JP2015073271A5 - - Google Patents

Claims (22)

1. バルク弾性波（ＢＡＷ）デバイスであって、
   第１電極と、
   第２電極と、
   前記第１電極および前記第２電極の間に結合される圧電層と、
   温度補償を提供する反射体層を有し、前記第２電極に結合される反射体スタックと、を備え、
   前記反射体層は、当該ＢＡＷデバイスの主共振周波数における音波の縦波波長の約３／４から前記音波の縦波波長の約４／５の間の厚さを有するＢＡＷデバイス。
2. 前記反射体層は、二酸化シリコン層を備える、請求項１に記載のＢＡＷデバイス。
3. 当該ＢＡＷデバイスは、ＳＭＲ（solidly mounted resonator）型であり、
   前記反射体層は、二酸化シリコン層とタングステン層とが交互に積層された層を含む、請求項２に記載のＢＡＷデバイス。
4. 前記反射体層は、前記反射体スタックの最上層である、請求項３に記載のＢＡＷデバイス。
5. バルク弾性波（ＢＡＷ）デバイスであって、
   第１電極と、
   第２電極と、
   前記第１電極および前記第２電極の間に結合される圧電層と、
   温度補償を提供する反射体層を有し、前記第２電極に結合される反射体スタックと、を備え、
   前記反射体層は、当該ＢＡＷデバイスの主共振周波数における音波の縦波波長の少なくとも半分の厚さを有し、
   前記反射体層は、ＢＡＷデバイスにおける音波のエネルギーの約３０％を含むように構成されるＢＡＷデバイス。
6. バルク弾性波（ＢＡＷ）デバイスであって、
   第１電極と、
   第２電極と、
   前記第１電極および前記第２電極の間に結合される圧電層と、
   温度補償を提供する反射体層を有し、前記第２電極に結合される反射体スタックと、を備え、
   前記反射体層は、当該ＢＡＷデバイスの主共振周波数における音波の縦波波長の少なくとも半分の厚さを有し、
   前記反射体層は、前記反射体スタックの最上層であり、前記反射体スタックは、前記音波の縦波波長の少なくとも半分の厚さを有する別の反射体層をさらに含むＢＡＷデバイス。
7. 電極対と圧電層を有する共振器と、
   前記共振器に結合され、複数のミラーモードを提供するためのオーバーモード構造となる最上層を含む反射体スタックと、を備えるバルク弾性波（ＢＡＷ）デバイス。
8. 前記最上層は、当該ＢＡＷデバイスにおける音波のエネルギーの約２０％以上を含むように構成される、請求項７に記載のＢＡＷデバイス。
9. 前記最上層は、当該ＢＡＷデバイスの音波のエネルギーの約３０％を含むように構成される、請求項８に記載のＢＡＷデバイス。
10. 前記最上層は、当該ＢＡＷデバイスの主共振周波数における音波の縦波波長の少なくとも半分の厚さを有する、請求項７に記載のＢＡＷデバイス。
11. 前記厚さは、前記音波の縦波波長の約３／４から前記音波の縦波波長の４／５の間である、請求項１０に記載のＢＡＷデバイス。
12. 前記最上層は、二酸化シリコン層を備える、請求項７に記載のＢＡＷデバイス。
13. 当該ＢＡＷデバイスは、ＳＭＲ（solidly mounted resonator）型であり、
    前記反射体スタックは、二酸化シリコン層とタングステン層とが交互に積層された層を含む、請求項７に記載のＢＡＷデバイス。
14. 前記反射体スタックは、オーバーモード構造となる別の層を含む、請求項７に記載のＢＡＷデバイス。
15. オーバーモード構造となる前記別の層は、当該ＢＡＷデバイスにおけるミラーモードの大きさの低減を助けるためのものである、請求項１４に記載のＢＡＷデバイス。
16. 最上部の反射体層は、第１の音響インピーダンスを有し、前記反射体スタックの別の層は、前記第１の音響インピーダンスよりも大きい第２の音響インピーダンスを有する、請求項７に記載のＢＡＷデバイス。
17. 前記反射体スタックは、第１の音響インピーダンスを有する層と第２の音響インピーダンスを有する層とが交互に積層された層を含む、請求項１５に記載のＢＡＷデバイス。
18. アンテナ構造と、
    前記アンテナ構造に結合され、無線周波数信号を受信または送信するように構成され、温度補償型のバルク弾性波（ＢＡＷ）デバイスを有するフィルタを含むトランシーバと、を備え、
    前記ＢＡＷデバイスは、
    音波の形態と電気的な形態との間でエネルギーを変換するように構成される共振器と、
    前記共振器に結合され、当該ＢＡＷデバイスにおける音波のエネルギーの約２０％以上を有するように構成される温度補償層を有する反射体と、
    を有する、システム。
19. 前記温度補償層は、前記ＢＡＷデバイスの主共振周波数における音波の縦波波長の少なくとも半分の厚さを有する、請求項１８に記載のシステム。
20. 前記反射体は、音波の縦波波長の少なくとも半分の厚さを有する別の温度補償層を含む、請求項１８に記載のシステム。
21. バルク弾性波（ＢＡＷ）デバイスの製造方法であって、
    基板を提供するステップと、
    前記基板の上に複数の反射体層を形成するステップであって、最上部の反射体層が当該ＢＡＷデバイスの主共振周波数における音波の縦波波長の約３／４から前記音波の縦波波長の４／５の間の厚さを有するようにするステップと、
    前記最上部の反射体層の上に共振器を形成するステップと、を備える方法。
22. バルク弾性波（ＢＡＷ）デバイスの製造方法であって、
    基板を提供するステップと、
    前記基板の上に複数の反射体層を形成するステップであって、最上部の反射体層が当該ＢＡＷデバイスの主共振周波数における音波の縦波波長の少なくとも半分の厚さを有し、別の反射体層が前記音波の縦波波長の少なくとも半分の厚さを有するようにするステップと、
    前記最上部の反射体層の上に共振器を形成するステップと、を備える方法。