JP2013152230A - 容量型加速度センサー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可動電極4および固定電極5からなる電極対を有し、固定電極5上にダイヤモンド状DLCコーティング層をトップ層とし、酸化物をベース層とした2層複合構造のアイソレーター層構造体6を有している。
【選択図】図2
Description
本発明は、加速度の測定において用いられる測定装置、より詳細には、容量型加速度センサーに関する。本発明は、過負荷の状況によって引き起こされる消耗に、より良く耐える、改善された、より耐久力のあるセンサー構造を提供する。
容量型加速度センサーに基づく測定は、シンプルな原理を有し、加速度の測定のための信頼度の高い方法を提供することがわかっている。容量型の測定(capacitive measuring)は、センサーにおける電極対の、2つの表面間のギャップの変化に基づいている。表面間の容量、あるいは電荷を蓄えるための容量は、表面の面積および表面間の距離によって決まる。容量型の測定は、加速度のいくぶん低い測定範囲において用いることがすでに可能である。
って、可動電極1が固定電極2へ一時的または恒久的に膠着(sticking)し、センサーが機能するのを妨げることがある。
、様々な粗面化(roughening)またはコーティング処理によってなされてきた。例えば、脂質フィルムやフルオロポリマーからなる、表面力低減フィルムを構造に適用してきた。
本発明の目的は、電極間の膠着を防ぎ、過負荷の状況によって引き起こされる消耗に対してよりよく耐えるような、改善されたセンサー構造を提供することである。
図1については上述されている。以下に、本発明およびその実施のための好ましい方法を、図2を参照して記載する。
本発明による加速度センサーでは、電極対のアイソレーター突出部が、ダイヤモンド状のDLCコーティング(DLC、ダイヤモンドライクカーボン(Diamond Like Carbon)
)でコートされている。本発明による解決法によって、膠着力を低くすることができ、また電極の消耗を押さえることができる。
学気相堆積(Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition, PECVD)によって、またある
いは、アーク放電堆積(ark discharge deposition)によって成長させることができる。
回避することができる。
擦を低減させる、耐消耗コーティングは、加速度センサーの電極対の動きを改善する。
Claims (15)
- 少なくとも1対の電極を有する容量型加速度センサーであって、該電極対は、加速度に応答する可動電極(4)と、少なくとも1つの固定電極(5)と、少なくとも1つのアイソレーター突出部とを有し、
その特徴が、該アイソレーター突出部が、ダイヤモンド状DLCコーティングでコートされていることである、
前記容量型加速度センサー。 - アイソレーター突出部(6)が2層複合構造を有し、ここで、ベース層の材料は堆積し易いものであり、該ベース層が次にダイヤモンド状DLCコーティングのトップ層でコートされていることを特長とする、請求項1に記載の容量型加速度センサー。
- トップ層のダイヤモンド状DLCコーティングが、さらにアイソレーター突出部(6)の側面へ延びていることを特徴とする、請求項2に記載の容量型加速度センサー。
- トップ層のダイヤモンド状DLCコーティングが、さらにアイソレーター突出部(6)のエッジを越えて、固定電極(5)のエリア上へ延びていることを特徴とする、請求項3に記載の容量型加速度センサー。
- ベース層が、実質的にトップ層よりも厚いことを特徴とする、請求項2〜4のいずれか1項に記載の容量型加速度センサー。
- ベース層が、酸化物からなることを特徴とする、請求項2〜5のいずれか1項に記載の容量型加速度センサー。
- 容量型加速度センサーの電極対が、複数のアイソレーター突出部(6)を有することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の容量型加速度センサー。
- アイソレーター突出部が、可動電極(4)の両面の側に位置していることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の容量型加速度センサー。
- アイソレーター突出部(6)が、固定電極(5)上に位置していることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の容量型加速度センサー。
- アイソレーター突出部(6)が、可動電極(4)上に位置していることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の容量型加速度センサー。
- アイソレーター突出部(6)のダイヤモンド状DLCコーティングが、イオンビーム堆積によって成長したものであることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか1項に記載の容量型加速度センサー。
- アイソレーター突出部(6)のダイヤモンド状DLCコーティングが、プラズマ励起化学気相堆積によって成長したものであることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか1項に記載の容量型加速度センサー。
- アイソレーター突出部(6)のダイヤモンド状DLCコーティングが、アーク放電堆積によって成長したものであることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか1項に記載の容量型加速度センサー。
- アイソレーター突出部(6)のダイヤモンド状DLCコーティングフィルムの品質が、結合の比率sp3/sp2を高めることによって改善されたものであることを特徴とする、請求項1〜13のいずれか1項に記載の容量型加速度センサー。
- アイソレーター突出部(6)のダイヤモンド状DLCコーティングフィルムの品質が、ダイヤモンド状DLCコーティングフィルムの水素含有量を減らすことによって改善されたものであることを特徴とする、請求項1〜14のいずれか1項に記載の容量型加速度センサー。
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