CN113035674A - 一种多气源气体注射装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体材料加工技术领域，特别涉及一种多气源气体注射装置，其中，外壳内沿多气源气体注射装置的轴向设置有多个气源安装工位，气源安装工位用于安装气源发生模块；外壳的一端与轴向驱动模块连接，外壳的另一端与气体注射模块连接；气体注射模块延伸至外壳另一端的内部与气源发生模块连接，轴向驱动模块延伸至外壳一端的内部与气源发生模块连接，用于驱动气源发生模块进行轴向运动。本发明提供的多气源气体注射装置，多个气源发生模块沿多气源气体注射装置的轴向安装，形成轴向分布，占用空间小，在将多气源气体注射装置安装在带电粒子束设备的腔体上时，有利于避免气源发生模块和其他部件干涉。

Description

一种多气源气体注射装置

技术领域

本发明涉及半导体材料加工技术领域，特别涉及一种多气源气体注射装置。

背景技术

带电粒子束能够改变材料入射表面位置的形貌特征，可以用于纳米制造，其中，带电粒子束可以为电子束或离子束。单独使用离子束或电子束对样品进行作业时的效率较低，通常使用气体注射装置辅助电子束或离子束对样品进行作业，以提高作业效率，诸如进行掩膜修复、电路重组、电路修复和样品切片等具体作业。由于不同材料的特性不同，所需要的气体也不同，所以有必要使用多气源气体注射装置。

在现有技术中，多个气源发生模块分别设置在多气源气体注射装置的径向上，形成圆周分布，占用空间大，在将多气源气体注射装置安装在带电粒子束设备的腔体上时，因为气源发生模块会和其他部件干涉，所以无法将多气源气体注射装置安装在用于安装单气源气体注射装置的安装工位上，其中，该安装工位可以使得注射喷嘴和带电粒子束之间具有较为合适的角度；气源发生模块的数量固定，无法模块化增加或减少气源发生模块。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的多气源气体注射装置占用空间大、无法安装在单气源气体注射装置的安装工位上及无法模块化增加或减少气源发生模块的技术问题，提供了一种多气源气体注射装置。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：

一种多气源气体注射装置，包括：外壳、轴向驱动模块、气源发生模块及气体注射模块；外壳内沿多气源气体注射装置的轴向设置有多个气源安装工位，气源安装工位用于安装气源发生模块，外壳的一端与轴向驱动模块连接，外壳的另一端与气体注射模块连接；气体注射模块延伸至外壳另一端的内部与气源发生模块连接，轴向驱动模块延伸至外壳一端的内部与气源发生模块连接，用于驱动气源发生模块和气体注射模块进行轴向运动。

进一步的，气源发生模块包括：开关单元、气源坩埚和第一温控单元，开关单元用于控制气源坩埚的气道的开关，第一温控单元设置在气源坩埚上，用于改变气源坩埚的温度以产生气体。

进一步的，开关单元包括腔体和推杆，气源发生模块还包括连接构件；连接构件开设有贯穿左右两端的第一气道，以及开设有贯穿上下两端的第二气道，第一气道和第二气道交叉连通；连接构件用于连接轴向驱动模块及气体注射模块，第一气道与气体注射模块的气道连通，第二气道能够与气源坩埚相连通；腔体通过连接构件与气源坩埚固定连接；推杆的一端设置在腔体内，另一端延伸至第二气道中，并能够关闭或打开气源坩埚的气道。

进一步的，气体注射模块包括：支撑管件、注射喷嘴及第二温控单元；

注射喷嘴固定在支撑管件的头部；支撑管件内部设置的气道与注射喷嘴内部设置的气道连通；支撑管件的另一端具有尾部，尾部安装在外壳内，并能够在外壳内沿轴向运动；

第二温控单元设置在支撑管件的内部，用于改变支撑管件的气道内气体的温度。

进一步的，第二温控单元包括温控件，支撑管件内设置有第二安装孔，温控件安装在第二安装孔中，用于改变支撑管件的气道内气体的温度。

进一步的，第二温控单元包括温控件和传导件，温控件靠近支撑管件的尾部，传导件设置在支撑管件内，传导件的一端与温控件连接，另一端在支撑管件内向靠近注射喷嘴的方向延伸，用于将温控件产生的能量传导至支撑管件的气道中。

进一步的，还包括：用于对气体注射模块的空间位置进行调节的安装调节模块；外壳通过安装调节模块与气体注射模块连接。

进一步的，还包括：用于对气体注射模块的姿态进行调节的安装调节模块，安装调节模块与气体注射模块连接，安装调节模块包括角度调节单元，角度调节单元包括调节本体和角度调节旋钮，调节本体套设在气体注射模块上，调节本体的一端连接在外壳上，另一端用于连接带电粒子束设备的腔体，角度调节旋钮连接在调节本体上，用于调节气体注射模块的角度。

进一步的，调节本体包括第一调节台、第二调节台、支撑件和弹簧，第一调节台和第二调节台均套设在气体注射模块上，第一调节台通过弹簧连接在第二调节台上，支撑件设置在第一调节台和第二调节台之间，第一调节台或第二调节台上设置有支撑件，角度调节旋钮穿过第一调节台与第二调节台连接，或者穿过第二调节台与第一调节台连接。

进一步的，气源发生模块至少为一个；当气源发生模块的数量为多个时，相邻的两个气源发生模块相连，多个气源发生模块使用相同的气体注射模块。

本发明提供的多气源气体注射装置至少具备以下有益效果或优点：

本发明提供的多气源气体注射装置，多个气源发生模块沿多气源气体注射装置的轴向安装，形成轴向分布，占用空间小，在将多气源气体注射装置安装在带电粒子束设备的腔体上时，有利于避免气源发生模块和其他部件干涉，且该多气源气体注射装置可以安装在单气源气体注射装置的安装工位上，能够使得注射喷嘴和带电粒子束之间具有较为合适的角度；可以根据需要增加或减少气源发生模块，提高使用多气源气体注射装置时的灵活性。

附图说明

图1为本发明实施例提供的多气源气体注射装置结构的示意图；

图2为本发明实施例提供的多气源气体注射装置的剖视图；

图3为本发明实施例提供的气源发生模块结构的示意图；

图4为本发明实施例提供的气源发生模块的剖视图；

图5为本发明实施例提供的气体注射模块结构的示意图；

图6为本发明实施例提供的气体注射模块的剖视图；

图7为本发明实施例提供的又一气体注射模块的剖视图；

图8为本发明实施例提供的安装调节模块结构的示意图；

图9为本发明实施例提供的安装调节模块的剖视图；

图10为本发明实施例提供的安装调节模块又一剖视图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-轴向驱动模块，2-外壳，21-第一安装孔，3-气源发生模块，31-腔体，32-推杆，33-连接构件，34-气源坩埚，35-第一温控单元，36-第一气道，37-第二气道，38-沉孔，4-安装调节模块，41-调节基座，42-第一调节台，43-第二调节台，44-平面调节旋钮，45-角度调节旋钮，46-轴向调节旋钮，47-支撑件，48-弹簧，5-气体注射模块，51-支撑管件，52-注射喷嘴，53-尾部，54-第二温控单元，541-温控件，542-传导件，55-第二安装孔，6-波纹管，7-腔体，8-带电粒子束，9-样品。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，应当说明的是，各实施例中的术语名词例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示方位的词语，只是为了简化描述基于说明书附图的位置关系，并不代表所指的元件和装置等必须按照说明书中特定的方位和限定的操作及方法、构造进行操作，该类方位名词不构成对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以结合具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明实施例提供了一种多气源气体注射装置，参见图1及图2，其主要包括：外壳2、轴向驱动模块1、气源发生模块3、安装调节模块4及气体注射模块5。外壳2的一端与轴向驱动模块1连接，另一端与气体注射模块5连接，例如，其另一端通过安装调节模块4与气体注射模块5连接；外壳2内沿多气源气体注射装置的轴向设置有多个气源安装工位，气源安装工位用于安装气源发生模块3，轴向驱动模块1的活动端延伸至外壳2内部并与气源发生模块3连接，轴向驱动模块1用于驱动气源发生模块3和气体注射模块5进行轴向运动，即沿多气源气体注射装置的轴向向前运动或向后运动。气体注射模块5的头部为注射喷嘴，其尾部延伸至外壳2内部；气源发生模块3与气体注射模块5连接，且其气道与气体注射模块5的气道连通。安装调节模块4套设在气体注射模块5的尾部；安装调节模块4用于对气体注射模块5的空间位置进行调节。

其中，外壳2上可以设置有第一安装孔21或设置有可以打开的门，以使得气源发生模块3能够安装在气源安装工位上，气源发生模块3的两端可以外露于外壳2上，外壳2的尺寸较小，可以节省空间，但不限于此，也可以设置较大的外壳2，使得气源发生模块3的两端也安装在外壳2的内部。

需要说明的是，所述气源发生模块至少为一个，虽然气源安装工位的数量为多个，但是在使用时可根据需要安装一个或多个的气源发生模块3，且安装多个气源发生模块3时，相邻的两个气源发生模块3相连，因此，可以根据用户的需要模块化增加或减少气源发生模块3。例如，气源安装工位的数量为五个，用户根据需要安装两个气源发生模块3，并将相邻的两个气源发生模块3固定连接。

请参见图3和图4，气源发生模块3包括开关单元、气源坩埚34和第一温控单元35，开关单元用于控制气源坩埚34的气道的开关，第一温控单元35设置在气源坩埚34上，用于改变气源坩埚34的温度，使得气源坩埚34能够产生气体。

在一实施例中，开关单元包括电磁阀，电磁阀的数量和气源发生模块3的数量相同，当安装多个气源发生模块3时，各个气源发生模块3分别通过管路与气体注射模块5连接，通过控制电磁阀可使得多个气源坩埚34的气道分别与气体注射模块5的气道连通。

在本实施例中，开关单元可以包括电机或气缸，请继续参见图3及图4，开关单元包括腔体31和推杆32，但不限于此，气源发生模块3还包括：连接构件33及密封圈(未图示)。连接构件33用于连接轴向驱动模块1及气体注射模块5，连接构件33上开设有贯穿左右两端的第一气道36，以及开设有贯穿上下两端的第二气道37，第一气道36和第二气道37交叉连通。第二气道37用于提供向第一气道36输入气体的通路；第一气道36与气体注射模块5的气道连通，用于为单个气源发生模块3或多个气源发生模块3提供向气体注射模块5输入气体的通路。第二气道37能够与气源坩埚34相连通。腔体31通过连接构件33与气源坩埚34固定连接，第二气道37的下端设置为沉孔38，沉孔38的台阶面为密封面，沉孔38与气源坩埚34连通；推杆32的一端设置在腔体31内，另一端延伸至第二气道37中，并能够关闭或打开气源坩埚34的气道。

其中，当驱动推杆32前进时，其能够通过密封圈抵接在沉孔38的台阶面上，实现对气源坩埚34的关闭；当驱动推杆32后退时，可以打开气源坩埚34，气源坩埚34中的气体从第二气道37进入第一气道36，再进入气体注射模块5中的气道。

在本实施例中，当气源坩埚34中存储固体介质时，第一温控单元35包括加热薄膜，通过加热薄膜对气源坩埚34加热，可以使得固体介质产生气体；当气源坩埚34中存储气体介质时，第一温控单元35包括制冷薄膜，通过制冷薄膜对气源坩埚34降温，可以改变气体介质的流动速率，得到合适速率的气体。

在现有技术中，需要设置多个气体注射模块，气体注射模块的数量多，成本高，占用空间大，多个气体注射模块分别独立注射，基本无混合时间。在本实施例中，多个气源发生模块3可以使用相同的气体注射模块5，优选地，其使用相同的气体注射模块5，一方面，可以节省空间和成本，另一方面，该多气源气体注射装置能够独立的注射单一气体，或者进行多种气体在第一气道36及气体注射模块5中混合后的注射，可以增加气体的混合时间，有利于多种气体在第一气道36及气体注射模块5内进行充分混合。

需要说明的是，推杆32与第一气道36之间存在第二气道37，使得第一气道36和第二气道37能保持连通，气源发生模块3关闭时会阻断气源坩埚34和第二气道37的连通，但不会阻断第一气道36和第二气道37的连通，因此气源发生模块3关闭后不会影响第一气道36中气体的流通。

以开关单元使用气缸或电机为例，优选地，开关单元和气源坩埚34同轴线设置，且开关单元位于气源坩埚34的上方，一方面，可以减小气源发生模块3的体积；另一方面，当气源坩埚34中存储固体介质时，其存储的固体介质位于开关单元的下方，可以避免介质因重力作用掉落在气源坩埚34的气道中而产生堵塞的现象。

在本实施例中，以第一温控单元35包括加热薄膜为例，经加热薄膜加热后气源坩埚34中产生气体，控制推杆32后退以开启气源发生模块3，气体从第二气道37进入第一气道36，再进入气体注射模块5中的气道，并从气体注射模块5的注射喷嘴52喷射在样品9表面，与入射在样品9表面的带电粒子束8共同作用。气体注射完成后，控制推杆32前进以关闭气源发生模块3的开关，推杆32密封住当前气源坩埚34的气道，将气体密封在气源坩埚34内。

参见图5及图6，气体注射模块5包括：支撑管件51、注射喷嘴52及第二温控单元54。注射喷嘴52固定在支撑管件51的头部；支撑管件51内部设置的气道与注射喷嘴52内部设置的气道连通，支撑管件51的另一端具有尾部53(即为气体注射模块5的尾部)，所述尾部53安装在外壳2内，并能够在外壳2内沿轴向运动。第二温控单元54设置在支撑管件51的内部，第二温控单元54用于改变支撑管件51气道内的气体的温度，使从注射喷嘴52喷出的气体的气量均匀、稳定，可避免因气体温度不均匀而导致在气体注射模块5中产生气体沉积的现象，降低对气体注射模块5的清洁频率。

进一步地，气体注射模块5还包括温度传感器，用于检测注射喷嘴52喷出的气体的温度，该温度传感器与第二温控单元54连接，第二温控单元54获得气体的温度，并能够使得注射喷嘴52喷出的气体温度达到所需的温度值。

请继续参见图6，在一实施例中，第二温控单元54包括温控件，支撑管件51内设置有用于安装第二温控单元54的第二安装孔55，温控件安装在第二安装孔55中，用于改变支撑管件51的气道内气体的温度。优选地，该第二安装孔55靠近支撑管件51内的气道。

在第二安装孔中安装温控件可以改变气体的温度，可以降低气体温度的不均匀性，但是，一方面，仍然会出现气体温度不均匀的现象；另一方面，对支撑管件51的真空密封要求高，需要使用具有高真空密封性的支撑管件51，以避免支撑管件51中的气体外泄，例如，避免气体外泄至带电粒子束设备的腔体7中。

请参见图7，在另一实施例中，第二温控单元54包括温控件541和传导件542，温控件541靠近所述支撑管件51的尾部，例如，温控件541设置在波纹管6(后文对波纹管6进行介绍)处，且位于波纹管6内，传导件542设置在支撑管件51内，传导件542的一端与温控件541连接，另一端在支撑管件51内向靠近注射喷嘴52的方向延伸，用于将温控件541产生的能量传导至支撑管件51的气道中，以改变支撑管件51的气道内气体的温度，具体延伸长度可以根据需求而定，在此不作限定。

需要说明的是，温控件541可以直接改变其周边的支撑管件51的气道内气体的温度，但支撑管件51的气道需要向注射喷嘴52的方向延伸，故还设置了传导件542，以将温控件541的能量更有效地传导至该气道中，可以提高气道内气体温度的均匀性。其中，传导件542可以使用热传导系数较高的金属件，例如，铝或纯铜。

此外，可以将温控件541和/或传导件542包裹在支撑管件51的气道外，即在支撑管件51和气道(的外壁)之间设置用于包裹气道的温控件541和/或传导件542,故还可以起到密封气道的作用，能够降低对支撑管件51的真空密封要求，降低其加工难度，支撑管件51的管壁上可以开设有通孔，以减少重量，且不会造成气体外泄。

其中，安装调节模块4用于对所述气体注射模块的空间位置进行调节，外壳2通过安装调节模块4与气体注射模块5连接，空间位置可以是轴向位置和/或平面位置。

当轴向驱动模块1为电机时，电机可以驱动气源发生模块3及气体注射模块5沿轴向运动，实现对气体注射模块5轴向位置的调节，此时，无需再通过安装调节模块进行轴向位置的调节；当其为气缸时，由于气缸一般只有推出至最大位置及收回至初始位置两个状态，不便于精确调节气体注射模块5的轴向位置，故可以设置用于调节轴向位置的安装调节模块。在本实施例中，轴向驱动模块1为气缸，通过安装调节模块4调节气体注射模块5的轴向位置和径向位置。

此外，即使将多气源气体注射装置安装在单气源气体注射装置的安装工位上，使得注射喷嘴52和带电粒子束8之间具有较为合适的角度，也还是存在进一步调节该角度的需求。

为满足该需求，在本实施例中，安装调节模块4还用于对所述气体注射模块的姿态(角度)进行调节，其包括用于对气体注射模块5的姿态进行调节的角度调节单元，角度调节单元包括调节本体和角度调节旋钮45，调节本体套设在气体注射模块5上，调节本体的一端连接在外壳2上，另一端用于连接带电粒子束设备的腔体7，角度调节旋钮45连接在调节本体上，用于调节气体注射模块5的角度。

参见图8-图10，调节本体包括第一调节台42、第二调节台43、支撑件47和弹簧48，第一调节台42和第二调节台43均套设在气体注射模块5(的支撑管件51)上，第一调节台42和第二调节台43中的一个连接在外壳2上，另一个用于连接带电粒子束设备的腔体7，第一调节台42通过弹簧48连接在第二调节台43上，支撑件47设置在第一调节台42和第二调节台43之间，第一调节台42或第二调节台43上设置有支撑件，角度调节旋钮45穿过第一调节台42与第二调节台43连接，或者穿过第二调节台43与第一调节台42连接，通过旋转角度调节旋钮45对气体注射模块5的姿态进行调节。

在本实施例中，第二调节台43设置在第一调节台42和外壳2之间，第一调节台42通过第二调节台43与外壳2连接。第二调节台43通过弹簧48连接第一调节台42，弹簧48用于向第二调节台43提供拉力，以稳定第二调节台43的位置。第一调节台42上设置有一凸起的支撑件47，支撑件47与第二调节台43上设置的一凹槽相配合；或者，第二调节台43上设置有一凸起的支撑件47，支撑件47与第一调节台42上设置的一凹槽相配合；支撑件47为第二调节台43的角度旋转的支点，第二调节台43可沿支撑件47在一定角度内旋转。其中，当角度调节旋钮45的数量为至少两个时，可以实现两个转动自由度的调节，例如，支撑件47及凹槽均为半球形状，角度调节旋钮45和支撑件47均为三个，三个角度调节旋钮45均匀分布在第二调节台43上，三个支撑件47均匀分布在第一调节台42上。

在本实施例中，通过旋转角度调节旋钮45可以以支撑件47为支点调节第二调节台43与第一调节台42之间的角度，通过调节该角度的大小实现对气体注射模块5的姿态调节。

参见图8-图10，在本实施例中，安装调节模块4还包括：调节基座41、平面调节旋钮44、及轴向调节旋钮46。调节基座41为四周设置有凸缘的法兰结构，可用于和带电粒子束设备的腔体7连接。第一调节台42设置在调节基座41内侧，且和调节基座41之间具有间隙；调节基座41和第二调节台43相连，第一调节台42和外壳2连接，且调节基座41用于连接带电粒子束设备的腔体7，支撑管件51能够穿过调节基座41、第一调节台42、第二调节台43及外壳2的端面；支撑管件51的尾部53安装在外壳2内。

在本实施例中，轴向调节旋钮46穿过外壳2的端面，并与支撑管件51的尾部53抵接，沿一方向(例如，顺时针方向)调节轴向调节旋钮46，可使气体注射模块5克服轴向驱动模块1的推力而向上运动，沿另一方向(例如，逆时针方向)调节轴向调节旋钮46，可使气体注射模块5受轴向驱动模块1的推力而向下运动，即实现调节气体注射模块5的轴向位置；例如，轴向调节旋钮46包括螺丝，其数量为两个，两个轴向调节旋钮46均匀分布在外壳2的一端。

在另一实施例中，在轴向调节旋钮46和尾部53之间设置一滑块，滑块与外壳2滑动连接，通过调节轴向调节旋钮46可使其抵接滑块且滑块抵接尾部53，进而能够调节气体注射模块5的轴向位置，增加滑块可提高轴向调节旋钮46与气体注射模块5的接触面积，从而使得受力均匀，提高气体注射模块5轴向运动的稳定性。

此外，还可以在外壳2上可以设置限位件，用于对气体注射模块5的轴向位置限位。

其中，平面调节旋钮44穿过调节基座41的凸缘与第一调节台42抵接，可以调节气体注射模块5的径向位置；例如，平面调节旋钮44为四个，四个平面调节旋钮44均匀分布在调节基座41的凸缘上。

参见图1及图2，为实现多气源气体注射装置与带电粒子束设备的腔体7的密封，本实施例还设置有：波纹管6，波纹管6的两端分别连接气体注射模块5和安装调节模块4。在本实施例中，支撑管件51外侧设置有凸台；波纹管6套在支撑管件51上，波纹管6的一端与凸台连接，波纹管6的另一端与调节基座41连接。在本实施例中，波纹管6可为焊接波纹管。

本发明实施例提供的多气源气体注射装置至少具备以下有益效果或优点：

本发明实施例提供的多气源气体注射装置，多个气源发生模块沿多气源气体注射装置的轴向安装，形成轴向分布，占用空间小，在将多气源气体注射装置安装在带电粒子束设备的腔体上时，有利于避免气源发生模块和其他部件干涉，且该多气源气体注射装置可以安装在单气源气体注射装置的安装工位上，能够使得气体注射模块和带电粒子束之间具有合适的初始角度；可以根据需要增加或减少气源发生模块，提高使用多气源气体注射装置时的灵活性。

在本实施例中，还提供了一种带电粒子束设备，包括上述的多气源气体注射装置，由于多个气源发生模块沿轴向分布，故可以将多气源气体注射装置的调节基座41安装在单气源气体注射装置的安装工位上，能够使得气体注射模块5和带电粒子束8之间具有较为合适的角度，结构简单，成本低。

其中，带电粒子束设备可以为聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)设备，但不限于此。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种多气源气体注射装置，其特征在于，包括：外壳、轴向驱动模块、气源发生模块及气体注射模块；所述外壳内沿多气源气体注射装置的轴向设置有多个气源安装工位，所述气源安装工位用于安装所述气源发生模块，所述外壳的一端与所述轴向驱动模块连接，所述外壳的另一端与所述气体注射模块连接；所述气体注射模块延伸至所述外壳另一端的内部与所述气源发生模块连接，所述轴向驱动模块延伸至所述外壳一端的内部与所述气源发生模块连接，用于驱动所述气源发生模块和气体注射模块进行轴向运动。

2.根据权利要求1所述的多气源气体注射装置，其特征在于，所述气源发生模块包括：开关单元、气源坩埚和第一温控单元，所述开关单元用于控制所述气源坩埚的气道的开关，所述第一温控单元设置在气源坩埚上，用于改变所述气源坩埚的温度以产生气体。

3.根据权利要求2所述的多气源气体注射装置，其特征在于，所述开关单元包括腔体和推杆，所述气源发生模块还包括连接构件；所述连接构件开设有贯穿左右两端的第一气道，以及开设有贯穿上下两端的第二气道，所述第一气道和所述第二气道交叉连通；所述连接构件用于连接所述轴向驱动模块及所述气体注射模块，所述第一气道与所述气体注射模块的气道连通，所述第二气道能够与所述气源坩埚相连通；所述腔体通过所述连接构件与所述气源坩埚固定连接；所述推杆的一端设置在所述腔体内，另一端延伸至所述第二气道中，并能够关闭或打开所述气源坩埚的气道。

4.根据权利要求1所述的多气源气体注射装置，其特征在于，所述气体注射模块包括：支撑管件、注射喷嘴及第二温控单元；

所述注射喷嘴固定在所述支撑管件的头部；所述支撑管件内部设置的气道与所述注射喷嘴内部设置的气道连通；所述支撑管件的另一端具有尾部，所述尾部安装在所述外壳内，并能够在所述外壳内沿轴向运动；

所述第二温控单元设置在所述支撑管件的内部，用于改变所述支撑管件的气道内气体的温度。

5.根据权利要求4所述的多气源气体注射装置，其特征在于，所述第二温控单元包括温控件，所述支撑管件内设置有第二安装孔，所述温控件安装在所述第二安装孔中，用于改变所述支撑管件的气道内气体的温度。

6.根据权利要求4所述的多气源气体注射装置，其特征在于，所述第二温控单元包括温控件和传导件，所述温控件靠近所述支撑管件的尾部，所述传导件设置在所述支撑管件内，所述传导件的一端与所述温控件连接，另一端在所述支撑管件内向靠近所述注射喷嘴的方向延伸，用于将所述温控件产生的能量传导至所述支撑管件的气道中。

7.根据权利要求1所述的多气源气体注射装置，其特征在于，还包括：用于对所述气体注射模块的空间位置进行调节的安装调节模块；所述外壳通过所述安装调节模块与所述气体注射模块连接。

8.根据权利要求1所述的多气源气体注射装置，其特征在于，还包括：用于对所述气体注射模块的姿态进行调节的安装调节模块，所述安装调节模块与所述气体注射模块连接，所述安装调节模块包括角度调节单元，所述角度调节单元包括调节本体和角度调节旋钮，所述调节本体套设在所述气体注射模块上，所述调节本体的一端连接在所述外壳上，另一端用于连接带电粒子束设备的腔体，所述角度调节旋钮连接在所述调节本体上，用于调节气体注射模块的角度。

9.根据权利要求8所述的多气源气体注射装置，其特征在于，所述调节本体包括第一调节台、第二调节台、支撑件和弹簧，所述第一调节台和第二调节台均套设在所述气体注射模块上，所述第一调节台和第二调节台中的一个连接在外壳上，另一个用于连接带电粒子束设备的腔体，所述第一调节台通过弹簧连接在所述第二调节台上，所述支撑件设置在所述第一调节台和第二调节台之间，所述第一调节台或第二调节台上设置有所述支撑件，所述角度调节旋钮穿过所述第一调节台与所述第二调节台连接，或者穿过所述第二调节台与所述第一调节台连接。

10.根据权利要求1所述的多气源气体注射装置，其特征在于，所述气源发生模块至少为一个；当所述气源发生模块的数量为多个时，相邻的两个所述气源发生模块相连，多个所述气源发生模块使用相同的所述气体注射模块。

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