JP2013165294A - ワーク受渡し機構を有する装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハの一面に第1の固定治具3aを密着固定し、その他面に対し所定の処理を行った後、ウエハの他面に第2の固定治具3bを密着固定し、第1の固定治具3aを脱離して第2の固定治具3bにウエハを受け渡す。両固定治具は、治具本体31と、その片面に設けた密着層32とからなる。治具本体は、密着層を支持する複数の支持突起33及び側壁34を有し、側壁の端面に密着層が接着されて密着層と治具本体との間に側壁で囲われた区画空間35が画成され、区画空間に連通する通気孔36が形成され、区画空間内の空気の吸引により密着層が変形される。脱離の際、第1の固定治具の密着層を変形させ、両固定治具を相互に離間する方向に相対移動させる。
【選択図】図4
Description
Claims (2)
- 薄板状のワークの一面に第1の固定治具を密着固定し、その他面に対し所定の処理を行った後、または、一面に対し所定の処理を行った薄板状のワークのその一面に第1の固定治具を密着させた後、当該ワークの他面に第2の固定治具を密着固定する工程と、当該ワークから第1の固定治具を脱離して第2の固定治具にワークを受け渡す工程と、を含むワーク搬送方法であって、
前記第1及び第2の両固定治具は、板状の治具本体と、当該治具本体の片面に設けられ当該ワークを着脱自在に密着保持する密着層とから構成され、前記治具本体は、片面に前記密着層を支持する複数の支持突起を有すると共に、片面の外周部に前記支持突起と同等高さの側壁を有し、この側壁の端面に前記密着層が接着されて、前記密着層と前記治具本体との間に前記側壁で囲われた区画空間が画成され、前記治具本体に前記区画空間に連通する通気孔が形成され、この通気孔を介して前記区画空間内の空気を吸引することにより、前記密着層が変形されるものであり、
前記脱離を、前記第1の固定治具の密着層を変形させた後に、前記両固定治具を、相互に離間する方向に相対移動させて行うことを特徴とするワーク搬送方法。 - 第1の固定治具が密着固定された薄板状のワークを第2の固定治具に受け渡すワーク受渡し機構を有する装置であって、
前記第1及び第2の両固定治具は、板状の治具本体と、当該治具本体の片面に設けられ当該ワークを着脱自在に密着保持する密着層とから構成され、前記治具本体は、片面に前記密着層を支持する複数の支持突起を有すると共に、片面の外周部に前記支持突起と同等高さの側壁を有し、この側壁の端面に前記密着層が接着されて、前記密着層と前記治具本体との間に前記側壁で囲われた区画空間が画成され、前記治具本体に前記区画空間に連通する通気孔が形成され、この通気孔を介して前記区画空間内の空気を吸引することにより、前記密着層が変形されるものであり、
前記ワーク受渡し機構が、第1の固定治具の通気孔に連通し、吸引手段に接続する貫通孔を有する着脱部と、ワークまたは固定治具の支持が可能で上下反転可能に形成されたフィンガー部を有する搬送手段とを備え、
前記ワークを受け渡した後の固定治具を一時的に保管する治具待機部を設けたことを特徴とするワーク受渡し機構を有する装置。
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