JP2013166601A - 搬送装置および搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送装置100は、複数の回転体110と、複数の回転体によって無端状に張架され、可撓性を有するワークWを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部112と、複数の搬送部の間に水平方向の位置を異にして複数配され、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークを浮上させる複数の浮上部116と、を備え、複数の浮上部は、複数の浮上部のうち搬送方向の下流側の端に配された浮上部である複数の下流端浮上部116a、116bの近傍において、隣り合う搬送部の対向間隔の中央側に対して、対向間隔の外側よりも強い浮上力をワークに作用させる。
【選択図】図1
Description
上述した実施形態において、下流端浮上部116a、116bのうち、中央側の下流端浮上部116aの方が、外側の下流端浮上部116bよりも、鉛直上方へ噴出する気体の流れを強くする構成について説明した。しかし、下流端浮上部116a、116bの配置を工夫することで、下流端浮上部116a、116bの気体の噴出力を均一とすることもできる。なお、上述した実施形態と実質的に機能が等しい構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
上述した実施形態において、下流端浮上部116a、116bのうち、中央側の下流端浮上部116aは、外側の下流端浮上部116bよりも、常に、鉛直上方へ噴出する気体の流れを強くする構成について説明した。しかし、下流端浮上部116aの気体の噴出力を、一時的に強くすることもできる。なお、上述した実施形態と実質的に機能が等しい構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
図7は、第2変形例における搬送方法を説明するためのフローチャートである。かかるフローチャートに記載の処理は、搬送装置200が複数のワークWを連続して搬送中、実行される。
上述した実施形態において、下流端浮上部116a、116bよりも予め定められた設定距離分、上流側の浮上部116を、固定的に上流側浮上部116cとして設定する構成について説明した。しかし、上流側浮上部116cとして用いる浮上部116を適応的に変更可能とすることもできる。なお、上述した実施形態および変形例と実質的に機能が等しい構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
図9は、第3変形例における搬送方法を説明するためのフローチャートである。かかるフローチャートに記載の処理は、搬送装置300が複数のワークWを連続して搬送中、実行される。
110 …回転体
112 …搬送部
116 …浮上部
116a、116b …下流端浮上部
220 …第1検出部
222、322 …浮上制御部
320 …第2検出部
W …ワーク
Wa …ワーク下流端
Wc …ワーク上流端
Claims (7)
- 複数の回転体と、
前記複数の回転体によって無端状に張架され、可撓性を有するワークを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、
前記複数の搬送部の間に、該複数の搬送部の対向方向および搬送方向に複数配され、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、前記ワークを浮上させる複数の浮上部と、
を備え、
前記複数の浮上部は、該複数の浮上部のうち搬送方向の下流側の端に配された該浮上部である複数の下流端浮上部において、隣り合う前記搬送部の対向間隔の中央側に対して、該対向間隔の外側よりも強い浮上力を前記ワークに作用させることを特徴とする搬送装置。 - 前記複数の浮上部のうち、前記下流端浮上部より上流側の浮上部において、周囲よりも弱い浮上力を作用させることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記ワークの搬送方向の下流側の端部であるワーク下流端が到達したことを検出する第1検出部と、
前記第1検出部より搬送方向の上流側に搬送方向の位置を異にして複数配され、前記ワークの搬送方向の上流側の端部であるワーク上流端が到達したことを検出する複数の第2検出部と、
前記第1検出部の検出に基づいて特定される設定期間、前記第2検出部の検出に基づいて特定される、前記ワークの搬送方向の上流側の端部であるワーク上流端近傍の前記浮上部について、周囲よりも弱い浮上力を作用させる浮上制御部と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項2に記載の搬送装置。 - 前記複数の浮上部のうち、前記複数の下流端浮上部に関し、隣り合う前記搬送部の対向間隔の中央側に配された該下流端浮上部の方が、該対向間隔の外側に配された該下流端浮上部よりも鉛直上方への気体の流れを強くすることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の搬送装置。
- 前記複数の浮上部のうち、前記複数の下流端浮上部に関し、隣り合う前記搬送部の対向間隔の中央側に配された該下流端浮上部の方が、該対向間隔の外側に配された該下流端浮上部よりも、気体の流れを生じさせる位置が鉛直上方に配されうることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の搬送装置。
- 前記ワークの搬送方向の下流側の端部であるワーク下流端が到達したことを検出する第1検出部と、
前記第1検出部の検出に基づいて特定される設定期間、隣り合う前記搬送部の対向間隔の中央側に対して、該対向間隔の外側よりも強い浮上力を作用させるよう前記浮上部を制御する浮上制御部と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の搬送装置。 - 複数の回転体と、該複数の回転体によって無端状に張架され、可撓性を有するワークを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、該複数の搬送部の間に、該複数の搬送部の対向方向および搬送方向に複数配され、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、該ワークを浮上させる複数の浮上部と、を備えた搬送装置を用いた搬送方法であって、
前記ワークの搬送方向の下流側の端部であるワーク下流端が到達したことを検出し、
前記ワーク下流端の到達の検出に基づいて特定される設定期間、隣り合う前記搬送部の対向間隔の中央側に対して、該対向間隔の外側よりも強い浮上力を前記ワークに作用させることを特徴とする搬送方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018142700A (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-13 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント(グループ)カンパニー リミティド | 基板搬送装置および方法 |
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2012
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