JP2013171593A - メモリ回路 - Google Patents

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Abstract

【課題】ダイナミックリコンフィギャラブル回路に用いることのできるメモリ回路を提供する。
【解決手段】メモリセルの第1不揮発性メモリ回路2aの第1端子が接続される第1電源線VL1と、メモリセルの前記第2不揮発性メモリ回路2bの第1端子が接続される第2電源線VL2と、メモリセルの前記第1および第2不揮発性メモリ回路のそれぞれの第2端子が接続される出力線30と、前記複数のメモリセルに対応して設けられる複数の選択信号線であって、それぞれの選択信号線には対応するメモリセルにおける前記第1および第2不揮発性メモリ回路のそれぞれの第3端子が接続される、複数の選択信号線SLと、前記出力線30に接続されるスイッチ回路50と、を備え、複数のメモリセルの一つのメモリセルが情報を記憶している状態では、前記一つのメモリセル内の前記第1および第2不揮発メモリ回路うちの一方が高抵抗状態であって、他方が低抵抗状態である。
【選択図】図3

Description

本発明の実施形態は、メモリ回路に関する。
フィールドプログラマブルゲートアレイ(以下、FPGAともいう)は、任意の論理機能を実現することができるICである。一般的なFPGAは、基本的な論理情報を実現するロジックブロック(以下、LBともいう)と、各LBを任意に接続するスイッチブロック(以下、SBともいう)を含む基本タイルが配置されたものである。それぞれのブロックを構成する回路にはメモリが含まれており、このメモリを書き換えることで、FPGA全体で任意の論理を実現する。もし、このメモリに記憶されているデータを動作周波数より速く書き換えるダイナミックリコンフィギャラブル回路が実現できれば、通常は何枚ものFPGAを使用して計算する大きな論理を1枚のFPGAで計算することができる。しかし、上記ダイナミックリコンフィギャラブル回路に、たとえ書き換えが高速なSRAMメモリを用いても、動作周波数よりも速く書き換えることができない。
数種類のSRAM(Static Random Access Memory)を実装し、それらを切り替えるマルチコンテキスト技術が知られている。このマルチコンテキスト技術では、動作周波数より速く切り替えを実行することで、ダイナミックリコンフィギャラブル回路と同じ機能を実現している。現在のFPGAのメモリとして、揮発性のSRAMを用いるのが主流である。SRAMを用いた場合は、データ保持中は電源を入れ続けなければならないため、消費電力が大きいという問題がある。
米国特許第7193437号明細書
後述するように、ダイナミックリコンフィギャラブル回路のメモリにSRAMを用いると、各種の問題点が生じる
本実施形態は、ダイナミックリコンフィギャラブル回路に用いることのできるメモリ回路を提供する。
本実施形態のメモリ回路は、一対の第1および第2不揮発性メモリ回路をそれぞれが有する複数のメモリセルであって、前記第1および第2不揮発性メモリ回路はそれぞれ第1乃至第3端子を有する、複数のメモリセルと、各メモリセルの前記第1不揮発性メモリ回路の第1端子が接続される第1電源線と、各メモリセルの前記第2不揮発性メモリ回路の第1端子が接続される第2電源線と、各メモリセルの前記第1および第2不揮発性メモリ回路のそれぞれの第2端子が接続される出力線と、前記複数のメモリセルに対応して設けられる複数の選択信号線であって、それぞれの選択信号線には対応するメモリセルにおける前記第1および第2不揮発性メモリ回路のそれぞれの第3端子が接続される、複数の選択信号線と、前記出力線に接続されるスイッチ回路と、を備え、各メモリセルにおける前記第1および第2不揮発メモリ回路はそれぞれ高抵抗状態と低抵抗状態との間で遷移可能であり、前記複数のメモリセルの一つのメモリセルが情報を記憶している状態では、前記一つのメモリセル内の前記第1および第2不揮発メモリ回路うちの一方が高抵抗状態であって、他方が低抵抗状態であることを特徴とする。
第1参考例によるメモリ回路を示す回路図。 第2参考例によるメモリ回路を示す回路図。 第1実施形態によるメモリ回路を示す回路図。 第1実施形態の変形例によるメモリ回路を示す回路図。 第2実施形態によるメモリ回路を示す回路図。 第2実施形態のメモリ回路に用いられる不揮発性メモリトランジスタを示す断面図。 図7(a)、7(b)は、第2実施形態に係るメモリセルの状態を説明する図。 図8(a)、8(b)は、第2実施形態に係るメモリセルの書き込みを説明する図。 不揮発性メモリトランジスタのドレイン電流特性を示す図。 第3実施形態によるメモリ回路を示す回路図。 第3実施形態の変形例によるメモリ回路を示す回路図。 図12(a)、12(b)は、第3実施形態およびその変形例によるメモリ回路の読み出しを説明する図。 第4実施形態によるメモリ回路を示す回路図。 第4実施形態の第1具体例によるメモリ回路を示す回路図。 第4実施形態の第1具体例のメモリ回路で、FNトンネル電流の書き込みを行う場合を説明する図。 第4実施形態の第2具体例によるメモリ回路を示す回路図。 図17(a)乃至17(d)は、第5実施形態によるFPGAを示す模式図。 図18(a)乃至18(d)は、第5実施形態の変形例によるFPGAを示す模式図。
実施形態を説明する前に、実施形態に至った経緯について説明する。
本願発明者達は、6個のトランジスタから構成されるSRAMをダイナミックリコンフィギャラブル回路に用いることができるか否かを鋭意検討した。まず、第1参考例として、図1に示すメモリ回路が知られている。
この図1に示す第1参考例のメモリ回路は、複数のメモリセルを備えている。各メモリセルは1個のSRAMを有している。図1には、2個のメモリセルが示されており、第1および第2のSRAM10、10が表示され、各SRAMがメモリセルを構成している。第1および第2のSRAM10、10のそれぞれは、pチャネルトランジスタ12a、12bと、nチャネルトランジスタ14a、14bと、nチャネルトランジスタからなる選択トランジスタ16a、16bを備えている。トランジスタ12a、14aは第1インバータ回路を構成し、トランジスタ12b、14bは第2インバータ回路を構成する。そして第1インバータ回路と第2インバータ回路は交差接続される。すなわち第1インバータ回路の入力端子が第2インバータ回路の出力端子に接続され、第2インバータ回路の入力端子が第1インバータ回路の出力端子に接続される。そして、選択トランジスタ16aのソース/ドレインの一方が第1インバータ回路の出力端子に接続され、選択トランジスタ16bのソース/ドレインの一方が第2インバータ回路の出力端子に接続される。
トランジスタ12a、12bのソースが第1電源線VL1に接続され、トランジスタ14a、14bのソースが第2電源線VL2に接続される。選択トランジスタ16aのソース/ドレインの他方がビット線BLに接続され、選択トランジスタ16bのソース/ドレインの他方が出力線30に接続される。また、第1のSRAM10における選択トランジスタ16aのゲートが第1書込み選択信号線WLに接続され、選択トランジスタ16bのゲートが第1選択信号線SLに接続される。第2のSRAM10における選択トランジスタ16aのゲートが第2書込み選択信号線WLに接続され、選択トランジスタ16bのゲートが第2選択信号線SLに接続される。また、出力線30はスイッチ回路50に接続される。
図1に示す第1参考例のメモリ回路における書込みは、以下のように行う。それぞれのSRAM10、10は、それぞれ独立の書き込み選択信号WL、WLと、共通のビット線BLを用いて書き込みが行われる。ビット線BLを「H」レベルの状態にして「L」レベルを出力させたいSRAM、例えば第1のSRAM10においては書き込み選択信号WLを「H」レベルにする。また、ビット線BLを「L」レベルの状態にして「H」レベルを出力させたい第2のSRAM10においては書き込み選択信号WLを「H」レベルにすることで、それぞれのSRAM10、10への書き込みを行うことができる。また、動作はそれぞれの選択信号SL、SLによってSRAM10、10を選択して読み出しを行う。
このように、図1に示す第1参考例のメモリ回路においては、1つのメモリセルに対して、出力線30と、2つの電源線VL1、VL2と、ビット線BLと、選択信号線SLと、書き込み選択信号線WLとからなる合計6本の配線が必要となる。
これに対し、第2参考例として、図2に示すように、選択信号線と書き込み選択信号線を共通にすることが考えられる。すなわち、第1のSRAM10の選択トランジスタ16aのゲートを第1選択信号線SLに接続し、第2のSRAM10の選択トランジスタ16aのゲートを第2選択信号線SLに接続する。この場合、各メモリセルに対して、出力線30と、第1および第2電源線VL1、VL2と、ビット線BLと、選択信号線SLとからなる5本の配線が必要となる。
図2に示す第2参考例のメモリ回路の書込みおよび読み出しは、図1に示す第1参考例のメモリ回路と同様に行うことができる。
しかしながら、この第2参考例のメモリ回路では、以下に述べるように2つの問題がある。
一番目の問題は、読み出し時にデータが書き換わる可能性がある。例えばある時間で選択されてスイッチ回路50に出力されるSRAM、例えばSRAM10の出力が「H」レベルの場合、ビット線BLは「L」になっている。その次の時間に「L」レベルを出力するSRAM、例えばSRAM10が選択されると、そのSRAM10はビット線BLの容量を充電して「H」レベルにしなければならない。このときビット線BLを充電するために流れる電流によってこのSRAM10のデータが書き換わる可能性がある。よって、選択信号を、SRAMが書き換わらない程度までゆっくり切り替える必要があり、頻繁な切り替えを必要とするダイナミックリコンフィギャラブル回路には不利である。
二番目の問題は、上記のようにSRAMの読み出しでビット線の充放電が起きるため、ビット線は各スイッチ回路50に対応して設ける必要がある。例えば1つのビット線で2つのSRAMを読み出したとき、一方が「L」レベルの出力で他方が「H」レベルの出力であれば、一方のSRAMから他方のSRAMに電流が流れ続け、電力を消費し、さらにデータの書き換えが起きる可能性がある。よって、各スイッチ回路のビット線それぞれにさらに選択トランジスタを設ける必要がある。
以上により、ダイナミックリコンフィギャラブル回路において図2に示す回路を用いることは現実的ではなく、実際にはSRAMを用いるときは1つのSRAMに対し5本もの電源線および信号線が必要になる。
以下、実施形態について図面を参照して具体的に説明する。
(第1実施形態)
第1実施形態によるメモリ回路を図3に示す。この第1実施形態のメモリ回路1は、複数のメモリセル2、2、2と、選択信号線SL、SL、SLと、第1および第2電源線V1、V2と、スイッチ回路50とを備えている。各メモリセル2(i=1,2,3)は一対の第1及び第2不揮発性メモリ回路2a、2bを備えている。一対の第1及び第2不揮発性メモリ回路2a、2b(i=1,2,3)はそれぞれ、第1乃至第3端子を有している。第1不揮発性メモリ回路2a(i=1,2,3)は、第1端子が第1電源線VL1に接続され、第2端子が出力線30に接続される。また、第2不揮発性メモリ回路2b(i=1,2,3)は、第1端子が第2電源線VL2に接続され、第2端子が出力線30に接続される。そして、一対の第1及び第2不揮発性メモリ回路2a、2b(i=1,2,3)のそれぞれの第3端子は、選択信号線SLに接続される。出力線30はスイッチ回路50に接続される。
この第1実施形態のメモリ回路においては、同じ選択信号に接続される一対の第1および第2不揮発性メモリ回路2a、2b(i=1,2,3)は、それぞれ接続されている第1電源線VL1および第2電源線VL2と、選択信号線SLによって、相補的に書き込みが行われ、メモリセルに情報が書き込まれた状態では、すなわち読み出し時には一方の不揮発性メモリ回路例えば第1不揮発性メモリ回路2aが高抵抗状態、他方の不揮発性メモリ回路例えば第2不揮発性メモリ回路2bが低抵抗状態になっている。
また、第1電源線VL1および第2電源線VL2は、読み出し時(定常状態)では一方が「H」レベルに、他方が「L」レベルになっている。例えば、第1電源線VL1が「H」レベル、第2電源線VL2が「L」レベルで、選択信号線SLが読み出し電圧になっているとき、第1電源線VL1に第1端子が接続されている第1不揮発性メモリ回路2aが低抵抗状態、第2電源線VL2に第1端子が接続されている第2不揮発性メモリ回路2bが高抵抗状態になっていると、メモリセル2の出力として「H」レベルが出力線30に出力される。一対の不揮発性メモリ回路の抵抗状態が逆であれば、メモリセル2の出力として、「L」レベルが出力線30に出力される。スイッチ回路50は、メモリ回路1の出力によって制御される。
このように、第1実施形態においては、各メモリセルに対して、出力線30と、第1および第2電源線VL1,VL2と、選択信号SLの計4本の電源線および信号線となり、メモリセルにSRAMを使用した場合と比べて配線を削減することができる。
また、第1実施形態においては、メモリセルが相補的な状態となる第1および第2不揮発性メモリ回路を有しているので、消費電力を低減することができるとともに、動作周波数より早く切り替えを行っても、メモリセルの記憶状態が変化することを防止することができる。
以上により、第1実施形態のメモリ回路は、ダイナミックリコンフィギャラブル回路に用いることができる。
なお、図4に示す第1実施形態の変形例のように、出力線30とスイッチ回路50との間にインバータからなるバッファ回路35を設けてもよい。これにより、不揮発メモリ回路の低抵抗時の電流が小さい、またはスイッチ回路50を制御するのに必要な電流が多い場合でも、スイッチ回路50を安定に制御できる。
(第2実施形態)
第2実施形態によるメモリ回路を図5に示す。この第2実施形態のメモリ回路1は、図3に示す第1実施形態において、第1および第2不揮発性メモリ回路2a、2b(i=1,2,3)として、電荷蓄積膜を有する第1および第2不揮発性メモリトランジスタ3a、3bを用いた構成となっている。第1および第2不揮発性メモリトランジスタ3a、3b(i=1,2,3)はそれぞれ、図6に示すように、例えばp型半導体層21に離間して設けられたn型のソース22aおよびドレイン22bと、ソース22aとドレイン22bとの間のチャネル22cとなる半導体層21上に設けられたトンネル絶縁膜23と、トンネル絶縁膜23上に設けられた電荷蓄積膜24と、電荷蓄積膜24上に設けられたブロック絶縁膜25と、ブロック絶縁膜25上に設けられた制御ゲート26と、を備えている。なお、図6に示すメモリトランジスタ2aまたは2bはnチャネルメモリトランジスタであったが、pチャネルメモリトランジスタであってもよい。また、電荷蓄積膜24は、例えばポリシリコンからなるフローティングゲートであってもよいし、電荷をトラップするトラップ絶縁膜(例えば、SiN膜)であってもよい。電荷蓄積膜24がフローティングゲートである場合には、メモリトランジスタ2は、フローティングゲート型メモリトランジスタとも呼ばれる。また、電荷蓄積膜24がSiNを基本構成物質としたトラップ絶縁膜である場合には、メモリトランジスタ2は、MONOS(Metal-Oxide-Nitride-Oxide-Semiconductor)型メモリトランジスタとも呼ばれる。ここで、ゲート電極がポリシリコンである場合はSONOS(Silicon-Oxide-Nitride-Oxide-Silicon)型メモリトランジスタと呼ばれることもあるが、今回はこれも含めてMONOS型メモリトランジスタと呼ぶ。
この第2実施形態においては、メモリトランジスタ3a(i=1,2,3)は、第3端子である制御ゲート(単にゲートともいう)が選択信号線SLに接続され、第1端子であるソース/ドレインの一方が第1電源線VL1に接続され、第2端子であるソース/ドレインの他方が出力線30に接続されている。また、メモリトランジスタ3b(i=1,2,3)は、第3端子である制御ゲートが選択信号線SLに接続され、第1端子であるソース/ドレインの一方が第2電源線VL2に接続され、第2端子であるソース/ドレインの他方が出力線30に接続されている。そして、選択信号を共有する一対の2つのメモリトランジスタ、例えば、選択信号SLを共有するメモリトランジスタ3a、3bは、それぞれ相補的に書き込まれる。すなわち、片方のメモリトランジスタ、例えばメモリトランジスタ3aは電荷蓄積膜に電子が多く蓄積されて閾値が高くなっており、他方のメモリトランジスタ、例えばメモリトランジスタ3bは逆に電荷蓄積膜に蓄積された電子が少なく、閾値が低くなっている。
次に、第2実施形態のメモリ回路の選択方法について図7(a)乃至図8(b)を参照して説明する。本明細書では、図7(b)に示すように、閾値が高い状態を書き込み状態、閾値が低い状態を消去状態と定義する。読み出し時の選択信号は、書き込み状態のメモリトランジスタのリークはなるべく小さく且つ消去状態のメモリトランジスタのオン電流がなるべく高くなるような電圧Vselectに設定される。読み出すメモリ以外の非選択信号は、両方のメモリトランジスタがオフ状態になるような電圧Voffを印加する(図7(a))。選択信号Vselectおよび非選択信号Voffはメモリトランジスタの特性に依存する。特に非選択信号Voffは負の電圧の可能性もある。
図8(a)、8(b)に示すように、メモリセル2を構成する一対の2つのメモリトランジスタ3a、3bに選択的にデータを書き込みたい場合、選択信号線SLに選択信号電圧(例えば10V)を印加し、書き込みを行いたいメモリトランジスタ(例えばメモリトランジスタ3b)が接続されている電源線(例えば第2電源線VL2)に書き込み電圧(例えば、4V)を印加する。なお、書き込みを行わないメモリトランジスタ(例えば、メモリトランジスタ3a)に接続されている電源線(例えば第1電源線VL1)に0Vを印加する(図8(a))。これは、以下で説明するようにチャネルホットエレクトロン(channel hot electron)を利用した書き込み方式である。チャネルホットエレクトロンは極めて高いエネルギー有している電子で、トランジスタのドレイン電圧がある値よりも大きくなりチャネルがドレイン端でピンチオフを起こしたときに発生する。ソース/ドレイン間の電位差によって発生したチャネルホットエレクトロンをゲート電圧によって電荷蓄積膜に引き込むことによってメモリの書き込みを実現する。チャネルホットエレクトロンを用いた書き込み方式の場合、FN(Fowler-Nordheim)トンネル電流を用いた書き込み方式に比べて個々の端子に印加する電圧の値が小さいという利点がある。なお、電圧を印加するタイミングは、選択信号線SLに選択信号電圧を印加してから、第2電源線VL2に書き込み電圧を印加する(図8(b))。
次に、上記チャネルホットエレクトロンによる書き込み方式について図8(a)、8(b)を参照して説明する。選択信号線SLに選択信号電圧(10V)を印加すると、第1および第2メモリトランジスタ3a、3bがともにオン状態になる。ここで、FNトンネル電流としては20V程度の電圧が必要なため、この選択信号電圧では両方のメモリトランジスタ3a、3bに書き込みは生じない。この状態で第2電源線VL2に書き込み電圧(4V)を印加すると、メモリトランジスタ3aとメモリトランジスタ3bにおいて、ソースに対するゲート電位差(以下、駆動電圧ともいう)に差が生じる。すなわち、メモリトランジスタ3aでは駆動電圧が10Vであるのに対し、メモリトランジスタ3bでは駆動電圧が6Vになる。一般にトランジスタのチャネル抵抗は駆動電圧が大きいほど小さくなるため、メモリトランジスタ3bよりもメモリトランジスタ3aのほうが低抵抗状態となる。ここで、メモリトランジスタ3aのチャネル抵抗をR1、メモリトランジスタ3bのチャネル抵抗をR2とし、第1電源線VL1、第2電源線VL2に印加する電圧をそれぞれVBL1、VBL2とし、メモリ出力ノードQすなわち出力線30の電位をVQとすると、VQは以下の式で表される。
VQ=(R1/(R1+R2))×(VBL2−VBL1)
ここでR1<R2であるから、VQは(VBL2−VBL1)/2よりも小さくなる。すなわち電位VQは、電圧VBL2よりも電圧VBL1に近い電位となり、メモリトランジスタ3aのソース/ドレイン間電圧よりもメモリトランジスタ3bのソース/ドレイン間電圧のほうが大きくなる。
前述したように、チャネルホットエレクトロンはトランジスタのチャネルがドレイン端でピンチオフするときに発生するが、ソースドレイン間電圧を大きくしていくと、ある電圧(Vdsat)に達したところでピンチオフが生じ、いったんピンチオフが生じるとトランジスタのドレイン電流は飽和する。
このような、様々な駆動電圧に対するドレイン電流特性を図9に示す。すなわち、図9は、様々な駆動電圧Vdriveをパラメータに取った場合の、ドレイン電流に対するソース/ドレイン間電圧依存性を示す。図9において、駆動電圧Vdriveとして、5種類の電圧V1乃至V5を取った場合のドレイン電流特性を示している。ここで、V1<V2<V3<V4<V5である。点線はチャネルがピンチオフする点を表したものであり、一般に駆動電圧が大きいほど飽和電圧Vdsatは大きくなる。
図8に示すメモリ回路において、第2メモリトランジスタ3bの駆動電圧よりも第1メモリトランジスタ3aの駆動電圧のほうが大きいため、ピンチオフに必要なソースドレイン間電圧も第1メモリトランジスタ3aのほうが第2メモリトランジスタ3bよりも大きい。しかし前述したように、第1メモリトランジスタ3aのソースドレイン間電圧は第2メモリトランジスタ3bのソースドレイン間電圧よりも小さい。このため、ピンチオフに必要なソースドレイン間電圧が第1メモリトランジスタ3aでは得られず、チャネルホットエレクトロンによる書き込みは生じない。これに対して、第2メモリトランジスタ3bにおいては相対的に駆動電圧が小さく、ソースドレイン間電圧が大きいため、チャネルのピンチオフが生じ、チャネルホットエレクトロンによるメモリの書き込みが生じ、選択的に書き込みを行うことができる。
メモリを消去する場合には、基板電極(メモリトランジスタ3a、3bが形成されている半導体層21に印加する電極)に0Vの電圧を与えた状態で選択信号線SLに負の消去電圧を印加することで行う。消去電圧は例えば−20Vである。このとき、同じ選択信号線SLに接続されたメモリセルは一括で消去される。
このように、第2実施形態においても第1実施形態と同様に、各メモリセルに対して、出力線30と、第1および第2電源線VL1,VL2と、選択信号SLの計4本の電源線および信号線となり、メモリセルにSRAMを使用した場合と比べて配線を削減することができる。
また、第2実施形態においては、第1実施形態と同様に、メモリセルが相補的な状態となる第1および第2不揮発性メモリトランジスタを有しているので、消費電力を低減することができるとともに、動作周波数より早く切り替えを行っても、メモリセルの記憶状態が変化することを防止することができる。
以上により、第2実施形態のメモリ回路は、第1実施形態と同様に、ダイナミックリコンフィギャラブル回路に用いることができる。
なお、図4に示す第1実施形態の変形例のように、出力線30とスイッチ回路50との間にインバータからなるバッファ回路35を設けてもよい。
(第3実施形態)
第3実施形態によるメモリ回路を図10に示す。この第3実施形態のメモリ回路1は、図3に示す第1実施形態において、第1不揮発性メモリ回路2a(i=1,2,3)として、直列に接続された抵抗変化型メモリ素子4aと選択トランジスタ5aとを用い、第2不揮発性メモリ回路2b(i=1,2,3)として、直列に接続された抵抗変化型メモリ素子4bと選択トランジスタ5bとを用いた構成となっている。すなわち、第1不揮発性メモリ回路2a(i=1,2,3)においては、抵抗変化型メモリ素子4aの一端子が出力線30に接続され、他の端子が選択トランジスタ5aのソース/ドレインの一方に接続される。そして、選択トランジスタ5a(i=1,2,3)はソース/ドレインの他方が第1電源線VL1に接続され、ゲートが選択信号線SLに接続される。また、第2不揮発性メモリ回路2b(i=1,2,3)においては、抵抗変化型メモリ素子4bの一端子が出力線30に接続され、他の端子が選択トランジスタ5bのソース/ドレインの一方に接続される。そして、選択トランジスタ5b(i=1,2,3)はソース/ドレインの他方が第2電源線VL2に接続され、ゲートが選択信号線SLに接続される。なお、図11に示す第3実施形態の変形例のように、抵抗変化型メモリ素子と選択トランジスタの接続配置を図10に示す第3実施形態の場合と逆に配置してもよい。
各メモリセル2(i=1,2,3)の抵抗変化型メモリ素子4aおよび抵抗変化型メモリ素子4bは、一方が高抵抗状態で、他方が低抵抗状態となっており、書き込みを行うことによって、一方が低抵抗状態で、他方が高抵抗状態となるように、することができる。
抵抗変化型メモリ素子としては、2つの磁性層の間にトンネルバリア層を挟んだ構造を有するMTJ(Magnetic Tunnel Junction)素子、2つの電極の間に遷移金属酸化物層を挟み遷移金属酸化物の酸素欠損の移動を利用する構造の酸化還元型抵抗変化素子、または2つの電極の間に例えば半導体層を挟み半導体層内部の金属等のイオンの移動を利用するイオン伝導型抵抗変化素子等を用いることができる。
この第3実施形態においても、第1および第2実施形態と同様に、2つの抵抗変化型メモリ素子には相補的な書き込みが行われる。すなわち、各メモリセル2(i=1,2,3)においては、一方の抵抗変化型メモリ素子、例えば抵抗変化型メモリ素子4aは高抵抗状態に、他方の抵抗変化型メモリ素子、例えば抵抗変化型メモリ素子4bは低抵抗状態になるように書き込みが行われる。これら抵抗変化型メモリ素子4a、4b(i=1,2,3)を選択するために、選択信号線SLを共有するスイッチトランジスタ5a、5bが用いられる。選択信号は、スイッチトランジスタ5a、5bがオンするゲート電圧が用いられ、非選択信号にはオフするゲート電圧が用いられる。
まず、メモリセル2に書き込みを行う場合について説明する。この場合、メモリセル2が接続されている選択信号線SLに選択信号を印加し、他のメモリセル2が接続されている選択信号線SLには非選択信号を印加する。すると、メモリセル2の選択トランジスタ5a、5bはオン状態となるが、他のメモリセル2の選択トランジスタ5a、5bはオフ状態となる。そして、例えば第1電源線VL1からメモリセル2を介して第2電源線VL2に書き込み電流を流す。すると、メモリセル2の抵抗変化型メモリ素子4a、4bのうち、一方が低抵抗状態に、他方が高抵抗状態になる。例えば、抵抗変化型メモリ素子4aが低抵抗状態になり、抵抗変化型メモリ素子4bが高抵抗状態になる。なお、これとは逆に、抵抗変化型メモリ素子4aが高抵抗状態にし、抵抗変化型メモリ素子4bが低抵抗状態にするには、逆方向に第2電源線VL2からメモリセル2を介して第1電源線VL1に書き込み電流を流す。このようにして、各メモリセルに書き込みを行うことができる。書き込みは、第3実施形態およびその変形例とも同じように行うことができる。なお、スイッチ回路50と出力線30との間に、書き込み時にオフし、読み出し時にオンするスイッチ、例えばトランジスタを設けてもよい。
次に、このように書き込みが行われたメモリの読み出しについて説明する。第1電源線VL1および第2電源線VL2は、読み出し時(定常状態)では一方が「H」レベルに、他方が「L」レベルになっている。例えば、第1電源線VL1が「H」レベル、第2電源線VL2が「L」レベルとする。メモリセル2が接続されている選択信号線SLに選択信号を印加し、他のメモリセル2が接続されている選択信号線SLには非選択信号を印加する。すると、選択トランジスタ5aおよび5bがオン状態になり、他の選択トランジスタはオフ状態になる。これにより、相補的に書きこまれた抵抗変化型メモリ素子の状態によって、スイッチ回路に出力される。例えば、抵抗変化型メモリ素子4aが低抵抗状態、4bが高抵抗状態である場合は、4aが接続されている電源線VL1の信号すなわち「H」レベルが出力される。
図10および図11で示した第3実施形態の動作について図12(a)、12(b)を参照して説明する。メモリ出力30は選択されるメモリセルによって充放電を繰り返す。抵抗変化型メモリ素子のオフ抵抗が低い素子の場合は、それよりもオフ抵抗の高い選択トランジスタをメモリセルの出力側に接続することが好ましい(図12(b))。これにより、充電時のリーク電流を低減し、消費電力を下げることができる。これに対し、抵抗変化型メモリが出力側に接続された場合は、非選択のメモリ回路2aの抵抗変化型メモリでリーク電流が起き、消費電力が増大する(図12(a))。
このように、第3実施形態においても第1実施形態と同様に、各メモリセルに対して、出力線30と、第1および第2電源線VL1,VL2と、選択信号SLの計4本の電源線および信号線となり、メモリセルにSRAMを使用した場合と比べて配線を削減することができる。
また、第3実施形態においては、第1実施形態と同様に、メモリセルが相補的な状態となる第1および第2不揮発性抵抗変化型素子を有しているので、消費電力を低減することができるとともに、動作周波数より早く切り替えを行っても、メモリセルの記憶状態が変化することを防止することができる。
以上により、第3実施形態のメモリ回路は、第1実施形態と同様に、ダイナミックリコンフィギャラブル回路に用いることができる。
なお、図4に示す第1実施形態の変形例のように、出力線30とスイッチ回路50との間にインバータからなるバッファ回路35を設けてもよい。
(第4実施形態)
第4実施形態によるメモリ回路を図13に示す。この第4実施形態によるメモリ回路1は、第1実施形態において、第1および第2不揮発性メモリ回路の出力が出力制御信号によって制御された構成であり、出力制御信号を第1および第2不揮発性メモリ回路に伝送するための出力制御信号線OCLを新たに設けた構成となっている。
この第4実施形態においては、出力制御信号によってメモリセルからの出力信号が遮断される。
第1および第2参考例で述べたように、メモリセルにSRAMを用いたメモリ回路でも信号線5本で構成することが出来るが現実的ではない。しかしながら、図14に示す第4実施形態の第1具体例のように、第1および第2不揮発性メモリ回路としてそれぞれ、直列に接続された不揮発性メモリトランジスタと選択トランジスタとを備えるようにすることにより、選択信号をゆっくり切り替えなければならないという制約はなく、また不揮発性であるのでデータが書き換わる危険性もない。
図14に示す第1具体例のメモリ回路1においては、各メモリセル2(i=1,2,3)は、第1不揮発性メモリ回路2aと、第2不揮発性メモリ回路2bとを備えている。
第1不揮発性メモリ回路2a(i=1,2,3)は、不揮発性メモリトランジスタ6aと、選択トランジスタ7aとを備えている。不揮発性メモリトランジスタ6a(i=1,2,3)は、ソース/ドレインの一方が第1電源線VL1に接続され、他方が選択トランジスタ7aのソース/ドレインの他方に接続され、ゲートが選択信号線SLに接続されている。また、選択トランジスタ7a(i=1,2,3)は、ソース/ドレインの他方が出力線30に接続され、ゲートが出力制御信号線OCLに接続されている。
一方、第2不揮発性メモリ回路2b(i=1,2,3)は、不揮発性メモリトランジスタ6bと、選択トランジスタ7bとを備えている。不揮発性メモリトランジスタ6b(i=1,2,3)は、ソース/ドレインの一方が第2電源線VL2に接続され、他方が選択トランジスタ7bのソース/ドレインの他方に接続され、ゲートが選択信号線SLに接続されている。また、選択トランジスタ7b(i=1,2,3)は、ソース/ドレインの他方が出力線30に接続され、ゲートが出力制御信号線OCLに接続されている。出力線30はスイッチ回路50に接続されている。
このように構成された第4実施形態の第1具体例のメモリ回路においては、複数のメモリセルに対して共通の出力制御信号線OCLは、動作時は接続される選択トランジスタがどちらもオン状態になるような電圧が印加され、メモリセルの出力が出力線30に出力される。一方、メモリセルへの書き込み時には、選択トランジスタがオフ状態になるような電圧を出力制御信号線OCLに印加することで、スイッチ回路50への電圧印加を防止する。これにより、FNトンネル電流の書き込みを行うことができる。
図14に示す第4実施形態の第1具体例のメモリ回路で、FNトンネル電流の書き込みを行う場合について図15を参照して説明する。出力制御信号線に選択トランジスタをオフ状態にする電圧を印加する。例えば、書き込みを行うメモリセル、例えばメモリセル2に接続された選択信号線SLに20Vを印加し、第1電源線VL1の電圧を0V、第2電源線VL2の電圧を例えば7Vにすることで第1電源線VL1に接続されたメモリトランジスタ6aに書き込みを行う(図15)。第2電源線VL2に接続されたメモリトランジスタ6bの駆動電圧は13V程度となり、FN電流による書き込みは起こらない。しかし、第2電源線VL2に接続されたメモリトランジスタ5bは当然オン状態になっており、第2電源線VL2に印加した7Vの電圧が出力制御信号線によってオフ状態になっている選択トランジスタ7bのソース/ドレインの一方に印加される。このため、この選択トランジスタ7bのゲート破壊耐圧が高いものが必要となる。具体的には、選択トランジスタのゲート絶縁膜を厚くする、または例えばHigh−k絶縁膜を用いることが考えられる。なお、High−k絶縁膜は、SiOと比べて大きな誘電率を有している絶縁膜であり、例えば、HfO、ZrO、AlO等が挙げられる。
また、図16に示す第4実施形態の第2具体例によるメモリ回路のように構成してもよい。この第2具体例のメモリ回路は、図14に示す第1具体例のメモリ回路において、選択トランジスタ7a(i=1,2,3)、7b(i=1,2,3)を不揮発性メモリトランジスタ8a(i=1,2,3)、8b(i=1,2,3)に置き換えた構成となっている。
この第2具体例のメモリ回路においては、出力制御信号線OCLには二つのメモリトランジスタ8a(i=1,2,3)、8b(i=1,2,3)がオン状態もしくはオフ状態になるようなゲート電圧が印加される。メモリトランジスタ8a(i=1,2,3)、8b(i=1,2,3)は、ゲートが複数の層が積層された構造を有しているためゲート破壊耐圧も高いという利点がある。また、メモリトランジスタ6a(i=1,2,3)、6b(i=1,2,3)と同じ工程で作製することが可能となるために、作製しやすい。
(第5実施形態)
第5実施形態によるFPGAを図17(a)乃至17(d)に示す。この第5実施形態のFPGAは、図17(a)に示すように、基本的な論理情報を実現するロジックブロック(以下、LBともいう)と、各LBを任意に接続するスイッチブロック(以下、SBともいう)を含む基本タイルが配置された構成を有している。それぞれのブロックを構成する回路には、図17(b)乃至図17(d)に示すように、メモリ回路が含まれている。これらのメモリ回路を書き換えることで、FPGA全体で任意の論理を実現する。
この第5実施形態のFPGAにおいて用いられるメモリ回路として、第1乃至第4実施形態およびそれらの変形例、または具体例のメモリ回路を用いる。なお、図18(a)乃至図18(d)においては、複数種類のメモリ回路を備えており、これらの複数種類のメモリ回路を切り替えて使用する。なお、図18(a)乃至18(d)に示す変形例のように、1種類のメモリ回路を複数個備えるように構成してもよい。
このような構成とすることにより、電源線および信号線の本数を削減することができ、FPGAのサイズを小さくすることができる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
1 メモリ回路
〜2 メモリセル
2a〜2a 不揮発性メモリ回路(不揮発性メモリトランジスタ)
2b〜2b 不揮発性メモリ回路(不揮発性メモリトランジスタ)
3a〜3a 不揮発性メモリトランジスタ
3b〜3b 不揮発性メモリトランジスタ
4a〜4a 抵抗変化型メモリ素子
4b〜4b 抵抗変化型メモリ素子
5a〜5a 選択トランジスタ
5b〜5b 選択トランジスタ
6a〜6a 不揮発性メモリトランジスタ
6b〜6b 不揮発性メモリトランジスタ
7a〜7a 選択トランジスタ
7b〜7b 選択トランジスタ
8a〜8a 不揮発性メモリトランジスタ
8b〜8b 不揮発性メモリトランジスタ
30 出力線
35 バッファ回路
50 スイッチ回路
VL1 第1電源線
VL2 第2電源線
SL〜SL 選択信号線

Claims (8)

  1. 一対の第1および第2不揮発性メモリ回路をそれぞれが有する複数のメモリセルであって、前記第1および第2不揮発性メモリ回路はそれぞれ第1乃至第3端子を有する、複数のメモリセルと、
    各メモリセルの前記第1不揮発性メモリ回路の第1端子が接続される第1電源線と、
    各メモリセルの前記第2不揮発性メモリ回路の第1端子が接続される第2電源線と、
    各メモリセルの前記第1および第2不揮発性メモリ回路のそれぞれの第2端子が接続される出力線と、
    前記複数のメモリセルに対応して設けられる複数の選択信号線であって、それぞれの選択信号線には対応するメモリセルにおける前記第1および第2不揮発性メモリ回路のそれぞれの第3端子が接続される、複数の選択信号線と、
    前記出力線に接続されるスイッチ回路と、
    を備え、
    各メモリセルにおける前記第1および第2不揮発メモリ回路はそれぞれ高抵抗状態と低抵抗状態との間で遷移可能であり、
    前記複数のメモリセルの一つのメモリセルが情報を記憶している状態では、前記一つのメモリセル内の前記第1および第2不揮発メモリ回路うちの一方が高抵抗状態であって、他方が低抵抗状態であることを特徴とするメモリ回路。
  2. 第1および第2不揮発性メモリ回路は、第1および第2不揮発性メモリトランジスタであり、
    前記第1不揮発性メモリトランジスタは、ソース/ドレインの一方が前記第1電源線に接続され、ソース/ドレインの他方が前記出力線に接続され、ゲートが前記選択信号線に接続され、
    前記第2不揮発性メモリトランジスタは、ソース/ドレインの一方が前記第2電源線に接続され、ソース/ドレインの他方が前記出力線に接続され、ゲートが対応する前記選択信号線に接続されることを特徴とする請求項1記載のメモリ回路。
  3. 前記第1および第2不揮発性メモリトランジスタは、フローティングゲート型不揮発性メモリトランジスタであることを特徴とする請求項2記載のメモリ回路。
  4. 前記第1および第2不揮発性メモリトランジスタは、MONOS型不揮発性メモリトランジスタであることを特徴とする請求項2記載のメモリ回路。
  5. 前記第1不揮発性メモリ回路は、一端が前記第1電源線および前記出力線の一方に接続される第1抵抗変化型メモリ素子と、ソース/ドレインの一方が前記第1抵抗変化型メモリ素子の他端に接続され、ソース/ドレインの他方が前記第1電源線および前記出力線の他方に接続され、ゲートが対応する前記選択信号線に接続される第1選択トランジスタと、を備え、
    前記第2不揮発性メモリ回路は、一端が前記第2電源線および前記出力線の一方に接続される第2抵抗変化型メモリ素子と、ソース/ドレインの一方が前記第2抵抗変化型メモリ素子の他端に接続され、ソース/ドレインの他方が前記第2電源線および前記出力線の他方に接続され、ゲートが対応する前記選択信号線に接続される第2選択トランジスタと、を備え、
    ていることを特徴とする請求項1記載のメモリ回路。
  6. 前記第1および第2不揮発性メモリ回路の出力を制御する出力制御信号を伝送する出力制御信号線をさらに備えていることを特徴とする請求項1記載のメモリ回路。
  7. 前記第1不揮発性メモリ回路は、ソース/ドレインの一方が前記第1電源線に接続され、ゲートが対応する前記選択信号線に接続される第1不揮発性メモリトランジスタと、ソース/ドレインの一方が前記第1不揮発性メモリトランジスタのソース/ドレインの他方に接続され、ソース/ドレインの他方が前記出力線の他方に接続され、ゲートが前記出力制御信号線に接続される第1選択トランジスタと、を備え、
    前記第2不揮発性メモリ回路は、ソース/ドレインの一方が前記第2電源線に接続され、ゲートが対応する前記選択信号線に接続される第2不揮発性メモリトランジスタと、ソース/ドレインの一方が前記第2不揮発性メモリトランジスタのソース/ドレインの他方に接続され、ソース/ドレインの他方が前記出力線に接続され、ゲートが前記出力制御信号線に接続される第2選択トランジスタと、を備え、
    ていることを特徴とする請求項6記載のメモリ回路。
  8. 前記第1不揮発性メモリ回路は、ソース/ドレインの一方が前記第1電源線に接続され、ゲートが対応する前記選択信号線に接続される第1不揮発性メモリトランジスタと、ソース/ドレインの一方が前記第1不揮発性メモリトランジスタのソース/ドレインの他方に接続され、ソース/ドレインの他方が前記出力線の他方に接続され、ゲートが前記出力制御信号線に接続される第2不揮発性メモリトランジスタと、を備え、
    前記第2不揮発性メモリ回路は、ソース/ドレインの一方が前記第2電源線に接続され、ゲートが対応する前記選択信号線に接続される第3不揮発性メモリトランジスタと、ソース/ドレインの一方が前記第3不揮発性メモリトランジスタのソース/ドレインの他方に接続され、ソース/ドレインの他方が前記出力線に接続され、ゲートが前記出力制御信号線に接続される第4不揮発性メモリトランジスタと、を備え、
    ていることを特徴とする請求項6記載のメモリ回路。
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