JP2011084352A - ワーク浮上装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークに部分的な反りや撓みが発生したときに、これを検知して補正できるワーク浮上装置を提供する。
【解決手段】ワークを浮上させるための流体を噴出する流体噴出体をワークの進行方向に所定間隔で配設し、ワークを浮上させた状態で移動させる搬送装置を設け、前記所定間隔で配設された流体噴出体の間にはそれぞれセンサを設け、これによりそれぞれのセンサが設けられた垂直位置におけるワークの浮上距離を計測可能とし、この複数のセンサでワークの浮上距離を同時に計測する同時計測処理を実行するとともに、この同時計測処理によって計測されたすべてのセンサの計測結果の平均値を算出し、特定のセンサがこの平均値と比較して所定の閾値を超えて相違する計測結果を計測した場合には、当該特定のセンサから見てワークの進行方向側に設けられた直近の流体噴出体が噴出する流体の流量または圧力を調節する流体調節処理を行うようにした。
【選択図】図１

Description

本発明は、ワークをエアによって浮上させるとともに、浮上させた状態で搬送するためのワーク浮上装置に関するものである。

従来、薄板や薄膜のワークを搬送する際、ワークへの損傷を防止するため、ワークをエア等の流体によって浮上させた状態で搬送することが行われている。
この際に、ワークの浮上距離をセンサ等により計測するとともに、この計測結果に基づいてワークに供給するエアの量を調節し、これにより、ワークが搬送台と接触することがないようにして、ワークの損傷を防止することが行われている。
たとえば、特許文献１には、基板を搬送するために基板載置台に設けられた複数の浮上用エアー吹き出し穴および推力用エアー吹き出し穴と、上記基板載置台と該基板載置台に載置される基板との微小間隙を測定するエアマイクロと、このエアマイクロの測定出力に基づいて基板と基板載置台との間の隙間が一定になるように上記浮上用エアー吹き出し穴から吹き出すエアーの吹き出し量を調整する制御手段とを設けた基板の搬送装置の発明が開示されている。

特開平５−１０４３４４号公報

しかしながら、上記したような従来の浮上装置においては、センサ等により浮上距離のフィードバック制御が行われてはいるものの、このフィードバック制御はあくまでもワークと搬送台との接触を避けるためのものであり、ワークの部分的な反りや撓みを減少させるものではなかった。
このため、浮上させたワークの特定部分における浮上距離と、他の部分における浮上距離とが異なることにより、ワークに部分的な反りや撓みが発生したときに、これを十分に補正することができないという問題点があった。
そこで、本発明は、ワークに部分的な反りや撓みが発生したときに、これを検知して補正できるワーク浮上装置を提供することを課題とする。

本発明は、上記した課題を解決するためになされたものである。以下、各請求項にそれぞれ記載された発明の特徴および作用を説明する。
なお、符号は、発明の実施の形態において用いた符号を示し、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
（請求項１）
請求項１に記載の発明は、以下を特徴とする。
すなわち、請求項１に記載のワーク浮上装置10は、ワーク100を流体によって浮上させるとともに、浮上させた状態で搬送するためのワーク浮上装置10であって、ワーク100を浮上させるための流体を噴出する流体噴出体12をワーク100の進行方向Ｑに所定間隔で配設し、ワーク100を浮上させた状態で移動させる搬送装置17を設け、前記所定間隔で配設された流体噴出体12の間にはそれぞれセンサ20が設けられており、これによりそれぞれのセンサ20が設けられた垂直位置におけるワーク100の浮上距離を計測可能となっており、この複数のセンサ20でワーク100の浮上距離を同時に計測する同時計測処理を実行するとともに、この同時計測処理によって計測されたすべてのセンサ20の計測結果の平均値を算出し、特定のセンサＳがこの平均値と比較して所定の閾値を超えて相違する計測結果を計測した場合には、当該特定のセンサＳから見てワーク100の進行方向Ｑ側に設けられた直近の流体噴出体Ｐが噴出する流体の流量または圧力を調節する流体調節処理を行うことを特徴とする。

なお、同時計測処理は複数のセンサで同時行われることとしているが、ここで言う「同時」は、必ずしも厳密に同時である必要はなく、制御装置等が可能な限り同時に実行されていれば良いものである。
（請求項２）
請求項２に記載の発明は、上記した請求項１に記載の発明の特徴点に加え、以下を特徴とする。
すなわち、請求項２に記載のワーク浮上装置10は、前記特定のセンサＳの計測結果が、前記平均値と比較して所定の閾値を超えて小さい場合、前記流体調節処理として、少なくとも、前記直近の流体噴出体Ｐが噴出する流体の流量または圧力を他の流体噴出体12が噴出する流体の流量または圧力よりも相対的に大きくなるようにする処理を実行し、前記特定のセンサＳの計測結果が、前記平均値と比較して所定の閾値を超えて大きい場合、前記流体調節処理として、少なくとも、前記直近の流体噴出体Ｐが噴出する流体の流量または圧力を他の流体噴出体12が噴出する流体の流量または圧力よりも相対的に小さくなるようにする処理を実行することを特徴とする。

（請求項３）
請求項３に記載の発明は、上記した請求項１または２に記載の発明の特徴点に加え、以下を特徴とする。
請求項３に記載のワーク浮上装置10は、前記平均値を予め定められた許容最大値と比較し、前記平均値の方が大きい場合には、すべての流体噴出体12の噴出する流体の流量または圧力を減少させた上で前記流体調節処理を行い、前記平均値を予め定められた許容最小値と比較し、前記平均値の方が小さい場合には、すべての流体噴出体12の噴出する流体の流量または圧力を増大させた上で前記流体調節処理を行うことを特徴とする。

なお、平均値が予め定められた許容最大値と比較して大きい場合においてすべての流体噴出体の噴出する流体の流量または圧力を減少させる場合には、同時計測処理における最も小さい計測結果を考慮することとしても良い。すなわち、最も小さい計測結果を基準として、減少させる流体の流量または圧力を決定しても良い。例えば、最も小さい計測結果が、予め定められた浮上量計算テーブルのどの範囲にあるかによって、減少させることが可能な流体の流量または圧力を判断し、これにより、減少させる流体の流量または圧力を決定しても良い。
また、平均値が予め定められた許容最大値と比較して小さい場合においてすべての流体噴出体の噴出する流体の流量または圧力を増大させる場合には、同時計測処理における最も大きい計測結果を考慮することとしても良い。すなわち、最も大きい計測結果を基準として、増大させる流体の流量または圧力を決定しても良い。例えば、最も大きい計測結果が、予め定められた浮上量計算テーブルのどの範囲にあるかによって、増大させることが可能な流体の流量または圧力を判断し、これにより、増大させる流体の流量または圧力を決定しても良い。

（請求項４）
請求項４に記載の発明は、上記した請求項１乃至３に記載の発明の特徴点に加え、以下を特徴とする。
請求項４に記載のワーク浮上装置10は、前記流体噴出体12は、流体を噴出するのみならず、流体を吸引するように形成されており、前記特定のセンサＳの計測結果が、前記平均値と比較して所定の閾値を超えて小さい場合、前記流体調節処理として、少なくとも、前記直近の流体噴出体Ｐが吸引する流体の流量または圧力を他の流体噴出体12が吸引する流体の流量または圧力よりも相対的に小さくなるようにする処理を実行し、前記特定のセンサＳの計測結果が、前記平均値と比較して所定の閾値を超えて大きい場合、前記流体調節処理として、少なくとも、前記直近の流体噴出体Ｐが吸引する流体の流量または圧力を他の流体噴出体12が吸引する流体の流量または圧力よりも相対的に大きくなるようにする処理を実行することを特徴とする。

（請求項５）
請求項５に記載の発明は、上記した請求項１乃至４に記載の発明の特徴点に加え、以下を特徴とする。
請求項５に記載のワーク浮上装置10は、前記流体調節処理は、少なくとも前記搬送装置17が前記特定のセンサＳと前記直近の流体噴出体Ｐと間を移動するのに必要とする時間分の遅延処理を行った上で実行されることを特徴とする。
なお、センサと流体噴出体との距離は、それぞれのセンサおよび流体噴出体の設けられた位置によって異なることとしても良い。しかしながら、センサと流体噴出体との距離がすべてが等しくなるように配置することで、処理を単純化することができるため、このような配置とすることが望ましい。

請求項１に記載の発明は上記の通りであり、複数のセンサでワークの浮上距離を同時に計測する同時計測処理を実行するとともに、この同時計測処理によって計測されたすべてのセンサの計測結果の平均値を算出し、特定のセンサがこの平均値と比較して所定の閾値を超えて相違する計測結果を計測したかどうかを判断する。このため、特定のセンサの上方においてワークが部分的に反りや撓みを発生させているか否かを検出できる。
そして、特定のセンサがこの平均値と比較して所定の閾値を超えて相違する計測結果を計測した場合、すなわち、ワークが部分的に反りや撓みを発生させていることを検出した場合には、当該特定のセンサから見てワークの進行方向側に設けられた直近の流体噴出体が噴出する流体の流量または圧力を調節する流体調節処理を行うこととしている。このため、反りや撓みを発生させている部分が移動する先に設けられた流体噴出体の流体の流量または圧力を調節することができ、ワークの部分的な反りや撓みを解消することができる。

また、請求項２に記載の発明によれば、前記特定のセンサの計測結果が、前記平均値と比較して所定の閾値を超えて小さい場合、前記流体調節処理として、少なくとも、前記直近の流体噴出体が噴出する流体の流量または圧力を他の流体噴出体が噴出する流体の流量または圧力よりも相対的に大きくなるようにする処理を実行する。このため、他の部分と比較して所定の閾値以上に浮上距離が小さい（短い）部分が検出された場合には、この部分が移動する先に設けられた流体噴出体の流体噴出量等を相対的に大きくして、この部分の浮上距離が相対的に大きくなるようにすることができ、ワークの部分的な反りや撓みを解消できる。

同様に、請求項２に記載の発明では、前記特定のセンサの計測結果が、前記平均値と比較して所定の閾値を超えて大きい場合、前記流体調節処理として、少なくとも、前記直近の流体噴出体が噴出する流体の流量または圧力を他の流体噴出体が噴出する流体の流量または圧力よりも相対的に小さくなるようにする処理を実行する。このため、他の部分と比較して所定の閾値以上に浮上距離が大きい（長い）部分が検出された場合には、この部分が移動する先に設けられた流体噴出体の流体噴出量等を相対的に小さくして、この部分の浮上距離が相対的に小さくなるようにすることができ、ワークの部分的な反りや撓みを解消できる。

また、請求項３に記載の発明によれば、同時計測処理によって計測されたすべてのセンサの計測結果の平均値を予め定められた許容最大値と比較する。その上で、この平均値の方が大きい場合には、すべての流体噴出体の噴出する流体の流量または圧力を減少させた上で前記流体調節処理を行う。このため、全体的にワークの浮上距離が大きすぎる場合には、一度ワーク全体の浮上距離が小さくなるように制御することができ、すなわち、ワークの浮上距離が大きすぎるにもかかわらず流体調節処理によって更にワークが浮上距離が大きくなり過ぎることを回避できる。
一方、同時計測処理によって計測されたすべてのセンサの計測結果の平均値が、予め定められた許容最小値よりも小さい場合には、すべての流体噴出体の噴出する流体の流量または圧力を増大させた上で前記流体調節処理を行う。このため、全体的にワークの浮上距離が小さすぎる場合には、一度ワーク全体の浮上距離が大きくなるように制御することができ、すなわち、ワークの浮上距離が小さすぎるにもかかわらず流体調節処理によって更にワークが浮上距離が小さくなり過ぎることを回避できる。

また、請求項４に記載の発明によれば、前記流体調節処理として、前記直近の流体噴出体が吸引する流体の流量または圧力を他の流体噴出体が吸引する流体の流量または圧力よりも相対的に小さくなるようにする処理や、前記直近の流体噴出体が吸引する流体の流量または圧力を他の流体噴出体が吸引する流体の流量または圧力よりも相対的に大きくなるようにする処理を実行するため、流体の噴出量のみならず、流体の吸引量によってもワークの浮上距離を調節することができる。
また、請求項５に記載の発明によれば、前記流体調節処理は、少なくとも前記搬送装置が前記特定のセンサと前記直近の流体噴出体と間を移動するのに必要とする時間分の遅延処理を行った上で実行される。このため、ワークのある部分において、浮上距離が大きい、または浮上距離が小さいことが検出されたときに、当該部分が直近の流体噴出体の上方にまで移動されることを待って流体調節処理が行われることとなり、反りや撓みを発生させている部分が移動してくるタイミングに合わせて流体噴出体の流体の流量または圧力を調節することができる。

本発明の実施の形態であって、ワーク浮上装置の全体斜視図である。

本発明の実施形態について、図を参照しながら説明する。
図１に示すように、本実施形態に係るワーク浮上装置10は、搬送台21の上に設置されて、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）などのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板などのワーク100を搬送するためのものである。
具体的には、搬送台21の上面には、縦枠材23の間に横枠材24を架橋したフレーム22が形成されている。そして、このフレーム22上にワーク浮上装置10の底板11が配置されており、この底板11の上面に複数の流体噴出体12が所定の配列で配置されている。本実施例においては、図１に示すように５×４の２０個の流体噴出体12が所定の配列で配置されていることとしている。

この複数の流体噴出体12は、チャンバーと、チャンバーの上面に固定された多孔質カーボンで形成された多孔質板とを備えており、この多孔質板の表面からエアを噴出することにより、ワーク100を浮上させるようになっている。
この複数の流体噴出体12により浮上させられたワーク100は、前述した搬送台21の縦枠材23の一方側に設けられたレール（図示せず）上を移動する搬送装置17によって移動される。すなわち、搬送装置17は、前述したフレーム22の１辺を形成する縦枠材23上に設けられたレール上を移動するものであり、ワーク100を保持して移動するためのものである。この搬送装置17には、ワーク100方向へと突出したアーム部19が設けられるとともに、当該アーム部19の先端部分には、吸着パッド18が複数設けられており、この吸着パッド18によってワーク100を吸着可能となっている。この吸着パッド18は、吸着パッド18の吸着面をワーク100に当接させ、この状態で吸着パッド18の図示しない吸引口から空気を吸引することにより、ワーク100を吸着するものである。このように吸着パッド18がワーク100を吸着した状態で搬送装置17を移動させることにより、搬送装置17がワーク100を保持した状態で移動可能に形成されている。なお、この搬送装置17は、レールに沿って双方向（図１において両端矢印として図示）に進退可能なものではあるが、以下の説明のおいては、図１にＱとして示す方向がワーク100の進行方向であるとして説明する。

ところで、流体噴出体12は、上記したように、多孔質板の表面からエアを噴出することによりワーク100を浮上させるものであるが、同時にエア吸引孔14からエアを吸引することによって浮上剛性を大きくし、浮上させたワーク100が安定するようにするものでもある。すなわち、流体噴出体12には、正圧配管15を介してエアが供給されるとともに、負圧配管16を介してエアが吸引され、これにより、流体噴出体12の多孔質板の表面からはエアを噴出するとともに、エア吸引孔14からはエアが吸引されるようになっている。
そして、これらエアの供給量と吸引量及びエアの圧力は、各流体噴出体12ごとに設けられた流量調節弁（図示せず）及び圧力調節弁（図示せず）によって調整されている。このため、後述する流体調節処理は、図示しない制御装置がこの流量調節弁及び圧力調節弁を制御することによって行われることとなる。

また、流体噴出体12は、本実施形態においては図１に示すように進行方向Ｑに４列、×幅方向に５列の計２０個設けられており、これらは進行方向Ｑにおいても幅方向においても所定間隔となるように配置されている。そして、各流体噴出体12の進行方向Ｑ手前側と奥側には、各流体噴出体12と対応するようにセンサ20が設けられている。このセンサ20は、各流体噴出体12と対応するように設けられるため、本実施形態では２５個設けられている。また、このセンサ20は、対応する各流体噴出体12との間の距離がすべて同じになるように等間隔で配置されている。このセンサ20は、それぞれのセンサ20が設けられた垂直位置におけるワーク100の浮上距離を計測することが可能となっている。

次に、本実施形態における流体調節処理について説明する。
この流体調節処理は、流体噴出体12が噴出及び吸引するエアの流量または圧力を調節することにより、ワーク100の浮上量を平均化し、ワーク100の部分的な反りや撓みを解消するためのものであり、以下のような手順で実行される。
（１）まず、ワーク浮上装置10の図示しない制御装置は、この流体調節処理を実施するに当たり、まず同時計測処理を実行する。この同時計測処理において、制御装置は、前述した複数のセンサ20のすべてに対し、各センサ20が設けられた垂直位置におけるワーク100の浮上距離を計測するように信号を発生させる。これにより、制御装置は、すべてのセンサ20が計測した計測結果、すなわち、それぞれのセンサ20が設けられた垂直位置におけるワーク100の浮上距離を取得する。
（２）次に、制御装置は、すべてのセンサ20が計測した計測結果を基に、計測結果の平均値を算出する。
（３）そして、制御装置は、予め設定された許容最大値及び許容最小値を内部メモリに保持しており、前述した平均値をこの許容最大値及び許容最小値と比較する。

ここで、平均値が許容最大値よりも大きい場合には、ワーク100全体が浮上し過ぎていることを示しているので、制御装置はすべての流体噴出体12の噴出するエアの流量または圧力を減少させ、これにより、ワーク100全体の浮上量を下げる。このとき、ワーク100の浮上量を下げ過ぎるとワーク100の一部がワーク浮上装置10に接触する可能性があるため、同時計測処理における最も小さい計測結果を基にして、減少させるエアの流量または圧力を決定する。具体的には、最も小さい計測結果が予め定められた浮上量計算テーブルのどの範囲にあるかによって、減少させることが可能なエアの流量または圧力を判断し、これにより、減少させるエアの流量または圧力を決定する。

また、平均値が許容最小値よりも小さい場合には、ワーク100全体の浮上量が足りないことを示しているので、制御装置はすべての流体噴出体12の噴出するエアの流量または圧力を増大させ、これにより、ワーク100全体の浮上量を上げる。このとき、ワーク100の浮上量を上げ過ぎるとワーク100がワーク浮上装置10から離れ過ぎて不安定となるため、同時計測処理における最も大きい計測結果を基にして、増大させるエアの流量または圧力を決定する。具体的には、最も大きい計測結果が予め定められた浮上量計算テーブルのどの範囲にあるかによって、増大させることが可能なエアの流量または圧力を判断し、これにより、増大させるエアの流量または圧力を決定する。
（４）次に、制御装置は、特定のセンサ20が前記平均値と比較して所定の閾値を超えて相違する計測結果を計測していないかを判定する。具体的には、各センサ20の計測結果と前記平均値とを比較して差分値を求め、この差分値を予め定められた閾値と比較する。そして、この差分値が予め定められた閾値を超えている場合、流体調節処理を実行する。

すなわち、あるセンサ20の計測結果が、前記平均値と比較して所定の閾値を超えて小さい場合には、流体調節処理として、このセンサ20から見てワーク100の進行方向Ｑ側に設けられた直近の流体噴出体12が噴出するエアの流量または圧力を他の流体噴出体12が噴出するエアの流量または圧力よりも相対的に大きくなるようにするとともに、この流体噴出体12が吸引するエアの流量または圧力を他の流体噴出体12が吸引するエアの流量または圧力よりも相対的に小さくなるようにする処理を実行する。
もしくは、あるセンサ20の計測結果が、前記平均値と比較して所定の閾値を超えて大きい場合には、流体調節処理として、このセンサ20から見てワーク100の進行方向Ｑ側に設けられた直近の流体噴出体12が噴出するエアの流量または圧力を他の流体噴出体12が噴出するエアの流量または圧力よりも相対的に小さくなるようにするとともに、この流体噴出体12が吸引するエアの流量または圧力を他の流体噴出体12が吸引するエアの流量または圧力よりも相対的に大きくなるようにする処理を実行する。

ここで、流体調節処理は、あるセンサ20の計測結果が前記平均値と比較して所定の閾値を超えて小さい（または大きい）ことが検出されたときにすぐに実行されるわけではなく、所定時間分の遅延処理が行われた上で実行されるものである。
この点を説明するため、以下、図１で「Ｓ」として示したセンサ20が、前記平均値と比較して所定の閾値を超えて小さい計測結果を計測したと仮定して説明する。
なお、前述したように、流体調節処理においてはセンサＳのから見てワーク100の進行方向Ｑ側に設けられた直近の流体噴出体12が流体調節処理によってエアの流量または圧力が調節されることとなるが、この流体噴出体12は図１においては「Ｐ」として示されている。

ここで、流体調節処理は、少なくとも前記搬送装置17が前記特定のセンサＳと前記直近の流体噴出体Ｐと間を移動するのに必要とする時間分の遅延処理を行った上で、実行される。
具体的には、前記特定のセンサＳと前記直近の流体噴出体Ｐとの間の距離をＡとし、前記搬送装置17の速度をＢとすると、制御装置は、前記同時計測処理の後に少なくとも（Ｂ／Ａ）時間のウェイト処理を実行した後に、流体調節処理を実行する。
こうすることで、浮上距離が小さいと判断されたワーク100の一部が流体噴出体Ｐの上方に移動するまで流体調節処理が実行されないこととなり、言い換えると、浮上距離が小さいと判断されたワーク100の一部が流体噴出体Ｐの上方に移動した後に流体調節処理が実行されることとなるから、反りや撓みを発生させている部分に対して的確にエアを当てることができる。

なお、ワーク100の進行方向が図１にＱとして示す方向とは逆方向となる場合であっても、流体調節処理によって、センサ20から見てワーク100の進行方向側に設けられた直近の流体噴出体12が噴出または吸引するエアの流量または圧力が調節される。
また、流体噴出体12から噴出され、あるいは吸引される流体としては、空気の他に、窒素、アルゴン、ヘリウム等の気体や、水等の液体を使用することもできる。

10 ワーク浮上装置 11 底板
12 流体噴出体 14 エア吸引孔
15 正圧配管 16 負圧配管
17 搬送装置 18 吸着パッド
19 アーム部 20 センサ
21 搬送台 22 フレーム
23 縦枠材 24 横枠材
100 ワーク

Claims (5)

1. ワークを流体によって浮上させるとともに、浮上させた状態で搬送するためのワーク浮上装置であって、
   ワークを浮上させるための流体を噴出する流体噴出体をワークの進行方向に所定間隔で配設し、
   ワークを浮上させた状態で移動させる搬送装置を設け、
   前記所定間隔で配設された流体噴出体の間にはそれぞれセンサが設けられており、これによりそれぞれのセンサが設けられた垂直位置におけるワークの浮上距離を計測可能となっており、
   この複数のセンサでワークの浮上距離を同時に計測する同時計測処理を実行するとともに、
   この同時計測処理によって計測されたすべてのセンサの計測結果の平均値を算出し、特定のセンサがこの平均値と比較して所定の閾値を超えて相違する計測結果を計測した場合には、当該特定のセンサから見てワークの進行方向側に設けられた直近の流体噴出体が噴出する流体の流量または圧力を調節する流体調節処理を行うことを特徴とする、ワーク浮上装置。
2. 前記特定のセンサの計測結果が、前記平均値と比較して所定の閾値を超えて小さい場合、前記流体調節処理として、少なくとも、前記直近の流体噴出体が噴出する流体の流量または圧力を他の流体噴出体が噴出する流体の流量または圧力よりも相対的に大きくなるようにする処理を実行し、
   前記特定のセンサの計測結果が、前記平均値と比較して所定の閾値を超えて大きい場合、前記流体調節処理として、少なくとも、前記直近の流体噴出体が噴出する流体の流量または圧力を他の流体噴出体が噴出する流体の流量または圧力よりも相対的に小さくなるようにする処理を実行することを特徴とする、請求項１記載のワーク浮上装置。
3. 前記平均値を予め定められた許容最大値と比較し、前記平均値の方が大きい場合には、すべての流体噴出体の噴出する流体の流量または圧力を減少させた上で前記流体調節処理を行い、
   前記平均値を予め定められた許容最小値と比較し、前記平均値の方が小さい場合には、すべての流体噴出体の噴出する流体の流量または圧力を増大させた上で前記流体調節処理を行うことを特徴とする、請求項１または２記載のワーク浮上装置。
4. 前記流体噴出体は、流体を噴出するのみならず、流体を吸引するように形成されており、
   前記特定のセンサの計測結果が、前記平均値と比較して所定の閾値を超えて小さい場合、前記流体調節処理として、少なくとも、前記直近の流体噴出体が吸引する流体の流量または圧力を他の流体噴出体が吸引する流体の流量または圧力よりも相対的に小さくなるようにする処理を実行し、
   前記特定のセンサの計測結果が、前記平均値と比較して所定の閾値を超えて大きい場合、前記流体調節処理として、少なくとも、前記直近の流体噴出体が吸引する流体の流量または圧力を他の流体噴出体が吸引する流体の流量または圧力よりも相対的に大きくなるようにする処理を実行することを特徴とする、請求項１乃至３記載のワーク浮上装置。
5. 前記流体調節処理は、少なくとも前記搬送装置が前記特定のセンサと前記直近の流体噴出体と間を移動するのに必要とする時間分の遅延処理を行った上で実行されることを特徴とする、請求項１乃至４記載のワーク浮上装置。