JP2013199702A - 銅或いは銅基合金表面の酸化皮膜の除去方法 - Google Patents
銅或いは銅基合金表面の酸化皮膜の除去方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013199702A JP2013199702A JP2012099274A JP2012099274A JP2013199702A JP 2013199702 A JP2013199702 A JP 2013199702A JP 2012099274 A JP2012099274 A JP 2012099274A JP 2012099274 A JP2012099274 A JP 2012099274A JP 2013199702 A JP2013199702 A JP 2013199702A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper
- oxide film
- pickling
- pickling solution
- electrolysis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
Landscapes
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Electrolytic Production Of Metals (AREA)
Abstract
【解決手段】硫酸:50〜400g/L、硝酸、過酸化水素、ペルオキソ二硫酸イオン、3価鉄イオンからなるグループから選択された少なくとも一つの酸化剤:1〜100g/L、芳香族スルホン酸、芳香族スルホン酸塩、アルキルアミン、芳香族カルボン酸、芳香族カルボン酸塩からなるグループから選択された少なくとも一つの添加剤:0.01〜1
0g/L、アルキルベンゼンスルホン酸、アルキルベンゼンスルホン酸塩からなるグループから選択された少なくとも一つの界面活性剤:0.005〜10g/L、硫酸銅:10
〜300g/Lを含有する酸洗液を使用し、酸化被膜除去後に電気分解し、消費された分量に相当する酸化剤及び添加剤を加えて再利用する。
【選択図】図1
Description
更に、電気分解後の酸洗液に、酸化皮膜除去及び電気分解時に消費された分量に相当する酸化剤、添加剤、界面活性剤を加えて酸洗浴中に戻すことにより、酸洗液を効率良く再利用できることを見出した。
硝酸、過酸化水素、ペルオキソ二硫酸イオン、3価鉄イオンからなるグループから選択された少なくとも一つの酸化剤が1g/L未満では、酸化皮膜の除去効果が低下し、100g/Lを超えると、除去時に発生するガス量が増加し不都合である。発生するガスは、使用される酸化剤によるが、主にNOx、酸素ガスである。
芳香族スルホン酸、芳香族スルホン酸塩、アルキルアミン、芳香族カルボン酸、芳香族カルボン酸塩からなるグループから選択された少なくとも一つの添加剤と、アルキルベンゼンスルホン酸、アルキルベンゼンスルホン酸塩からなるグループから選択された少なくとも一つの界面活性剤との組合せにより、本発明での良好な効果を得ることができる。
硫酸銅が10g/L未満では、次のステップでの電気分解の効率が減少し、300g/Lを超えると、飽和溶解度近くになるため硫酸銅が除去液中に析出して無駄となる。
電気分解後の酸洗液に酸化皮膜除去及び電気分解時に消費された分量に相当する酸化剤、添加剤、界面活性剤を加えた後に酸洗浴中に戻すことにより、酸洗液として効率良く再利用することが可能となり、バッチ処理のみでなく、連続での銅或いは銅基合金表面の酸化皮膜の除去も可能となる。銅或いは銅基合金の種類にもよるが、加える(消費された)酸化剤、添加剤、界面活性剤の量は、初期量の0.5〜10%程度である。
主にアルキルベンゼンスルホン酸、アルキルベンゼンスルホン酸塩からなるグループから選択された少なくとも一つの界面活性剤により、酸洗液の表面張力を50dyn/cm以下とすることにより、電気分解時に、陰極からの酸素ガスに起因する大量の硫酸ミストの飛散を効率良く防ぐことができ、ハンドリング性の良好な再生原料として利用可能な高純度の銅或いは銅基合金を更に効率良く回収することができる。
除去された酸化皮膜を含む酸洗液の銅イオン濃度を20〜60g/Lとし、電流密度を1〜25A/dm2として、陰極を回転する円柱状体とし、その周速を0.08〜0.48m/Sとして電気分解することにより、電気分解の効率が大幅に上がり、電解槽のスケールダウンが可能となる。
銅イオン濃度、電流密度、回転陰極の周速が前述の範囲内に収まらないと、電気分解の効率は大幅に上がらない。
本発明の除去方法を連続処理で実施する場合、酸洗浴中に浸漬される表面に酸化皮膜が形成された銅或いは銅基合金の量、或いは、その酸化皮膜の性状は、一定ではなく変動を来たすことも多々あり、除去された酸化皮膜を含む酸洗液の銅イオン濃度が20〜60g/Lに収まらずに、電解槽中にて安定した電気分解がなされずに銅或いは銅基合金の安定した回収に悪影響を及ぼすことがある。
そこで、酸洗液の銅イオン濃度が60g/Lを超えた場合は、電解槽に供給される酸洗液の量を増して電解槽中の酸洗液の流速を増加、及び、電解槽に印加する電流を増して電解槽中の電流密度を増加することにより、銅或いは銅基合金の回収を一時的に増して酸洗液の銅イオン濃度を60g/L以下とし、酸洗液の銅イオン濃度が20g/L未満となった場合は、電解槽に供給される酸洗液の量を減じて電解槽中の酸洗液の流速を低下、及び、電解槽に印加する電流を減じて電解槽中の電流密度を低下することにより、銅或いは銅基合金の回収を一時的に低下して酸洗液の銅イオン濃度を20g/L以上とする。この操作により、電解槽中にて安定した電気分解が連続的になされることが可能となる。この場合、電流密度を変化させるのみでは、回収される銅或いは銅基合金の析出状態が変わり易くなるので、同時に流速も変化させ、酸洗液中の拡散層厚を制御することにより、電解槽中で回収される銅或いは銅基合金の析出状態を変えず安定した電気分解が促進される。
また、変化する酸洗液の銅イオン濃度を検出器にて連続的に測定し、その値を規定値内に収めるように、電解槽に供給される酸洗液の量を供給ポンプで調整し(電解槽中の酸洗液の流速を調整し)、電解装置の電極間に印加する電流を調節して電解槽中の電流密度を調整し、電解槽中での安定した電気分解を自動的に促進することがより好ましい。この場合、より安定した電気分解を継続するためにも、最適な酸洗液の銅イオン濃度規定値を30〜40g/Lに設定することが好ましい。
酸洗液には、酸化皮膜中に含まれる酸化銅或いは酸化銅基合金、或いは、金属銅或いは金属銅基合金を電気分解で回収する際に必要とされる好適で最適量の電解液成分が含有されているので、特別な手段を加えることなく、除去された酸化皮膜を含む酸洗液を電気分解することができ、効率良く、再生原料として利用可能な銅或いは銅基合金を回収することができる。
更に、電気分解にて陰極上に回収された銅或いは銅基合金は、従来技術で回収されるような粉状ではなく、高純度で適度な硬さを有する板或いは円柱状であり、ハンドリング性も良く、洗浄が容易であり、不純物が入り難いので、回収された銅或いは銅基合金を再生原料として溶解鋳造された鋳塊は、不純物の含有量が少なく、その後の熱間圧延や熱間押出しにて割れなどの問題が発生し難い。
硫酸が50g/L未満では、酸化皮膜の除去効果が低下し、400g/Lを超えると、効果が飽和してコスト的に無駄となる。
硝酸、過酸化水素、ペルオキソ二硫酸イオン、3価鉄イオンからなるグループから選択された少なくとも一つの酸化剤が1g/L未満では、酸化皮膜の除去効果が低下し、100g/Lを超えると、除去時に発生するガス量が増加し不都合である。発生するガスは、使用される酸化剤によるが、主にNOx、酸素ガスである。
その添加量が、0.01g/L未満、或いは、10g/Lを超えても、上述の効果は得られない。
この添加剤としては、例えば、芳香族スルホン酸としては、ベンゼンスルホン酸、トルエンスルホン酸、キシレンスルホン酸、エチルベンゼンスルホン酸、クメンスルホン酸、フェノールスルホン酸、クレゾールスルホン酸、スルホサリチル酸、スルファニル酸が挙げられる。アルキルアミン、としてはメチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、ブチルアミン、ペンチルアミンが挙げられる。芳香族カルボン酸としては、安息香酸、サリチル酸、パラヒドロキシ安息香酸、アミノ安息香酸、スルホ安息香酸、フタル酸が挙げられる。
その添加量が、0.005g/L未満、或いは、10g/Lを超えても、上述の効果は得られない。
この界面活性剤としては、例えば、オクチルベンゼンスルホン酸、ノニルベンゼンスルホン酸、デシルベンゼンスルホン酸、ウンデシルベンゼンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、トリデシルベンゼンスルホン酸、テトラデシルベンゼンスルホン酸、およびこれらの混合物を用いることができる。
硫酸銅が10g/L未満では、次のステップでの電気分解の効率が減少し、300g/Lを超えると、飽和溶解度近くになるため硫酸銅が除去液中に析出して無駄となる。
陰極7は、一般的にはタフピッチ銅を使用するが、回収される銅或いは銅基合金に合わせて最適な材料を使用することが好ましい。また、陰極の形状は、一般的には薄板状であるが、回転する円柱状体を使用することが好ましく、酸洗液Xの銅イオン濃度を20〜60g/Lとし、電流密度を1〜25A/dm2とし、円柱状回転陰極の周速を0.08〜0.48m/Sとして電気分解することにより、電気分解の効率が大幅に上がり、電解槽のスケールダウンが可能となる。銅イオン濃度、電流密度、回転陰極の周速が前述の範囲内に収まらないと、電気分解の効率は大幅に上がらない。
陽極6には酸化イリジウムコートチタン板を使用することが好ましく、酸化皮膜の程度にもよるが、電流密度3〜10A/dm2にて6〜10時間程度の電気分解を施すことにより、酸化皮膜からの銅或いは銅基合金8が、陰極7上に取扱い容易な板形状にて析出される。
その場合、酸洗浴3に浸漬される表面に酸化皮膜が形成された銅或いは銅基合金4の量、或いは、その酸化皮膜の性状は、一定ではなく変動を来たすことも多々あり、除去された酸化皮膜を含む酸洗液2の銅イオン濃度が20〜60g/Lに収まらずに、電解槽5にて安定した電気分解がなされずに銅或いは銅基合金8の安定した回収に悪影響を及ぼすことがある。
そこで、酸洗液3の銅イオン濃度が60g/Lを超えた場合は、電解槽5に供給される酸洗液Xの量を増して電解槽中の酸洗液Xの流速を増加、及び、電解槽5に印加する電流を増して電解槽5の電流密度を増加することにより、銅或いは銅基合金8の回収を一時的に増して酸洗液Xの銅イオン濃度を60g/L以下とし、酸洗液Xの銅イオン濃度が20g/L未満となった場合は、電解槽5に供給される酸洗液Xの量を減じて電解槽5の酸洗液Xの流速を低下、及び、電解槽5に印加する電流を減じて電解槽5の電流密度を低下することにより、銅或いは銅基合金8の回収を一時的に低下して酸洗液Xの銅イオン濃度を20g/L以上とする。この操作により、電解槽5にて安定した電気分解が連続的になされることが可能となる。この場合、電流密度を変化させるのみでは、回収される銅或いは銅基合金8の析出状態が変わり易くなるので、同時に流速も変化させ、酸洗液Xの拡散層厚を制御することにより、電解槽5で回収される銅或いは銅基合金8の析出状態を変えず安定した電気分解が促進される。
また、図2に示すように、変化する酸洗液2の銅イオン濃度を検出器10にて連続的に測定し、その値を規定値内に収めるように、電解槽5に供給される酸洗液Xの量をポンプP1で調整し(電解槽5の酸洗液Xの流速を調整し)、電解装置の電源(図示略)に接続された整流器9を介して電極6,7間に印加する電流を調節して電解槽5の電流密度を調整し、電解槽5での安定した電気分解を自動的に促進することがより好ましい。この場合、より安定した電気分解を継続するためにも、最適な酸洗液Xの銅イオン濃度規定値を30〜40g/Lに設定することが好ましい。
このタフピッチ銅板を表1に示す組成及び表面張力の酸洗液1m3を含有する酸洗浴に40℃にて30分間浸漬した後、洗浄して酸化皮膜を除去し、酸化被膜除去後のタフピッチ銅板の表面を目視にて観察した。
表1のAは硝酸、Bは過酸化水素、Cはペルオキソ二硫酸イオン、Dは3価鉄イオン、Eはベンゼンスルホン酸、Fはベンゼンスルホン酸ナトリウム、Gはポリオキシエチレンアミン、Hはドデシルベンゼンスルホン酸、Iはドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、Jは安息香酸、Kは安息香酸ナトリウムを表す。表1にて、二種類以上添加したものについては、それらを並べて表記し、その並びの順序でそれぞれの濃度を記載した。
参考として、通常の混酸(硫酸+硝酸)を酸洗液として使用したところ、40℃にて70分浸漬しなければ、酸化被膜の除去は終了せず、ガス付着の痕跡がかなり見られた。
(イ)銅板表面の表面粗さRaは、SPM(SIIナノテクノロジー社)を用いて測定した。
(ロ)銅板表面の硬度の測定は、MVK−G1(AKASHI社)を用いて、ビッカース硬さ試験法、JIS Z 2244に準じてN=3で行った。
(ハ)銅板の純度の測定は、銅の中に含まれる不純物を測定して、その不純物比率を100%から差し引いて求めた。
(ニ)不純物測定には、Cを除いてグロー放電質量分析装置(GD-MS:Glow Discharge MassSpectrometry)を用いて行い、Cは脱脂した銅試料を酸素雰囲気中高周波加熱燃焼により発生するCO2ガスの赤外吸収を測定してC量に換算した。
(ホ)S含有量は、鋳塊中のS含有量を赤外吸収法にて測定した。
その結果を表2に示す。これらの結果より、実施例の板状銅は、高純度で、適度の硬度を有しており、ハンドリング性が良く、次の洗浄工程において洗浄液中のSの影響を受け難く、溶解鋳造し押出加工された棒材は、S含有量が小さく、割れが無いことがわかる。
更に、これらの円柱状銅を電解槽から回収して、平均表面粗さRa、銅の純度、表面の硬度を測定し、これらの円柱状銅を硫酸水溶液で洗浄した後、600℃に加熱して押出加工により棒材を成形し、イオウ含有量(S含有量)及び割れの有無を目視にて観察した。
(イ)銅板表面の表面粗さRaは、SPM(SIIナノテクノロジー社)を用いて測定した。
(ロ)銅板表面の硬度の測定は、MVK−G1(AKASHI社)を用いて、ビッカース硬さ試験法、JIS Z 2244に準じてN=3で行った。
(ハ)銅板の純度の測定は、銅の中に含まれる不純物を測定して、その不純物比率を100%から差し引いて求めた。
(ニ)不純物測定には、Cを除いてグロー放電質量分析装置(GD−MS:Glow Discharge MassSpectrometry)を用いて行い、Cは脱脂した銅試料を酸素雰囲気中高周波加熱燃焼により発生するCO2ガスの赤外吸収を測定してC量に換算した。
(ホ)S含有量は赤外吸収法にて測定した。
これらの結果を表3に示す。これらの結果より、実施例4のタフピッチ銅板使用では電解に8時間を要しているが、実施例41〜44では、2.8〜4.2時間で終了していることがわかり、得られたタフピッチ銅棒もタフピッチ銅板から得られた結果と殆ど変わらないことがわかる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることは可能である。
2 酸洗液
3 酸洗浴
4 銅或いは銅基合金
5 電解処理装置(電解槽)
6 陽極
7 陰極(板、回転円柱体)
8 陰極上に回収された銅或いは銅基合金
9 整流器
10 銅イオン濃度検出器
P1 ポンプ
P2 ポンプ
X 酸化皮膜を含む酸洗液
Y 電気分解後の酸洗液
Z 加える酸化剤、添加剤、界面活性剤
Claims (5)
- 銅或いは銅基合金表面に形成された酸化皮膜を除去する方法であって、硫酸:50〜400g/L、硝酸、過酸化水素、ペルオキソ二硫酸イオン、3価鉄イオンからなるグループから選択された少なくとも一つの酸化剤:1〜100g/L、芳香族スルホン酸、芳香族スルホン酸塩、アルキルアミン、芳香族カルボン酸、芳香族カルボン酸塩からなるグループから選択された少なくとも一つの添加剤:0.01〜10g/L、アルキルベンゼンスルホン酸、アルキルベンゼンスルホン酸塩からなるグループから選択された少なくとも一つの界面活性剤:0.005〜10g/L、硫酸銅:10〜300g/Lを含有する酸洗液を含む酸洗浴中に、表面に酸化皮膜が形成された銅或いは銅基合金を浸漬して前記酸化皮膜を除去した後、除去された酸化皮膜を含む酸洗液を電解槽中にて電気分解して前記酸化皮膜中の銅或いは銅基合金を回収し、更に、電気分解後の酸洗液に前記酸化皮膜除去及び前記電気分解時に消費された分量に相当する前記酸化剤、前記添加剤、前記界面活性剤を加えた後に前記酸洗浴中に戻し、前記酸洗液として再利用することを特徴とする銅或いは銅基合金表面の酸化皮膜の除去方法。
- 前記酸洗液の表面張力が50dyn/cm以下であることを特徴とする請求項1に記載の銅或いは銅基合金表面の酸化皮膜の除去方法。
- 前記電気分解において、前記除去された酸化皮膜を含む酸洗液の銅イオン濃度が20〜60g/Lであり、電流密度が1〜25A/dm2であり、陰極が回転する円柱状体であり、その周速が0.08〜0.48m/Sであることを特徴とする請求項1又は2に記載の銅或いは銅基合金表面の酸化皮膜の除去方法。
- 前記除去された酸化皮膜を含む酸洗液の銅イオン濃度が20〜60g/Lとなるように、前記電解槽に供給される酸洗液の流量及び前記電解層中の電流密度を調整することを特徴とする請求項3に記載の銅或いは銅基合金表面の酸化皮膜の除去方法。
- 請求項1〜4の何れか1項に記載の銅或いは銅基合金表面の酸化皮膜の除去方法により得られた再生原料として利用可能な銅或いは銅基合金。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012099274A JP2013199702A (ja) | 2012-02-24 | 2012-04-24 | 銅或いは銅基合金表面の酸化皮膜の除去方法 |
KR1020120142128A KR20130069419A (ko) | 2011-12-15 | 2012-12-07 | 구리 혹은 구리기 합금 표면의 산화 피막의 제거 방법 및 이 방법을 사용하여 회수한 구리 혹은 구리기 합금 |
CN2012105323999A CN103160844A (zh) | 2011-12-15 | 2012-12-11 | 铜或铜基合金表面的氧化皮膜的去除方法及铜或铜基合金 |
TW101146600A TW201337040A (zh) | 2011-12-15 | 2012-12-11 | 銅或銅基合金表面的氧化皮膜的除去方法及使用其方法所回收的銅或銅基合金 |
EP20120196870 EP2604725B1 (en) | 2011-12-15 | 2012-12-13 | Method of removing oxide film on surface of copper or copper-base alloy. |
US13/714,746 US20130156631A1 (en) | 2011-12-15 | 2012-12-14 | Method of removing oxide film on surface of copper or copper-base alloy and copper or copper-base alloy recovered using the method |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012039190 | 2012-02-24 | ||
JP2012039190 | 2012-02-24 | ||
JP2012099274A JP2013199702A (ja) | 2012-02-24 | 2012-04-24 | 銅或いは銅基合金表面の酸化皮膜の除去方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013199702A true JP2013199702A (ja) | 2013-10-03 |
Family
ID=49520154
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012099274A Pending JP2013199702A (ja) | 2011-12-15 | 2012-04-24 | 銅或いは銅基合金表面の酸化皮膜の除去方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013199702A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230075433A (ko) | 2020-09-29 | 2023-05-31 | 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 | 반도체기판 세정용 조성물 및 세정방법 |
CN118127570A (zh) * | 2024-05-08 | 2024-06-04 | 沈阳远程摩擦密封材料有限公司 | 一种树枝晶形貌电解铜粉的制备方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4986225A (ja) * | 1972-12-22 | 1974-08-19 | ||
JPS5286933A (en) * | 1976-01-14 | 1977-07-20 | Tokai Electro Chemical Co | Method of treating surface of copper and copper alloy |
JPS5386627A (en) * | 1976-12-11 | 1978-07-31 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Recovering method for copper in copper or copper alloy-treated solution |
JPS5989779A (ja) * | 1982-11-13 | 1984-05-24 | Daikin Ind Ltd | 酸洗方法 |
JPH01294879A (ja) * | 1988-05-23 | 1989-11-28 | Hitachi Condenser Co Ltd | エッチング廃液の再生処理法 |
JPH08178894A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-12 | Nikko Kinzoku Kk | 電解液中添加剤濃度の測定方法および添加剤濃度の管理方法 |
JPH10182112A (ja) * | 1996-10-07 | 1998-07-07 | Solvay Interox Ltd | 金属表面処理方法 |
JP2000119891A (ja) * | 1998-10-07 | 2000-04-25 | Zenken:Kk | 銅,硫酸,硝酸を含有する水溶液の処理・回収装置 |
US20060175204A1 (en) * | 2003-06-13 | 2006-08-10 | Kai-Jens Matejat | Mehtod for regenerating etching solutions containing iron for the use in etching or pickling copper or copper alloys and an apparatus for carrying out said method |
JP2008530367A (ja) * | 2005-02-15 | 2008-08-07 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | 電解により金属を取得する際の非イオン性界面活性剤の使用 |
-
2012
- 2012-04-24 JP JP2012099274A patent/JP2013199702A/ja active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4986225A (ja) * | 1972-12-22 | 1974-08-19 | ||
JPS5286933A (en) * | 1976-01-14 | 1977-07-20 | Tokai Electro Chemical Co | Method of treating surface of copper and copper alloy |
JPS5386627A (en) * | 1976-12-11 | 1978-07-31 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Recovering method for copper in copper or copper alloy-treated solution |
JPS5989779A (ja) * | 1982-11-13 | 1984-05-24 | Daikin Ind Ltd | 酸洗方法 |
JPH01294879A (ja) * | 1988-05-23 | 1989-11-28 | Hitachi Condenser Co Ltd | エッチング廃液の再生処理法 |
JPH08178894A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-12 | Nikko Kinzoku Kk | 電解液中添加剤濃度の測定方法および添加剤濃度の管理方法 |
JPH10182112A (ja) * | 1996-10-07 | 1998-07-07 | Solvay Interox Ltd | 金属表面処理方法 |
JP2000119891A (ja) * | 1998-10-07 | 2000-04-25 | Zenken:Kk | 銅,硫酸,硝酸を含有する水溶液の処理・回収装置 |
US20060175204A1 (en) * | 2003-06-13 | 2006-08-10 | Kai-Jens Matejat | Mehtod for regenerating etching solutions containing iron for the use in etching or pickling copper or copper alloys and an apparatus for carrying out said method |
JP2006527304A (ja) * | 2003-06-13 | 2006-11-30 | アトテック・ドイチュラント・ゲーエムベーハー | 銅または銅合金をエッチングまたはピクリングする際に用いられる鉄含有エッチング液を再生するための方法およびその方法を実施するための装置 |
JP2008530367A (ja) * | 2005-02-15 | 2008-08-07 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | 電解により金属を取得する際の非イオン性界面活性剤の使用 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230075433A (ko) | 2020-09-29 | 2023-05-31 | 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 | 반도체기판 세정용 조성물 및 세정방법 |
CN118127570A (zh) * | 2024-05-08 | 2024-06-04 | 沈阳远程摩擦密封材料有限公司 | 一种树枝晶形貌电解铜粉的制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20130069419A (ko) | 구리 혹은 구리기 합금 표면의 산화 피막의 제거 방법 및 이 방법을 사용하여 회수한 구리 혹은 구리기 합금 | |
JP2008506035A (ja) | クロム鍍金方法 | |
CN108588719B (zh) | 用于铜基钯镍合金镀层退镀的退镀液 | |
JP2014009370A (ja) | 銅或いは銅基合金を酸洗した後の酸洗液から銅或いは銅基合金金属を回収する方法 | |
CN1043687C (zh) | 电解浸蚀金属以鉴定其内部质量的方法和设备 | |
JP6189639B2 (ja) | 鋳物表面の清浄方法 | |
CN1267750A (zh) | 合金钢钢材表面氧化皮的去除方法 | |
JP2013199702A (ja) | 銅或いは銅基合金表面の酸化皮膜の除去方法 | |
JP3955933B2 (ja) | ニッケルメッキ段階とニッケル除去段階とを含む銅または銅合金からなる金属連続鋳造用鋳型の外側表面の調整方法 | |
JP2014214378A (ja) | Snめっき剥離廃液からの銅回収方法 | |
US3030286A (en) | Descaling titanium and titanium base alloy articles | |
JP5886022B2 (ja) | 銅或いは銅基合金表面の酸化皮膜の除去方法 | |
JP5481179B2 (ja) | Cu系材料のSnめっき層の剥離方法 | |
US3632490A (en) | Method of electrolytic descaling and pickling | |
TWI420001B (zh) | Remove the rust of stainless steel | |
JP2013001979A (ja) | 銅或いは銅基合金表面の酸化皮膜の除去液 | |
KR20200047446A (ko) | 전극 및 그의 제조 방법 그리고 재생 전극의 제조 방법 | |
JP6528092B2 (ja) | 皮膜除去剤及び皮膜除去方法 | |
TW201337040A (zh) | 銅或銅基合金表面的氧化皮膜的除去方法及使用其方法所回收的銅或銅基合金 | |
JP6747641B2 (ja) | 水蒸気分圧を制御した第5族元素及び/又は第6族元素の溶解、回収方法と装置 | |
JP2517353B2 (ja) | ステンレス鋼帯の脱スケ―ル方法 | |
CN113122906B (zh) | 一种电解除油增效剂 | |
CN110449676B (zh) | 一种基于NaOH电解液电解磨削高铬合金的加工预处理方法 | |
JP2015001001A (ja) | 錫めっき剥離廃液からの銅の回収方法 | |
Maizelis et al. | Electrochemical treatment of waste in the form of copper coating on non-conductive substrate to obtain marketable products |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150420 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20150703 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20150706 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150828 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160223 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20161004 |