JP2013131555A - 半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】MOCVD装置は、材料ガスを流すためのフローチャンネル2と、フローチャンネル底板に固定され、基板を搭載するサセプタ4と、サセプタの裏面に配置されサセプタを加熱するヒーター10と、ヒーターの外周に設けられた遮熱板11と、ヒーターと遮熱板とを含むヒーター室にパージガスを供給するパージガス供給管9とを備え、フローチャンネルの材料ガス上流側の裏面に、フローチャンネル2の底板と遮熱板11端部との隙間を材料ガス流と同方向にパージガスを流すパージガス流路が形成されている。パージガスによりフローチャンネル底板が冷却され、堆積物の生成が抑制される。
【選択図】図1
Description
図1に、本実施形態の半導体製造装置の概要を示す。図1(a)は(b)に示す側断面図のA−A’断面図、(b)は側断面図である。この半導体製造装置は、フローチャンネル方式のMOCVD装置であり、外部に対し気密された反応容器1と、反応容器1内に設置され、一端側2aに材料ガスを供給するためのガス供給管6、7が接続されるとともに他端側2bに開放された開口部を持つフローチャンネル2と、フローチャンネル2の他端側2bに設置された排気管3と、基板5を支持するサセプタ4と、サセプタ4の基板搭載面と反対側に設置されたヒーター10と、ヒーター10を囲むように設置された遮熱板11と、ヒーター10及び遮熱板11を反応容器1の他の空間から隔てるヒーター室隔壁12と、サセプタ4を回転させるための回転機構13とを備えている。
側面遮熱板111のうち最外側に位置する遮熱板は、他の遮熱板と同様に、Mo、BN、PBN、ハステロン、インコネルなどを使用することができるが、インバー、SUS等のやや耐熱性の低い材料を用いることも可能である。
図4に、本実施形態の半導体製造装置の概要を示す。図4は第一実施形態と同様にMOCVD装置の側断面図である。図4中、図1と共通する要素は同じ符号で示しており、その説明は省略する。以下、主として第一実施形態と異なる点を説明する。
図1に示す構造のMOCVD装置(第一実施形態)を用いて、図6に示すような低温GaN層と高温GaN層からなるGaN膜の結晶成長を行った。
図4に示す構造のMOCVD装置(第二実施形態)を用い、パージガスの供給条件以外は、実施例1と同じ条件でサファイア基板上に低温GaN層及び高温GaN層からなるGaN膜を結晶成長させた。
比較例として、図8に示すMOCVD装置を用いパージガスの供給条件以外は、実施例1と同じ条件でサファイア基板上にGaN層を結晶成長させた。図8に示す装置は、実施例1、2と同じ基板搭載面及び凹部の径を持つ平板状のサセプタ(厚さ5mm)を採用するとともに、サセプタの裏面側にヒーターを配置した構造であり、ヒーターの発熱面積は、実施例1及び2のヒーターの発熱面積と同じである。水冷ジャケット式隔壁は、実施例1と同様にフローチャンネルと密着し、材料ガス下流側に排気用の切欠けが形成されているものを使用した。遮熱板は、ヒーター側面を厚み3mmのBNからなる側面遮熱板で構成し、ヒーター裏面を厚み3mmのBNからなる2枚の底面遮熱板で構成した。パージガスは、ヒーター室の中側とヒーター室の外側にそれぞれ設けたパージガス供給管から供給した。
<<膜厚>>
フローチャンネル床板上で材料ガスの分解を生じやすいのはサセプタ温度が1000℃を超える高温GaN膜の成長条件においてであるので、実施例1、2及び比較例で生成した高温GaN膜の膜厚を測定し、本発明の効果を確認した。膜厚の測定は、サファイア基板の屈折率(1.7)とGaN結晶の屈折率(2.4)との相違を利用した、白色光源を用いた反射干渉計を用い、図7に示すように基板中心から5mm間隔で、中心を含む5点で行った。その平均値と、比較例の膜厚を基準にした膜厚増加率とを表1に示す。
上述した実施例1、2及び比較例による成膜を繰り返し実行し、各回毎に、サセプタ上流側のフローチャンネル床板部に堆積した堆積物の状態を観察するとともに、堆積物が剥離して捲れ上がるまでの繰り返し回数をカウントした。結果を合わせて表1に示す。
実施例1、2及び比較例で結晶成長したGaN層のX線回析(XRD)測定を行いGaN層の欠陥密度を評価した。サファイア基板上へのGaN結晶成長は、異種結晶成長であるためドメインを形成していることが知られており、欠陥密度はドメインの基板結晶軸に対する傾き(チルティング)と結晶軸の回転(ツイスティング)と比例する。そして、チルティングは、XRDの(002)ωロッキングカーブの半値幅で、ツイスティングは、(102)ωロッキングカーブの半値幅で、それぞれ評価でき、これらの値が小さいほど欠陥密度は少ない。5回目の結晶成長後にXRD測定により求めた(002)ωロッキングカーブの半値幅と(102)ωロッキングカーブの半値幅を表2に示す。
Claims (7)
- 反応容器と、前記反応容器内に設置され、基板を搭載するサセプタと、サセプタに搭載された基板の表面に沿って材料ガスを供給するフローチャンネルと、前記サセプタの基板搭載面と反対側に設置されたヒーターと、前記ヒーターを囲むように配置された遮熱板と、前記反応容器にパージガスを供給するパージガス供給手段とを備えた半導体製造装置において、
前記遮熱板は、互いに間隔を持って配置された複数の側面遮熱板を含み、当該複数の側面遮熱板は、板面が前記フローチャンネルの底面と交差し且つ端部が前記フローチャンネルの底面との間に隙間を持って配置され、
前記側面遮熱板の、ヒーターに近い方を内側、ヒーターから遠い方を外側とするとき、前記側面遮熱板の外側を通り、前記側面遮熱板の端部と前記フローチャンネルの底面との隙間を経て、前記複数の側面遮熱板間及び前記側面遮熱板の内側と前記ヒーターとの隙間を通るパージガス流路を形成するガス流制御手段を備えたことを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項1に記載の半導体製造装置であって、
前記複数の側面遮熱板の端部は、前記フローチャンネル底面からの距離が、外側から内側に向かって、小さくなるように配置されていることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項1又は2に記載の半導体製造装置であって、
前記ヒーター及び前記遮熱板が配置される空間(ヒーター室)を取り囲んで設置されたヒーター室隔壁を備え、前記パージガス供給手段は、前記ヒーター室以外の空間にパージガスを供給する第一のパージガス供給管と、前記ヒーター室にパージガスを供給する第二のパージガス供給管とを備えることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項3に記載の半導体製造装置であって、
前記ガス流制御手段は、前記複数の側面遮熱板のうち最外側に配置される側面遮熱板を含み、当該最外側の側面遮熱板は、前記フローチャンネルの底面と交差する方向の長さが他の側面遮熱板より長く、前記最外側の側面遮熱板と前記ヒーター室隔壁との間に、前記第二のパージガス供給管からのガス吹き出し口が配置されていることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項3に記載の半導体製造装置であって、
前記ヒーター室隔壁は、前記フローチャンネルの底面との間に隙間を持って配置され、
前記ガス流制御手段は、前記ヒーター室隔壁を囲んで配置されたパージガス誘導筒を含み、前記パージガス誘導筒と前記ヒーター室隔壁との間に、前記第二のパージガス供給管からのガス吹き出し口が配置されていることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項5に記載の半導体製造装置であって、
前記ヒーター室隔壁で仕切られたヒーター室を、前記ヒーター及び前記遮熱板が配置される空間とそれ以外の空間(第二空間)に仕切る第二の隔壁を備え、
前記第二の隔壁には、前記側面遮熱板の端部と前記フローチャンネルの底面との隙間を経て、前記複数の側面遮熱板間及び前記側面遮熱板の内側と前記ヒーターとの隙間を通るパージガス流路を流れたパージガスを前記反応容器の外に排気する排気手段が備えられていることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項6に記載の半導体製造装置であって、
前記パージガス供給手段は、前記第二の隔壁によって仕切られた第二空間にパージガスを供給する第三パージガス供給管を備えたことを特徴とする半導体製造装置。
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