JP2013108066A - 通気性シート、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法、およびセラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents
通気性シート、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法、およびセラミックコンデンサの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013108066A JP2013108066A JP2012234116A JP2012234116A JP2013108066A JP 2013108066 A JP2013108066 A JP 2013108066A JP 2012234116 A JP2012234116 A JP 2012234116A JP 2012234116 A JP2012234116 A JP 2012234116A JP 2013108066 A JP2013108066 A JP 2013108066A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- suction
- adsorption
- resin film
- main surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 title claims description 94
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 40
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 title description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 20
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 86
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 86
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 44
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 66
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 42
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 11
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 11
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 11
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 claims description 11
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 10
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 10
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 10
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 9
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 9
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 5
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 4
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 claims description 3
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 claims description 3
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 claims description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 claims description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 claims description 2
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 89
- 230000008569 process Effects 0.000 description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 description 17
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 13
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 12
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 10
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 9
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 8
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 7
- 239000004699 Ultra-high molecular weight polyethylene Substances 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 6
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 6
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 6
- 229920000785 ultra high molecular weight polyethylene Polymers 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N Terephthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005708 Sodium hypochlorite Substances 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- QBWCMBCROVPCKQ-UHFFFAOYSA-N chlorous acid Chemical compound OCl=O QBWCMBCROVPCKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940077239 chlorous acid Drugs 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N hypochlorous acid Chemical compound ClO QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 239000012286 potassium permanganate Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N sodium hypochlorite Chemical compound [Na+].Cl[O-] SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/30—Stacked capacitors
- H01G4/308—Stacked capacitors made by transfer techniques
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
- H01G4/1209—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
- H01G4/1218—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】 通気性シート4は、厚さ方向に通気性を有する。通気性シート4は、厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔12が形成された樹脂フィルム9と、樹脂フィルム9の内部に分散された白色粒子10および/または樹脂フィルム9の主面4b上に配置された白色層と、を備える。複数のストレート孔12の径は20μm以下である。通気性シート4における少なくとも一方の主面4bの白色度は、70以上である。通気性シート4によれば、付着した異物を容易に視認できる。
【選択図】図2
Description
厚さ方向に通気性を有する通気性シートであって、
前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、
前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および/または前記樹脂フィルムの主面上に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は20μm以下であり、
当該通気性シートにおける少なくとも一方の主面のJIS P8123に準拠して測定した白色度は、70以上である、
通気性シート、
を提供する。
吸着ユニットの吸着面に、前記吸着面との直接の接触を防ぎ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートを介して作業対象物を吸着させる吸着工程を含み、
前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第1の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第2の主面が前記作業対象物に対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および/または前記第2の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は20μm以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして10秒/100mL以下であり、前記吸着用シートにおける前記第2の主面のJIS P8123に準拠して測定した白色度は70以上である、
吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法、
を提供する。
離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に、前記セラミックグリーンシートと前記吸着面との直接の接触を防ぎ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートを介して吸着させて前記離型フィルムから剥離する剥離工程と、
剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、
前記剥離工程および前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記剥離工程および前記積層工程において、前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第1の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第2の主面が前記セラミックグリーンシートに対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および/または前記第2の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は20μm以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして10秒/100mL以下であり、前記吸着用シートにおける前記第2の主面のJIS P8123に準拠して測定した白色度は70以上である、セラミックコンデンサの製造方法、
を提供する。
第一実施形態では、通気性シートを吸着用シートとして用いた形態を説明する。以下、本実施形態に係る吸着用シートを用いた、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法を説明する。図1に示す吸着工程では、吸着ユニット14に作業対象物15(例えば、セラミックグリーンシート)が吸着される。吸着ユニット14の吸着面13には、図1に示す吸着用シート4が配置され、作業対象物15は、吸着用シート4を介して吸着面13に吸着される。具体的には、吸着用シート4は、吸着用シート4の第1の主面4aが吸着面13に対向し(接し)、吸着用シート4の第2の主面4bが作業対象物15に対向する(接する)ように配置される。吸着ユニット14は、吸着ユニット14に吸引力を発生させるポンプ(図示せず)に接続されている。図1に示す吸着ユニット14の吸着面13には複数の孔16が形成されており、孔16によって、吸着ユニット14の吸着面13に吸引力が発生する。第2の主面4bの白色度は高いので、第2の主面4bに異物が付着したとしても、付着した異物は容易に視認される(詳細は後述)。なお、典型的には、吸着ユニット14における孔16が形成されている範囲L1は、作業対象物15の範囲L2よりも狭い。
図6に、本発明の第二実施形態に係る通気性シートである吸着用シート104を示す。図6に示す吸着用シート104は、樹脂フィルム109と、白色層131とを備えている。吸着用シート104を、厚さ方向に沿って観察したときの平面図を図7に示す。また、吸着用シート104を、厚さ方向に平行な断面で切断した断面図を図8に示す。
実施例1では、図2〜図4に示す第一実施形態の吸着用シート4と同様のサンプルを作製した。
エッチングの条件を変更したこと以外は実施例1と同様にしてサンプルBを作製した。サンプルBの作製におけるエッチングにおいて用いたエッチング液は、0.1〜1.0Mで50〜80℃のNaOH溶液であり、処理時間を30〜180分とした。サンプルBでは、ストレート孔はφ3.0μであり、ストレート孔を形成後のシートの気孔率は42%であった。
実施例3では、図6〜図8に示す第二実施形態の吸着用シート104と同様のサンプルを作製した。
酸化チタンが内部に分散していないこと以外は実施例1で用いたPETフィルムと同様の無孔のPETフィルムをサンプルDとした。
ストレート孔が形成されていないこと以外は実施例3で準備したPIフィルムと同様の無孔のPIフィルムをサンプルEとした。
実施例3で準備した、ストレート孔が形成された非多孔質のPIフィルムをサンプルFとした。
実施例3で作製したPIフィルムの表面に実施例3と同様のアルミナ層を形成して得た非多孔質のフィルムをサンプルGとした。なお、このアルミナ層の厚さは非常に薄く、第二実施形態で述べた白色層を構成するものではない。
厚さが200μm、平均孔径が20μmのUHMWPE多孔質シート(日東電工社製、サンマップLCT5320S)をサンプルHとした。
一般的なコピー用紙はサンプルIとした。
白色度は、色差計(日本電色工業株式会社製、ND−1001DP)を用いて、JISP 8123に準拠した測定によりハンター白度を求めた。
可視光透過率は、分光光度計(株式会社日立ハイテクノロジーズ社製、U−4100)を用い、300〜2700nmの波長域について測定した。
各サンプルの表面をSEM(JEOL社(日本電子株式会社)製、JSM−6510LV)により撮像し、得られたSEM像に基づいて各サンプルの表面における孔径を測定した。
通気度としてガーレー数を評価した。ガーレー数は、JIS P8117に準拠して、ガーレー式デンソメーター(安田精機製作所製)または王研式透気度試験装置(旭精工製、EG02−S)を用いて求めた。
表面粗さは、触針式表面粗さ計(株式会社東京精密製品、サーフコム550A)を用いて測定した。測定条件は、先端径R250μm、速度0.3mm/sec、測定長4mmとした。表面粗さとしては、算術平均粗さRaおよび最大高さRmaxを測定した。
4a,104a 第1の主面
4b,104b 第2の主面
9,109 樹脂フィルム
10,110 白色粒子
12,112 ストレート孔
13 吸着面
14 吸着ユニット
15 作業対象物
16 孔
21 離型フィルム
22 セラミックグリーンシート
23 積層体
24 焼成体
131 白色層
132 下地層
Claims (15)
- 厚さ方向に通気性を有する通気性シートであって、
前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、
前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および/または前記樹脂フィルムの主面上に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は20μm以下であり、
当該通気性シートにおける少なくとも一方の主面のJIS P8123に準拠して測定した白色度は、70以上である、
通気性シート。 - 前記厚さ方向の可視光透過率が60%以下である、請求項1に記載の通気性シート。
- 前記白色層を備えるとともに、前記樹脂フィルムと前記白色層との間に介在し、前記白色層に接する下地層をさらに備える、請求項1または2に記載の通気性シート。
- 前記下地層は、アルミナを蒸着することにより形成されたアルミナ層である、請求項3に記載の通気性シート。
- 前記白色粒子および/または前記白色層は、無機物からなる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の通気性シート。
- 前記白色粒子および/または前記白色層は、酸化チタンからなる、請求項5に記載の通気性シート。
- 酸化チタンを蒸着することにより形成された前記白色層を備える、請求項6に記載の通気性シート。
- 前記樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエチレンナフタレートおよびポリフッ化ビニリデンから選ばれる少なくとも1種の樹脂からなる、請求項1〜7のいずれか一項に記載の通気性シート。
- 当該通気性シートの厚さ方向の通気度は、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして10秒/100mL以下である、請求項1〜8のいずれか一項に記載の通気性シート。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の通気性シートを備えた、吸着用シート。
- 被濾過液体を濾過するための濾過膜であって、請求項1〜9のいずれか一項に記載の通気性シートを備えた、濾過膜。
- エアフィルタ用の濾材であって、請求項1〜9のいずれか一項に記載の通気性シートを備えた、濾材。
- ベントフィルタ−用の通気膜であって、請求項1〜9のいずれか一項に記載の通気性シートを備えた、通気膜。
- 吸着ユニットの吸着面に、前記吸着面との直接の接触を防ぎ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートを介して作業対象物を吸着させる吸着工程を含み、
前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第1の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第2の主面が前記作業対象物に対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および/または前記第2の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は20μm以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして10秒/100mL以下であり、前記吸着用シートにおける前記第2の主面のJIS P8123に準拠して測定した白色度は70以上である、
吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。 - 離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に、前記セラミックグリーンシートと前記吸着面との直接の接触を防ぎ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートを介して吸着させて前記離型フィルムから剥離する剥離工程と、
剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、
前記剥離工程および前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記剥離工程および前記積層工程において、前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第1の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第2の主面が前記セラミックグリーンシートに対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および/または前記第2の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は20μm以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして10秒/100mL以下であり、前記吸着用シートにおける前記第2の主面のJIS P8123に準拠して測定した白色度は70以上である、セラミックコンデンサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012234116A JP5941821B2 (ja) | 2011-10-28 | 2012-10-23 | 通気性シート、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法、およびセラミックコンデンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011237213 | 2011-10-28 | ||
JP2011237213 | 2011-10-28 | ||
JP2012234116A JP5941821B2 (ja) | 2011-10-28 | 2012-10-23 | 通気性シート、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法、およびセラミックコンデンサの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013108066A true JP2013108066A (ja) | 2013-06-06 |
JP5941821B2 JP5941821B2 (ja) | 2016-06-29 |
Family
ID=48167431
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012234116A Active JP5941821B2 (ja) | 2011-10-28 | 2012-10-23 | 通気性シート、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法、およびセラミックコンデンサの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5941821B2 (ja) |
KR (1) | KR20140085537A (ja) |
CN (1) | CN103974807B (ja) |
WO (1) | WO2013061579A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016065139A (ja) * | 2014-09-24 | 2016-04-28 | 日東電工株式会社 | 吸着用シート及び吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法並びにセラミックコンデンサの製造方法 |
WO2016174871A1 (ja) * | 2015-04-30 | 2016-11-03 | 日東電工株式会社 | 高分子樹脂フィルムとこれを備える通気膜、通音膜、音響抵抗体、通気膜部材、通音膜部材、音響抵抗体部材および音響機器ならびに高分子樹脂フィルムの製造方法 |
JP7421894B2 (ja) | 2019-09-30 | 2024-01-25 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 対象物を表面に吸着させるための樹脂シート |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI638759B (zh) * | 2018-04-17 | 2018-10-21 | 威光自動化科技股份有限公司 | 異形薄片物件的負壓吸附器 |
CN108995200B (zh) * | 2018-08-28 | 2023-06-30 | 莱芜钢铁集团有限公司 | 气体提取式薄膜铺设装置及方法 |
KR20210110330A (ko) * | 2018-12-28 | 2021-09-07 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 통기성 점착 시트 및 통기성 제품 |
KR102185052B1 (ko) * | 2019-01-22 | 2020-12-01 | 삼성전기주식회사 | 커패시터 부품 및 그 제조방법 |
JP2021030100A (ja) * | 2019-08-15 | 2021-03-01 | 新科實業有限公司SAE Magnetics(H.K.)Ltd. | 薄膜フィルタ、薄膜フィルタ基板、薄膜フィルタの製造方法および薄膜フィルタ基板の製造方法並びにmemsマイクロフォンおよびmemsマイクロフォンの製造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002173250A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Nitto Denko Corp | 吸着搬送方法および吸着加工方法 |
JP2004128115A (ja) * | 2002-10-01 | 2004-04-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 減圧固定用フィルム、ウエハ保護フィルム、ダイシングフィルム及び半導体装置の製造方法 |
JP2004261737A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Nitto Denko Corp | エアフィルタ濾材 |
JP2006269981A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Toshiba Corp | 光半導体発光素子駆動回路 |
JP2009023777A (ja) * | 2007-07-18 | 2009-02-05 | Nitto Denko Corp | 吸着固定用シート |
WO2011089926A1 (ja) * | 2010-01-25 | 2011-07-28 | 日東電工株式会社 | 吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法ならびにセラミックコンデンサの製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4285651B2 (ja) * | 2004-07-13 | 2009-06-24 | 日東電工株式会社 | 吸着固定用シートおよびその製造方法 |
CN201064906Y (zh) * | 2007-05-24 | 2008-05-28 | 上海大学 | 一种抗泄漏吸盘 |
-
2012
- 2012-10-23 JP JP2012234116A patent/JP5941821B2/ja active Active
- 2012-10-23 WO PCT/JP2012/006788 patent/WO2013061579A1/ja active Application Filing
- 2012-10-23 CN CN201280053093.3A patent/CN103974807B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-10-23 KR KR1020147013768A patent/KR20140085537A/ko active Search and Examination
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002173250A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Nitto Denko Corp | 吸着搬送方法および吸着加工方法 |
JP2004128115A (ja) * | 2002-10-01 | 2004-04-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 減圧固定用フィルム、ウエハ保護フィルム、ダイシングフィルム及び半導体装置の製造方法 |
JP2004261737A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Nitto Denko Corp | エアフィルタ濾材 |
JP2006269981A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Toshiba Corp | 光半導体発光素子駆動回路 |
JP2009023777A (ja) * | 2007-07-18 | 2009-02-05 | Nitto Denko Corp | 吸着固定用シート |
WO2011089926A1 (ja) * | 2010-01-25 | 2011-07-28 | 日東電工株式会社 | 吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法ならびにセラミックコンデンサの製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016065139A (ja) * | 2014-09-24 | 2016-04-28 | 日東電工株式会社 | 吸着用シート及び吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法並びにセラミックコンデンサの製造方法 |
WO2016174871A1 (ja) * | 2015-04-30 | 2016-11-03 | 日東電工株式会社 | 高分子樹脂フィルムとこれを備える通気膜、通音膜、音響抵抗体、通気膜部材、通音膜部材、音響抵抗体部材および音響機器ならびに高分子樹脂フィルムの製造方法 |
KR20180002638A (ko) * | 2015-04-30 | 2018-01-08 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 고분자 수지 필름과 이것을 구비하는 통기막, 통음막, 음향 저항체, 통기막 부재, 통음막 부재, 음향 저항체 부재 및 음향 기기, 그리고 고분자 수지 필름의 제조 방법 |
US10679598B2 (en) | 2015-04-30 | 2020-06-09 | Nitto Denko Corporation | Polymer resin film, and air-permeable membrane, sound-permeable membrane, acoustic resistor, air-permeable membrane member, sound-permeable membrane member, acoustic resistor member, and audio device that include the polymer resin film, and method for producing the polymer resin film |
KR102527111B1 (ko) | 2015-04-30 | 2023-05-02 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 고분자 수지 필름과 이것을 구비하는 통기막, 통음막, 음향 저항체, 통기막 부재, 통음막 부재, 음향 저항체 부재 및 음향 기기, 그리고 고분자 수지 필름의 제조 방법 |
JP7421894B2 (ja) | 2019-09-30 | 2024-01-25 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 対象物を表面に吸着させるための樹脂シート |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20140085537A (ko) | 2014-07-07 |
JP5941821B2 (ja) | 2016-06-29 |
WO2013061579A1 (ja) | 2013-05-02 |
CN103974807A (zh) | 2014-08-06 |
CN103974807B (zh) | 2015-09-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5941821B2 (ja) | 通気性シート、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法、およびセラミックコンデンサの製造方法 | |
JP5662177B2 (ja) | 吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法ならびにセラミックコンデンサの製造方法 | |
JP5623721B2 (ja) | 吸着用シート | |
JP2008036885A (ja) | 吸着フィルムとその製造方法、および離型フィルム付き吸着フィルムとその製造方法 | |
WO2019017074A1 (ja) | 電極体の製造装置 | |
JP2009117552A (ja) | 吸着ステージ | |
WO2004095479A1 (ja) | 積層電子部品用の積層体ユニットの製造方法 | |
JP6328807B2 (ja) | 吸着用多孔質シートおよび吸着用多孔質シートに用いる交換用表面層 | |
JP6396737B2 (ja) | 吸着用シート及び吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法並びにセラミックコンデンサの製造方法 | |
JP5563514B2 (ja) | チップ状電子部品 | |
KR20100029802A (ko) | 진공척용 진공패드 및 그 제작방법 | |
JP3498205B2 (ja) | セラミックグリーンシートの取扱装置および取扱方法ならびに積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP4003708B2 (ja) | セラミックグリーンシートの取扱方法および取扱装置ならびに積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP2012162089A (ja) | 吸着フィルムおよび離型フィルム付き吸着フィルム | |
JP2001196258A (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP4629296B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP2005057157A (ja) | 積層型セラミック電子部品の製造方法 | |
JP2002184646A (ja) | セラミック電子部品の製造方法 | |
KR20090111390A (ko) | 진공척용 진공패드 및 그 제작방법 | |
JP6413494B2 (ja) | 導電性インクの焼成方法及びプリント配線板用基板の製造方法 | |
JP2007055205A (ja) | 積層装置、シートの積層方法、積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP2004186341A (ja) | セラミック積層体の製法 | |
JP2010202248A (ja) | 吸着搬送治具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150721 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160517 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160518 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160523 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5941821 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |