Sx及びY駆動信号Syによって二軸MEMS5の反射鏡5mが走査される走査角度の時間的変化に対応している。
図3(a)におけるX駆動信号Sxは振幅中心電圧Vsを中心に正弦波形状に周期的に繰り返して変化し、その周波数は20KHzと高い速度を有する。また振幅中心電圧Vsを中心に振幅電圧V1、V2の範囲が表示領域Rdsとなり、振幅電圧V1、V2を超える範囲がブランキング領域Rbとなっている。すなわち時間軸上でブランキングされる電圧波形はブランキング領域Rbの範囲にある幅Rbxの領域である。
図3(b)におけるY駆動信号は振幅中心電圧Voを中心に鋸波形状に周期的に繰り返して変化し、その周波数は60Hzと低い速度を有する。そしてFで示す時間幅を1周期として1画面の走査を行い画像を形成する。また時間軸上でブランキングされる電圧波形は、1画面の走査を終了して投影スポットPtが上方の始点P1に戻る復帰期間に対応するブランキング領域Rbyが設けられている。なお、上記図3(a)に示すX駆動信号Sx及び図3(b)に示すY駆動信号Syの振幅を変化させることによって図1に示す表示領域Rd1の画面サイズを可変できることは前述の通りである。
図4は図3(b)に示すY駆動信号Syがオフセット信号Soによって、動作位置を移動変更する状態を示すY駆動信号Syの波形図であり、図1に示すMEMS制御部11がオフセット信号Soを供給することによって、スクリーン17上の非共振駆動領域Rn内の位置が移動変更されて2つの表示領域Rd1、Rd2が形成される動作に対応している。なお、オフセット信号Soにより、振幅中心電圧Voが変更された場合のY軸駆動信号を、2つ並べて記載してある。
振幅中心電圧Vo1で動作しているY駆動信号Sy1は図1に示すスクリーン17上の表示領域Rd1に対応し、振幅中心電圧Vo2で動作しているY駆動信号Sy2は、図1に示すスクリーン17上の表示領域Rd2に対応している。なお、MEMSスキャナ4の偏向角のオフセットは、電磁駆動コイルに供給する直流電流成分の大きさを変化させて行うことができるので、図1に示すMEMS制御部11のオフセット駆動回路11cに制御回路又は外部よりオフセット指令信号Sosを供給することによって、オフセット駆動回路11cより二軸MEMS5に供給されるオフセット信号Soの直流電圧値がVo1からVo2に変化することによりY駆動信号Syの動作位置がSy1からSy2へと移動し、スクリーン17上の表示領域がRd1からRd2に変更される。
上記実施形態では表示領域Rd1、Rd2を縦方向に移動する方式に付いて説明したが、これに限定されるものではなく、例えば図1に示す走査型画像投影装置1において、光走査手段であるMEMSスキャナ4を90度回転させることによって、X及びYの走査方向を90度回転させ、縦方向をX駆動信号Xで駆動し、横方向をY駆動信号で駆動走査することにより、表示領域Rd1、Rd2を横方向に移動させることができる。これは、X軸方向の共振駆動に対してはオフセット信号を供給すると共振状態が得られなくなってしまうための対応方法の1つである。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
図6に示した一軸MEMSにおいて、レーザー光源からの入射光L1を一軸MEMS6の反射鏡6mで反射した反射光L2を、一軸MEMS7の反射鏡7mでさらに反射して出射光L3として出力するが、第2の反射鏡7mをY軸部材7yを中心にY軸方向に60Hzで低速振動させる際、Y駆動信号Sy(図6では非図示)に加えてオフセット信号So(非図示)を供給して反射鏡7mがオフセットされた角度位置を取ることにより、出射光L3を異なる角度で出射させることができ、スクリーン上の非共振駆動境域内に位置が移動変更された2つの表示領域が形成される。
図6に示した一軸MEMSにおいて、レーザー光源からの入射光L1を一軸MEMS6の反射鏡6mで反射した反射光L2を、一軸MEMS7の反射鏡7mでさらに反射して出射光L3として出力するが、第2の反射鏡7mをY軸部材7yを中心にY軸方向に60Hzで低速振動させる際、Y駆動信号Sy(図6では非図示)に加えてオフセット信号So(非図示)を供給して反射鏡7mがオフセットされた角度位置を取ることにより、出射光L3を異なる角度で出射させることができ、スクリーン上の非共振駆動境域内に位置が移動変更された2つの表示領域が形成される。
上記の如く、本発明においては表示領域の走査をMEMSスキャナに印加する交流電圧であるX駆動信号及びY駆動信号によって行い、スクリーン上の表示領域の移動変更をMEMSスキャナに印加する直流電圧であるオフセット信号によって行うことができるので、表示領域の走査と、表示領域の移動変更とをMEMSスキャナに印加する交流、直流の異なる電気信号の印加のみで制御することができる。
上記の如く表示領域の移動変更をオフセット指令信号に基づいてMEMSスキャナに加える電圧レベルを直流的に変化させるだけで行えるため、表示領域の移動変更に従来のような専用の変更機構を用いる必要がなく、走査型画像投影装置の小型化を達成することが可能となる。
なお、説明を分かり易くするために、本実施形態では表示領域がRd1からRd2の2個所に変更する構成を記載したが、もちろんこれに限定されるものではなく、例えば、オフセット信号Soを多数の動作電圧Vo1〜VoNにステップ式に切り替える多段切り替えにしても良いし、さらにオフセット信号Soを連続的に変化する直流可変電圧として連像移動可能にしても良い。
1、100 走査型画像投影装置
4 MEMSスキャナ
5 二軸MEMS
5m 反射鏡
6 第1の一軸MEMS
6m 第1の反射鏡
7 第2の一軸MEMS
7m 第2の反射鏡
10 電流制御手段
11 MEMS制御部
11a 高速駆動回路
11b 低速駆動回路
11c オフセット駆動回路
12 制御回路
17、170 スクリーン
20 レーザー光源
4 MEMSスキャナ
5 二軸MEMS
5m 反射鏡
6 第1の一軸MEMS
6m 第1の反射鏡
7 第2の一軸MEMS
7m 第2の反射鏡
10 電流制御手段
11 MEMS制御部
11a 高速駆動回路
11b 低速駆動回路
11c オフセット駆動回路
12 制御回路
17、170 スクリーン
20 レーザー光源
Claims (4)
- レーザー光源と、直交する第1及び第2の軸を中心に振動する反射鏡を有するMEMSスキャナと、前記MEMSスキャナの反射鏡を第1の軸を中心に高速で共振振動させる高速駆動回路と、前記反射鏡を第2の軸を中心に低速で非共振振動させる低速駆動回路とを備えたMEMS制御部を有する走査型画像投影装置において、前記MEMS制御部は前記低速振動を行う非共振振動領域内の前記第2の軸上の位置を所定量オフセットさせるオフセット駆動回路を備え、前記高速駆動回と低速駆動回路との駆動信号によって所定の表示領域に画像表示を行うと共に、前記オフセット駆動回路からのオフセット信号によって、前記非共振振動領域内における表示領域の位置を移動変更することを特徴とする走査型画像投影装置。
- 前記MEMSスキャナは、第1及び第2の軸を中心に高速振動及び低速振動を行う1個の反射鏡を有する請求項1記載の走査型画像投影装置。
- 前記MEMSスキャナは第1の軸を中心に振動する第1反射鏡を有する第1MEMSスキャナと、第2の軸を中心に振動する第2反射鏡を有する第2MEMSスキャナとにより構成されることを特徴とする請求項1記載の走査型画像投影装置。
- レーザー光源と、直交する第1及び第2の軸を中心に振動する反射鏡を有するMEMSスキャナと、前記MEMSスキャナの反射鏡を第1の軸を中心に高速で共振振動させ、前記反射鏡を第2の軸を中心に低速で非共振振動させるMEMS制御部を有する走査型画像投影装置において、前記MEMS制御部は前記低速振動を行う非共振振動領域内の前記第2の軸上の位置を所定量オフセットさせるオフセット手段を備え、前記オフセット手段からのオフセット信号によって、前記非共振振動領域内における表示領域の位置を移動変更した後、前記MEMS制御部からの駆動信号によって所定の表示領域に画像表示を行なうことを特徴とする走査型画像投影装置の駆動方法。
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