JP2017506828A - 広温度範囲チャックに対する複数流体冷却システム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 静電チャックと、複数の流体源と、熱装置と、弁部品と、制御装置とを備え、
前記静電チャックは、一つ以上の電極とクランプ表面とを有し、一つ以上の電極を通る電流を介して、前記静電チャックに加工対象物を支持または静電的にクランプするように構成され、前記静電チャックを通る一つ以上の流体の経路を備え、
前記複数の流体源は、該複数の流体源と一体となる複数流体それぞれを有し、前記複数の流体それぞれは、他の一つと化学的に区別可能であり、前記複数の流体に依存する実行可能な流体温度範囲をそれぞれ有し、
前記熱装置は、あらかじめ定められた一つ以上の設定温度まで、前記複数の流体の加熱または冷却のうち、少なくとも一方を行うように構成され、
前記弁部品は、前記静電チャックの前記一つ以上の流体経路に、前記複数の流体源それぞれを、流体的に、選択可能に連結するように構成され、
前記制御装置は、前記弁部品の制御を介して、選択された一つ以上の前記複数の流体源に、前記静電チャックの前記一つ以上の流体経路を、流体的に、選択可能に連結するように構成されていることを特徴とする静電クランプシステム。 - 前記弁部品は、一つ以上の自動弁を含み、前記制御装置は、前記一つ以上の自動弁の開閉を行うように構成され、選択された一つ以上の前記複数の流体源に、前記静電チャックの前記一つ以上の流体経路を、流体的に、選択可能に連結することを特徴とする請求項1に記載の静電クランプシステム。
- 前記制御装置は、前記一つ以上の自動弁を、一つ以上の流状態に基づいて開閉するように構成されていることを特徴とする請求項2に記載の静電クランプシステム。
- 前記一つ以上の流状態は、前記複数の流体それぞれに依存する前記実行可能な流体温度範囲を、前記静電チャック上の前記加工対象物の処理に依存する一つ以上の所定処理温度と関連づける、一つ以上の出水アルゴリズムおよびルックアップテーブルに基づくことを特徴とする請求項3に記載の静電クランプシステム。
- 前記制御装置は、前記一つ以上の流状態のうち少なくとも一つが条件を満たすとき、前記静電チャックの前記一つ以上の流体経路から、第1の前記複数の流体を、第2の前記複数の流体とともに流すように構成されていることを特徴とする請求項4に記載の静電クランプシステム。
- 前記制御装置はさらに、前記一つ以上の流状態のうち少なくとも他の一つが条件を満たすとき、前記静電チャックの前記一つ以上の流体経路から、一つ以上の前記第1および第2の前記複数の流体を、第3の前記複数の流体とともに流すように構成されていることを特徴とする請求項5に記載の静電クランプシステム。
- 前記出水アルゴリズムは、前記一つ以上の自動弁の開閉のうち、少なくともいずれか一方で間の時間に依存する、タイミングシーケンスを含むことを特徴とする請求項4に記載の静電クランプシステム。
- 前記ルックアップテーブルはさらに、前記一つ以上の所定処理温度の設定値を、前記複数の流体と前記一つ以上の所定処理温度とのそれぞれに依存する、前記実行可能な流体温度範囲に関連付けることを特徴とする請求項4に記載の静電クランプシステム。
- 前記一つ以上の流状態は、前記複数の流体の間の科学的混和性を含むことを特徴とする請求項3に記載の静電クランプシステム。
- 前記制御装置はさらに、前記選択された一つ以上の前記複数の流体源に依存する、前記一つ以上の前記複数の流体を、前記一つ以上の所定処理温度の設定値まで加熱または冷却のうち少なくともいずれか一方を行う、前記熱装置を制御するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の静電クランプシステム。
- 前記制御装置はさらに、前記熱装置を、少なくとも一部分において、前記選択された一つ以上の前記複数の流体源に基づいて制御するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の静電クランプシステム。
- 前記複数の流体のうち一つの沸点は、残りの前記複数の流体の沸点と異なることを特徴とする請求項1に記載の静電クランプシステム。
- 前記複数の流体のうち一つの凝固点は、残りの前記複数の流体の凝固点と異なることを特徴とする請求項1に記載の静電クランプシステム。
- 前記一つ以上の流体経路は、複数の分離流体経路を備え、前記弁部品は、非乙以上の前記複数の流体源を前記静電チャックの一つ以上の前記複数の分離流体経路に、選択的に、流体的に連結するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の静電クランプシステム。
- 前記複数の流体源それぞれの前記実行可能な流体温度範囲は、前記複数の流体それぞれが、一つ以上の液体状態および気体状態に留まる温度範囲を含むことを特徴とする請求項1に記載の静電クランプシステム。
- 静電チャックと、複数の流体源と、熱装置と、弁部品と、制御装置とを備え、
前記静電チャックは、一つ以上の電極とクランプ表面とを有し、一つ以上の電極を通る電流を介して、前記静電チャックに加工対象物を支持または静電的にクランプするように構成され、前記静電チャックを通る一つ以上の流体の経路を備え、
前記複数の流体源は、該複数の流体源と一体となる複数流体それぞれを有し、前記複数の流体それぞれは、他の一つと化学的に区別可能であり、前記複数の流体に依存する実行可能な流体温度範囲をそれぞれ有し、
前記熱装置は、あらかじめ定められた一つ以上の設定温度まで、前記複数の流体の加熱または冷却のうち、少なくとも一方を行うように構成され、
前記弁部品は、前記静電チャックの前記一つ以上の流体経路に、前記複数の流体源それぞれを、流体的に、選択可能に連結するように構成された、一つ以上の自動弁を備え、
前記制御装置は、前記一つ以上の自動弁を、一つ以上の流状態に基づいて開閉するように構成され、選択された一つ以上の前記複数の流体源が、前記静電チャックの前記一つ以上の流体経路に、流体的に選択可能に連結することを特徴とする静電クランプシステム。 - 前記一つ以上の流状態は、前記複数の流体それぞれに依存する前記実行可能な流体温度範囲を、前記静電チャック上の前記加工対象物の処理に依存する一つ以上の所定処理温度と関連づける、一つ以上の出水アルゴリズムおよびルックアップテーブルに基づくことを特徴とする請求項16に記載の静電クランプシステム。
- 前記一つ以上の流状態は、前記複数の流体の間の科学的混和性を含むことを特徴とする請求項16に記載の静電クランプシステム。
- 前記複数の流体源それぞれの前記実行可能な流体温度範囲は、前記複数の流体それぞれが、液体状態に留まる液体温度範囲を含むことを特徴とする請求項16に記載の静電クランプシステム。
- 静電チャックと、複数の流体源と、熱装置と、弁部品と、制御装置とを備え、
前記静電チャックは、一つ以上の電極とクランプ表面とを有し、一つ以上の電極を通る電流を介して、前記静電チャックに加工対象物を支持または静電的にクランプするように構成され、前記静電チャックを通る一つ以上の流体の経路を備え、
前記複数の流体源は、該複数の流体源と一体となる複数流体それぞれを有し、前記複数の流体それぞれは、他の一つと化学的に区別可能であり、前記複数の流体に依存する実行可能な流体温度範囲をそれぞれ有し、
前記熱装置は、あらかじめ定められた一つ以上の設定温度まで、前記複数の流体の加熱または冷却のうち、少なくとも一方を行うように構成され、
前記弁部品は、前記静電チャックの前記一つ以上の流体経路に、前記複数の流体源それぞれを、流体的に、選択可能に連結するように構成された、一つ以上の自動弁を備え、
前記制御装置は、前記一つ以上の自動弁を、一つ以上の流状態に基づいて開閉するように構成され、選択された一つ以上の前記複数の流体源が、前記静電チャックの前記一つ以上の流体経路に、流体的に、選択可能に連結し、前記一つ以上の流状態は、前記複数の流体それぞれに依存する前記実行可能な流体温度範囲を、前記静電チャック上の前記加工対象物の処理に依存する一つ以上の所定処理温度と化学的混和性とに関連づける、一つ以上の出水アルゴリズムおよびルックアップテーブルに基づくことを特徴とする静電クランプシステム。
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