JP2013157839A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 圧電基板上に通過帯域周波数の異なる第１のフィルタと第２のフィルタとを備え、前記第１のフィルタは圧電基板側から第１の電極と第２の電極と第３の電極と第４の電極をこの順に積層した４層以上の積層電極を含み、前記第２のフィルタは圧電基板側から前記第３の電極と前記第４の電極をこの順に積層した２層電極を含むことを特徴とするアンテナ共用器。
2. 圧電基板上に通過帯域周波数の異なる第１のフィルタと第２のフィルタとを備え、前記第１のフィルタは圧電基板側から第１の電極と第２の電極と第３の電極と第４の電極をこの順に積層した４層以上の積層電極を含み、前記第２のフィルタは圧電基板上に前記第４の電極の単層を含むことを特徴とするアンテナ共用器。
3. 前記第１のフィルタは送信フィルタであることを特徴とする請求項１または２記載のアンテナ共用器。
4. 前記第２のフィルタは受信フィルタであることを特徴とする請求項３記載のアンテナ共用器。
5. 前記第１の電極と第３の電極が共にチタンから構成されたことを特徴とする請求項１乃至４いずれか一項記載のアンテナ共用器。
6. 前記第２の電極と第４の電極が共にアルミニウムを主成分とした金属から構成されたことを特徴とする請求項５記載のアンテナ共用器。
7. 前記第２のフィルタが少なくとも１つ以上の縦結合型弾性波共振器を含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項記載のアンテナ共用器。
8. 前記第１のフィルタを形成した第１の領域における前記圧電基板の厚みと、前記第２のフィルタを形成した第２の領域における前記圧電基板の厚みが異なることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項記載のアンテナ共用器。
9. 前記第１のフィルタと第２のフィルタの間の圧電基板表面に段差を設けたことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項記載のアンテナ共用器。
10. 前記第１の電極の膜厚と前記第２の電極の膜厚と前記第３の電極の膜厚がそれぞれ、前記第４の電極の膜厚の１０％以下であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項記載のアンテナ共用器。
11. 圧電基板に第１の電極と第２の電極とを順に積層する工程と、
    前記第１の電極と前記第２の電極が存在する第１の領域と前記第１の電極と前記第２の電極が存在しない第２の領域を前記圧電基板上に形成する工程と、
    前記圧電基板の前記第１の領域および前記第２の領域に第３の電極および第４の電極を順に積層する工程と、
    前記第１の領域の前記第１の電極、前記第２の電極、前記第３の電極、および前記第４の電極と前記第２の領域の前記第３の電極および前記第４の電極を１度のエッチングプロセスでエッチングする工程と
    を備えたアンテナ共用器の製造方法。
12. 圧電基板に第１の電極と第２の電極と第３の電極とを順に積層する工程と、
    前記第１の電極、前記第２の電極、および前記第３の電極が存在する第１の領域と前記第１の電極、前記第２の電極および前記第３の電極が存在しない第２の領域を前記圧電基板上に形成する工程と、
    前記圧電基板の前記第１の領域および前記第２の領域に第４の電極を形成する工程と、
    前記第１の領域の前記第１の電極、前記第２の電極、前記第３の電極、および前記第４の電極と前記第２の領域の前記第４の電極を一度のエッチングプロセスでエッチングする工程と
    を備えたアンテナ共用器の製造方法。