JP5762900B2 - ハイドライド気相エピタキシー装置およびアルミニウム系iii族窒化物単結晶を製造する方法 - Google Patents
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Description
このような、従来の分離型装置における前記問題の発生原因が明らかとなったことから、本発明者等は、フィルターを設置して前記パーティクルの反応器本体への導入を阻止することにより前記問題の発生を防止することを試みた。しかしながら、このような対策によりある程度の改善(多結晶成長の頻度の低下)は図られたものの、満足のゆく効果を得るには至らなかった。
そこで、本発明者等は、分離型装置において III族源ガスの温度を下げることなく反応器本体に導入できる装置構造について鋭意検討を行い、本発明を完成するに至った。
III族ハロゲン化物ガス及び窒素源ガスを単結晶基板に接触させて III族窒化物を当該単結晶基板上にエピタキシャル成長させる反応ゾーンを有する反応器本体と、
当該反応器本体の外部に配設され、前記 III族ハロゲン化物ガスを生成するための III族源ガス発生部と、
当該 III族源ガス発生部で生成した III族ハロゲン化物ガスを反応器本体に導入するための III族ハロゲン化物ガス導入管と、を有するハイドライド気相エピタキシー装置において、
前記 III族源ガス発生部は、
III族元素の単体を収容して保持する収容部と、
該収容部を囲み、該収容部の下流側に排出口が設けられ、前記収容部に保持された III族元素の単体とハロゲン原料ガスとを反応させ、当該反応により生成した III族ハロゲン化物ガスを前記排出口から排出するように構成してあるハロゲン化反応器と、
前記ハロゲン化反応器および排出口を覆うように配設された外殻ケーシングとを有し、
前記外殻ケーシングが、前記 III族ハロゲン化物ガス導入管に接続してあり、
前記外殻ケーシングと前記ハロゲン化反応器との間の隙間に搬送ガスを流通せしめ、当該搬送ガスと共に前記排出口より排出された III族ハロゲン化物ガスを前記 III族ハロゲン化物ガス導入管を通して前記反応器本体の反応ゾーンへ供給するようにしたことを特徴とするハイドライド気相エピタキシー装置である。
前記ハロゲン原料ガスが、ハロゲン化水素ガスもしくはハロゲンガスであり、
前記搬送ガスが不活性ガスまたは水素ガスであり、
前記窒素源ガスがアンモニアガスであり、
目的とする前記Al系 III族窒化物単結晶が、窒化アルミニウム単結晶である。
III族ハロゲン化物ガスと窒素源ガスとを高温に保持された単結晶基板に接触させて、Al系 III族窒化物単結晶を当該単結晶基板上にエピタキシャル成長させる方法であって、上記のいずれかに記載の装置を用いてAl系 III族窒化物を製造することを特徴とする。本発明の方法によれば、高品質なAl系 III族窒化物単結晶を高生産性で製造することができる。
図1に示すように、本発明の一実施形態に係るハイドライド気相エピタキシー(HVPE)装置10は、反応器本体20と III族源ガス発生部40と III族ハロゲン化物ガス導入管50とを有する。反応器本体20は、 III族ハロゲン化物ガスと窒素源ガスとを反応させて目的とするAl系 III族窒化物単結晶を成長させる反応ゾーン22を有する。
第2加熱部57により加熱される III族ハロゲン化物ガス導入管50の内部温度T2は、前記内部温度T1の90%以上、800℃以下であることが好ましい。また、予備加熱部55におけるハロゲン化反応器42の内部加熱温度T0は、金属体46の周囲において前述した内部温度T1に保たれるように決定される。
20… 反応器本体
22… 反応ゾーン
24… 基板
30… 外チャンバ
32… 内チャンバ
34… 第1ノズル
36… 第2ノズル
38… ヒータ
40… III族源ガス発生部
42… ハロゲン化反応器
44… 排出口
46… 金属体
46a… 収容部
48… 外殻ケーシング
50… III族ハロゲン化物ガス導入管
52… 搬送ガス供給口
54… 加熱炉
55… 予備加熱部
56… 第1加熱部
57… 第2加熱部
60… 窒素源ガス導入管
Claims (7)
- III族ハロゲン化物ガス及び窒素源ガスを単結晶基板に接触させて III族窒化物を当該単結晶基板上にエピタキシャル成長させる反応ゾーンを有する反応器本体と、
当該反応器本体の外部に配設され、前記 III族ハロゲン化物ガスを生成するための III族源ガス発生部と、
当該 III族源ガス発生部で生成した III族ハロゲン化物ガスを反応器本体に導入するための III族ハロゲン化物ガス導入管と、を有するハイドライド気相エピタキシー装置において、
前記 III族源ガス発生部は、
III族元素の単体を収容して保持する収容部と、
該収容部を囲み、該収容部の上流側にハロゲン原料ガスを供給するための供給口が設けられ、該収容部の下流側に排出口が設けられ、前記収容部に保持された III族元素の単体と前記供給口から供給されたハロゲン原料ガスとを反応させ、当該反応により生成した III族ハロゲン化物ガスを前記排出口から排出するように構成してあるハロゲン化反応器と、
前記ハロゲン化反応器および排出口を覆うように配設された外殻ケーシングとを有し、
前記外殻ケーシングが、前記 III族ハロゲン化物ガス導入管に接続してあり、
前記外殻ケーシングと前記ハロゲン化反応器との間の隙間に搬送ガスを流通せしめ、当該搬送ガスと共に前記排出口より排出された III族ハロゲン化物ガスを前記 III族ハロゲン化物ガス導入管を通して前記反応器本体の反応ゾーンへ供給するようにしたことを特徴とするハイドライド気相エピタキシー装置。 - 前記外殻ケーシングおよび III族ハロゲン化物ガス導入管が金属で構成され、
前記 III族源ガス発生部のハロゲン化反応器が耐熱性および耐酸性の非金属材料で構成される請求項1に記載のハイドライド気相エピタキシー装置。 - 前記 III族源ガス発生部のハロゲン化反応器を覆う前記外殻ケーシングの外周を加熱する第1加熱手段と、
前記 III族ハロゲン化物ガス導入管の外周を加熱する第2加熱手段とを、さらに有する請求項1または2に記載のハイドライド気相エピタキシー装置。 - 前記第2加熱手段による加熱温度が、前記第1加熱手段による加熱温度の90%以上、800℃以下の温度範囲内にある請求項3に記載のハイドライド気相エピタキシー装置。
- 前記反応器本体には、前記窒素源ガスを前記反応ゾーンの内部に導入する窒素源ガス導入管が、前記 III族ハロゲン化物ガス導入管とは別に設けてある請求項1〜4のいずれかに記載のハイドライド気相エピタキシー装置。
- 前記 III族元素の単体がアルミニウムであり、
前記搬送ガスが不活性ガスまたは水素ガスであり、
前記窒素源ガスがアンモニアガスであり、
目的とする前記アルミニウム系 III族窒化物単結晶が、窒化アルミニウム単結晶である請求項1〜5のいずれかに記載のハイドライド気相エピタキシー装置。 - III族ハロゲン化物ガスと窒素源ガスとを反応させて、加熱された基板上にアルミニウム系 III族窒化物単結晶を成長させてアルミニウム系 III族窒化物単結晶を製造する方法であって、
請求項1〜6のいずれかに記載の装置を用いてアルミニウム系 III族窒化物単結晶を製造することを特徴とするアルミニウム系 III族窒化物単結晶を製造する方法。
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