JP2013172029A - リペア装置及びリペア方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】回路基板への負荷を低減させながら、回路基板から電子部品を取り外すことができるリペア装置及びリペア方法を提供する。
【解決手段】リペア装置1は、回路基板10に半田付けされた電子部品11の半田付け部分に過熱水蒸気14を噴き付ける第1の過熱水蒸気発生部16を有し、過熱水蒸気14によって半田15を溶融させる半田溶融部4と、半田溶融部4によって半田15が溶融した状態で、回路基板10から電子部品11を取り外す電子部品除去部5とを備える。
【選択図】図2

Description

本発明は、回路基板に半田付けされた電子部品の半田部分を溶融して回路基板から電子部品を取り外すリペア装置及びリペア方法に関する。
回路基板(プリント配線板)には、抵抗、コンデンサ、集積回路等様々な電子部品が搭載され、電子回路を形成している。これら部品の中には、不具合のある部品が発見されることがある。特に、集積回路には、予め設計されたプログラムが組み込まれており、バグと言われるプログラム上の不具合が回路基板を生産し終わってから発見されることがある。
生産し終わった回路基板の部品に不具合が発見された場合には、不具合のある部品を正常な部品に交換する作業が必要となる。この交換作業は、現状では、人手によって行われていることが多い。特に、回路基板に半田で固定された不具合のある部品を回路基板から取り外す作業は、難易度が高く、また、回路基板に負荷を与えるため二次的な不具合を招くおそれがある。そのため、回路基板に半田で固定された不具合のある部品を回路基板から取り外す作業は、半田付け教育訓練をした熟練作業者によって行われていることが多い。
短期間に大量の交換作業を処理するには、半田付け教育訓練をした熟練作業者を常に養成し、それら熟練作業者を中心としてライン編成を行い対応すればよい。
しかし、作業の難易度が高いことから二次的な不具合、作業効率が上がらないなど様々な問題が生じる。このことが、工場や各事業所の生産効率を落とす要因となる。
そこで、熱媒体として溶融半田、加熱エアー、加熱窒素等を用いて、人手によらず、不具合のある部品を正常な部品に交換する方法が提案されている。(例えば、特許文献1を参照)。
しかし、溶融半田は、回路基板に対する熱負荷が大きく、不具合部品を固定している半田を溶融させる際に回路基板を破損するおそれがある。また、加熱エアーや加熱窒素は、熱量が小さく、熱容量の大きな部品を固定している半田を溶融させるには、固定している半田部分を長時間その雰囲気中に置く必要があるため、回路基板を破損するおそれがあり、熱媒体として不向きである。
特開2010−103319号公報
本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、回路基板への負荷を低減させながら、回路基板から電子部品を取り外すことができるリペア装置及びリペア方法を提供することを目的とする。
本発明者は、鋭意検討の結果、溶融半田のように熱量が大きく、且つ、加熱エアー等のように回路基板への熱負荷が少ない熱媒体として、過熱水蒸気が好適であることを見出して本発明を完成させるに至った。
本発明に係るリペア装置は、回路基板に半田付けされた電子部品の半田付け部分に過熱水蒸気を噴き付ける第1の過熱水蒸気発生部を有し、過熱水蒸気によって半田を溶融させる半田溶融部と、半田溶融部によって半田が溶融した状態で、回路基板から電子部品を取り外す電子部品除去部とを備える。
本発明に係るリペア方法は、回路基板に半田付けされた電子部品の半田付け部分に過熱水蒸気を噴き付けることによって、半田を溶融させる半田溶融工程と、半田が溶融した状態で、回路基板から電子部品を取り外す電子部品除去工程とを有する。
本発明によれば、大きな熱量を持ち、且つ、回路基板への熱負荷が少ない過熱水蒸気を熱媒体として用いることにより、熱容量の大きな部品を固定している半田を溶融させる際に、過熱水蒸気の雰囲気中に半田部分を長時間置く必要がないため、回路基板への負荷を低減させながら、回路基板から電子部品を取り外すことができる。
リペア装置の一例を示すブロック図である。 (A)及び(B)は、リペア装置の半田溶融部及び電子部品除去部の一例を示す図であり、(C)は、リペア装置の半田除去部の一例を示す図である。 半田溶融部の一例を示す図である。 リペア方法の一例を説明するためのフローチャートである。 リペア方法の他の例を説明するためのフローチャートである。 (A)は、リペア方法の予備加熱工程を説明するための図であり、(B)は、リペア方法の水分除去工程を説明するための図である。
以下、本発明を実施するための形態(以下、本実施の形態という)について図面を参照しながら以下の順序で詳細に説明する。
1.リペア装置(図1〜図3)
2.リペア方法(図4〜図6)
<1.リペア装置>
図1は、本実施の形態に係るリペア装置の一例を示すブロック図である。本実施の形態に係るリペア装置1は、回路基板搬入部2と、予備加熱部3と、半田溶融部4と、電子部品除去部5と、半田除去部6と、水分除去部7と、回路基板搬出部8と、制御部9とを備える。
(回路基板搬入部)
回路基板搬入部2は、例えば、無端状の回路基板搬入ベルトと、この搬入ベルトを駆動する搬入ベルト駆動モータからなる搬入コンベアとを備える。回路基板搬入部2は、例えば、搬入ベルト駆動モータにより回路基板搬入ベルトを走行させて、搬入した回路基板10を予備加熱部3に送り出す。
回路基板10は、例えば図2(A)に示すように、主面に所定の回路パターンやランド等の導体部をプリント形成するとともに、多数個の基板穴13(スルーホール)を形成した主面上に、リード端子12を基板穴13に貫通させて電子部品11を組み付けて構成されている。また、回路基板10において、電子部品11は、リード端子12と基板穴13とが接する部分が半田付けされている。
(予備加熱部)
予備加熱部3は、例えばヒータで構成されている。予備加熱部3は、電子部品11が半田付けされた回路基板10の半田15部分を半田溶融部4によって溶融させる前に、回路基板10を予備加熱する。このように、予備加熱部3によって回路基板10を予備加熱することにより、回路基板10に過熱水蒸気14を噴き付けたときの温度差を少なくすることができる。これにより、回路基板10への負荷を低減させながら、効率的に半田15を溶融させることができる。回路基板10を予備加熱する際の温度は、特に限定されず、例えば100℃以上とすることができる。
(半田溶融部)
図2(A)及び(B)は、リペア装置1の半田溶融部4及び電子部品除去部5の一例を示す図である。図2(C)は、リペア装置1の半田除去部6の一例を示す図である。図3は、半田溶融部4の一例を示す図である。
半田溶融部4は、過熱水蒸気14を発生させる第1の過熱水蒸気発生部16を有し、図示しないシリンダにより上下方向に駆動させることができる。第1の過熱水蒸気発生部16は、回路基板10に半田付けされた電子部品11の半田付け部分(半田15)に過熱水蒸気14を噴き付けて、半田15を溶融させる。
第1の過熱水蒸気発生部16は、例えば図1及び図3に示すように、タンク19と、定量ポンプ20と、セラミックヒータ21と、温度調節器22と、ノズル23とを備える。
タンク19は、過熱水蒸気14を発生させるための水を貯留する。定量ポンプ20は、タンク19内から供給経路26を介して供給された水を定量する。セラミックヒータ21は、定量ポンプ20で定量された水を加熱して過熱水蒸気14を生成する。温度調節器22は、温度センサ22Aを介してセラミックヒータ21の温度を測定し、セラミックヒータ21の温度を調節する。ノズル23は、セラミックヒータ21によって生成した過熱水蒸気14を噴き出す。ノズル23の材質は、特に限定されないが、例えばチタンで構成されていることが好ましい。また、ノズル23における過熱水蒸気14を噴き出す部分の形状は、特に限定されないが、開口部が溶融させる半田付け部分よりも大きい形状が好ましい。温度記録計24は、温度センサ24Aを介してセラミックヒータ21の温度を測定し、測定したセラミックヒータ21の温度を記録する。また、温度記録計24は、温度センサ24Bを介してノズル23から噴き出された過熱水蒸気14の温度を測定し、測定した過熱水蒸気14の温度を記録する。表示部25は、例えばパーソナルコンピュータで構成されており、温度記録計24で記録した過熱水蒸気14の温度と、セラミックヒータ21の温度を表示する。
第1の過熱水蒸気発生部16は、例えば図2(A)に示すように、回路基板10に半田付けされた電子部品11の半田付け部分に過熱水蒸気14を噴き付け、過熱水蒸気14によって半田15を溶融させる。このように、過熱水蒸気14によって半田15を溶融させることによって、回路基板10への負荷を低減させながら、半田15を溶融させることができる。
また、半田溶融部4は、囲い部材27を有することが好ましい。囲い部材27は、容器状に形成されており、開口部27A側から見たときの形状が、例えば略円形状や略多角形状である。囲い部材27の材質は、特に限定されないが、熱による膨張が少ない点でチタンとすることが好ましい。囲い部材27は、図2(A)に示すように、電子部品11が半田付けされた回路基板10の一方の面10Aと、ノズル23とを覆うように配置される。すなわち、囲い部材27は、回路基板10の一方の面10Aと、ノズル23とを取り囲むように配置される。これにより、囲い部材27は、回路基板10と囲い部材27の開口部27Aとの間を密閉して、回路基板10と囲い部材27との間で形成される空間の気密性を向上させ、この空間に過熱水蒸気14を閉じ込めるように機能する。
第1の過熱水蒸気発生部16は、図2(A)に示すように、電子部品11が半田付けされた回路基板10の一方の面10Aと、ノズル23とが囲い部材27覆われた状態で、回路基板10の半田15部分に過熱水蒸気14を噴き付けることが好ましい。すなわち、回路基板10と囲い部材27の開口部27Aとの間を密閉し、回路基板10の一方の面10Aと囲い部材27との間で形成される空間に過熱水蒸気14を閉じ込めることができることが好ましい。これにより、ノズル23から噴き出された過熱水蒸気14の温度が下がりにくくなり、短時間で半田15部分を溶融させることができる。したがって、回路基板10への負荷を低減させながら、より効率的に半田15を溶融させることができる。
また、囲い部材27には、内部に滞留する過熱水蒸気14を排気するための排気孔17が設けられていることが好ましい。排気孔17の形状は、囲い部材27内の過熱水蒸気14を囲い部材27の外側に排出する機能を有する形状であれば特に限定されず、例えば、円形、長円形、スリット状、長方形状とすることができる。
また、半田溶融部4は、囲い部材27が被せられる回路基板10の一方の面10Aと、囲い部材27の開口部27Aとの接する部分が、気密性を向上させるための部材、例えばパッキン18によってシールされていることが好ましい。このように、囲い部材27が被せられる回路基板10の一方の面10Aと、囲い部材27の開口部27Aとが接する部分の気密性を向上させることにより、回路基板10への負荷を低減させながら、より効率的に半田15を溶融させることができる。このようなパッキン18を構成する材料としては、特に限定されないが、例えばケイ素樹脂等の耐熱性高分子材料を用いることができる。
(電子部品除去部)
電子部品除去部5は、回路基板10から電子部品11を取り外すためのものである。電子部品除去部5は、例えば、吸着パッド28と、シリンダ29とを備える。電子部品除去部5は、吸着パッド28により回路基板10を吸着した状態で、シリンダ29により吸着パッド28を上下方向に駆動させることによって、回路基板10から電子部品11を取り外す。
電子部品除去部5は、図2(A)に示すように、半田溶融部4において、囲い部材27の内部に第1の過熱水蒸気発生部16のノズル23が配置されており、半田15部分に過熱水蒸気14が噴き付けられたままの状態で、図2(B)に示すように、回路基板10から電子部品11を取り外すことが好ましい。これにより、半田15が溶融した状態、すなわち溶融半田15Aの状態を維持することができるため、回路基板10に負荷をかけずに回路基板10から電子部品11を容易に取り外すことができる。したがって、回路基板10への負荷を低減させながら、回路基板10から電子部品11を効率的に取り外すことができる。
(半田除去部)
半田除去部6は、第2の過熱水蒸気発生部30と、吸引器31と、フィルタ32と、吸引ポンプ33とを有する。
第2の過熱水蒸気発生部30は、タンク34と、定量ポンプ35と、セラミックヒータ36と、温度調節器37と、ノズル38とを備える。第2の過熱水蒸気発生部30は、電子部品除去部5によって電子部品11を取り外した後の回路基板10に残留する溶融半田15Aに過熱水蒸気14を噴き付ける。なお、第2の過熱水蒸気発生部30の構成は、詳細な説明を省略するが、上述した第1の過熱水蒸気発生部16と同様である。
吸引器31は、回路基板10に残留する溶融半田15Aを吸引する。フィルタ32は、吸引器31で吸引した溶融半田15Aを捕捉する。吸引ポンプ33は、吸引器31を介して溶融半田15Aを吸引するためのポンプである。
半田除去部6は、例えば図2(C)に示すように、電子部品除去部5によって電子部品11が取り外された後の回路基板10の他方の面10B側から過熱水蒸気14を噴き付けるとともに、回路基板10の一方の面10A側から吸引器31で溶融半田15Aを吸引することが好ましい。
このように、半田除去部6は、回路基板10の他方の面10B側から過熱水蒸気14を噴き付けることによって、回路基板10の基板穴13に残留する溶融半田15Aを溶融させて下方側(吸引器31側)に吹き飛ばすことができる。
また、半田除去部6は、回路基板10の一方の面10A側から吸引器31で溶融半田15Aを吸引することによって、回路基板10の基板穴13に残留する溶融半田15Aを吸引することができる。
したがって、半田除去部6は、回路基板10の他方の面10B側から過熱水蒸気14を噴き付けるとともに、回路基板10の一方の面10A側から吸引器31で溶融半田15Aを吸引することによって、回路基板10への負荷を低減させながら、回路基板10に残留する溶融半田15Aを効率的に除去することができる。
また、半田除去部6は、囲い部材39を有することが好ましい。第2の過熱水蒸気発生部30は、囲い部材39の内部に、ノズル38が配置された状態、すなわち図2(C)に示すような状態で、回路基板10に残留する溶融半田15Aに過熱水蒸気14を噴き付けることが好ましい。すなわち、回路基板10の他方の面10Bと囲い部材39の開口部39Aとの間を密閉して、回路基板10と囲い部材39との間で形成される空間の気密性を向上させ、この空間に過熱水蒸気14を閉じ込めることが好ましい。これにより、回路基板10への負荷を低減させながら、より効率的に回路基板10に残留する溶融半田15Aを除去することができる。
(水分除去部)
水分除去部7は、回路基板10に残留する溶融半田15Aを半田除去部6で除去した後に、回路基板10の表面に付着している水分を除去する。水分除去部7は、例えば、ヒータ40と、ファンモータ41とを備え、ヒータ40で回路基板10を加熱しながら、ファンモータ41から回路基板10に送風する。これにより、回路基板10の表面に付着している水分を効率的に除去することができる。
(回路基板搬出部)
回路基板搬出部8は、例えば、回路基板排出ベルトと、回路基板排出ベルトを駆動する排出ベルト駆動モータとを備える。回路基板搬出部8には、水分除去部7によって水分除去処理が施された回路基板10が搬出される。
(制御部)
制御部9は、例えば、操作部とCPUとで構成されている。制御部9は、操作部からの操作信号に基づいて、回路基板搬入部2と、予備加熱部3と、半田溶融部4と、電子部品除去部5と、半田除去部6と、水分除去部7と、回路基板搬出部8とに対して制御信号を出力してリペア装置1を駆動させる。
以上説明したように、本実施の形態に係るリペア装置1によれば、大きな熱量を持ち、且つ、回路基板10に対する熱負荷が少ない過熱水蒸気14を熱媒体として用いているため、熱容量の大きな電子部品11を固定している半田15を溶融させる際に、半田15部分を過熱水蒸気14の雰囲気中に長時間置く必要がない。そのため、回路基板10への負荷を低減させながら、回路基板10から電子部品11を取り外すことができる。
なお、上述した説明では、第1の過熱水蒸気発生部16と、第2の過熱水蒸気発生部30とを備えるリペア装置1の構成例について説明したが、この例に限定されるものではない。例えば、半田溶融部4のみに過熱水蒸気発生部を1つ設け、この過熱水蒸気発生部を半田除去部6で兼用してもよい。また、半田除去部6のみに過熱水蒸気発生部を1つ設け、この過熱水蒸気発生部を半田溶融部4で兼用するようにしてもよい。
また、上述したリペア装置1においては、回路基板搬入部2と、予備加熱部3と、半田溶融部4と、電子部品除去部5と、半田除去部6と、水分除去部7と、回路基板搬出部8と、制御部9とを備えるものとして説明したが、この例に限定されるものではない。例えば、リペア装置1においては、少なくとも半田溶融部4及び電子部品除去部5を備えていれば、他の構成を省略してもよい。
<2.リペア方法>
図4は、本実施の形態に係るリペア方法の一例を説明するためのフローチャートである。本実施の形態に係る第1のリペア方法は、半田溶融工程S1と、電子部品除去工程S2と、半田除去工程S3とを有する。
(半田溶融工程)
半田溶融工程S1においては、回路基板10に半田付けされた電子部品11に過熱水蒸気14を噴き付けることによって、回路基板10の半田付け部分を溶融させる。半田溶融工程S1においては、図2(A)に示すように、電子部品11が半田付けされた回路基板10の一方の面10Aと、ノズル23とが囲い部材27覆われた状態で、回路基板10の半田15部分に過熱水蒸気14を噴き付けて、半田15を溶融させることが好ましい。これにより、回路基板10と囲い部材27の開口部27Aとの間が密閉され、回路基板10の一方の面10Aと囲い部材27との間で形成される空間に過熱水蒸気14を閉じ込めることができるため、回路基板10への負荷を低減させながら、より効率的に半田15を溶融させることができる。
半田溶融工程S1において、回路基板10の半田15部分に噴き付ける過熱水蒸気14の温度、過熱水蒸気14の流量、過熱水蒸気14を噴き付ける時間は、使用する半田15の融点に応じて決定することが好ましい。例えば、半田15として鉛フリー半田(融点220℃)を用いたときには、過熱水蒸気14の温度を260℃以上とし、過熱水蒸気14の流量を3.0mL/秒以上とすることが好ましい。
(電子部品除去工程)
電子部品除去工程S2においては、半田溶融工程S1で半田15を溶融させた状態で、回路基板10から電子部品11を取り外す。
電子部品除去工程S2においては、第1の過熱水蒸気発生部16が半田付けされた電子部品11に過熱水蒸気14を噴き付けたままの状態で、回路基板10から電子部品11を取り外すことが好ましい。例えば図2(A)、(B)に示すように、電子部品11が半田付けされた回路基板10の一方の面10Aと、ノズル23とが囲い部材27覆われており、回路基板10の半田15部分に過熱水蒸気14を噴き付けたままの状態で、回路基板10から電子部品11を取り外すことが好ましい。これにより、半田15が溶融した状態、すなわち溶融半田15Aの状態を維持することができるため、回路基板10に負荷をかけずに回路基板10から電子部品11を容易に取り外すことができる。したがって、回路基板10への負荷を低減させながら、効率的に回路基板10から電子部品11を取り外すことができる。
(半田除去工程)
半田除去工程S3においては、電子部品11を取り外した後の回路基板10に残留する溶融半田15Aに過熱水蒸気14を噴き付けるとともに、回路基板10に残留する溶融半田15Aを吸引することによって、回路基板10に残留する溶融半田15Aを回路基板10から除去する。
半田除去工程S3においては、例えば図2(C)に示すように、電子部品が取り外された後の回路基板10の一方の面10B側から過熱水蒸気14を噴き付けるとともに、回路基板の他方の面10A側から溶融半田15Aを吸引することが好ましい。
半田除去部6は、例えば図2(C)に示すように、電子部品除去部5によって電子部品11が取り外された後の回路基板10の他方の面10B側から、第2の過熱水蒸気発生部30によって過熱水蒸気14を噴き付けるとともに、回路基板10の一方の面10A側から溶融半田15Aを吸引器31で吸引することが好ましい。
このように、回路基板10の他方の面10B側から、第2の過熱水蒸気発生部30によって過熱水蒸気14を噴き付けることによって、回路基板10の基板穴13に残留する溶融半田15Aを溶融させて吸引器31側に吹き飛ばすことができる。また、回路基板10の一方の面10A側から溶融半田15Aを吸引器31で吸引することによって、回路基板10の基板穴13に残留する溶融半田15Aを吸引することができる。
したがって、回路基板10の他方の面10B側から過熱水蒸気14を噴き付けるとともに、回路基板10の一方の面10A側から吸引器31で溶融半田15Aを吸引することによって、回路基板10への負荷を低減させながら、回路基板10に残留する溶融半田15Aを効率的に除去することができる。
以上のように、本実施の形態に係るリペア方法によれば、大きな熱量を持ち、且つ、回路基板10に対する熱負荷が少ない過熱水蒸気14を熱媒体として用いているため、熱容量の大きな電子部品11を固定している半田15を溶融させる際に、半田15部分を過熱水蒸気14の雰囲気中に長時間置く必要がない。そのため、回路基板10への負荷を低減させながら、回路基板10から電子部品11を取り外すことができる。
図5は、本実施の形態に係るリペア方法の他の例を説明するためのフローチャートである。本実施の形態に係る第2のリペア方法は、予備加熱工程S10と、半田溶融工程S11と、電子部品除去工程S12と、半田除去工程S13と、水分除去工程S14とを有する。ここで、半田溶融工程S11、電子部品除去工程S12及び半田除去工程S13については、上述した半田溶融工程S1、電子部品除去工程S2及び半田除去工程S3と同様であるため、詳細な説明を省略する。
(予備加熱工程)
図6(A)は、本実施の形態に係るリペア方法の予備加熱工程S10を説明するための図である。予備加熱工程S10においては、電子部品11が半田付けされた回路基板10を加熱する。このように、回路基板10を予熱して過熱水蒸気14を噴き付けたときの温度差を少なくすることができるため、半田溶融部4によって半田15を効率的に溶融させることができる。したがって、回路基板10への負荷を低減させながら、効率的に、回路基板10から電子部品11を取り外すことができる。
(水分除去工程)
図6(B)は、本実施の形態に係るリペア方法の水分除去工程S14を説明するための図である。水分除去工程S14においては、半田除去工程S13で回路基板10に残留する溶融半田15Aを除去した後に、回路基板10の表面に付着している水分を除去する。
なお、上述した本実施の形態に係るリペア方法においては、半田除去工程S3(半田除去工程S13)を行うものとして説明したが、この例に限定されるものではない。例えば、半田除去工程S3(半田除去工程S13)を省略してもよい。
また、上述した説明では、リペアする回路基板10として、電子部品11のリード端子12を挿入するための基板穴13が形成されており、電子部品11としてのリード部品が基板穴13を介して半田付けされているものを例に挙げて説明したが、この例に限定されるものではない。例えば、電子部品11としてのチップ部品が回路基板10に半田付けされている場合にも、本実施の形態に係るリペア装置1を用いてリペア処理を施すことは可能である。
1 リペア装置、2 回路基板搬入部、3 予備加熱部、4 半田溶融部、5 電子部品除去部、6 半田除去部、7 水分除去部、8 回路基板搬出部、9 制御部、10 回路基板、10A 一方の面、10B 他方の面、11 電子部品、12 リード端子、13 基板穴、14 過熱水蒸気、15 半田、15A 溶融半田、16 第1の過熱水蒸気発生部、17 排気孔、18 パッキン、19 タンク、20 定量ポンプ、21 セラミックヒータ、22 温度調節器、22A 温度センサ、23 ノズル、24 温度記録計、24A、24B 温度センサ、25 表示部、26 供給経路、27 囲い部材、27A 開口部、28 吸着パッド、29 シリンダ、30 第2の過熱水蒸気発生部、31 吸引器、32 フィルタ、33 吸引ポンプ、34 タンク、35 定量ポンプ、36 セラミックヒータ、37 温度調節器、38 ノズル、39 囲い部材、39A 開口部、40 ヒータ、41 ファンモータ

Claims (10)

  1. 回路基板に半田付けされた電子部品の半田付け部分に過熱水蒸気を噴き付ける第1の過熱水蒸気発生部を有し、該過熱水蒸気によって半田を溶融させる半田溶融部と、
    上記半田溶融部によって半田が溶融した状態で、上記回路基板から上記電子部品を取り外す電子部品除去部と
    を備えるリペア装置。
  2. 上記電子部品除去部によって上記電子部品を取り外した後の回路基板に残留する溶融半田に過熱水蒸気を噴き付ける第2の過熱水蒸気発生部と、該回路基板に残留する溶融半田を吸引する吸引器とを有する半田除去部をさらに備える請求項1記載のリペア装置。
  3. 上記半田溶融部は、囲い部材をさらに有し、
    上記囲い部材は、上記電子部品が半田付けされた回路基板の一方の面と、上記第1の過熱水蒸気発生部のノズルとを覆うように配置され、
    上記第1の過熱水蒸気発生部は、上記電子部品が半田付けされた回路基板の一方の面と、上記ノズルとが上記囲い部材に覆われた状態で、上記半田付け部分に上記過熱水蒸気を噴き付ける請求項2記載のリペア装置。
  4. 上記回路基板には、上記電子部品のリード端子を挿入するための基板穴が形成されており、上記電子部品としてのリード部品が該基板穴を介して半田付けされており、
    上記半田除去部は、上記電子部品除去部によって上記電子部品が取り外された後の回路基板の一方の面側から、上記第2の過熱水蒸気発生部で上記過熱水蒸気を噴き付けるとともに、該回路基板の他方の面側から上記吸引器で上記溶融半田を吸引する請求項2又は3記載のリペア装置。
  5. 上記電子部品除去部は、上記第1の過熱水蒸気発生部が上記半田付け部分に上記過熱水蒸気を噴き付けたままの状態で、上記電子部品を上記回路基板から取り外す請求項1乃至4のうちいずれか1項記載のリペア装置。
  6. 上記電子部品が半田付けされた回路基板を予備加熱する予備加熱部をさらに備える請求項1乃至5のうちいずれか1項記載のリペア装置。
  7. 上記半田除去部で上記回路基板に残留する溶融半田を除去した後に、上記回路基板表面に付着している水分を除去する水分除去部をさらに備える請求項2乃至6のうちいずれか1項記載のリペア装置。
  8. 上記第1の過熱水蒸気発生部及び第2の過熱水蒸気発生部は、
    水を貯留するタンクと、
    上記タンク内から供給経路を介して供給された水を定量する定量ポンプと、
    上記定量ポンプで定量された水を加熱して上記過熱水蒸気を生成するセラミックヒータと、
    温度センサを介して上記セラミックヒータの温度を測定し、上記セラミックヒータの温度を調節する温度調節器と、
    上記セラミックヒータで生成した上記過熱水蒸気を噴き出すノズルと
    を有する請求項2乃至7のうちいずれか1項記載のリペア装置。
  9. 上記電子部品除去部は、吸着パッドと、シリンダとを有し、
    上記吸着パッドにより上記回路基板を吸着した状態で、上記シリンダにより上記吸着パッドを上下方向に駆動させることによって、上記回路基板から上記電子部品を取り外す請求項1乃至8のうちいずれか1項記載のリペア装置。
  10. 回路基板に半田付けされた電子部品の半田付け部分に過熱水蒸気を噴き付けることによって、半田を溶融させる半田溶融工程と、
    上記半田が溶融した状態で、上記回路基板から上記電子部品を取り外す電子部品除去工程と
    を有するリペア方法。
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