JP2013158871A - 研削装置 - Google Patents
研削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013158871A JP2013158871A JP2012021945A JP2012021945A JP2013158871A JP 2013158871 A JP2013158871 A JP 2013158871A JP 2012021945 A JP2012021945 A JP 2012021945A JP 2012021945 A JP2012021945 A JP 2012021945A JP 2013158871 A JP2013158871 A JP 2013158871A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- feed
- workpiece
- wheel
- grinding wheel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims abstract description 392
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 8
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】制御手段11は、砥石45及び砥石55の消耗量を第一の研削送り手段7及び第二の研削送り手段8の研削送り位置P2で監視し、研削ホイール交換位置P1に研削送り位置P2が到達した時をホイール交換が必要と判断する判断部110と板状ワークWを研削する毎に研削送り位置P2を記憶する記憶部111と複数の研削送り位置P2を基に粗研削ホイール44及び仕上げ研削ホイール54の交換時期を予測する予測部112とその交換時期が同一時期となるように第一の研削送り手段7及び第二の研削送り手段8の研削送り量を算出する算出部113とを備え、粗研削ホイール44及び仕上げ研削ホイール54のホイール交換時期を同期させる。そして、研削装置1による作業時間の短縮を可能とする。
【選択図】図2
Description
ボールネジ80と平行に配設された一対のガイドレール83と、仕上げ研削手段5をZ軸方向に研削送りする移動基台84とを備えている。移動基台84の一方の面にスピンドルハウジング81が固定され、他方の面の中央部分には、ナット構造が形成されており、当該ナット構造にボールネジ80が螺合している。そして、サーボモータ81の駆動により、ボールネジ80を回動させ、移動基台84を移動させるとともに仕上げ研削手段5をZ軸方向に昇降させることができる。
図1に示す搬送ロボット16は、カセット15Aから加工前の板状ワークを取り出し、仮置き手段17に搬送する。仮置き手段17に仮置きされた板状ワークは、搬送アーム18Aにより着脱領域Bに位置するチャックテーブル100の保持面101に載置される。
2:装置ベース
3:ターンテーブル
4:粗研削手段 40:スピンドル 41:スピンドルハウジング
42:モータ 43:マウント 44:粗研削ホイール 45:砥石
5:仕上げ研削手段 50:スピンドル 51:スピンドルハウジング 52:モータ 53:マウント 54:仕上げ研削ホイール 55:砥石
6A,6B:コラム
7:第一の研削送り手段 70:ボールネジ 71:サーボモータ 72:軸受け部
73:ガイドレール 74:移動基台
8:第二の研削送り手段 80:ボールネジ 81:サーボモータ 82:軸受け部
83:ガイドレール 84:移動基台
9:回転軸
10:保持手段 100:チャックテーブル 101:保持面 102:保持部
103:回転軸 104:吸引孔 105:吸引源 106:ベルト 107:モータ
11:制御手段 110:判断部 111:記憶部 112:予測部 113:算出部
15A,15B:カセット
16:搬送ロボット
17:仮置き手段
18A:搬送アーム 18A 搬送アーム
19:洗浄手段
20:位置検出器
Claims (1)
- 被加工物を保持面で保持し回転可能な保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を研削する研削砥石が環状に配列された研削ホイールを備える研削手段と、該研削手段を該保持手段の該保持面に垂直な方向に研削送りして該保持面に接近させ、該研削砥石を該保持手段に保持された該被加工物に接触させ該被加工物の厚みを減じさせる研削送り手段と、該保持手段が複数配設され該保持手段を公転させる自転可能なターンテーブルとを備え、該ターンテーブルに配設される少なくとも3つの該保持手段のうち、少なくとも2つの該保持手段に保持されるそれぞれの被加工物について同時に研削加工を可能にする少なくとも2つの研削手段とを備える研削装置であって、
該研削砥石による被加工物の研削により、該保持手段に保持される被加工物の厚みを減じさせるとともに、該研削砥石の消耗量を個々の研削手段を研削送りする個々の研削送り手段の研削送り位置に基づき個々に監視し、該研削送り手段に指定した研削ホイール交換位置に該研削送り位置が到達した時を研削ホイールの交換が必要な時期と判断する判断部と、
該保持面に保持される被加工物を研削加工する毎に研削送り位置を記憶する記憶部と、
該記憶部に記憶される複数の該研削送り位置を基に該研削ホイールの交換時期を予測する予測部と、
該予測部で予測した個々の研削手段に取り付けられたそれぞれの研削ホイールの交換時期が同一時期となるよう該予測部の予測を基に該研削送り手段の研削送り量を算出する算出部と、を備える研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012021945A JP5898982B2 (ja) | 2012-02-03 | 2012-02-03 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012021945A JP5898982B2 (ja) | 2012-02-03 | 2012-02-03 | 研削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013158871A true JP2013158871A (ja) | 2013-08-19 |
JP5898982B2 JP5898982B2 (ja) | 2016-04-06 |
Family
ID=49171560
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012021945A Active JP5898982B2 (ja) | 2012-02-03 | 2012-02-03 | 研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5898982B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015100896A (ja) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 株式会社ディスコ | 研削装置およびウェーハ加工装置 |
CN113727810A (zh) * | 2020-03-25 | 2021-11-30 | 株式会社精工技研 | 光纤套箍端面研磨装置 |
CN114888657A (zh) * | 2022-05-05 | 2022-08-12 | 江苏沣鼎新材料有限公司 | 一种基于连续毡增强片材的防撞梁模压件及加工装置 |
JP7413839B2 (ja) | 2020-02-28 | 2024-01-16 | 株式会社プロテリアル | 刃具交換時期表示装置および刃具交換時期表示方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004058175A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 両頭研削装置 |
JP2005217334A (ja) * | 2004-02-02 | 2005-08-11 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削方法 |
JP2011101913A (ja) * | 2009-11-10 | 2011-05-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工装置 |
-
2012
- 2012-02-03 JP JP2012021945A patent/JP5898982B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004058175A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 両頭研削装置 |
JP2005217334A (ja) * | 2004-02-02 | 2005-08-11 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削方法 |
JP2011101913A (ja) * | 2009-11-10 | 2011-05-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015100896A (ja) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 株式会社ディスコ | 研削装置およびウェーハ加工装置 |
JP7413839B2 (ja) | 2020-02-28 | 2024-01-16 | 株式会社プロテリアル | 刃具交換時期表示装置および刃具交換時期表示方法 |
CN113727810A (zh) * | 2020-03-25 | 2021-11-30 | 株式会社精工技研 | 光纤套箍端面研磨装置 |
CN113727810B (zh) * | 2020-03-25 | 2023-05-23 | 株式会社精工技研 | 光纤套箍端面研磨装置 |
CN114888657A (zh) * | 2022-05-05 | 2022-08-12 | 江苏沣鼎新材料有限公司 | 一种基于连续毡增强片材的防撞梁模压件及加工装置 |
CN114888657B (zh) * | 2022-05-05 | 2023-10-20 | 江苏沣鼎新材料有限公司 | 一种基于连续毡增强片材的防撞梁模压件及加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5898982B2 (ja) | 2016-04-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6459524B2 (ja) | 複合研削盤および研削方法 | |
CN107914215B (zh) | 磨削磨具的修整方法 | |
JP6336772B2 (ja) | 研削研磨装置 | |
CN107791115B (zh) | 加工装置 | |
JP6329728B2 (ja) | 研削装置 | |
JP6157229B2 (ja) | 研削装置及び研削方法 | |
JP5898982B2 (ja) | 研削装置 | |
KR102287125B1 (ko) | 연삭 장치 | |
JP6424081B2 (ja) | 研削方法 | |
JP2009023057A (ja) | 研削部材のドレス方法および研削装置 | |
JP5856245B2 (ja) | インゴットブロックの複合面取り加工装置および面取り加工方法 | |
JP2009160705A (ja) | ウェーハの研削方法および研削加工装置 | |
JP2008130808A (ja) | 研削加工方法 | |
JP6851761B2 (ja) | 板状物の加工方法 | |
KR20190011209A (ko) | 웨이퍼의 가공 방법 | |
JP2011245571A (ja) | 加工装置 | |
JP6803171B2 (ja) | 研削装置及び加工装置 | |
JP5603303B2 (ja) | アンギュラ研削方法およびアンギュラ研削装置 | |
JP2008119776A (ja) | ウエーハの砥石工具、研削加工方法および研削加工装置 | |
JP5231107B2 (ja) | ウエーハの研削方法 | |
JP2014226767A (ja) | ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 | |
JP2001038588A (ja) | ワークの研削方法及び研削装置 | |
CN105643426B (zh) | 磨床以及研磨方法 | |
JP2024009560A (ja) | ワークの研削方法 | |
CN114102309A (zh) | 加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150126 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20150427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151124 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160121 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160209 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160307 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5898982 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |