JP2013195432A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013195432A5 JP2013195432A5 JP2013056864A JP2013056864A JP2013195432A5 JP 2013195432 A5 JP2013195432 A5 JP 2013195432A5 JP 2013056864 A JP2013056864 A JP 2013056864A JP 2013056864 A JP2013056864 A JP 2013056864A JP 2013195432 A5 JP2013195432 A5 JP 2013195432A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- track
- region
- measuring device
- position measuring
- extending
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102012204572A DE102012204572A1 (de) | 2012-03-22 | 2012-03-22 | Positionsmesseinrichtung und Anordnung mit einer derartigen Positionsmesseinrichtung |
| DE102012204572.4 | 2012-03-22 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013195432A JP2013195432A (ja) | 2013-09-30 |
| JP2013195432A5 true JP2013195432A5 (https=) | 2016-01-07 |
| JP6278605B2 JP6278605B2 (ja) | 2018-02-14 |
Family
ID=47827024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013056864A Active JP6278605B2 (ja) | 2012-03-22 | 2013-03-19 | 位置測定装置とこのような位置測定装置を備えた構造体 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9389065B2 (https=) |
| EP (1) | EP2642254B1 (https=) |
| JP (1) | JP6278605B2 (https=) |
| KR (1) | KR101864770B1 (https=) |
| CN (1) | CN103322910B (https=) |
| DE (1) | DE102012204572A1 (https=) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9389315B2 (en) | 2012-12-19 | 2016-07-12 | Basf Se | Detector comprising a transversal optical sensor for detecting a transversal position of a light beam from an object and a longitudinal optical sensor sensing a beam cross-section of the light beam in a sensor region |
| AU2014280332B2 (en) | 2013-06-13 | 2017-09-07 | Basf Se | Detector for optically detecting at least one object |
| US10353049B2 (en) | 2013-06-13 | 2019-07-16 | Basf Se | Detector for optically detecting an orientation of at least one object |
| JP6483127B2 (ja) | 2013-08-19 | 2019-03-13 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアBasf Se | 少なくとも1つの対象物の位置を求めるための検出器 |
| AU2014310703B2 (en) | 2013-08-19 | 2018-09-27 | Basf Se | Optical detector |
| WO2016005893A1 (en) | 2014-07-08 | 2016-01-14 | Basf Se | Detector for determining a position of at least one object |
| KR102452393B1 (ko) * | 2014-09-29 | 2022-10-11 | 바스프 에스이 | 적어도 하나의 물체의 포지션을 광학적으로 결정하기 위한 방법 및 검출기 및 이를 이용한 휴먼 머신 인터페이스, 엔터테인먼트 장치, 추적 시스템, 스캐닝 시스템, 입체 시스템 및 카메라 |
| US11125880B2 (en) | 2014-12-09 | 2021-09-21 | Basf Se | Optical detector |
| EP3251152B1 (en) | 2015-01-30 | 2023-08-16 | Trinamix GmbH | Detector for an optical detection of at least one object |
| WO2017012986A1 (en) | 2015-07-17 | 2017-01-26 | Trinamix Gmbh | Detector for optically detecting at least one object |
| JP6755316B2 (ja) | 2015-09-14 | 2020-09-16 | トリナミクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 少なくとも1つの物体の少なくとも1つの画像を記録するカメラ |
| KR102492134B1 (ko) | 2016-07-29 | 2023-01-27 | 트리나미엑스 게엠베하 | 광학 센서 및 광학적 검출용 검출기 |
| US11428787B2 (en) | 2016-10-25 | 2022-08-30 | Trinamix Gmbh | Detector for an optical detection of at least one object |
| JP2019532517A (ja) | 2016-10-25 | 2019-11-07 | トリナミクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 光学的に検出するための光検出器 |
| US11860292B2 (en) | 2016-11-17 | 2024-01-02 | Trinamix Gmbh | Detector and methods for authenticating at least one object |
| EP3542179B1 (en) | 2016-11-17 | 2021-03-24 | trinamiX GmbH | Detector for optically detecting at least one object |
| JP7204667B2 (ja) | 2017-04-20 | 2023-01-16 | トリナミクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 光検出器 |
| JP7237024B2 (ja) | 2017-06-26 | 2023-03-10 | トリナミクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 少なくとも1つの物体の位置を決定するための検出器 |
| JP7141313B2 (ja) * | 2018-11-06 | 2022-09-22 | Dmg森精機株式会社 | 変位検出装置 |
| CN111721210B (zh) * | 2020-06-19 | 2021-11-12 | 深圳市汉森软件有限公司 | 变换逻辑光栅分辨率后的初始化方法、装置、设备及介质 |
Family Cites Families (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08247790A (ja) * | 1995-03-10 | 1996-09-27 | Sefuto Kenkyusho:Kk | 位置検出装置 |
| DE19633337A1 (de) * | 1996-08-07 | 1998-02-12 | Harry Prof Dr Ing Trumpold | Positionsmeßsystem |
| JP4576014B2 (ja) * | 1999-12-21 | 2010-11-04 | オリンパス株式会社 | 光学式エンコーダー |
| CN1248058C (zh) * | 2000-09-14 | 2006-03-29 | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 | 位置测量装置 |
| US7102729B2 (en) * | 2004-02-03 | 2006-09-05 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, measurement system, and device manufacturing method |
| DE102005029917A1 (de) * | 2005-06-28 | 2007-01-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
| US7821626B2 (en) * | 2005-09-21 | 2010-10-26 | Panasonic Corporation | Angle measuring device and method |
| JP4932284B2 (ja) * | 2006-03-03 | 2012-05-16 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
| JP4601006B2 (ja) | 2006-09-29 | 2010-12-22 | 本田技研工業株式会社 | エアクリーナ装置 |
| JP2008108906A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Canon Inc | 位置決め装置 |
| DE102007035345A1 (de) * | 2006-11-20 | 2008-05-21 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
| JP5147368B2 (ja) * | 2006-11-20 | 2013-02-20 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | エンコーダ |
| DE102008008873A1 (de) * | 2007-05-16 | 2008-11-20 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
| US7804579B2 (en) * | 2007-06-21 | 2010-09-28 | Asml Netherlands B.V. | Control system, lithographic projection apparatus, method of controlling a support structure, and a computer program product |
| US8174671B2 (en) * | 2007-06-21 | 2012-05-08 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic projection apparatus and method for controlling a support structure |
| WO2009098891A1 (ja) * | 2008-02-08 | 2009-08-13 | Nikon Corporation | 位置計測システム及び位置計測方法、移動体装置、移動体駆動方法、露光装置及び露光方法、パターン形成装置、並びにデバイス製造方法 |
| KR20100041024A (ko) * | 2008-10-13 | 2010-04-22 | 한국표준과학연구원 | 2차원 회절 격자를 이용한 6 자유도 측정 장치 |
| JP4283878B2 (ja) | 2008-10-24 | 2009-06-24 | キヤノンアネルバ株式会社 | マグネトロンスパッタリング装置 |
| JP2010205867A (ja) * | 2009-03-03 | 2010-09-16 | Canon Inc | 位置検出装置及び露光装置 |
| KR101078781B1 (ko) * | 2010-02-01 | 2011-11-01 | 주식회사 고영테크놀러지 | 3차원 형상 검사방법 |
| JP5814339B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2015-11-17 | ザイゴ コーポレーションZygo Corporation | 干渉計エンコーダ・システム |
| JP5656467B2 (ja) * | 2010-06-17 | 2015-01-21 | Dmg森精機株式会社 | 位置検出装置 |
| JP5754971B2 (ja) * | 2011-02-14 | 2015-07-29 | キヤノン株式会社 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
| DE102012201393A1 (de) | 2012-02-01 | 2013-08-01 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung und Anordnung mit mehreren Positionsmesseinrichtungen |
-
2012
- 2012-03-22 DE DE102012204572A patent/DE102012204572A1/de not_active Withdrawn
-
2013
- 2013-03-06 EP EP13157956.7A patent/EP2642254B1/de active Active
- 2013-03-08 KR KR1020130025270A patent/KR101864770B1/ko active Active
- 2013-03-18 US US13/845,988 patent/US9389065B2/en active Active
- 2013-03-19 JP JP2013056864A patent/JP6278605B2/ja active Active
- 2013-03-22 CN CN201310093649.8A patent/CN103322910B/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2013195432A5 (https=) | ||
| JP2012199534A5 (https=) | ||
| JP2016046393A5 (https=) | ||
| JP2015046714A5 (https=) | ||
| CN302466316S (zh) | 摆闸(s2) | |
| CN302371365S (zh) | 摆闸(s1) | |
| CN302589852S (zh) | 抽油烟机(2) | |
| CN302509247S (zh) | 开罐器(1022) | |
| CN302509246S (zh) | 开罐器(1021) | |
| CN302487713S (zh) | 开罐器(1020) | |
| CN302350289S (zh) | 仪表板(w03 2) | |
| CN302371959S (zh) | 仪表板(w03 1) | |
| CN302371961S (zh) | 后门护板(w03) | |
| CN302490551S (zh) | 扣板(ls-a03金香) | |
| CN302527112S (zh) | 冰箱(202) | |
| CN302564725S (zh) | 牙刷(y013) | |
| CN302564702S (zh) | 牙刷(522) | |
| CN302564704S (zh) | 牙刷(518) | |
| CN302564715S (zh) | 牙刷(888) | |
| CN302564691S (zh) | 牙刷(512) | |
| CN302564701S (zh) | 牙刷(525) | |
| CN302350288S (zh) | 副仪表板(w03) | |
| CN302371960S (zh) | 前门护板(w03) | |
| CN302455257S (zh) | 仪表台(lck6127h世纪) | |
| CN302534825S (zh) | 巡逻车(双排) |