JP2013148216A - 摺動部材及び流体動圧軸受装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
摺動部材は、基材と、前記基材上に設けられた保護膜を有し、前記保護膜が、前記基材上に設けられた金属下地層と、前記金属下地層上に設けられた単層の低硬度ダイヤモンドライクカーボン層と、前記低硬度ダイヤモンドライクカーボン層上に直接設けられた単層の高硬度ダイヤモンドライクカーボン層とだけから構成されている。
【選択図】図1
Description
本発明の第1の実施形態として、摺動部材について説明する。図1に示すように、本実施形態の摺動部材1は、基材2と、基材2上に設けられた保護膜3とを有する。基材2としては、摺動部材1の用途に応じて種々のものを用いることができるが、主に、流体動圧軸受装置に用いられる摺動部材の基材の材料が好適である。そのような基材の材料として、高精度加工が可能な信頼性の高い鋼材が挙げられ、このうち、ハードディスクドライブのスピンドルモータ用の流体動圧軸受装置に用いられる摺動部材の材料として、430Fなど快削性の高いステンレス鋼が好ましい。
第1の実施形態の摺動部材を含む流体動圧軸受装置について、HDDのスピンドルモータ用の流体動圧軸受装置を例に挙げて説明する。図2に示す、ハードディスクドライブ(HDD)4は、主に、複数枚のディスク5と、ディスク5を支持するハブ6と、永久磁石及びコイルなどを有するスピンドルモータ7と、流体動圧軸受装置8から構成される。図2、図3(a)及び(b)に示すように、流体動圧軸受装置8は、主に、軸81と、軸81を収容する貫通穴82aが形成された筒状の軸受けスリーブ82と、軸81の下側に設置される円盤状のスラスト軸受け83と、シール84と、以上の部品を内部に収容するハウジング85から構成されている。以下、必要に応じて、軸受けスリーブ82及びスラスト軸受け83を合わせて、「軸受け部材82、83」と記載する。ハウジング85の内部において、軸81と、軸受け部材82、83との間の隙間はオイルで満たされており、外部へのオイルの漏えいを防ぐため、ハウジングの上部はシール84により封止されている。そして、軸81の側面には、図3(a)及び(b)に示すように、へリングボーン状やスパイラル状の動圧発生溝が形成されており、更に、軸受けスリーブ82の端面82bと当接する、スラスト軸受け83の摺動面83bにも動圧発生溝が形成されている。
基材として直径約10mm、厚さ約1mmの円盤状のSUS板を6枚用意し、SUS板上に金属下地層として、クロム層をスパッタリング法によりそれぞれ成膜した。クロム層の膜厚は、0.2μmとした。クロム層の成膜は、ターゲットとして金属クロムターゲットを用い、スパッタリング装置の成膜チャンバ内における成膜時の圧力を2Pa、スパッタ出力(Cr)6kWとし、放電用ガスとしてアルゴンガスを200cc/minで導入した。また、基材に印加したバイアス電圧は−100Vである。
基材として直径約10mm、厚さ約1mmの円盤状のSUS板を用意し、SUS板上に金属下地層として、クロム層をスパッタリング法により成膜した。クロム層の膜厚は、0.2μmとした。クロム層の成膜は、ターゲットとして金属クロムターゲットを用い、スパッタリング装置の成膜チャンバ内における成膜時の圧力を2Pa、スパッタ出力(Cr)6kWとし、放電用ガスとしてアルゴンガスを200cc/minで導入した。また、基材に印加したバイアス電圧は−100Vである。
試料7は、低硬度DLC層の上に高硬度DLC層を成膜しなかった以外は、試料1〜6と同様の方法で作製した。つまり、試料7は、基材上に金属下地層及び低硬度DLC層のみからなる保護膜を有し、高硬度DLC層の割合が0%となる。低硬度DLC層の膜厚は1μmとした。
試料8は、クロムからなる金属下地層の上に低硬度DLC層を成膜せず、直接、高硬度DLC層を成膜した以外は、試料1〜6と同様の方法で作製した。つまり、試料8は、基材上に金属下地層及び高硬度DLC層のみからなる保護膜を有し、高硬度DLC層の割合が100%となる。高硬度DLC層の膜厚は1μmとした。
試料9〜14は、基材上に、金属下地層、低硬度DLC層及び高硬度DLC層のみからなる保護膜を有する試料である。高硬度DLC層の成膜時において、基材にバイアス電圧を−50V印加した以外は、試料9〜14は、それぞれ、試料1〜6と同様に作製した。試料1〜6と同様のナノインデンテーション法により、試料9〜14の高硬度DLC層の硬度を測定した。高硬度DLC層の硬度は、28.0GPaであった。
試料15は、クロムからなる金属下地層の上に低硬度DLC層を成膜せず、直接、高硬度DLC層を成膜した以外は、試料9〜14と同様の方法で作製した。つまり、試料15は、基材上に金属下地層及び高硬度DLC層のみからなる保護膜を有し、高硬度DLC層の割合が100%となる。高硬度DLC層の膜厚は1μmとした。
試料16〜21は、基材上に、金属下地層、低硬度DLC層及び高硬度DLC層のみからなる保護膜を有する試料である。高硬度DLC層の成膜時において、基材にバイアス電圧を−100V印加した以外は、試料16〜21は、それぞれ、試料1〜6と同様に作製した。試料1〜6と同様のナノインデンテーション法により、試料16〜21の高硬度DLC層の硬度を測定した。高硬度DLC層の硬度は、31.6GPaであった。
試料22は、クロムからなる金属下地層の上に低硬度DLC層を成膜せず、直接、高硬度DLC層を成膜した以外は、試料16〜21と同様の方法で作製した。つまり、試料22は、基材上に金属下地層及び高硬度DLC層のみからなる保護膜を有し、高硬度DLC層の割合が100%となる。高硬度DLC層の膜厚は1μmとした。
試料23〜28は、基材上に、金属下地層、低硬度DLC層及び高硬度DLC層のみからなる保護膜を有する試料である。高硬度DLC層の成膜時において、基材にバイアス電圧を−200V印加した以外は、試料23〜28は、それぞれ、試料1〜6と同様に作製した。試料1〜6と同様のナノインデンテーション法により、試料23〜28の高硬度DLC層の硬度を測定した。高硬度DLC層の硬度は、35.3GPaであった。
試料29は、クロムからなる金属下地層の上に低硬度DLC層を成膜せず、直接、高硬度DLC層を成膜した以外は、試料23〜28と同様の方法で作製した。つまり、試料29は、基材上に金属下地層及び高硬度DLC層のみからなる保護膜を有し、高硬度DLC層の割合が100%となる。高硬度DLC層の膜厚は1μmとした。
上で作製した試料1〜29を基材の中央付近で強制的に曲げ、変形させた。各試料の変形箇所における保護膜の剥離の状況を目視により観察し、以下の評価基準に従って各試料の曲げ密着性を評価した。
○:変形箇所で保護膜の剥離が無い。
×:変形箇所で保護膜の剥離がある。
図6に示すボールオンディスク試験機9を用いて、次の方法により耐摩擦磨耗性試験を行った。上で作製した各試料を図6に示すディスク10の形状として試験機内に配置し、各試料の保護膜上にボール11を設置する。ボール11を固定し、且つ上から錘12により、20N(=1.7GPa)の荷重をかけた状態で、ディスク10を回転数150000回転/分で回転させ、5分の回転後に5秒の停止する、スタートストップの動作を繰り返し行い、合計300分間の回転及び摺動を行った。尚、本試験は、各試料(ディスク10)が例えば、ハードディスクドライブのスピンドルモータの流体動圧軸受装置に用いられる摺動部材であると想定し、そのような装置と同じ使用環境で試験を行うために、FDB用低粘度オイルをディスク10上に付与、若しくは油中での評価を行い、境界に油膜を形成した状態で試験を行った。以下、このような試験条件を「油中」での試験と記載することがある。
○:磨耗量が0.0025mm3以下で、試験前と比較して外観に大きな変化が無い。
△:磨耗量が0.0025mm3以上で、外観的に膜の不連続状態(下地の露出など)がわずかに見られる。
×:磨耗量が0.0040mm3以上または、外観的に殆どの領域に不連続状態(下地の露出など)が見られる。
上で作製した試料7、試料16、試料17及び試料20について、保護膜の残留応力を求めた。各試料の残留応力は、薄いガラス基板を使用した成膜前後での基板の反り量の変化により求めた。
2 基材
3 保護膜
31 金属下地層
32 低硬度ダイヤモンドライクカーボン(DLC)層
33 高硬度ダイヤモンドライクカーボン(DLC)層
4 ハードディスクドライブ(HDD)
5 ディスク
6 ハブ
7 スピンドルモータ
8 流体動圧軸受装置
81 軸
82 軸受けスリーブ
82a 軸受けスリーブの貫通穴
82b 軸受けスリーブの端面
83 スラスト軸受け
83b 軸受けスリーブと摺動する、スラスト軸受けの摺動面
84 シール
85 ハウジング
Claims (16)
- 摺動部材であって、
基材と、
前記基材上に設けられた保護膜とを有し、
前記保護膜が、
前記基材上に設けられた金属下地層と、
前記金属下地層上に設けられた単層の低硬度ダイヤモンドライクカーボン層と、
前記低硬度ダイヤモンドライクカーボン層上に直接設けられた単層の高硬度ダイヤモンドライクカーボン層とだけから構成されている摺動部材。 - 前記高硬度ダイヤモンドライクカーボン層が層内で均一な構造を有し、さらに前記低硬度ダイヤモンドライクカーボン層が膜厚方向に伸長する柱状の構造を有する請求項1に記載の摺動部材。
- 前記高硬度ダイヤモンドライクカーボン層と前記低硬度ダイヤモンドライクカーボン層との合計膜厚に対する、前記高硬度ダイヤモンドライクカーボン層の膜厚の割合が、75〜95%である請求項1または2に記載の摺動部材。
- 高硬度ダイヤモンドライクカーボン層の硬度が、28GPa以上である請求項1〜3のいずれか一項に記載の摺動部材。
- 低硬度ダイヤモンドライクカーボン層の硬度が、17GPa以下である請求項1〜4のいずれか一項に記載の摺動部材。
- 前記高硬度ダイヤモンドライクカーボン層及び前記低硬度ダイヤモンドライクカーボン層が、共に水素を含まない請求項1〜5のいずれか一項に記載の摺動部材。
- 前記摺動部材が、流体動圧軸受装置に用いられる摺動部材である請求項1〜6のいずれか一項に記載の摺動部材。
- 前記摺動部材が、ハードディスクドライブのスピンドルモータ用の流体動圧軸受装置に用いられる摺動部材である請求項7に記載の摺動部材。
- 上記基材の表面に、前記流体動圧軸受装置に用いられる流体が流れる溝が形成されており、前記溝内に前記保護膜が形成されている請求項7又は8に記載の摺動部材。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の摺動部材を含む流体動圧軸受装置。
- ハードディスクドライブのスピンドルモータに用いられる請求項10に記載の流体動圧軸受装置。
- 摺動部材であって、
基材と、
前記基材上に設けられた保護膜とを有し、
前記保護膜が、金属下地層と、
前記金属下地層上に形成された膜厚方向に伸長する柱状の構造を有するダイヤモンドライクカーボン層と、
前記柱状構造を有するダイヤモンドライクカーボン層の上に形成された均一構造を有するダイヤモンドライクカーボン層とだけから構成されていることを特徴とする摺動部材。 - 前記均一構造を有するダイヤモンドライクカーボン層と前記柱状構造を有するダイヤモンドライクカーボン層との合計膜厚に対する、前記均一構造を有するダイヤモンドライクカーボン層の膜厚の割合が、75〜95%である請求項12に記載の摺動部材。
- 前記柱状構造を有するダイヤモンドライクカーボン層及び前記均一構造を有するダイヤモンドライクカーボン層が、共に水素を含まない請求項12または13に記載の摺動部材。
- 前記摺動部材が、流体動圧軸受装置に用いられる摺動部材である請求項12〜14のいずれか一項に記載の摺動部材。
- 前記摺動部材が、ハードディスクドライブのスピンドルモータ用の流体動圧軸受装置に用いられる摺動部材である請求項15に記載の摺動部材。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016030845A (ja) * | 2014-07-28 | 2016-03-07 | 日産自動車株式会社 | 導電部材、その製造方法、並びにこれを用いた燃料電池用セパレータおよび固体高分子形燃料電池 |
JP2017106058A (ja) * | 2015-12-08 | 2017-06-15 | 三井造船株式会社 | 薄膜製造方法、成膜装置、及び薄膜形成材 |
JP2017171989A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 日本アイ・ティ・エフ株式会社 | 被覆膜とその製造方法およびpvd装置 |
JP2017171988A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 日本アイ・ティ・エフ株式会社 | 被覆膜とその製造方法およびpvd装置 |
WO2020183588A1 (ja) * | 2019-03-11 | 2020-09-17 | シャープ株式会社 | 電子デバイスの製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108411258A (zh) * | 2018-05-29 | 2018-08-17 | 大连维钛克科技股份有限公司 | 一种超厚无氢类金刚石薄膜及其制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000346059A (ja) * | 1999-06-04 | 2000-12-12 | Daido Steel Co Ltd | 動圧気体軸受 |
JP2005106289A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-21 | Minebea Co Ltd | 流体軸受ユニットおよび該流体軸受ユニットを備えたスピンドルモータ、記録ディスク駆動装置 |
JP2007070667A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Kobe Steel Ltd | ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体およびその製造方法 |
JP2007211309A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Toyota Motor Corp | 耐キャビテーションエロージョン用部材及びその製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0813923A4 (en) * | 1995-03-09 | 2004-07-21 | Citizen Watch Co Ltd | GUIDE SLEEVE AND METHOD FOR APPLYING A HARD CARBON FILM TO AN INNER SURFACE OF SUCH A SLEEVE |
US6656293B2 (en) * | 2001-12-10 | 2003-12-02 | Caterpillar Inc | Surface treatment for ferrous components |
JP4085699B2 (ja) | 2002-06-04 | 2008-05-14 | トヨタ自動車株式会社 | 摺動部材及びその製造方法 |
US20070110348A1 (en) * | 2003-09-12 | 2007-05-17 | Rikuro Obara | Fluid dynamic bearing unit |
US7462003B2 (en) * | 2005-08-03 | 2008-12-09 | Smith International, Inc. | Polycrystalline diamond composite constructions comprising thermally stable diamond volume |
JP5109320B2 (ja) | 2006-09-28 | 2012-12-26 | ブラザー工業株式会社 | 摺動部材 |
JP5692571B2 (ja) * | 2010-10-12 | 2015-04-01 | 株式会社ジェイテクト | Dlc被覆部材 |
-
2012
- 2012-10-10 JP JP2012224766A patent/JP6063698B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-12-12 US US13/712,503 patent/US9068597B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000346059A (ja) * | 1999-06-04 | 2000-12-12 | Daido Steel Co Ltd | 動圧気体軸受 |
JP2005106289A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-21 | Minebea Co Ltd | 流体軸受ユニットおよび該流体軸受ユニットを備えたスピンドルモータ、記録ディスク駆動装置 |
JP2007070667A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Kobe Steel Ltd | ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体およびその製造方法 |
JP2007211309A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Toyota Motor Corp | 耐キャビテーションエロージョン用部材及びその製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016030845A (ja) * | 2014-07-28 | 2016-03-07 | 日産自動車株式会社 | 導電部材、その製造方法、並びにこれを用いた燃料電池用セパレータおよび固体高分子形燃料電池 |
JP2017106058A (ja) * | 2015-12-08 | 2017-06-15 | 三井造船株式会社 | 薄膜製造方法、成膜装置、及び薄膜形成材 |
JP2017171989A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 日本アイ・ティ・エフ株式会社 | 被覆膜とその製造方法およびpvd装置 |
JP2017171988A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 日本アイ・ティ・エフ株式会社 | 被覆膜とその製造方法およびpvd装置 |
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