JP2013172155A - 半導体装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】PMOSトランジスタのNBTIを解消するためのイネーブル信号のレベルを適切に制御することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】入力ノードINは、通常動作時にはハイレベルまたはロウレベルとなり、待機時にはハイレベルに固定される入力信号を受ける。検知部10は、入力ノードINの信号を受けて、イネーブル信号を出力する。検知部10は、入力ノードが所定の期間ハイレベルであることを検知するとイネーブル信号をロウレベルに設定する。信号伝達部12は、PチャネルMOSトランジスタを含み、イネーブル信号による制御に従って、入力ノードINに入力された信号を伝達する。
【選択図】図2

Description

本発明は、半導体装置に関する。
PチャネルMOSトランジスタを含む論理回路を順次介して伝送されるパルス波形がNBTI(Negative Bias Temperature Instability)によって劣化することが知られている。
NBTIとは、PMOSトランジスタに負のゲートバイアスを継続的に印加することによって、PMOSトランジスタの閾値が変動することをいう。
たとえば、特許文献1(特開2006−33058号公報)には、2入力NAND回路をクロックゲーティングに適用した実施形態が記載されている。この実施形態では、2入力NAND回路の一方の入力をHに固定することや、NBTIの影響を受けるNAND回路内のPMOSを2つに分割し、その影響を分散させることが記載されている。
特許文献2(特開2006−74746号公報)に記載された半導体装置は、所定の機能を有して所要の出力信号を出力する第1の半導体集積回路と、タイミングをずらした複数のゲート信号に応じて互いに独立に導通状態・非導通状態が切り替わる複数のMOS素子を有して、複数のMOS素子が第1の半導体集積回路の出力または入力に対して並列接続された第2の半導体集積回路とを備える。この半導体装置は、さらに第2の半導体集積回路における複数のMOS素子に対して、タイミングをずらした複数のゲート信号を生成出力するパルス発生回路を備える。
特開2006−33058号公報 特開2006−74746号公報
ところで、シリアルインタフェース回路には、シリアルクロックが停止した場合に、PMOSトランジスタにおいて負のゲートバイアスが継続的に印加される問題が知られている。これに対して、特許文献1および特許文献2に記載されているように、NAND回路をカスケード接続し、入力の一方にはクロック信号を入力し、他方にはイネーブル信号を印加する回路方式を用いることができる。
しかしながら、PMOSトランジスタのNBTIを解消するためのイネーブル信号のレベルをどのように制御するかについて記載されていない。
本発明の一実施形態の半導体装置は、通常動作時にはハイレベルまたはロウレベルとなり、待機時にはハイレベルに固定される入力信号を受ける入力ノードと、入力ノードが所定の期間ハイレベルであることを検知するとイネーブル信号をロウレベルに設定する検知部と、PチャネルMOSトランジスタを含み、イネーブル信号による制御に従って、入力ノードに入力された信号を伝達する信号伝達部とを備える。
本発明の一実施形態の半導体装置によれば、PMOSトランジスタのNBTIを解消するためのイネーブル信号のレベルを適切に設定することができる。
本発明の実施形態の半導体装置の構成を表わす図である。 第1の実施形態におけるシリアルインタフェース回路SCIOに含まれるデジタル回路の構成を表わす図である。 デジタル回路の参考例を表わす図である。 図3のNAND回路11_1の構成を表わす図である。 第1の実施形態の動作を説明するためのタイミング図である。 第2の実施形態におけるシリアルインタフェース回路SCIOに含まれるデジタル回路の構成を表わす図である。 第2の実施形態の動作を説明するためのタイミング図である。 第3の実施形態におけるシリアルインタフェース回路SCIOに含まれるデジタル回路の構成を表わす図である。 第3の実施形態の動作を説明するためのタイミング図である。 基準電圧発生回路の変形例を表わす図である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
[第1の実施形態]
図1は、本発明の実施形態の半導体装置の構成を表わす図である。
図1を参照して、半導体装置200は、中央処理装置CPUと、メモリ52と、データやアドレスを転送するバス51と、データ転送部(ダイレクトメモリアクセスコントローラ)DMACと、アナログ・デジタル変換部ADCと、割込コントローラINTCと、シリアルインタフェース回路SCIOと、システムコントローラSYSCと、クロック回路56と、電源回路54と、電圧検出部55とを含む。
メモリ52は、フラッシュメモリ53と、ROM(Read Only Memory)60と、RAM(Random Access Memory)61とを含む。メモリ52は、データおよびプログラムを格納する。
中央処理装置CPUは、メモリ52に格納されているプログラムを順次実行し、半導体装置200全体の動作制御を行なう。
シリアルインタフェース回路SCIOは、外部から入力されたデータをメモリ52に格納する。シリアルインタフェース回路SCIOは、外部からシリアルクロックSCLKと、シリアルデータSDATAとを受ける。
アナログ・デジタル変換部(ADC)は、外部から入力されたアナログ信号をデジタル値に変換し、メモリ52に格納する。
データ転送部DMACは、シリアルインタフェース回路SCIOやアナログ・デジタル変換部ADCのデジタルデータをメモリ52に格納する際に、バス51を経由したデータ転送を制御する。
割込コントローラINTCは、外部または内部の機能部が発行する割込信号を受けて、中央処理装置CPUに対する割込を発行させる。中央処理装置CPUは、割込内容に応じた処理を行なう。
クロック回路56は、複数のクロックソースを含む。クロック回路26は、システムクロックSYSCLKを発生させて、半導体装置200の各機能部に供給する。
電源回路54は、外部供給電圧VCCを降圧して内部動作電圧VDDなどを生成して、半導体装置200内の各構成要素へ供給する。
電圧検出部55は、外部供給電圧VCCの電圧変化に応じてパワーオンリセット動作の契機となるリセット信号を生成するパワーオンリセット回路PORと、外部供給電圧VCCの電圧低下に応じて割込み信号またはリセット信号を生成する電圧低下検出回路LVDとを有する。
システムコントローラSYSCは、半導体装置200全体の動作を制御する。システムコントローラSYSCは、中央処理装置CPUを含む半導体装置200内の各機能ブロック(すなわち負荷回路)へのクロックおよび電源の供給を制御する。
図2は、第1の実施形態におけるシリアルインタフェース回路SCIOに含まれるデジタル回路の構成を表わす図である。図3は、デジタル回路の参考例を表わす図である。まず、図3の参考例について説明する。
図3を参照して、信号伝達部91は、複数段のインバータIV1〜IV4を備え、シリアルクロックSCLKを順次遅延させる。データパス部189は、複数段のフリップフロップ13_1〜13_2を備え、シリアルデータSDATAを伝送する。
インバータIV1から出力される信号は、フリップフロップ13_1のクロック端子に入力され、インバータIV2から出力される信号は、フリップフロップ13_2のクロック端子に入力される。
スタンバイ時に、シリアルクロックSCLKが「H」レベルを長時間維持すると、PチャネルMOSトランジスタP11にNBTIが発生する。具体的には、PチャネルMOSトランジスタP11の閾値が上昇する。PチャネルMOSトランジスタP11にNBTIが発生すると、インバータIV2から出力されるクロックのdutyが劣化する。その結果、duty比が劣化したクロックが後段に伝送されていく。
PチャネルMOSトランジスタP14にNBTIが発生すると、インバータIV4から出力されるクロックのdutyがさらに劣化する。その結果、duty比がさらに劣化したクロックが後段に伝送されていく。
このようにして、複数段のインバータで構成される信号伝達部91において、後段に配置されたインバータほど、出力されるクロックのdutyが劣化する。その結果、データパス部189において、後段のフリップフロップほど、setupマージンが減少する。
図2を参照して、このデジタル回路は、入力ノードINと、検知部10と、信号伝達部78と、データパス部14とを備える。
データパス部14は、信号伝達部78から出力されるクロックに従って、シリアルデータSDATAを外部へ出力する。データパス部189は、複数段のフリップフロップ13_1〜13_Nを備え、シリアルデータSDATAを伝送する。
入力ノードINは、シリアルクロックSCLKを入力信号として受ける。シリアルクロックSCLKは、スタンバイ時には「H」レベルに固定される。
信号伝達部91は、複数段のNAND回路11−1〜11_Nを備え、検知部10から出力されるイネーブル信号ENによる制御に従って、シリアルクロックSCLKを順次遅延させて伝達する。
NAND回路11_1の一方の入力端子は、入力ノードINと接続される。NAND回路11_1の他方の入力端子は、イネーブル信号ENを受ける。NAND回路11_1は、イネーブル信号ENが「L」レベルのときには、シリアルクロックSCLKのレベルに係らず、常に「H」レベルを出力する。
NAND回路11_2の一方の入力端子は、NAND回路11_1の出力と接続される。NAND回路11_2の他方の入力端子は、イネーブル信号ENを受ける。NAND回路11_2は、イネーブル信号ENが「L」レベルのときには、シリアルクロックSCLKのレベルに係らず、常に「H」レベルを出力する。
NAND回路11_3〜NAND回路11_Nの動作も、同様である。
図4は、図3のNAND回路11_1の構成を表わす図である。NAND回路11_2〜11_Nもこれと同様である。
NAND回路は、PチャネルMOSトランジスタP1,P2と、NチャネルMOSトランジスタN1,N2とを含む。
NチャネルMOSトランジスタN2とPチャネルMOSトランジスタP2とが、シリアルクロックSCLKを受ける。スタンバイ時のシリアルクロックSCLKのレベルが「H」レベルであるため、PチャネルMOSトランジスタP2は、NBTIを発生しない。
NAND回路11_2〜11_Nにおいても、1つ前段のNAND回路から出力される信号が「H」レベルとなるため、NAND回路11_2〜11_NにおけるPチャネルMOSトランジスタP2は、NBTIを発生しない。
NチャネルMOSトランジスタN1とPチャネルMOSトランジスタP1とが、イネーブル信号ENを受ける。スタンバイ時にイネーブル信号ENが「L」レベルとなると、PチャネルMOSトランジスタP1は、NBTIを発生する。しかし、信号伝播時、すなわちシリアルクロックSCLKのレベルが変化するときには、PチャネルMOSトランジスタP1は、動作しないため波形劣化の要因とはならない。
再び、図2を参照して、検知部10は、入力ノードINからシリアルクロックSCLKを受ける。検知部10は、シリアルクロックSCLKが所定の期間Hレベルであることを検知するとイネーブル信号ENをLレベルに設定する。
検知部10は、システムクロックSYSCLKに基づいて、シフト動作するシフトレジスタで構成される。シフトレジスタは、オーバーフローすることによってイネーブル信号ENを「L」レベルに設定する。シフトレジスタは、シリアルクロックSYSCLKのレベルが「L」レベルとなるとシフト動作をリセットする。
具体的には、検知部10は、入力ノードINと接続するインバータ31と、複数段のD型フリップフロップ12_1〜12_Mを含む。上記所定の期間は、システムクロックSYSCLKの周波数×D型フリップフロップ12_1〜12_Mの個数Mである。
各D型フリップフロップ12_1〜12_Mのセット端子Setは、インバータ31の出力と接続し、シリアルクロックSCLKに応じてレベルが変化する。
各D型フリップフロップ12_1〜12_Mのクロック端子には、システムクロックSYSCLKが入力される。
第1段のD型フリップフロップ12_1の入力端子は、固定の「L」レベルの信号を受ける。第2段以降のD型フリップフロップ12_2〜12_Mの入力端子は、前段のD型フリップフロップの出力を受ける。最終段のD型フリップフロップ12_Mからイネーブル信号ENが出力される。
図5は、第1の実施形態の動作を説明するためのタイミング図である。
通常動作時において、シリアルクロックSCLKが「H」レベルと「L」レベルの変化を繰り返すと、D型フリップフロップ12_1〜12_Mのセット端子Setのレベルが「H」レベルと「L」レベルの変化を繰り返す。その結果、イネーブル信号ENは「H」レベルを維持する。一方、シリアルクロックSCLKが「H」レベルと「L」レベルの変化を繰り返すと、信号伝達部91内の複数段のNAND回路11−1〜11_Nの一方の入力端子のレベルは「H」レベルと「L」レベルの変化を繰り返す。その結果、NAND回路11_1〜11_Nを構成するPMOSトランジスタP2は、NBTIを発生しない。
スタンバイ時において、シリアルクロックSCLKが「H」レベルに固定されると、D型フリップフロップ12_1〜12_Mのセット端子Setのレベルが「L」レベルを維持する。セット端子Setのレベルが「L」レベルを所定時間維持すると、イネーブル信号ENが「L」レベルとなる。その結果、信号伝達部91内の複数段のNAND回路11−1〜11_Nの他方の入力端子のレベルが「L」レベルとなる。その結果、複数段のNAND回路11−1〜11_Nは、すべて「H」レベルを出力し、NAND回路11_1〜11_Nを構成するPMOSトランジスタP2は、NBTIを発生しなくなる。
以上のように、本実施の形態によれば、信号伝達部を複数段のNAND回路で構成し、シリアルクロックSCLKが「H」レベルを維持する期間が所定時間を超えると、NAND回路の他方の入力端子を「L」レベルとする。これにより、NAND回路を構成する信号伝達用PMOSトランジスタのNBTIを回避することができる。
また、検知部に入力されるシステムクロックSYSCLKは、シリアルクロックSCLKよりも十分遅くてよいので、検知部の消費電力を削減できる。
[第2の実施形態]
図6は、第2の実施形態におけるシリアルインタフェース回路SCIOに含まれるデジタル回路の構成を表わす図である。
このデジタル回路が、第1の実施形態のデジタル回路と相違する点は、検知部110である。この検知部110は、本実施の形態では定電流源とキャパシタによる時定数回路で構成される。
具体的には、検知部110は、シリアルクロックSCLKのDuty比に応じて、電荷蓄積量が変化する充電部89と、充電部89の電荷蓄積量が所定の閾値を超えるか否かに基づいて、イネーブル信号ENのレベルを設定する出力部88とを含む。
充電部89は、インバータ22と、定電流源21と、NMOSトランジスタN3と、容量素子24とを含む。
インバータ22は、シリアルクロックSCLKを受ける。定電流源21は、ノードND1に電流を供給する。NMOSトランジスタN3は、ノードND1とグランドとの間に設けられ、ゲートにシリアルクロックSCLKを受け、シリアルクロックSCLKに応じてON/OFFが制御される。
容量素子24は、ノードND1と、グランドとの間に設けられる。
出力部88は、ノードND1の電圧を受けるインバータ23を含む。インバータ23は、ノードND1の電圧がインバータの論理閾値を超える場合に、Lレベルのイネーブル信号ENを出力する。インバータは、ノードND1の電圧がインバータ23の論理閾値以下の場合に、Hレベルのイネーブル信号ENを出力する。
図7は、第2の実施形態の動作を説明するためのタイミング図である。
通常動作時において、シリアルクロックSCLKが「H」レベルと「L」レベルの変化を繰り返すと、NチャネルMOSトランジスタN3は、オンとオフを繰り返す。これによって、容量素子24は充放電を繰返し、ノードND1の電位の増加は、観察できる程度にまで上昇しない。したがって、ノードND1の電位は、インバータ23の論理閾値Vthを越えず、イネーブル信号ENは「H」レベルである。
スタンバイ時において、シリアルクロックSCLKが「H」レベルに固定された場合には、インバータ22によって、NチャネルMOSトランジスタがオフとなる。その結果、定電流源21から出力される電流は、ノードND1を介して容量素子24へ流れ込み、容量素子24が充電される。容量素子24への電荷の充電が進むほど、ノードND1の電位が増加する。シリアルクロックSCLKが「H」レベルに固定される期間が所定時間を越えて、ノードND1の電位がインバータ23の論理閾値Vthを越えたときに、イネーブル信号が「L」レベルとなる。
以上のように、本実施の形態では、第1の実施形態と同様に、シリアルクロックSCLKが「H」レベルを維持する期間が所定時間を超えると、NAND回路の他方の入力端子を「L」レベルとなり、NAND回路を構成する信号伝達用PMOSトランジスタのNBTIを回避することができる。
また、本実施の形態では、システムクロックSYSCLKを必要としないので、さらに低消費電力化が可能となる。なお、第1の実施形態の検知部10と第2の実施形態の検知部110の両方を備えることとしてもよい。この場合、第1の実施形態の検知部10から出力されるイネーブル信号ENと、第2の実施形態の検知部110から出力されるイネーブル信号の論理和を出力するOR回路を設け、OR回路の出力を信号伝達部に供給するようにすればよい。
[第3の実施形態]
図8は、第3の実施形態におけるシリアルインタフェース回路SCIOに含まれるデジタル回路の構成を表わす図である。
このデジタル回路が、第1の実施形態のデジタル回路と相違する点は、補正回路41を備える点と、信号伝達部92である。
信号伝達部92は、第1の実施形態の参考例で説明したように、入力ノードINに入力されたシリアルクロックSCLKを伝達する複数段のインバータIV1〜IVNで構成される。第1の実施形態の参考例で説明したように、シリアルクロックSCLKが「H」レベルを長時間維持すると、偶数段のPチャネルMOSトランジスタP11、P13、・・・に長時間「L」レベルの電圧が与えられ、NBTIを発生する。
この問題を解決するのが、補正回路41である。補正回路41は、最終段のインバータIVNから出力される信号のDuty比に応じて、NBTIを発生するPチャネルMOSトランジスタP11、P13、・・・のバックゲートを制御することによって、偶数段のインバータを構成するPチャネルMOSトランジスタP11、P13、・・・の閾値を制御する。
具体的には、補正回路41は、抵抗分割で構成される基準電圧発生回路47と、フィルタ83と、入力がフィルタ83および基準電圧発生回路47と接続され、出力が偶数段のインバータを構成するPMOSトランジスタP11、P13、・・・のバックゲートと接続される差動アンプ46で構成される。
基準電圧発生回路47は、VDD電源端子とグランドとの間に直列に接続された抵抗R1および抵抗R2とを含む。抵抗R1と抵抗R2との間のノードND2の基準電圧Vref(=VDD/2)は、差動アンプ46の負の入力端子に入力される。
フィルタ83は、ノードND5と信号伝達部92の最終段のインバータIVNの出力との間に設けられる抵抗R1と、ノードND5とグランドとの間に設けられる容量素子C11とを備える。フィルタ83によって、ノードND5は、最終段のインバータIVNの出力電圧OUTを積分した電圧となる。ノードND5の電位は、差動アンプ46の正の入力端子に入力される。
差動アンプ46は、ノードND5の電圧と、ノードND2の基準電圧Vrefとの差を増幅して、増幅された電圧をPMOSトランジスタP11、P13、・・・のバックゲートに与える。つまり、差動アンプ46は、ノードND5の電圧と基準電圧Vrefとが等しくなるように、PMOSトランジスタP11、P13、・・・のバックゲートに与える電圧を制御する。
シリアルクロックSCLKのDutyが崩れると、ノードND5の電圧が基準電圧Vrefよりも小さくなる。その結果、PチャネルMOSトランジスタP11、P13、・・・のバックゲートに接続する差動アンプ46の出力ノードND3の電圧が小さくなる。これにより、NBTIによって増加した偶数段のインバータを構成するPチャネルMOSトランジスタP11、P13、・・・の閾値Vthを減少させる。
図9は、第3の実施形態の動作を説明するためのタイミング図である。
スタンバイ時において、シリアルクロックSCLKが「L」レベルを長時間維持すると、偶数段のインバータを構成するPチャネルMOSトランジスタP11、P13、・・・に長時間「L」レベルの電圧が与えられ、NBTIを発生する。その結果、インバータIVNの電圧OUTのDuty比が劣化する。このとき、ノードND5の電圧が基準電圧Vref(VDD/2)よりも小さくなる。その結果、差動アンプ46の出力ノードND3の電位は、減少する。ノードND3は、PMOSトランジスタP11、P13、・・・のバックゲートに接続されているので、PMOSトランジスタP11、P13、・・・の閾値Vthを減少させる。その結果、NBTIによって増加したPMOSトランジスタP11、P13、・・・の閾値Vthをもとに戻すことができる。
以上のように、本実施の形態では、スタンバイ時に、信号伝達部のインバータを構成するPMOSトランジスタの閾値が増加して、NBTIを発生した場合に、これらのPMOSトランジスタの閾値を減少させることによって、NBTIの発生を停止することができる。
なお、本実施の形態では、基準電圧発生回路47は、抵抗分圧型としたが、これに限定するものではなく、図10に示すように論理閾値発生型であってもよい。
また、本実施の形態では、補正回路は、スタンバイ時にシリアルクロックSCLKが
「H」レベルとなるので、最終段のインバータから出力される信号のDuty比に応じて、複数段のインバータのうちの偶数段のインバータを構成するPMOSトランジスタのバックゲート電圧を制御することとした。スタンバイ時にシリアルクロックSCLKが「L」レベルと場合には、補正回路は、最終段のインバータから出力される信号のDuty比に応じて、複数段のインバータのうちの奇数段のインバータを構成するPMOSトランジスタのバックゲート電圧を制御することとすることができる。
また、本実施の形態では、信号伝達部は、複数段のインバータで構成されるものとしたが、第1および第2の実施形態のように、信号伝達部を複数段のNAND回路で構成することとしてもよい。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
10,110 検知部、11_1〜11_N NAND回路、12_1〜12_M,13_1〜13_N フリップフロップ、14,189 データパス部、21 定電流源、22,23,31 IV1〜IV4,IVN インバータ、24 容量素子、78,91,92 信号伝達部、41 補正回路、46 差動アンプ、47 基準電圧発生回路、83 フィルタ、51 バス、52 メモリ、54 電源回路、55 電圧検出部、56 クロック回路、88 出力部、89 充電部、200 半導体装置、CPU 中央処理装置、DMAC データ転送部、ADC アナログ・デジタル変換部、INTC 割込コントローラ、SCIO シリアルインタフェース回路、SYSC システムコントローラ、P1,P2,P10〜P14,P1n PチャネルMOSトランジスタ、N1,N2,N3,N10〜N14,N1n NチャネルMOSトランジスタ、R11,R12,R13 抵抗素子、C11 容量素子、IN 入力ノード。

Claims (9)

  1. 通常動作時にはハイレベルまたはロウレベルとなり、待機時にはハイレベルに固定される入力信号を受ける入力ノードと、
    前記入力ノードが所定の期間ハイレベルであることを検知するとイネーブル信号をロウレベルに設定する検知部と、
    PチャネルMOSトランジスタを含み、前記イネーブル信号による制御に従って、前記入力ノードに入力された信号を伝達する信号伝達部とを備える、半導体装置。
  2. 前記信号伝達部は、
    前記入力ノードに一方の入力が接続され、前記検知部の出力に他方の入力が接続される第1のNAND回路と、
    前記第1のNAND回路の出力に一方の入力に接続され、前記検知部の出力に他方の入力が接続される第2のNAND回路とを有する、請求項1記載の半導体装置。
  3. 前記入力信号は、前記半導体装置の外部から入力される第1のクロックであり、待機時には、ハイレベルとなる、請求項2記載の半導体装置。
  4. 前記検知部は、第2のクロックに基づいて、シフト動作するシフトレジスタで構成され、前記シフトレジスタは、オーバーフローすることによって前記イネーブル信号をロウレベルに設定し、前記入力信号のレベルがロウレベルとなるとシフト動作をリセットする、請求項3記載の半導体装置。
  5. 前記検知部は、複数段のフリップフロップを含み、
    各フリップフロップのセット端子は、前記入力信号に応じてレベルが変化し、
    各フリップフロップのクロック端子には、前記第2のクロックが入力され、
    第1段のフリップフロップの入力端子は、固定レベルの信号を受け、
    第2段以降のフリップフロップの入力端子は、前段のフリップフロップの出力を受け、
    最終段のフリップフロップから前記イネーブル信号が出力される、請求項4記載の半導体装置。
  6. 前記第2のクロックの周波数は、前記第1のクロックの周波数よりも小さい、請求項4記載の半導体装置。
  7. 前記検知部は、
    前記入力ノードに入力される第1のクロックのDuty比に応じて、電荷蓄積量が変化する充電部と、
    前記充電部の電荷蓄積量が所定の閾値を超えるか否かに基づいて、前記イネーブル信号のレベルを設定する出力部とを含む、請求項3記載の半導体装置。
  8. 前記充電部は、
    第1のノードに電流を供給する定電流源と、
    前記第1のノードとグランドとの間に設けられ、前記第1のクロックに応じてオン/オフが制御されるMOSトランジスタと、
    前記第1のノードと、グランドとの間に設けられた容量素子とを含み、
    前記出力部は、前記第1のノードの電圧を受けるインバータを含み、前記所定の閾値は、前記インバータの論理閾値である、請求項7記載の半導体装置。
  9. 前記信号伝達部は、前記入力ノードに入力された信号を伝達する複数段のインバータからなり、
    前記半導体装置は、さらに、
    最終段のインバータから出力される信号のDuty比に応じて、前記複数段のインバータのうちの偶数段のインバータを構成するPMOSトランジスタのバックゲート電圧を制御する補正回路を備える、請求項1記載の半導体装置。
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