JP2013130856A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT517185B1 (de) * 2015-05-13 2017-06-15 Trotec Laser Gmbh Verfahren zum Gravieren, Markieren und/oder Beschriften eines Werkstückes () mit einem
JP6292410B2 (ja) * 2015-05-26 2018-03-14 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 光走査装置及び画像形成装置
JP2018146615A (ja) * 2017-03-01 2018-09-20 コニカミノルタ株式会社 画像書込装置及び画像形成装置
CN111093884B (zh) * 2017-09-21 2022-05-24 松下知识产权经营株式会社 激光加工头及使用该激光加工头的激光加工系统
DE102017009472B4 (de) * 2017-10-12 2025-09-18 Precitec Gmbh & Co. Kg Vorrichtung für ein Laserbearbeitungssystem, Laserbearbeitungssystem mit derselben und Verfahren zum Einstellen einer Fokuslage eines optischen Elements
WO2020153046A1 (ja) * 2019-01-22 2020-07-30 三菱電機株式会社 光学部品およびレーザ加工機
JP7203479B2 (ja) * 2019-08-29 2023-01-13 ビアメカニクス株式会社 レーザ加工装置
JP6861918B1 (ja) * 2020-07-03 2021-04-21 三菱電機株式会社 レーザ加工装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6316889A (ja) * 1986-07-07 1988-01-23 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ光異常監視装置
JPS63212080A (ja) * 1987-02-27 1988-09-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd レ−ザ加工装置
JPS63264289A (ja) * 1987-04-21 1988-11-01 Mitsubishi Heavy Ind Ltd レ−ザ溶接方法
DE19782307T1 (de) * 1997-12-26 2001-02-01 Mitsubishi Electric Corp Laserbearbeitungsgerät
JP2001051214A (ja) * 1999-08-16 2001-02-23 Ricoh Co Ltd 光ビーム走査装置および画像形成装置
JP4393227B2 (ja) * 2004-02-27 2010-01-06 キヤノン株式会社 露光装置、デバイスの製造方法、露光装置の製造方法
WO2009066370A1 (ja) * 2007-11-20 2009-05-28 Mitsubishi Electric Corporation レーザ発振器内出射ミラーの劣化状態測定方法およびレーザ加工装置
CN102123654B (zh) * 2008-11-11 2012-07-18 奥林巴斯医疗株式会社 摄像装置及内窥镜
WO2010098299A1 (ja) * 2009-02-24 2010-09-02 株式会社ニコン 光学素子の保持装置、光学系、及び露光装置
JP5279949B2 (ja) * 2010-04-12 2013-09-04 三菱電機株式会社 レーザ加工機、レーザ加工方法およびレーザ加工制御装置

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