JP2013195790A - 露光描画装置、プログラム及び露光描画方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の微小光学素子の各々が画素の各々に対応するように2次元状に配列された光学変調素子と、光学変調素子に照射する光を各々発光する複数の発光部を備え、発光光量が調整可能な光源と、光学変調素子と被露光面との間に配置され、被露光面に光学変調素子からの光を集光する集光光学系と、光量が被露光面を露光する場合の光量より多くなるように光源から照射される光量が調整された状態で(S107)、被露光面に相当する検出面において、前記複数の微小光学素子の各々からの光が集光する集光位置を検出する位置検出手段と、検出結果に基づいて、基準位置からの複数の微小光学素子からの光の集光位置のずれ量を取得する取得手段と、取得されたずれ量に基づいて、被露光面における集光位置を補正する補正手段(S109)と、を備えた。
【選択図】図8
Description
以下、本実施形態に係る露光描画システムについて添付図面を用いて詳細に説明する。なお、本実施形態では、露光描画装置1として、超高感度感材であるフィルム、プリント配線基板及びフラットパネルディスプレイ用ガラス基板等の平板基板を被露光基板Cとして、被露光基板Cに対して露光描画を行う装置を例として説明する。
以下、第2実施形態に係る露光描画装置1について添付図面を参照して詳細に説明する。なお、第1実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
Claims (11)
- 複数の微小光学素子を備え、前記複数の微小光学素子の各々が画素の各々に対応するように2次元状に配列された光学変調素子と、
前記光学変調素子に照射する光を各々発光する複数の発光部を備え、発光光量が調整可能な光源と、
前記光学変調素子と被露光面との間に配置され、前記被露光面に前記光学変調素子からの光を集光する集光光学系と、
光量が前記被露光面を露光する場合の光量より多くなるように前記光源から照射される光量が調整された状態で、前記被露光面に相当する検出面において、前記複数の微小光学素子の各々からの光が集光する集光位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段の検出結果に基づいて、基準位置からの前記複数の微小光学素子からの光の集光位置のずれ量を取得する取得手段と、
前記取得手段で取得されたずれ量に基づいて、前記被露光面における集光位置を補正する補正手段と、
を備えた露光描画装置。 - 前記光源は、所定発光光量の発光部と該所定発光光量の発光部より光量が多い発光部とを含み、
前記被露光面を露光する場合に前記所定発光光量の発光部から光が発光され、前記位置を検出する場合に前記光量が多い発光部、または前記所定発光光量の発光部及び前記光量が多い発光部から光が発光されるように調整される
請求項1記載の露光描画装置。 - 前記光源は、発光量が同じ複数の発光部を含み、
前記位置を検出する場合には、前記被露光面を露光する場合より多い個数の発光部から光が発光されるように調整される
請求項1記載の露光描画装置。 - 前記光源の発光部の各々から同一波長範囲の光を発光させる
請求項1乃至3の何れか1項記載の露光描画装置。 - 前記光源と前記光学変調素子との間に、ロッドインテグレータを配置した
請求項1乃至4の何れか1項記載の露光描画装置。 - 前記光学変調素子の温度を検出する温度検出手段と、
前記光学変調素子の温度を調整する温度調整手段と、
前記温度検出手段で検出された温度に基づいて、前記光学変調素子の温度を予め定められた範囲の温度になるように前記温度調整手段を制御する制御手段と、をさらに備えた
請求項1乃至5の何れか1項記載の露光描画装置。 - 前記位置検出手段は、前記予め定められた範囲の温度になるように制御された状態で、前記位置を検出し、補正手段は、前記予め定められた範囲の温度になるように制御された状態で、前記被露光面における集光位置を補正する
請求項6記載の露光描画装置。 - 前記補正手段は、前記ずれ量に基づいて、歪曲収差が減少する位置に前記集光位置が補正されるように前記被露光面に描画される画像の画像データを補正する
請求項1乃至7の何れか1項記載の露光描画装置。 - 前記補正手段は、前記ずれ量に基づいて、歪曲収差が減少するように、前記光学変調素子の複数の微小光学素子と前記被露光面に描画される画像の画像データの画素との対応関係を補正する
請求項1乃至7の何れか1項記載の露光描画装置。 - コンピュータを、請求項1乃至9の何れか1項記載の露光描画装置における取得手段及び補正手段として機能させるためのプログラム。
- 複数の微小光学素子を備え、前記複数の微小光学素子の各々が画素の各々に対応するように2次元状に配列された光学変調素子と、前記光学変調素子に照射する光を各々発光する複数の発光部を備え、発光光量が調整可能な光源と、前記光学変調素子と被露光面との間に配置され、前記被露光面に前記光学変調素子からの光を集光する集光光学系とを備えた露光描画装置における露光描画方法であって、
光量が前記被露光面を露光する場合の光量より多くなるように前記光源から照射される光量が調整された状態で、前記被露光面に相当する検出面において、前記複数の微小光学素子の各々からの光が集光する位置を検出する位置検出ステップと、
前記検出ステップの検出結果に基づいて、基準位置からの前記複数の微小光学素子からの光の集光位置のずれ量を取得する取得ステップと、
前記取得ステップで取得されたずれ量に基づいて、前記被露光面における集光位置を補正する補正ステップと、
を備えた露光描画方法。
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