JP2013173652A - 自立基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】自立基板の製造方法は、ベース基板10上に、ベース基板10とは熱膨張係数が相異するIII-V族化合物半導体を層状に結晶成長させ、その後、冷却によりそれらの熱膨張係数の相異に基づいてIII-V族化合物半導体の層20内に横方向に断裂を生じさせ、そして、それによってベース基板10から分離したIII-V族化合物半導体の層20の部分21を自立基板として回収するものである。ベース基板10上に結晶成長させるIII-V族化合物半導体の層20の厚さを、ベース基板10の厚さの1.5倍以上とする。
【選択図】図1
Description
具体的には、好ましくは50μm以上、より好ましくは400μm以上、さらに好ましくは500μm以上であり、結晶成長後の半導体層20の厚さに対する利用率は好ましくは60%以上、より好ましくは70%以上、さらに好ましくは80%以上である。ベース基板10に残存した半導体層20の部分22の厚さは薄いことが好ましく、具体的には、好ましくは250μm以下、より好ましくは200μm以下、さらに好ましくは150μm以下であり、結晶成長後の半導体層20の厚さに対する残存率は好ましくは40%以下、より好ましくは30%以下、さらに好ましくは20%以下である。
厚さ440μm及びサイズ2インチの主面がc面であるベース基板としてのサファイア基板の表面に厚さ2.9μmのGaN層が積層されたエピウエハーを準備した。そして、それを用いて、サファイア基板の厚さが440μmの実施例1、並びにグラインダーによる研削によりサファイア基板の厚さを339μmにした実施例2、サファイア基板の厚さを230μmにした実施例3、及びサファイア基板の厚さを177μmにした実施例4を作製した。
図3は、実施例1〜4の結果に基づいたサファイア基板に対するGaN層の厚さの比とGaN層の利用率及び残存率との関係を示す。図4は、サファイア基板の厚さとGaN層の利用率及び残存率との関係を示す。
サファイア基板とその上に成長したGaN層とのバイメタルモデルに基づいて、サファイア基板を内側にして曲げたときの外側面の曲率半径とGaN層の厚さとの関係を、サファイア基板の厚さが440μm、339μm、230μm、及び177μmのそれぞれの場合について下記式に基づいて求めた(参考文献:Z. Feng, H. Liu, J. Appl. Phys. 54 (1983) 83.)。
実施例1において、自立基板を採取した後の厚さ213μmのGaN層が残存した厚さ440μmのサファイア基板を、実施例1と同様に再びHVPE装置にセットし、同様の結晶成長条件において440μmのGaN層を結晶成長させた。
20 III-V族化合物半導体の層(半導体層)
21 ベース基板から分離した部分
22 ベース基板に残存した部分
Claims (6)
- ベース基板上に、該ベース基板とは熱膨張係数が相異するIII-V族化合物半導体を層状に結晶成長させ、その後、冷却によりそれらの熱膨張係数の相異に基づいて該III-V族化合物半導体の層内に横方向に断裂を生じさせ、そして、それによって該ベース基板から分離した該III-V族化合物半導体の層の部分を自立基板として回収する自立基板の製造方法であって、
上記ベース基板上に結晶成長させる上記III-V族化合物半導体の層の厚さを、該ベース基板の厚さの1.5倍以上とする自立基板の製造方法。 - 請求項1に記載された自立基板の製造方法において、
上記ベース基板がサファイア基板である自立基板の製造方法。 - 請求項1又は2に記載された自立基板の製造方法において、
上記III-V族化合物半導体がGaNである自立基板の製造方法。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載された自立基板の製造方法において、
上記ベース基板の厚さが2mm以下である自立基板の製造方法。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載された自立基板の製造方法において、
上記ベース基板の表面から直接上記III-V族化合物半導体を結晶成長させる自立基板の製造方法。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載された自立基板の製造方法において、
上記ベース基板から分離したIII-V族化合物半導体の層の部分の厚さが、結晶成長後のIII-V族化合物半導体の層の厚さの60%以上である自立基板の製造方法。
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