JP2013197594A - 複数ガス注入システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】1つの弁位置では、ガスが、分離された真空システムへ流れ、そこで、試料真空室へ導入する前に流量および混合物を調整することができる。別の弁位置では、予め混合されたガスが、分離された真空室から針を通って試料真空室内へ流れる。
【選択図】図1
Description
102 試料真空室
104 試料ステージ
106 加工物
110 ビーム
112 荷電粒子ビーム・カラム
113 荷電粒子源
114 集束レンズ
130 針
132 複数ガス注入システム(MGIS)弁
Claims (23)
- 少なくとも1つのガス源を含むビーム処理システム用のガス注入システムであって、
前記ガス源からのガスを真空室内の加工物の表面の近傍に導く針と、
前記少なくとも1つのガス源からのガスが前記針を通して導かれる第1の構成と、前記少なくとも1つのガス源からの前記ガスが代替経路へ導かれる第2の構成とを有する弁と
を備え、前記代替源へ前記ガス流を導くことが、前記ガスが前記針を通して導かれていないときに前記ガスの流量を調整することを可能にする
ガス注入システム。 - 可変速真空ポンプをさらに備え、前記代替経路が前記可変速真空ポンプへ通じている、請求項1に記載のガス注入システム。
- 前記弁をさらに、前記針を排気するために前記針が前記可変速真空ポンプに接続された第3の構成として構成することができる、請求項2に記載のガス注入システム。
- 前記第1の構成では前記針が前記加工物に向かって延出し、前記第2の構成では前記針が前記加工物から後退する、請求項1から3のいずれか一項に記載のガス注入システム。
- 前記針を延出させると、前記代替経路が閉じ、前記針を通る経路が開くように、前記弁が構成された、請求項1から4のいずれか一項に記載のガス注入システム。
- 前記少なくとも1つのガス源が2つ以上のガス源を含み、前記2つ以上のガス源からのガスを前記針を通して導きまたは前記代替経路へ導くように、前記弁を構成することができる、請求項1から5のいずれか一項に記載のガス注入システム。
- 前記弁が、前記針を通して導かれる前に前記2つ以上のガス源からのガスが混ざり合う混合室を含む、請求項6に記載のガス注入システム。
- 前記2つ以上のガス源からのガスを前記針を通して導きまたは前記代替経路へ導くように、前記弁を構成することができる、請求項6または請求項7に記載のガス注入システム。
- 前記代替経路内に測定装置をさらに備え、前記測定装置が、前記ガスの流量を調整するために使用される、請求項1から8のいずれか一項に記載のガス注入システム。
- 前記測定装置が流量計を含む、請求項9に記載のガス注入システム。
- 前記流量計が圧力測定装置を含む、請求項10に記載のガス注入システム。
- 前記弁が、前記弁内の領域を分割する複数の摺動Oリングを含む、請求項1から11のいずれか一項に記載のガス注入システム。
- 前記弁が、前記弁の内部を前記試料真空室から隔てるベローズを含む、請求項1から12のいずれか一項に記載のガス注入システム。
- 前記少なくとも1つのガス源からの前記ガスの流量を調整するパルス幅変調弁をさらに備える、請求項1から13のいずれか一項に記載のガス注入システム。
- 前記ガス源が、加熱可能なるつぼまたはタンクを備える、請求項1から14のいずれか一項に記載のガス注入システム。
- 前記針を担持した前記弁の部分を延出させまたは後退させるアクチュエータをさらに備える、請求項1から15のいずれか一項に記載のガス注入システム。
- 前記針を延出させることと前記ガスの流路を変更することとが独立して実行されるように前記弁が構成された、請求項1から16のいずれか一項に記載のガス注入システム。
- ビームを使用してガスの存在下で加工物を処理するシステムにおいて加工物の表面にガスを供給する方法であって、前記システムが、少なくとも1つのガスを供給する少なくとも1つのガス源と、ビームを供給するビーム源と、前記ガス源からのガスを前記加工物に供給する針とを含み、前記方法が、
第1のガス源から弁へガスが流れるようにするステップと、
前記針へ通じていない経路に前記ガスをそらすように前記弁が構成されている間に、前記ガスの流量を調整することによって、所望のガス流量を確立するステップと、
前記所望のガス流量が確立された後に、前記ガスを前記針へ導いて、前記加工物の表面に前記所望のガス流量を供給するステップと
を含む方法。 - 所望のガス流量を確立するステップが、前記ガスを可変速真空ポンプへそらすように前記弁が構成されている間に所望のガス流量を確立するステップを含む、請求項18に記載の方法。
- 所望のガス流量を確立するステップが、前記針へ通じていない前記経路内のガスの流量を測定するステップを含む、請求項18または請求項19に記載の方法。
- 前記ガスを前記針へ導く前に、
第2のガス源から前記弁へガスが流れるようにするステップと、
前記第2のガスに対する所望のガス流量を確立するステップと
をさらに含む、請求項18〜21のいずれか一項に記載の方法。 - 前記第2のガスに対する所望のガス流量を確立するステップが、
前記針へ通じていない前記経路内の前記第1のガスの流量を測定するステップと、
前記針へ通じていない前記経路内の前記第1および前記第2のガスの総流量を測定するステップと、
前記総流量から前記第1のガスの流量を差し引くことによって、前記第2のガスの流量を決定するステップと
を含む、請求項21に記載の方法。 - 前記ガスを前記針へ導くステップが、前記針を延出させて、前記針へ通じるガス流路を開き、前記針へ通じていないガス流路を閉じるステップを含む、請求項18〜22のいずれか一項に記載の方法。
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