JP2013149952A - 半導体装置、光半導体装置および放熱部材 - Google Patents

Abstract

【課題】実装基板および放熱部材の浮き上がりを有効に防止することのできる半導体装置を含む光半導体装置、および、それに用いられる放熱部材を提供すること。
【解決手段】光半導体装置５は、光半導体素子８を実装する光半導体実装基板６と、光半導体実装基板６と間隔を隔てて対向配置されるヒートシンク７と、光半導体実装基板６とヒートシンク７との間に介在され、光半導体実装基板６とヒートシンク７とに密着する粘着性放熱シート１とを備え、粘着性放熱シート１は、チャック間距離２０ｍｍ、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、２３℃で測定される引張弾性率が、６００ＭＰａ以下である。
【選択図】図２

Description

本発明は、半導体装置、光半導体装置および放熱部材、詳しくは、光半導体装置を含む半導体装置、および、それに用いられる放熱部材に関する。
に関する。

近年、液晶表示装置や照明装置は、光半導体装置（発光ダイオード装置）などの半導体装置を備える。

そのような光半導体装置として、例えば、基板およびそれの前面に実装されるＬＥＤ素子を有する発光モジュールと、それの後側に間隔を隔てて配置されるヒートシンクと、それらの間に介在される放熱シートとを備える光源装置が提案されている（例えば、下記特許文献１参照。）。

また、特許文献１の光源装置では、ヒートシンクの側部に設けられ、前方に延びるフック部材の前端部の爪によって基板の端部を係止することにより、発光モジュールを放熱シートを介してヒートシンクに密着させている。

これにより、特許文献１の光源装置では、ＬＥＤ素子で発生する熱を放熱シートによってヒートシンクに効率的に熱伝導させている。

特開２０１１−２０４４９５号公報

しかし、特許文献１の光源装置では、基板は、端部が爪で係止されていることから、爪による締付力が強い場合には、基板の中央部が浮き上がる（反る）場合がある。その場合には、粘着性放熱シートの中央部も、基板の浮き上がりに付随して、浮き上がる。そうすると、粘着性放熱シートとヒートシンクとの間に隙間を生じる。その結果、粘着性放熱シートおよびヒートシンクによる上記した熱伝導性が低下する不具合がある。

本発明の目的は、実装基板および放熱部材の浮き上がりを有効に防止することのできる半導体装置を含む光半導体装置、および、それに用いられる放熱部材を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の半導体装置は、半導体素子を実装する実装基板と、前記実装基板と間隔を隔てて対向配置される冷却部材と、前記実装基板と前記冷却部材との間に介在され、前記実装基板と前記冷却部材とに密着する放熱部材とを備え、前記放熱部材は、チャック間距離２０ｍｍ、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、２３℃で測定される引張弾性率が、６００ＭＰａ以下であることを特徴としている。

また、本発明の半導体装置では、前記放熱部材は、粘着性であることが好適である。

また、本発明の半導体装置では、前記放熱部材は、粘着性樹脂組成物および熱伝導性粒子を含有する粘着性熱伝導組成物から形成される粘着性熱伝導層を備えることが好適である。

また、本発明の半導体装置では、前記粘着性樹脂組成物は、アクリル系ポリマーを含んでいることが好適である。

また、本発明の光半導体装置は、上記した半導体装置からなる光半導体装置であり、前記半導体素子が、光半導体素子であり、前記実装基板が、光半導体実装基板であることを特徴としている。

また、本発明の放熱部材は、半導体素子を実装する実装基板と、前記実装基板と間隔を隔てて対向配置される冷却部材との間に介在され、前記実装基板と前記冷却部材とに密着するための放熱部材であり、前記放熱部材は、チャック間距離２０ｍｍ、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、２３℃で測定される引張弾性率が、６００ＭＰａ以下であることを特徴としている。

本発明の放熱部材を備える本発明の半導体装置では、実装基板において、半導体素子によって生じる熱を、放熱部材を介して、冷却部材に熱伝導させることができる。

また、放熱部材は、引張弾性率が、６００ＭＰａ以下であるので、実装基板が、冷却部材に対する締付力に基づいて固定される場合でも、実装基板にかかる押圧力を放熱部材が十分に吸収することができるので、実装基板および放熱部材の浮き上がり（反り）を有効に防止することができる。

そのため、上記した放熱部材を介した冷却部材への熱伝導性の低下を有効に防止することができる。

また、本発明の光半導体装置は、熱伝導性に優れる半導体装置からなるので、光半導体素子および光半導体実装基板における熱を効率よく熱伝導させることにより、光半導体素子の発光効率の低下を有効に防止することができる。

図１は、本発明の放熱部材の一実施形態である粘着性放熱シートの断面図を示す。 図２は、本発明の半導体装置の実施形態である光半導体装置の断面図であり、（ａ）は、光半導体実装基板およびヒートシンクが粘着性放熱シートを介して貼着される状態、（ｂ）は、光半導体装置の両端部がねじで締め付けられる状態を示す。 比較例１および２の光半導体装置の両端部がねじで締め付けられる状態の断面図を示す。 図４は、実施例の評価において熱抵抗を測定する熱特性評価装置の説明図であり、（ａ）は、正面図、（ｂ）は、側面図を示す。

図１は、本発明の放熱部材の一実施形態である粘着性放熱シートの断面図を示す。

図１において、粘着性放熱シート１は、基材２と、基材２の両面に積層される粘着性熱伝導層３とを備える。

基材２は、例えば、紙などの紙系基材、例えば、布、不職布、ネットなどの繊維系基材、例えば、金属箔、金属板などの金属系基材、例えば、樹脂のフィルムやシートなどの樹脂系基材、例えば、ゴムシートなどのゴム系基材、例えば、発泡シートなどの発泡体やこれらの積層体（特に、プラスチック系基材と他の基材との積層体や、プラスチックフィルム（またはシート）同士の積層体など）などの適宜な薄葉体などが挙げられる。

好ましくは、樹脂系基材が挙げられる。

樹脂系基材を形成する樹脂として、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）などのポリエステル樹脂、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）などのα−オレフィンをモノマー成分とするオレフィン系樹脂、例えば、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、例えば、酢酸ビニル系樹脂、例えば、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、例えば、ポリアミド（ナイロン）、全芳香族ポリアミド（アラミド）などのアミド系樹脂、例えば、ポリイミド系樹脂、例えば、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）などが挙げられる。

樹脂として、好ましくは、ポリエステル樹脂が挙げられる。

樹脂は、単独使用または併用することができる
基材２は、複数層から形成することもできる。

基材２の厚みは、例えば、２〜１００μｍ、好ましくは、５〜５０μｍ、さらに好ましくは、１２〜３８μｍである。

また、基材２の表面（上面および下面の両面）に、粘着性熱伝導層３との密着性を高めるため、表面処理、例えば、コロナ処理、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理などの化学的または物理的方法による酸化処理などを施すことができ、あるいは、下塗り剤や剥離剤などによるコーティング処理を施すこともできる。

粘着性熱伝導層３は、粘着性と熱伝導性とを併有する層であって、例えば、粘着性熱伝導組成物から形成されている。

粘着性熱伝導組成物は、粘着性樹脂組成物と熱伝導性粒子とを含有している。

粘着性樹脂組成物としては、例えば、熱可塑性エラストマー、シリコーンゴム、アクリル系ポリマーなどが挙げられる。これらは、単独使用または併用することができる。好ましくは、粘着性および緩衝性の観点から、アクリル系ポリマーが挙げられる。つまり、好ましくは、粘着性熱伝導組成物は、アクリル系ポリマーと熱伝導性粒子とを含有している。

アクリル系ポリマーは、アルキル部分の炭素数が２〜１４である（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主成分として含有するモノマー成分を共重合することにより得られる。

（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、下記一般式（１）で表される。

ＣＨ_２＝Ｃ（Ｒ^１）ＣＯＯＲ^２ （１）
上記一般式（１）において、Ｒ^１は水素またはメチル基である。

また、上記一般式（１）において、Ｒ^２は、例えば、炭素数２〜１４のアルキル基であり、好ましくは、炭素数３〜１２のアルキル基、より好ましくは、炭素数４〜９のアルキル基である。また、Ｒ^２のアルキル基は、直鎖または分岐鎖のいずれも使用でき、好ましくは、ガラス転移温度が低いことから、分岐鎖が挙げられる。

具体的には、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸イソペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸イソヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸イソウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸イソドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸イソトリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸イソテトラデシルなどの（メタ）アクリル酸Ｃ_２−１４アルキルエステルが挙げられる。

特に接着特性のバランスを取り易いという点から、好ましくは（メタ）アクリル酸Ｃ_３−１２アルキルエステル、さらに好ましくは、（メタ）アクリル酸Ｃ_４−９アルキルエステルが挙げられる。

（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、単独使用または２種以上併用することができる。

（メタ）アクリル酸アルキルエステルの配合割合は、例えば、モノマー成分に対して、６０質量％以上（具体的には、６０〜９９質量％）、好ましくは８０質量％以上（具体的には、８０〜９８質量％）である。また、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの配合割合を、モノマー成分に対して、例えば、５０〜９８質量％、好ましくは、６０〜９８質量％、より好ましくは、７０〜９０質量％に設定することもできる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルの配合割合が上記下限に満たないと、接着性に乏しくなる場合がある。

モノマー成分には、極性基含有モノマーを含有させることもできる。

これにより、例えば、光半導体実装基板６（後述、図２（ａ）参照）への接着力を向上させたり、粘着性熱伝導層３の凝集力を高めたりすることができる。

極性基含有モノマーとしては、例えば、窒素含有モノマー、水酸基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、カルボキシル基含有モノマーなどを挙げることができる。

窒素含有モノマーとしては、例えば、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）（メタ）アクリルアミド（ＨＥＭＡ／ＨＥＡＡ）、Ｎ−（２−ヒドロキシプロピル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（１−ヒドロキシプロピル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（３−ヒドロキシプロピル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシブチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（３−ヒドロキシブチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（４−ヒドロキシブチル）（メタ）アクリルアミドなどのＮ−ヒドロキシアルキル（メタ）アクリルアミド、例えば、Ｎ−（メタ）アクリロイルモルホリン、Ｎ−アクリロイルピロリジンなどの環状（メタ）アクリルアミド、例えば、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、ダイアセトン（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ビニルアセトアミド、Ｎ，Ｎ’−メチレンビス（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミドなどのＮ−置換（メタ）アクリルアミド（他にも、例えば、Ｎ−エチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミドなどのＮ−アルキル（メタ）アクリルアミド、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジイソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジ（ｎ−ブチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジ（ｔ−ブチル）（メタ）アクリルアミドなどのＮ，Ｎ−ジアルキル（メタ）アクリルアミドが例示される。）などの非環状（メタ）アクリルアミド、例えば、Ｎ−ビニル−２−ピロリドン（ＮＶＰ）、Ｎ−ビニル−２−ピペリドン、Ｎ−ビニル−３−モルホリノン、Ｎ−ビニル−２−カプロラクタム、Ｎ−ビニル−１，３−オキサジン−２−オン、Ｎ−ビニル−３，５−モルホリンジオン、Ｎ−ビニル−２−ピロリドンなどのＮ−ビニル環状アミド、例えば、アミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、Ｎ−（メタ）アクリロイルモルホリンなどの、アミノ基を有するモノマー、例えば、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−プロピルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ブチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどの、マレイミド骨格を有するモノマー、例えば、Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミド、Ｎ−シクロヘキシルイタコンイミドなどの、イタコンイミド系モノマーなどが挙げられる。また、窒素含有モノマーとして、例えば、アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノ基含有モノマーも挙げられる。

窒素含有モノマーのうち、好ましくは、貼着初期の接着性が良好であるという点から、Ｎ−ヒドロキシアルキル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ビニル環状アミドが挙げられ、さらに好ましくは、ＨＥＭＡ／ＨＥＡＡ、ＮＶＰが挙げられる。

水酸基含有モノマーは、上記したＮ−ヒドロキシアルキル（メタ）アクリルアミドを除くモノマーであり、例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロへキシル）メチルメタクリレート、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシ（メタ）アクリルアミド、ビニルアルコール、アリルアルコール、２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングリコールモノビニルエーテルなどが挙げられる。なかでも、好ましくは、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートが挙げられる。

スルホン酸基含有モノマーとしては、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などを挙げることができる。

リン酸基含有モノマーとしては、２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどを挙げることができる。

カルボキシル基含有モノマーは、１分子中にカルボキシル基（無水物の形態であり得る。）を１つ以上有するモノマーであって、例えば（メタ）アクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、無水マレイン酸、無水イタコン酸など挙げられる。好ましくは、（メタ）アクリル酸が挙げられる。

極性基含有モノマーのうち、シアノ基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、カルボキシル基含有モノマーは、凝集性・耐熱性向上成分とされる。

極性基含有モノマーのうち、好ましくは、カルボキシル基含有モノマー以外のモノマー、具体的には、水酸基含有モノマー、窒素含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマーが挙げられ、さらに好ましくは、接着特性の観点から、水酸基含有モノマー、窒素含有モノマーが挙げられる。

極性基含有モノマーは、単独使用または２種以上併用することができる。

極性基含有モノマーの配合割合は、モノマー成分に対して、例えば、５質量％以上、好ましくは、５〜３０質量％、さらに好ましくは、６〜２５質量％である。また、極性基含有モノマーの配合割合を、モノマー成分に対して、例えば、０．１〜２０質量％、より好ましくは０．２〜１０質量％、さらに好ましくは０．２〜７質量％に設定することもできる。

極性基含有モノマーの配合割合が上記下限以上であれば、良好な保持力を得ることができる。一方、極性基含有モノマーの配合割合が上記下限未満であると、粘着性熱伝導層３の凝集力が低下し、高い保持力が得られない場合があり、上記上限を超えると粘着性熱伝導層３の凝集力が高くなり過ぎ、接着性が低下する場合がある。

さらに、モノマー成分に、必要に応じて、多官能性モノマーを配合することもできる。

多官能性モノマーをモノマー成分に配合することにより、アクリル系ポリマーに架橋構造を導入することができ、粘着性熱伝導層３として必要な凝集力を調整することができる。

多官能性モノマーとしては、例えば、ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、ビニル（メタ）アクリレート、ジビニルベンゼン、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレートなどが挙げられる。

好ましくは、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートが挙げられる。

多官能性モノマーは、単独使用または２種以上併用することができる。

多官能性モノマーの配合割合は、モノマー成分に対して、例えば、２質量％以下、好ましくは、０．０１〜２質量％、さらに好ましくは、０．０２〜１質量％である。

多官能性モノマーの配合割合が上記上限を超えると、粘着性熱伝導層３の凝集力が高くなり過ぎ、接着性が低下する場合がある。また、多官能性モノマーの配合割合が上記下限未満であると、粘着性熱伝導層３の凝集力が低下する場合がある。

なお、モノマー成分として、必要に応じて、その他のモノマーを配合することもできる。

その他のモノマーは、（メタ）アクリル酸アルキルエステルおよび極性基含有モノマーと共重合可能な共重合性モノマーであって、具体的には、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテルなどのエポキシ基含有モノマー、例えば、（メタ）アクリル酸２−メトキシエチル、（メタ）アクリル酸３−メトキシプロピル、（メタ）アクリル酸メトキシエチレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシポリプロピレングリコールなどのアルコキシ基含有モノマー、例えば、スチレン、クロロスチレン、クロロメチルスチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエンなどの芳香族ビニルモノマー（スチレン系モノマー）、例えば、エチレン、プロピレン、イソプレン、ブタジエン、イソブチレンなどのα−オレフィン、例えば、２−イソシアナートエチルアクリレート、２−イソシアナートエチルメタクリレートなどのイソシアネート基含有モノマー、例えば、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、ラウリン酸ビニルなどのビニルエステル系モノマー、例えば、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレートなどの複素環含有（メタ）アクリル酸エステル、例えば、フッ素（メタ）アクリレートなどの、ハロゲン原子含有モノマー、例えば、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシランなどのアルコキシシリル基含有モノマー、例えば、シリコーン（メタ）アクリレートなどの、シロキサン結合含有モノマーなどが挙げられる。また、その他のモノマーとして、ビニルエーテル系モノマーなどの接着力向上や架橋化基点として働く官能基を有する成分、さらには、直鎖状のアルキル部分の炭素数が１または１５以上である（メタ）アクリル酸アルキルエステル、環状のアルキル部分（シクロアルキル）を有する（メタ）アクリル酸シクロアルキルなどを挙げることもできる。

ビニルエーテル系モノマーとしては、例えば、メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテルなどが挙げられる。

アルキル部分の炭素数が１または１５以上である（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、アクリル酸イソオクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシルなどが挙げられる。

（メタ）アクリル酸シクロアルキルとしては、例えば、シクロペンチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。

上記その他の重合性モノマーは、単独で使用してもよく、また２種以上を混合して使用することもできる。

好ましくは、アルコキシ基含有モノマーが挙げられる。

これらその他のモノマーは、単独使用または併用することができる。

その他のモノマーの割合は、モノマー成分に対して、例えば、３０質量％以下、好ましくは、２０質量％以下であり、また、例えば、０．１質量％以上、好ましくは、１質量％以上でもある。また、その他のモノマーの割合を、モノマー成分に対して、例えば、５０質量％以下、好ましくは、３５質量％以下、より好ましくは、２５質量％以下に設定することもできる。

そして、アクリル系ポリマーを調製するには、例えば、溶液重合、塊状重合、乳化重合、各種ラジカル重合などの公知の製造方法を適宜選択できる。また、得られるアクリル系ポリマーは、単独重合体（ホモポリマー）であっても共重合体（コポリマー）であってもよく、共重合体である場合には、ランダム共重合体、ブロック共重合体、グラフト共重合体などいずれでもよい。

具体的には、上記したモノマー成分を、光重合開始剤（光開始剤）や熱重合開始剤などの重合開始剤の存在下で、熱や紫外線による重合（硬化反応）させる。

重合開始剤として、例えば、塊状重合が採用される場合には、好ましくは、光重合開始剤が挙げられ、また、例えば、溶液重合が採用される場合には、好ましくは、熱重合開始剤が採用される。

光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインエーテル系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、α−ケトール系光重合開始剤、芳香族スルホニルクロリド系光重合開始剤、光活性オキシム系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンジル系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、ケタール系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤などが挙げられる。

具体的には、ベンゾインエーテル系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、アニソールメチルエーテルなどが挙げられる。アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えば、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、４−（ｔ−ブチル）ジクロロアセトフェノンなどが挙げられる。α−ケトール系光重合開始剤としては、例えば、２−メチル−２−ヒドロキシプロピオフェノン、１−［４−（２−ヒドロキシエチル）フェニル］−２−メチルプロパン−１−オンなどが挙げられる。芳香族スルホニルクロリド系光重合開始剤としては、例えば、２−ナフタレンスルホニルクロライドなどが挙げられる。光活性オキシム系光重合開始剤としては、例えば、１−フェニル−１，１−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）−オキシムなどが挙げられる。

また、ベンゾイン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインなどが挙げられる。ベンジル系光重合開始剤としては、例えば、ベンジルなどが挙げられる。ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３、３′−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、ポリビニルベンゾフェノン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどが挙げられる。ケタール系光重合開始剤としては、例えば、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、デシルチオキサントンなどが挙げられる。

光重合開始剤は、単独使用または併用することができる。

光重合開始剤として、好ましくは、ベンゾインエーテル系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤が挙げられる。

光重合開始剤の配合割合は、モノマー成分１００質量部に対して、例えば、０．０１〜５質量部、好ましくは、０．０５〜３質量部である。

なお、熱重合開始剤としては、例えば、２，２′−アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）、２，２′−アゾビス−２−メチルブチロニトリル、２，２′−アゾビス（２−メチルプロピオン酸）ジメチル、４，４′−アゾビス−４−シアノバレリアン酸、アゾビスイソバレロニトリル、２，２′−アゾビス（２−アミジノプロパン）ジヒドロクロライド、２，２′−アゾビス［２−（５−メチル−２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］ジヒドロクロライド、２，２′−アゾビス（２−メチルプロピオンアミジン）二硫酸塩、２，２′−アゾビス（Ｎ，Ｎ′−ジメチレンイソブチルアミジン）ヒドロクロライド、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−カルボキシエチル）−２−メチルプロピオンアミジン］ハイドレートなどのアゾ系重合開始剤、例えば、ジ（２−エチルヘキシル）パーオキシジカーボネート、ジ（４−ｔ−ブチルシクロヘキシル）パーオキシジカーボネート、ジ−ｓｅｃ−ブチルパーオキシジカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシネオデカノエート、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレート、ｔ−ブチルパーオキシピバレート、ジラウロイルパーオキシド、ジ−ｎ−オクタノイルパーオキシド、１，１，３，３−テトラメチルブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ジ（４−メチルベンゾイル）パーオキシド、ジベンゾイルパーオキシド、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、１，１−ジ（ｔ−ヘキシルパーオキシ）シクロヘキサン、ｔ−ブチルハイドロパーオキシド、過酸化水素などの過酸化物系重合開始剤、例えば、過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウムなどの過硫酸塩、例えば、過硫酸塩と亜硫酸水素ナトリウムとの組み合わせ、過酸化物とアスコルビン酸ナトリウムとの組み合わせなどのレドックス系重合開始剤などが挙げられる。熱重合開始剤として、好ましくは、アゾ系重合開始剤が挙げられ、より好ましくは、ＡＩＢＮが挙げられる。

また、重合開始剤は、単独で使用してもよく、また２種以上を混合して使用してもよいが、全体としての配合割合は、モノマー成分１００質量部に対して、例えば、０．００５〜１質量部であり、好ましくは、０．０２〜０．５質量部である。

とりわけ、光重合開始剤の配合割合は、モノマー成分１００質量部に対して、例えば、０．０１〜５質量部、好ましくは、０．０５〜３質量部である。

また、とりわけ、熱重合開始剤の配合割合は、モノマー成分１００質量部に対して、例えば、０．０１〜０．２質量部である。

アクリル系ポリマーを塊状重合により調製するには、好ましくは、モノマー成分を、上記した光重合開始剤の存在下、紫外線の照射によって、重合させる。

紫外線の照射条件に関し、照射エネルギーが、例えば、１００〜５０００ｍＪ／ｃｍ^２、好ましくは、３００〜３０００であり、照度が、例えば、１〜２０ｍＷ／ｃｍ^２、好ましくは、３〜１５ｍＷ／ｃｍ^２であり、照射時間が、例えば、０．１〜１０分間、好ましくは、１〜５分間である。

また、モノマー成分に対する紫外線の照射を分割して実施することによりアクリル系ポリマーを調製することもできる。具体的には、モノマー成分の反応物を含む反応液の粘度が所定の範囲となるように、モノマー成分に紫外線を照射（第１回目の重合）して、前駆体（モノマーの一部のみが重合した部分重合物を含むシロップ）を調製し、その後、前駆体に紫外線を照射（第２回目の重合、具体的には、硬化）することにより、アクリル系ポリマーを調製する。

その場合には、第１回目の重合において、モノマー成分のうち、一部のみを反応させて、前駆体を調製し、その後、前駆体に残部（追加）のモノマー成分を加えて、前駆体組成物を第２回目の重合に供することもできる。

例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、極性基含有モノマーおよびその他のモノマーを、光重合開始剤の存在下、光重合（第１回目の重合）させて、前駆体を調製し、それに多官能性モノマーを加えて前駆体組成物を調製し、これを光重合（第２回目の重合）に供する。

前駆体の粘度は、例えば、１〜１００Ｐａ・ｓ、好ましくは、１０〜５０Ｐａ・ｓである。粘度は、Ｎｏ．５ローターを用いるＢＨ粘度計により、回転速度１０ｒｐｍ、測定温度３０℃にて測定される。

一方、アクリル系ポリマーを溶液重合により調製するには、モノマー成分を、熱重合開始剤の存在下、重合させる。具体的には、モノマー成分および熱重合開始剤を適宜な溶媒（例えば、トルエンや酢酸エチル）に溶解して、モノマー溶液を調製する。溶媒は、モノマー溶液におけるモノマー成分の配合割合が、例えば、１〜６０質量％、好ましくは、１０〜５０質量％になるように、モノマー成分に配合される。続いて、モノマー溶液を、例えば、２０〜１００℃、好ましくは、４０〜８０℃、より好ましくは、５０〜８０℃の温度で、例えば、０．１〜４０時間、好ましくは、２〜３０時間加熱する。また、反応は窒素などの不活性ガス気流下で、実施される。

また、溶液重合および／または塊状重合では、必要により、連鎖移動剤をモノマー成分に配合することもできる。連鎖移動剤を用いることにより、アクリル系ポリマーの分子量（重量平均分子量）を適宜調整することができる。

連鎖移動剤としては、例えば、ラウリルメルカプタン、グリシジルメルカプタン、メルカプト酢酸、２−メルカプトエタノール、チオグリコール酸、チオグルコール酸２−エチルヘキシル、２，３−ジメルカプト−１−プロパノールなどが挙げられる。
これらの連鎖移動剤は、単独で使用してもよく、また２種以上を混合して使用することもできる。連鎖移動剤の配合割合は、モノマー成分１００質量部に対して、例えば、０．０１〜０．１質量部である。

また、乳化重合では、乳化剤の存在下でモノマー成分を重合させる。乳化剤としては、例えば、ラウリル硫酸ナトリウム、ラウリル硫酸アンモニウム、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸アンモニウム、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル硫酸ナトリウムなどのアニオン系乳化剤、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン−ポリオキシプロピレンブロックポリマーなどのノニオン系乳化剤などが挙げられる。これらの乳化剤は、単独で用いてもよく２種以上を併用することもできる。

さらに、乳化剤として、プロペニル基、アリルエーテル基などのラジカル重合性官能基が導入された反応性乳化剤を用いることもできる。反応生乳化剤としては、具体的には、例えば、アクアロンＨＳ−１０、ＨＳ−２０、ＫＨ−１０、ＢＣ−０５、ＢＣ−１０、ＢＣ−２０（以上、いずれも第一工業製薬社製）、アデカリアソープＳＥ１０Ｎ（ＡＤＥＫＡ社製）などが挙げられる。

乳化剤として、好ましくは、重合後にポリマー鎖に反応性乳化剤が取り込まれて、耐水性が向上することから、反応性乳化剤が挙げ得られる。

乳化剤の配合割合は、モノマー成分１００質量部に対して、例えば、０．３〜５質量部、好ましくは、重合安定性や機械的安定性から、０．５〜１質量部である。

上記した製造方法により得られるアクリル系ポリマーの重量平均分子量は、例えば、６０万以上であり、好ましくは、７０万〜３００万であり、より好ましくは、８０万〜２５０万である。重量平均分子量が６０万より小さくなると、耐久性に乏しくなる場合がある。一方、作業性の観点より、重量平均分子量は３００万以下が好ましい。なお、重量平均分子量は、ＧＰＣ（ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー）により測定し、ポリスチレン換算により算出された値である。

さらに、アクリル系ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）は、例えば、−５℃以下、好ましくは、−１０℃以下であること。アクリル系ポリマーのガラス転移温度が−５℃より高い場合には、アクリル系ポリマーが流動し難く、実装基板および冷却部材への濡れが不十分となり、接着力が低下する場合がある。なお、アクリル系ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）は、用いるモノマー成分や組成比を適宜変えることにより上記範囲内に調整することができる。

また、粘着性樹脂組成物には、接着力および耐久力をより向上させる目的で、架橋剤を含有することもできる。架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、メラミン系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、アジリジン系架橋剤、金属キレート系架橋剤、など従来周知の架橋剤が挙げられ、好ましくは、イソシアネート系架橋剤が挙げられる。

イソシアネート系架橋剤は、分子中に複数のイソシアネート基を有する多官能イソシアネートであって、例えば、トリレンジイソシアネート、キシレンジイソシアネートなどの芳香族イソシアネート、例えば、シクロペンチレンジイソシアネート、シクロヘキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネートなどの脂環族イソシアネート、例えば、ブチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネートなどの脂肪族イソシアネート、例えば、２，４−トリレンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ポリメチレンポリフェニルイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネート類、例えば、トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名コロネートＬ）、トリメチロールプロパン／ヘキサメチレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名コロネートＨＬ）、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体（日本ポリウレタン工業社製、商品名コロネートＨＸ）などのイソシアネート付加物、例えば、ポリエーテルポリイソシアネート、ポリエステルポリイソシアネート、ならびにこれらと各種のポリオールとの付加物、さらに、例えば、イソシアヌレート結合、ビューレット結合、アロファネート結合などで多官能化したポリイソシアネートなどが挙げられる。

架橋剤は単独で使用してもよく、また２種以上を混合して使用することもできる。

架橋剤の配合割合は、粘着性熱伝導層３の後述するゲル分率が所望範囲となるように設定され、具体的には、アクリル系ポリマー１００質量部に対し、例えば、０．０２〜５質量部、好ましくは、０．０４〜３質量部、より好ましくは、０．０５〜２質量部である。架橋剤を上記範囲で用いることにより、より確実に凝集力や耐久性の向上したものとすることができ、一方、上記上限を越えると、架橋形成が過多となり、接着性が低下する場合がある。

粘着性熱伝導組成物から形成された粘着性熱伝導層３のゲル分率は、例えば、４０〜９０質量％、好ましくは、５０〜８５質量％、より好ましくは、５５〜８０質量％である。
ゲル分率が上記下限より小さくなると、凝集力が低下するため耐久性に低下する場合があり、ゲル分率が上記上限より大きくなると、接着性に低下する場合がある。

粘着性熱伝導層３のゲル分率（質量％）は、熱伝導性有機樹脂層３から乾燥質量Ｗ１（ｇ）の試料採取し、これを酢酸エチルに浸漬した後、試料の不溶分を酢酸エチル中から取り出し、乾燥後の質量Ｗ２（ｇ）を測定し、（Ｗ２／Ｗ１）×１００を計算して求めることができる。

熱伝導性粒子は、熱伝導性（放熱性）に優れる粒子であって、例えば、無機粒子、有機粒子が挙げられる。好ましくは、無機粒子が挙げられる。

無機粒子を形成する無機材料としては、例えば、水和金属化合物、炭化物、窒化物、酸化物、金属、炭素系材料などが挙げられる。

水和金属化合物は、一般式Ｍ_ｍＯ_ｎ・ＸＨ_２Ｏ（ここにＭは金属、ｍ，ｎは金属の原子価によって定まる１以上の整数、Ｘは含有結晶水を示す数）で表される化合物または該化合物を含む複塩である。

水和金属化合物としては、例えば、水酸化アルミニウム［Ａｌ_２Ｏ_３・３Ｈ_２ＯまたはＡｌ（ＯＨ）_３］、ベーマイト［Ａｌ_２Ｏ_３・Ｈ_２ＯまたはＡｌＯＯＨ］、水酸化マグネシウム［ＭｇＯ・Ｈ_２ＯまたはＭｇ（ＯＨ）_２］、水酸化カルシウム［ＣａＯ・Ｈ_２ＯまたはＣａ（ＯＨ）_２］、水酸化亜鉛［Ｚｎ（ＯＨ）_２］、珪酸［Ｈ_４ＳｉＯ_４、Ｈ_２ＳｉＯ_３またはＨ_２Ｓｉ_２Ｏ_５］、水酸化鉄［Ｆｅ_２Ｏ_３・Ｈ_２Ｏまたは２ＦｅＯ（ＯＨ）］、水酸化銅［Ｃｕ（ＯＨ）_２］、水酸化バリウム［ＢａＯ・Ｈ_２ＯまたはＢａＯ・９Ｈ_２Ｏ］、酸化ジルコニウム水和物［ＺｒＯ・ｎＨ_２Ｏ］、酸化スズ水和物［ＳｎＯ・Ｈ_２Ｏ］、塩基性炭酸マグネシウム［３ＭｇＣＯ_３・Ｍｇ（ＯＨ）_２・３Ｈ_２Ｏ］、ハイドロタルサイト［６ＭｇＯ・Ａｌ_２Ｏ_３・Ｈ_２Ｏ］、ドウソナイト［Ｎａ_２ＣＯ_３・Ａｌ_２Ｏ_３・ｎＨ_２Ｏ］、ホウ砂［Ｎａ_２Ｏ・Ｂ_２Ｏ_５・５Ｈ_２Ｏ］、ホウ酸亜鉛［２ＺｎＯ・３Ｂ_２Ｏ_５・３．５Ｈ_２Ｏ］などが挙げられる。

炭化物としては、例えば、炭化ケイ素、炭化ホウ素、炭化アルミニウム、炭化チタン、炭化タングステンなどが挙げられる。

窒化物としては、例えば、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ガリウム、窒化クロム、窒化タングステン、窒化マグネシウム、窒化モリブデン、窒化リチウムなどが挙げられる。

酸化物は、上記した水和金属化合物（酸化ジルコニウム水和物および酸化スズ水和物など）を除く酸化物であって、具体的には、例えば、酸化鉄、酸化ケイ素（シリカ）、酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化マグネシウム（マグネシア）、酸化チタン、酸化セリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウム、チタン酸カリウムなどが挙げられる。さらに、酸化物として、金属イオンがドーピングされている、例えば、酸化インジウムスズ、酸化アンチモンスズなども挙げられる。

金属としては、例えば、銅、金、銀、ニッケル、アルミニウム、白金、錫、鉄、または、それらの合金が挙げられる。

炭素系材料としては、例えば、カーボンブラック、黒鉛、ダイヤモンド、フラーレン、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、ナノホーン、カーボンマイクロコイル、ナノコイルなどが挙げられる。

無機材料として、好ましくは、水和金属化合物が挙げられる。

熱伝導性粒子の形状は特に限定されず、バルク状、針形状、板形状、層状などが挙げられる。バルク形状は、例えば、球形状、直方体形状、破砕状またはそれらの異形形状を含む。

熱伝導性粒子の最大長さの平均値は、バルク形状（球状）の熱伝導性粒子の場合には、１次粒子径（１次平均粒子径）として、例えば、０．１〜１０００μｍ、好ましくは、１〜１００μｍ、さらに好ましくは、５〜８０μｍである。１次粒子径が上記範囲を超えると熱伝導性粒子が粘着性熱伝導層３の厚みを超えて、粘着性熱伝導層３の厚みバラツキの原因となる場合がある。なお、１次粒子径は、レーザー散乱法における粒度分布測定法によって求められる体積基準の値である。具体的には、レーザー散乱式粒度分布系により、Ｄ５０値を測定することによって求められるものである。

熱伝導性粒子が針形状または板形状の熱伝導性粒子の場合には、最大長さの平均値が、０．１〜１０００μｍ、好ましくは、１〜１００μｍ、さらに好ましくは、５〜４５μｍである。上記範囲を超えると熱伝導性粒子同士が凝集し易くなり、取り扱いが難しくなる場合がある。

最大長さの平均値は、上記した平均粒子径と同様の測定方法により求められる。

さらに針形状または板形状の熱伝導性粒子のアスペクト比（針状結晶の場合には、長軸長さ／短軸長さ、または長軸長さ／厚みで表現される。また板状結晶の場合には、対角長さ／厚み、または長辺長さ／厚みで表現される）が，例えば、１〜１００００、好ましくは、１〜１０００である。

熱伝導性粒子は、単独使用または２種以上併用することができる。

好ましくは、最大長さの平均値（平均粒子径）の異なる２種以上の熱伝導性粒子を併用する。最大長さの平均値（平均粒子径）が異なる２種以上の熱伝導性粒子を併用する場合、例えば、熱伝導性粒子の最大長さの平均値（平均粒子径）が２５μｍ以上の大きな粒子と２５μｍ未満の小さな粒子とを組合せが挙げられる。これによって、熱伝導性粒子を粘着性熱伝導層３内により最密に充填することができる。そのため、熱伝導性粒子による熱伝導パスが構築され易くなり、粘着性熱伝導層３の熱伝導性を向上させることができる。

上記した効果を高めるべく、例えば、最大長さの平均値が２５μｍ以上の大きな粒子と２５μｍ未満の小さな粒子との配合比（質量比、最大長さの平均値が２５μｍ以上の大きな粒子の質量部数：最大長さの平均値が２５μｍ未満の小さな粒子の質量部数）が、例えば、１：１０〜１０：１、好ましくは、１：５〜５：１、さらに好ましくは、１：２〜２：１であることが望ましい。

熱伝導性粒子は、一般の市販品を用いることができ、例えば、水酸化アルミニウムとして、商品名「ハイジライトＨ−１００−ＭＥ」（１次粒子径７５μｍ）（昭和電工社製）、商品名「ハイジライトＨ−１０」（１次粒子径５５μｍ）（昭和電工社製）、商品名「ハイジライトＨ−３２」（１次粒子径８μｍ）（昭和電工社製）、商品名「ハイジライトＨ−４２」（１次粒子径１μｍ）（昭和電工社製）、商品名「Ｂ１０３ＳＴ」（１次粒子径８μｍ）（日本軽金属社製）などを用いることができる。また、例えば、水酸化マグネシウムとして、商品名「ＫＩＳＵＭＡ ５Ａ」（１次粒子径１μｍ）（協和化学工業社製）などを用いることができる。さらに、例えば、窒化ホウ素として、商品名「ＨＰ−４０」（水島合金鉄社製）、商品名「ＰＴ６２０」（モメンティブ社製）などを用いることができ、例えば、酸化アルミニウムとして、商品名「ＡＳ−５０」（昭和電工社製）などを用いることができ、例えば、アンチモン酸ドープスズとしては、商品名「ＳＮ−１００Ｓ」（石原産業社製）、商品名「ＳＮ−１００Ｐ」（石原産業社製）、商品名「ＳＮ−１００Ｄ（水分散品）」（石原産業社製）などを用いることができ、例えば、酸化チタンとしては、商品名「ＴＴＯシリーズ」（石原産業社製）などを用いることができ、例えば、酸化亜鉛としては、商品名「ＳｎＯ−３１０」（住友大阪セメント社製）、商品名「ＺｎＯ−３５０」（住友大阪セメント社製）、商品名「ＺｎＯ−４１０」（住友大阪セメント社製）などを用いることができる。

熱伝導性粒子の配合割合は、アクリル系ポリマー１００質量部に対して、例えば、１００〜５００質量部、好ましくは、２００〜４５０質量部、さらに好ましくは、３００〜４００質量部である。熱伝導性粒子の配合割合が上記範囲内であれば、高い熱伝導性を得ることができる。一方、熱伝導性粒子の配合割合が上記範囲未満であると、十分な熱伝導性を付与することができない場合があり、また、配合割合が上記範囲を超えると可撓性が低下して、粘着力や保持力が低下する場合がある。

また、粘着性熱伝導組成物には、分散剤をさせることもできる。

分散剤は、熱伝導性粒子をアクリル系ポリマー中に凝集させることなく安定して分散させるために、粘着性熱伝導組成物に配合される。

分散剤としては、例えば、リン酸エステルが挙げられる。

リン酸エステルとしては、例えば、ポリオキシエチレンアルキル（またはアルキルアリル）エーテルまたはポリオキシエチレンアルキルアリールエーテルのリン酸モノエステル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルまたはポリオキシエチレンアルキルアリールエーテルのリン酸ジエステル、リン酸トリエステル、あるいはそれらの誘導体などが挙げられる。

分散剤は、単独または２種以上併用することができる。

好ましくは、ポリオキシエチレンアルキルエーテルまたはポリオキシエチレンアルキルアリールエーテルのリン酸モノエステル、リン酸ジエステルが挙げられる。

分散剤は、一般の市販品を用いることができ、例えば、商品名「プライサーフＡ２１２Ｅ」（第一工業製薬社製）、商品名「プライサーフＡ２１０Ｇ」（第一工業製薬社製）、商品名「プライサーフＡ２１２Ｃ」（第一工業製薬社製）、商品名「プライサーフＡ２１５Ｃ」（第一工業製薬社製）、商品名「フォスファノールＲＥ６１０」（東邦化学社製）、商品名「フォスファノールＲＳ７１０」（東邦化学社製）、商品名「フォスファノールＲＳ６１０」（東邦化学社製）などが用いられる。

また、分散剤の配合割合は、アクリル系ポリマー１００質量部に対して、例えば、０．０１〜１０質量部、好ましくは、０．０５〜５質量部、さらに好ましくは、０．１〜３質量部である。

なお、粘着性熱伝導組成物には、必要により、例えば、ロジン系樹脂などの粘着付与樹脂を添加することもできる。粘着付与樹脂の添加割合は、アクリル系ポリマー１００質量部に対して、例えば、５〜５０質量部、好ましくは、１０〜４０質量部である。

そして、粘着性熱伝導組成物を調製するには、例えば、アクリル系ポリマーと、熱伝導性粒子と、必要により配合される架橋剤、分散剤および／または粘着付与樹脂とを、上記した配合割合で配合する。

具体的には、アクリル系ポリマーを塊状重合により調製する場合には、まず、前駆体を調製し、その後、前駆体に、熱伝導性粒子と、必要により分散剤と、必要により残部のモノマー成分とを配合して、前駆体と、熱伝導性粒子と、必要により分散剤と、必要により残部のモノマー成分とを含有する前駆体組成物を調製し、これを重合（第２回目の重合を実施）することにより、粘着性熱伝導組成物を調製することもできる。

具体的には、まず、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、極性基含有モノマーおよびその他のモノマーを、重合（第１回目の重合）させて、前駆体を調製する。その後、前駆体に、熱伝導性粒子と、分散剤と、多官能性モノマーとを配合して前駆体組成物を調製し、これを重合（第２回目の重合）に供する。

一方、アクリル系ポリマーを溶液重合により調製する場合には、まず、アクリル系ポリマーおよび溶媒を含むアクリル系ポリマー溶液を調製し、続いて、これに、架橋剤、分散剤および／または粘着付与樹脂を配合して、それらを含む溶液として調製する。

そして、図１に示すように、粘着性放熱シート１を得るには、まず、基材２を用意し、その両面に、粘着性熱伝導層３を積層する。

粘着性熱伝導層３を基材２の両面に積層するには、例えば、予め、粘着性熱伝導層３を離型フィルム（図示せず）の上に積層し、基材２の両面に粘着性熱伝導層３を離型フィルムから転写する（転写法）。あるいは、基材２の両面に、粘着性熱伝導層３を直接形成することもできる。

好ましくは、転写法が用いられる。

転写法において、アクリル系ポリマーが塊状重合（光重合法）により調製される場合には、例えば、離型シートの表面に前駆体組成物を塗布し、その後、別の離型シートを前駆体組成物の上面に貼着することにより、２枚の離型シートによって、前駆体組成物を挟み込む。その後、紫外線を、前駆体組成物に対して、離型シートを通過させながら、照射する。

離型シートとしては、ポリエステルフィルム（ポリエチレンテレフタレートフィルムなど）、オレフィン系樹脂フィルム（ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムなど）、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドフィルム（ナイロンフィルム）、レーヨンフィルムなどのプラスチック系フィルム（合成樹脂フィルム）の他、これらを、ラミネートや共押出などにより、複層化したもの（２〜３層の複合体）なども挙げられる。

また、離型シートには、剥離処理剤などによって処理することもでき、そのような剥離処理剤としては、例えば、シリコーン系剥離処理剤、フッ素系剥離処理剤、長鎖アルキル系剥離処理剤などが挙げられる。

離型シートの厚みは、特に制限されず、例えば、１〜１０００μｍである。

また、前駆体組成物を離型シートに塗布する方法として、例えば、ロールコート、キスロールコート、グラビアコート、リバースコート、ロールブラッシュ、スプレーコート、ディップロールコート、バーコート、ナイフコート、エアーナイフコート、カーテンコート、リップコート、ダイコーターなどが挙げられる。

一方、転写法において、アクリル系ポリマーが溶液重合（熱重合法）により調製される場合には、アクリル系ポリマーを含む溶液を１枚の離型シートの上面に塗布し、その後、例えば、５０〜１００℃で、１〜６０分間加熱して、乾燥させる。

これにより、粘着性熱伝導層３を作製する。

このようにして形成される粘着性熱伝導層３の厚みは、例えば、１０〜２５０μｍ、好ましくは、２０〜２００μｍ、さらに好ましくは、３０〜１００μｍである。

粘着性熱伝導層３の厚みが上記範囲に満たないと、十分な接着力および保持力を得ることができない場合がある一方、上記範囲を超えると、十分な熱伝導性を得ることができない場合がある。

粘着性放熱シート１の厚み（総厚）は、例えば、１０〜１０００μｍ、好ましくは、５０〜５００μｍである。粘着性放熱シート１の厚みが上記下限未満であると熱伝導性粒子の最大長さの平均値を超えるため製膜できない場合がある。粘着性放熱シート１の厚みが上記上限を超えると、熱伝導性を十分に向上させることができない場合がある。

なお、粘着性放熱シート１の厚み（総厚）は、基材２および粘着性熱伝導層３の厚みの総和であり、離型シート（図示せず）の厚みは含まない。

そして、粘着性放熱シート１の２３℃で測定される引張弾性率は、６００ＭＰａ以下、好ましくは、５００ＭＰａ以下、さらに好ましくは、４５０ＭＰａ以下、とりわけ好ましくは、４００ＭＰａ以下、さらには、３５０ＭＰａ以下、３００ＭＰａ以下、２００ＭＰａ以下、１００ＭＰａ以下が好ましく、また、例えば、０．０１ＭＰａ以上、好ましくは、０．１ＭＰａ以上でもある。

引張弾性率が上記上限を超えると、粘着性放熱シート１およびそれに密着する光半導体実装基板６の浮き上がりを有効に防止できない。一方、引張弾性率が上記下限に満たない場合には、粘着性放熱シート１が柔らかくなりすぎて、取扱性が低下し、また、リワークの際の引き剥がしにおいて糊残りが生じる場合がある。

なお、引張弾性率は、粘着性放熱シート１を大きさ２０×１０ｍｍに切断加工して、サンプルを作製し、その後、サンプルを、チャック間距離２０ｍｍ、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、２３℃で引張試験を実施することにより、測定される。

なお、サンプルの作製に際し、長手方向の長さを２０ｍｍに設定しているが、これに限定されず、例えば、厚み方向および長手方向に沿う断面積が１．２〜５．０ｍｍ^２となるように、長手方向長さを設定することもできる。

また、粘着性放熱シート１の熱抵抗は、例えば、１０ｃｍ^２・Ｋ／Ｗ以下、好ましくは６ｃｍ^２・Ｋ／Ｗ以下、さらに好ましくは、４ｃｍ^２・Ｋ／Ｗ以下である。熱抵抗は、後述する実施例にて詳述する方法によって測定される。

図２は、本発明の半導体装置の実施形態である光半導体装置の断面図を示す。

次に、図１に示す粘着性放熱シート１を備える光半導体装置を図２（ａ）および図２（ｂ）を参照して説明する。

図２（ａ）において、光半導体装置５は、実装基板としての光半導体実装基板６と、光半導体実装基板６の下方に間隔を隔てて対向配置される冷却部材としてのヒートシンク７と、それらの間に介在される粘着性放熱シート１とを備えている。

光半導体実装基板６は、平板状をなし、その上面の中央部において、半導体素子としての光半導体素子８を実装する。

光半導体実装基板６は、例えば、アルミニウム、鉄、銅などの金属、例えば、ポリイミドなどの樹脂から形成されている。好ましくは、金属から形成されている。

光半導体実装基板６の厚みは、例えば、１０〜５０００μｍ、好ましくは、１００〜３０００μｍである。

ヒートシンク７は、厚み方向に投影したときに、光半導体実装基板６を含む大きさのシート形状に形成されている。具体的には、ヒートシンク７は、平面視において、光半導体実装基板６より大きく形成されている。

ヒートシンク７は、例えば、ニッケル、銅、アルミニウムなど、熱伝導性に優れる金属から形成されている。

ヒートシンク７の厚みは、例えば、０．０１〜１００ｍｍ、好ましくは、０．１〜５０ｍｍである。

粘着性放熱シート１は、厚み方向に投影したときに、光半導体実装基板６と重複するシート形状に形成されている。具体的には、粘着性放熱シート１は、平面視において、光半導体実装基板６と同一形状に形成されている。

そして、この光半導体装置５を製造するには、粘着性放熱シート１を所定の大きさに切断加工（カット）し、粘着性熱伝導層を挟む２枚の離型シート（図示せず）を粘着性熱伝導層のそれぞれから剥離する。つまり、基材の表面および裏面に形成される２枚の粘着性熱伝導層を露出させる。

別途、光半導体実装基板６およびヒートシンク７を用意する。

次いで、ヒートシンク７の中央部の上方に、光半導体実装基板６を対向配置し、それらを粘着性放熱シート１を介在させて、厚み方向に密着させる。これにより、光半導体装置５を作製する。

その後、製造した光半導体装置５の長期信頼性を確保すべく、光半導体装置５の長手方向両端部に孔１０を形成し、その後、軸部１１および軸部１１の上端部に設けられる頭部１２を一体的に備えるねじ９の軸部１１を孔１０に挿入することによって、光半導体装置５の長手方向両端部を締め付ける。これによって、光半導体実装基板６をヒートシンク７に固定する。

そして、光半導体装置５では、光半導体実装基板６において、光半導体素子８によって生じる熱を、粘着性放熱シート１を介して、ヒートシンク７に熱伝導させることができる。

また、粘着性放熱シート１は、引張弾性率が、６００ＭＰａ以下であるので、光半導体実装基板６が、ヒートシンク７に対する締付力に基づいて固定される場合でも、光半導体実装基板６にかかる押圧力を粘着性放熱シート１が十分に吸収することができるので、光半導体実装基板６および粘着性放熱シート１の浮き上がりを有効に防止することができる。

つまり、図３に示すように、光半導体層装置５において、長手方向両端部に形成された孔１０にねじ９の軸部１１を挿入して、光半導体実装基板６をヒートシンク７に固定する際、ねじ９の締付力が過度に高い場合には、光半導体実装基板６の長手方向両端部は、下方への高い押圧力を受けて、その反作用に起因する圧力で半導体基板６の中央部は、粘着性放熱シート１の中央部とともに、浮き上がる（反る）。つまり、粘着性放熱シート１と光半導体基板６との中央部は、上側に湾曲状に突出する。そうすると、粘着性放熱シート１の中央部と、ヒートシンク７の中央部との間には、隙間９が形成される。

その結果、光半導体素子８から生じる熱を、光半導体基板６および粘着性放熱シート１に効率よく熱伝導させることができない。

他方、図２（ａ）および図２（ｂ）の粘着性放熱シート１は、引張弾性率が上記下限以下であるので、光半導体実装基板６が、ねじ９のヒートシンク７に対する締付力に基づいて固定される場合でも、光半導体実装基板６にかかる高い押圧力を粘着性放熱シート１によって十分に吸収することができる。そのため、上記した反作用に起因する圧力を生じず、光半導体実装基板６および粘着性放熱シート１の浮き上がり（突出）を有効に防止することができる。

そのため、上記した粘着性放熱シート１を介したヒートシンク７への熱伝導性を有効に防止することができる。

また、この光半導体装置５は、光半導体素子８および光半導体実装基板６における熱を効率よく熱伝導させることにより、光半導体素子８の発光効率の低下を有効に防止することができる。

そのため、発光効率に優れる光半導体装置５を、液晶表示装置および照明装置の光源装置として好適に用いることができる。

なお、図２（ａ）および図２（ｂ）の実施形態では、本発明の半導体装置を、光半導体装置５として説明しているが、例えば、その他の半導体装置、具体的には、例えば、ダイオード、トランジスタ、サイリスタなどのディスクリートデバイス、例えば、マイコン、メモリ、ＡＳＩＣなどのＩＣデバイスなどに用いることもできる。

また、図１の実施形態では、本発明の放熱部材の粘着性放熱シート１として説明しているが、例えば、粘着性放熱フィルム１、粘着性放熱テープ１および粘着性放熱板１などとして用いることもできる。

また、図１の実施形態では、本発明の放熱部材を、粘着性のある粘着性放熱シート１として説明しているが、粘着性を有しない非粘着性放熱シート１として形成することもできる。

以下に、実施例および比較例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例および比較例により何ら限定されるものではない。

（実施例１）
（粘着性放熱シートの作製）
（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしてアクリル酸２−エチルヘキシル８２質量部およびアクリル酸２−メトキシエチル１２質量部と、極性基含有モノマーとしてＮ−ビニル−２−ピロリドン（ＮＶＰ）５質量部およびヒドロキシエチルアクリルアミド（ＨＥＡＡ）１質量部とが配合されたモノマー成分に、光重合開始剤として商品名「イルガキュアー６５１」（２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、チバ・ジャパン社製）０．０５質量部および商品名「イルガキュアー１８４」（１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、チバ・ジャパン社製）０．０５質量部を配合した後、粘度（ＢＨ粘度計Ｎｏ．５ローター、１０ｒｐｍ、測定温度３０℃）が約２０Ｐａ・ｓになるまで紫外線を照射して、一部が重合した前駆体（シロップ）を調製した。

このシロップ１００質量部に、多官能性モノマーとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（商品名「ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ−４０Ｈ」、日本化薬社製）０．０５質量部と、分散剤として商品名「プライサーフＡ２１２Ｅ」（第一工業製薬社製）１質量部とを添加した。さらに、熱伝導性粒子として商品名「ハイジライトＨ−３２」（水酸化アルミニウム粒子、形状：破砕状、最大長さの平均値：８μｍ、昭和電工社製）１７５質量部および商品名「ハイジライトＨ−１０」（水酸化アルミニウム粒子、形状：破砕状、最大長さの平均値：５５μｍ）（昭和電工社製）１７５質量部を添加して、前駆体組成物を調製した。

その後、前駆体組成物を、片面に剥離処理が施されているポリエチレンテレフタレート製の２枚の離型シート（商品名「ダイアホイルＭＲＦ３８」（三菱化学ポリエステルフィルム社製）の剥離処理面の間に、乾燥および硬化後の厚みが５４μｍとなるように塗布した。つまり、２枚の離型シートの間に前駆体組成物を挟み込んだ。

次いで、照度約５ｍＷ／ｃｍ^２の紫外線を前駆体組成物に両側から３分間（照射エネルギー９００ｍＪ／ｃｍ^２に相当）照射し、残部のモノマー成分を重合させることにより、アクリル系ポリマーと熱伝導性粒子とを含有する粘着性熱伝導組成物からなる粘着性放熱層を、２枚の離型シートの間に作製した。

その後、一方の離型シートを粘着性熱伝導層から剥離し、粘着性熱伝導層を厚み１２μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム、商品名「ルミラーＳ−１０」（東レ社製）の両面に貼着することにより、ポリエチレンテレフタレートフィルムと、その両面に積層された粘着性熱伝導層とを備える、総厚（離型シートの厚みを除く。つまり、ポリエチレンテレフタレートフィルムの厚み１２μｍおよび各粘着性熱伝導層の厚み５４μｍ。以下同様。）１２０μｍの粘着性放熱シートを作製した。

（光半導体装置の作製）
まず、作製した粘着性放熱シートを、大きさ１００×１００ｍｍの大きさにカットし、２枚の離型シートを粘着性熱伝導層のそれぞれから剥離した。つまり、基材の表側および裏側のそれぞれに形成される２枚の粘着性熱伝導層を露出させた。

別途、大きさ１００×１００ｍｍ、厚み４００μｍの、アルミニウムからなる光半導体実装基板と、大きさ２００×２００ｍｍ、厚み１ｍｍの、アルミニウムからなるヒートシンクとを、それぞれ用意した。

次いで、ヒートシンクの中央部の上方に、光半導体実装基板を対向配置し、それらを粘着性放熱シートを介在させて、厚み方向に密着させた。これにより、光半導体装置を作製した。

その後、光半導体装置の長手方向両端部（両端縁のそれぞれから０．７ｍｍの部分）のそれぞれにおける幅方向中央部に、内径１ｍｍ、深さ０．６ｍｍの孔を形成した。なお、孔は、光半導体実装基板および粘着性放熱シートの厚み方向を貫通する一方、ヒートシンクの上面から深さ０．５ｍｍの部分まで形成された。

その後、２つの孔のそれぞれに、内径１ｍｍ、長さ１．１ｍｍの軸部と、外径３ｍｍの頭部とを備えるねじを、圧力２ｋｇｆ・ｃｍのトルク（圧力４６ＭＰａに相当）で回転させながら挿入することによって、光半導体装置の長手方向両端部を締め付けた。
（実施例２）
実施例１において、粘着性熱伝導層の厚みを１１９μｍとした以外は実施例１と同様の処方で、総厚が２５０μｍの粘着性放熱シートを作製し、続いて、光半導体装置を作製し、その後、ねじで光半導体装置の長手方向両端部を締め付けた。
（実施例３）
実施例１において、粘着性熱伝導層の厚みを２４４μｍとした以外は実施例１と同様の処方で、総厚が５００μｍの粘着性放熱シートを作製し、続いて、光半導体装置を作製し、その後、ねじで光半導体装置の長手方向両端部を締め付けた。
（実施例４）
実施例１において、粘着性熱伝導層の厚みを４７．５μｍとし、基材として厚みが２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム、商品名「ルミラーＳ−１０」（東レ社製）を用いた以外は実施例１と同様の処方で、総厚が１２０μｍの粘着性放熱シートを作製し、続いて、光半導体装置を作製し、その後、ねじで光半導体装置の長手方向両端部を締め付けた。
（実施例５）
実施例１において、粘着性熱伝導層の厚みを１１２．５μｍとし、基材として厚みが２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム、商品名「ルミラーＳ−１０」（東レ社製）を用いた以外は実施例１と同様の処方で、総厚が２５０μｍの粘着性放熱シートを作製し、続いて、光半導体装置を作製し、その後、ねじで光半導体装置の長手方向両端部を締め付けた。
（実施例６）
実施例１において、粘着性熱伝導層の厚みを２３７．５μｍとし、基材として厚みが２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム、商品名「ルミラーＳ−１０」（東レ社製）を用いた以外は実施例１と同様の処方で、総厚が５００μｍの粘着性放熱シートを作製し、続いて、光半導体装置を作製し、その後、ねじで光半導体装置の長手方向両端部を締め付けた。
（実施例７）
実施例１において、粘着性熱伝導層の厚みを４１μｍとし、基材として厚みが３８μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム、商品名「ルミラーＳ−１０」（東レ社製）を用いた以外は実施例１と同様の処方で、総厚が１２０μｍの粘着性放熱シートを作製し、続いて、光半導体装置を作製し、その後、ねじで光半導体装置の長手方向両端部を締め付けた。
（実施例８）
実施例１において、粘着性熱伝導層の厚みを１０６μｍとし、基材として厚みが３８μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム、商品名「ルミラーＳ−１０」（東レ社製）を用いた以外は実施例１と同様の処方で、総厚が２５０μｍの粘着性放熱シートを作製し、続いて、光半導体装置を作製し、その後、ねじで光半導体装置の長手方向両端部を締め付けた。
（実施例９）
実施例１において、粘着性熱伝導層の厚みを２３１μｍとし、基材として厚みが３８μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム、商品名「ルミラーＳ−１０」（東レ社製）を用いた以外は実施例１と同様の処方で、総厚が５００μｍの粘着性放熱シートを作製し、続いて、光半導体装置を作製し、その後、ねじで光半導体装置の長手方向両端部を締め付けた。
（実施例１０）
（アクリル系ポリマー溶液の調製）
冷却管、窒素導入管、温度計および攪拌機を備えた反応容器を用い、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしてアクリル酸ブチル７０質量部および２−エチルヘキシルアクリレート３０質量部と、極性基含有モノマーとしてアクリル酸３質量部および４−ヒドロキシブチルアクリレート０．０５質量部と、熱重合開始剤として２，２′−アゾビスイソブチロニトリル０．１部と、溶媒としてトルエン１５５質量部とを加え、系内を十分窒素ガスで置換した後、８０℃で３時間加熱して固形分が４０．０質量％のアクリル系ポリマー溶液を得た。
（粘着性熱伝導組成物の調製）
上記アクリル系ポリマー溶液に、その固形分１００質量部に対して、粘着付与樹脂として商品名「ペンセルＤ−１２５」（ロジン系樹脂、荒川化学社製）３０質量部と、熱伝導性粒子として商品名「ハイジライトＨ−３２」（水酸化アルミニウム粒子、形状：破砕状、最大長さの平均値：８μｍ、昭和電工社製）１００質量部と、分散剤として商品名「プライサーフＡ２１２Ｅ」（第一工業製薬社製）１質量部と、架橋剤として商品名「コロネートＬ」（多官能イソシアネート化合物、日本ポリウレタン工業社製）２質量部とを配合し、ディスパーにて１５分間攪拌し、粘着性熱伝導組成物を調製した。
得られた粘着性熱伝導組成物をポリエチレンテレフタレートの片面をシリコーン剥離剤で処理した剥離フィルムの剥離処理面に乾燥後の厚みが４４μｍとなるよう塗布し、７０℃で１５分間乾燥し、粘着性熱伝導層を作製した。粘着性熱伝導層を厚み１２μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム、商品名「ルミラーＳ−１０」（東レ社製）の両面に貼り合せ、総厚１００μｍの粘着性放熱シートを作製し、続いて、光半導体装置を作製し、その後、ねじで光半導体装置の長手方向両端部を締め付けた。
（比較例１）
実施例１において、粘着性熱伝導層の厚みを１００μｍとし、基材として厚みが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム、商品名「ルミラーＳ−１０」（東レ社製）を用いた以外は実施例１と同様の処方で、総厚が２５０μｍの粘着性放熱シートを作製し、続いて、光半導体装置を作製し、その後、ねじで光半導体装置の長手方向両端部を締め付けた。
（試験評価）
各実施例および各比較例の粘着性放熱シートおよび光半導体装置について以下の試験を実施した。試験結果を表１に示す。
（熱抵抗）
熱抵抗の測定は、図４に示す熱特性評価装置を用いて実施した。

具体的には、１辺が２０ｍｍの立方体となるように形成されたアルミニウム製（Ａ５０５２、熱伝導率：１４０Ｗ／ｍ・Ｋ）の１対のブロック（ロッドと称する場合もある。）Ｌ間に、各実施例および各比較例の粘着性放熱シート１（２０ｍｍ×２０ｍｍ）を挟み込み、１対のブロックＬを粘着性放熱シート１で貼着した。

そして、１対のブロックＬが上下となるように発熱体（ヒーターブロック）Ｈと放熱体（冷却水が内部を循環するように構成された冷却ベース板）Ｃとの間に配置した。具体的には、上側のブロックＬの上に発熱体Ｈを配置し、下側にブロックＬの下に放熱体Ｃを配置した。

この際、粘着性放熱シート１で貼着された１対のブロックＬは、発熱体Ｈおよび放熱体Ｃを貫通する１対の圧力調整用ネジＴの間に位置している。なお、圧力調整用ネジＴと発熱体Ｈとの間にはロードセルＲが配置されており、圧力調整用ネジＴを締めこんだ際の圧力が測定されるように構成されており、斯かる圧力を粘着性放熱シート１に加わる圧力として用いた。

また、下側のブロックＬおよび粘着性放熱シート１を放熱体Ｃ側から貫通するように接触式変位計の３本のプローブＰ（直径１ｍｍ）を設置した。この際、プローブＰの上端部は、上側のブロックＬの下面に接触した状態になっており、上下のブロックＬ間の間隔（粘着性放熱シート１の厚み）を測定可能に構成されている。

発熱体Ｈおよび上下のブロックＬには温度センサーＤを取り付けた。具体的には、発熱体Ｈの１箇所に温度センサーＤを取り付け、各ブロックＬの５箇所に上下方向に５ｍｍ間隔で温度センサーＤをそれぞれ取り付けた。

測定では、まず初めに、圧力調整用ネジＴを締めこんで、粘着性放熱シート１に圧力を加え、発熱体Ｈの温度を８０℃に設定するともに、放熱体Ｃに２０℃の冷却水を循環させた。

そして、発熱体Ｈおよび上下のブロックＬの温度が安定した後、上下のブロックＬの温度を各温度センサーＤで測定し、上下のブロックＬの熱伝導率（Ｗ／ｍ・Ｋ）と温度勾配から粘着性放熱シート１を通過する熱流束を算出するとともに、上下のブロックＬと粘着性放熱シート１との界面の温度を算出した。そして、これらを用いて当該圧力における熱抵抗（ｃｍ^２・Ｋ／Ｗ）を、下記の熱伝導率方程式（フーリエの法則）を用いて算出した。

Ｑ＝−λｇｒａｄＴ
Ｒ＝Ｌ／λ
Ｑ：単位面積あたりの熱流速
ｇｒａｄＴ：温度勾配
Ｌ：粘着性放熱シート１の厚み
λ：熱伝導率
Ｒ：熱抵抗
粘着性放熱シート１に加える圧力２５Ｎ／ｃｍ^２（２５０ｋＰａ）における熱抵抗を採用した。
（熱伝導性）
熱伝導性の測定は、上記で説明した図４に示す熱特性評価装置を用いて実施した。

各実施例および各比較例の粘着性放熱シート１（２０ｍｍ×２０ｍｍ）を熱抵抗の測定の場合と同様にして評価装置に装填した。

測定はまず初めに、圧力調整用ネジＴを締めこんで、上下のブロックの間に挟み込み粘着性放熱シート１に２５Ｎ／ｃｍ^２（２５０ｋＰａ）の圧力を加え、発熱体Ｈの発熱量３０Ｗ一定に設定するともに、放熱体Ｃに２０℃の冷却水を循環させた。その際、熱電対の温度変化が３０秒間で０．０２℃以下の場合を安定状態とみなし、粘着性放熱シートから最も近いヒーター側の熱電対の温度をモジュール温度として読み取った。
（引張弾性率）
各実施例および各比較例の粘着性放熱シートを、初期の長手方向長さ２０ｍｍ、初期の幅１０ｍｍ、断面積（厚み方向および長手方向に沿う断面積）が１．２〜５．０ｍｍ^２となるように切断して、サンプルを作製した。つまり、実施例１、４、７および比較例１のサンプルでは、断面積が０．１２ｍｍ×１０ｍｍ＝１．２ｍｍ^２、実施例２、５、８および比較例２、５のサンプルでは、断面積が０．２５ｍｍ×１０ｍｍ＝２．５ｍｍ^２、実施例３、６および比較例３、４のサンプルでは、断面積が０．０．５０ｍｍ×１０ｍｍ＝５．０ｍｍ^２であった。

次いで、測定温度２３℃、チャック間距離２０ｍｍ、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎで引張試験を行い、サンプルの伸びの変化量（ｍｍ）を測定した。

その結果、得られたＳ−Ｓ曲線の初期の立ち上がりの部分に接線を引き、その接線が１００％伸びに相当するときの引張強度をサンプルの断面積で割り、引張弾性率とした。
（隙間の観察）
各実施例および各比較例の光半導体装置における粘着性放熱シートの状態を観察した。

その結果、実施例１〜９の粘着性放熱シートは、光半導体実装基板およびヒートシンクの両方に密着していた。つまり、図２（ｂ）に示すように、粘着性放熱シート（１）とヒートシンク（７）との間に隙間が観察されなかった。

一方、比較例１の光半導体実装基板では、図３に示すように、粘着性放熱シート（１）の中央部は、光半導体基板（６）の中央部とともに、浮き上がっていた。詳しくは、粘着性放熱シート（１）と光半導体基板（６）との中央部は、上側に湾曲状に突出していた。

粘着性放熱シート（１）の中央部と、ヒートシンク（７）の中央部との間には、隙間（９）が形成されたことを観察した。

隙間（９）の大きさは、比較例１で、最大厚み１０μｍ、長手方向長さ４５ｍｍであった。

１ 粘着性放熱シート
２ 基材
３ 粘着性熱伝導層
５ 光半導体装置
６ 光半導体実装基板
７ ヒートシンク
８ 光半導体素子

Claims (6)

1. 半導体素子を実装する実装基板と、
   前記実装基板と間隔を隔てて対向配置される冷却部材と、
   前記実装基板と前記冷却部材との間に介在され、前記実装基板と前記冷却部材とに密着する放熱部材とを備え、
   前記放熱部材は、チャック間距離２０ｍｍ、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、２３℃で測定される引張弾性率が、６００ＭＰａ以下であることを特徴とする、半導体装置。
2. 前記放熱部材は、粘着性であることを特徴とする、請求項１に記載の半導体装置。
3. 前記放熱部材は、粘着性樹脂組成物および熱伝導性粒子を含有する粘着性熱伝導組成物から形成される粘着性熱伝導層を備えることを特徴とする、請求項１または２に記載の半導体装置。
4. 前記粘着性樹脂組成物は、アクリル系ポリマーを含んでいることを特徴とする、請求項３に記載の半導体装置。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の半導体装置からなる光半導体装置であり、
   前記半導体素子が、光半導体素子であり、
   前記実装基板が、光半導体実装基板である
   ことを特徴とする、光半導体装置。
6. 半導体素子を実装する実装基板と、前記実装基板と間隔を隔てて対向配置される冷却部材との間に介在され、前記実装基板と前記冷却部材とに密着するための放熱部材であり、
   前記放熱部材は、チャック間距離２０ｍｍ、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、２３℃で測定される引張弾性率が、６００ＭＰａ以下であることを特徴とする、放熱部材。

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