JP2013183044A - 磁気素子の製造方法及び磁気素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 長尺状の磁性部材である第1の磁性シート17の長手方向をY1−Y2方向に向け、第1のコイル12側に第1の磁性シート17を少なくともX1−X2方向の両側に位置する第1の取出電極層15及び第2の取出電極層16の一方から離れた状態として貼着する。また裏面にも第2のコイルがあり、第2のコイルを覆う長尺状の磁性部材である第2の磁性シート30についても第1の磁性シートと同じように貼着する。その後、各薄型インダクタ10ごとに絶縁基板を個片化する。
【選択図】 図6
Description
以下の工程を有することを特徴とするものである。
第1の方向に配列された複数の前記第1のコイルの夫々に電気的に接続される第1の取出電極層を、前記第1の方向と直交する第2の方向の片側に、前記絶縁基板の上面から下面にかけて形成し、第1の方向に配列された複数の前記第2のコイルの夫々に電気的に接続される第2の取出電極層を、前記第1の取出電極層の反対側に、前記絶縁基板の上面から下面にかけて形成する工程、
長尺状の第1の磁性部材の長手方向を前記第1の方向に向け、前記第1のコイル側に前記第1の磁性部材を少なくとも前記第1の取出電極層及び前記第2の取出電極層の一方から離れた状態として貼着する工程、
長尺状の第2の磁性部材の長手方向を前記第1の方向に向け、前記第2のコイル側に前記第2の磁性部材を少なくとも前記第1の取出電極層及び前記第2の取出電極層の一方から離れた状態として貼着する工程、
各磁気素子ごとに前記絶縁基板を個片化する工程。
フォトリソグラフィ技術を用いて、めっき層と前記第1の箔体を有してなる前記第1のコイルを形成し、めっき層と前記第2の箔体からなる前記第2のコイルを形成することが好ましい。
前記第1のコイルの上面側には少なくとも前記第1の取出電極層及び前記第2の取出電極層の一方から離れて前記第1の磁性シートが貼着されており、前記第2のコイルの下面側には少なくとも前記第1の取出電極層及び前記第2の取出電極層の一方から離れて前記第2の磁性シートが貼着されていることを特徴とするものである。本発明によれば、優れたインダクタンス及びQ値を有する磁気素子を構成できる。
なお、図1(a)(c)では、磁性シートを図示していない。
例えば、第1の箔体18、20は銅箔であり、第1のめっき層19及び第2のめっき層23は銅めっきである。
11 絶縁基板
11c、53 スルーホール
12 第1のコイル
13 第2のコイル
14 導通層
15 第1の取出電極層
15a 第1の側面部
16 第2の取出電極層
17 第1の磁性シート
19、23 めっき層
30 第2の磁性シート
31、32 接着部材
53 貫通孔
62 素子群
Claims (11)
- 以下の工程を有することを特徴とする磁気素子の製造方法。
複数の磁気素子に切断可能な絶縁基板を用意し、前記絶縁基板に形成された複数のスルーホールに対応する複数の第1のコイルを前記絶縁基板の上面に形成し、前記絶縁基板の下面に前記スルーホールを介して各第1のコイルと電気的に接続される複数の第2のコイルを形成する工程、
第1の方向に配列された複数の前記第1のコイルの夫々に電気的に接続される第1の取出電極層を、前記第1の方向と直交する第2の方向の片側に、前記絶縁基板の上面から下面にかけて形成し、第1の方向に配列された複数の前記第2のコイルの夫々に電気的に接続される第2の取出電極層を、前記第1の取出電極層の反対側に、前記絶縁基板の上面から下面にかけて形成する工程、
長尺状の第1の磁性部材の長手方向を前記第1の方向に向け、前記第1のコイル側に前記第1の磁性シートを少なくとも前記第1の取出電極層及び前記第2の取出電極層の一方から離れた状態として貼着する工程、
長尺状の第2の磁性部材の長手方向を前記第1の方向に向け、前記第2のコイル側に前記第2の磁性部材を少なくとも前記第1の取出電極層及び前記第2の取出電極層の一方から離れた状態として貼着する工程、
各磁気素子ごとに前記絶縁基板を個片化する工程。 - 前記第1の磁性部材及び前記第2の磁性部材の前記第1の方向の両端が、前記第1の取出電極層及び前記第2の取出電極層の少なくとも一方から離れているか否かを確認する請求項1記載の磁気素子の製造方法。
- 前記第1の磁性部材の長手方向と、前記第2の磁性部材の長手方向とが一致している請求項1又は2に記載の磁気素子の製造方法。
- 前記絶縁基板の各磁気素子となる領域の前記第2の方向の両側に夫々、前記第1の方向に延出する貫通孔を形成し、前記第1の取出電極層及び前記第2の取出電極層を夫々、各貫通孔を介して前記絶縁基板の上面から下面にかけて形成する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の磁気素子の製造方法。
- 前記第1の磁性部材及び前記第2の磁性部材は可撓性の絶縁シート上に磁性膜が形成された第1の磁性シート及び第2の磁性シートであり、接着部材を前記第1のコイル表面に塗布あるいは貼着した後、前記第1の磁性シートを貼着し、前記接着部材を前記第2のコイル表面に塗布あるいは貼着した後、前記第2の磁性シートを貼着する請求項1ないし4のいずれか1項の磁気素子の製造方法。
- 前記第1の磁性部材及び第2の磁性部材は可撓性の絶縁シート上に磁性膜が形成された第1の磁性シート及び第2の磁性シートであり、前記絶縁シートには前記磁性膜が形成された面とは反対の面に粘着部材からなる粘着層が設けられており、前記第1の磁性シート及び前記第2の磁性シートを、前記粘着層を介して前記第1のコイル及び前記第2のコイルの表面に貼着する請求項1ないし5のいずれかに記載の磁気素子の製造方法。
- 前記スルーホールにめっきによる導通層を形成し、前記導通層に連続する第1のコイル及び前記第2のコイルをめっき形成する請求項1ないし6のいずれか1項に記載の磁気素子の製造方法。
- 前記第1のコイルから連続して前記第1の取出電極層をめっき形成し、前記第2のコイルから連続して前記第2の取出電極層をめっき形成する請求項7記載の磁気素子の製造方法。
- 上面に第1の箔体が形成され、下面に第2の箔体が形成された絶縁基板を用意し、
フォトリソグラフィ技術を用いて、めっき層と前記第1の箔体を有してなる前記第1のコイルを形成し、めっき層と前記第2の箔体からなる前記第2のコイルを形成する請求項7又は8に記載の磁気素子の製造方法。 - 前記第1の磁性部材、前記第2の磁性部材及び前記絶縁基板を一緒に切断し、これにより各磁気素子の側面に前記第1の磁性部材、前記第2の磁性部材及び前記絶縁基板の各側面が同一面にて現れる請求項1ないし9のいずれか1項に記載の磁気素子の製造方法。
- 請求項1ないし10のいずれか1項に記載された磁気素子の製造方法を用いて、前記絶縁基板の上面に前記第1のコイルが形成され、前記絶縁基板の下面に前記スルーホールを介して前記第1のコイルと電気的に接続された第2のコイルが形成され、前記第2の方向の片側の側部に前記第1のコイルと電気的に接続された前記第1の取出電極層が前記上面から前記下面にかけて形成され、前記第1の取出電極層に対して反対側の側部に前記第2のコイルと電気的に接続された前記第2の取出電極層が前記上面から前記下面にかけて形成されており、
前記第1のコイルの上面側には少なくとも前記第1の取出電極層及び前記第2の取出電極層の一方から離れて前記第1の磁性部材が貼着されており、前記第2のコイルの下面側には少なくとも前記第1の取出電極層及び前記第2の取出電極層の一方から離れて前記第2の磁性部材が貼着されていることを特徴とする磁気素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP6028257B2 JP6028257B2 (ja) | 2016-11-16 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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