JP2016065139A - 吸着用シート及び吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法並びにセラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
くなるため、離型シートからの剥離及び吸着搬送に必要な吸着力が増大する。このため、通気性をさらに向上させた吸着用シートの使用が望まれる。
メージ(吸着痕)が抑制されながら、当該作業対象物が効率よく吸着される。
きは、本発明の効果を妨げない限り特に限定されず、前記軸線の方向はランダムに異なっていてもよい(図2B)。
イオンビームを、高分子シート(前記した材料としての樹脂シート)に照射する工程(I)と、前記イオンビーム照射後の高分子シートにおけるイオンが衝突した部分を化学エッチングして、前記イオンの衝突の軌跡に沿って延びる貫通孔を当該シートに形成する工程(II)と、を含む。前記工程(II)において、前記高分子シートの一方の主面へのマスキング層の配置により、当該一方の主面からの前記部分のエッチングに比べて、前記高分子シートの他方の主面からの前記部分のエッチングの程度が大きい化学エッチングを実施することにより得ることができる。前記製造方法は、非対称構造膜が得られる限り、工程(I)、(II)以外の任意の工程を含んでいてもよい。
工程(I)では、イオンビームを高分子シートに照射する。イオンビームは、加速されたイオンにより構成される。イオンビームの照射により、当該ビーム中のイオンが衝突した高分子シートが形成される。イオンビームを照射する方法は限定されない。例えば、高
分子シート1をチャンバーに収容し、チャンバー内の圧力を低くした後(例えば、照射するイオン2のエネルギーの減衰を抑制するために高真空雰囲気とした後)、ビームラインからイオン2を高分子シート1に照射する。チャンバー内に特定の気体を加えてもよいし、高分子シート1をチャンバーに収容するが当該チャンバー内の圧力を減圧せず、例えば大気圧でイオンビームの照射を実施してもよい。
工程(I)は、高分子シート1の主面、例えば上記一方の主面、にマスキング層が配置された状態で実施してもよい。
工程(II)では、工程(I)においてイオンビームを照射した後の高分子シート1におけるイオン2が衝突した部分を化学エッチングして、イオン2の衝突の軌跡3に沿って延びる細孔を当該シート1に形成する。
オン2が衝突した部分のエッチングについて、マスキング層を配置した上記一方の主面からのエッチングに比べて、他方の主面からのエッチングの程度が大きくなる。すなわち、工程(II)では、当該シートの双方の主面からのエッチングが非対称的に進行する化学エッチングを実施する(以下、単に「非対称エッチング」ともいう)。一方、従来の方法では、高分子シートの双方の主面からのエッチングが均等に(対称的に)進行する(以下、単に「対称エッチング」ともいう)。なお、「エッチングの程度が大きい」とは、より具体的には、例えば、上記部分について単位時間あたりのエッチング量が大きいこと、すなわち上記部分についてエッチング速度が大きいことを意味する。
の非対称エッチングを実施する限り、対称エッチングを実施してもよい。例えば、エッチングの途中でマスキング層を高分子シート1から剥離することにより、非対称エッチングから対称エッチングの進行に切り替えてもよい。
り制御でき、特に限定されないが、例えば、10個/cm2〜1×108個/cm2であってもよく、孔の数が多すぎると近接した孔同士の結合によって孔が拡大する等のシートの機械的強度が低下するおそれがあり、少なすぎると十分な通気性が得られないことから、5.0×103個/cm2〜7.0×107個/cm2程度が好ましい。
とを備えている。
着用シートを作製することによって、材料費の削減及び製造工程の削減が可能となる。
通孔を有する主面)が作業対象物に対向するように、吸着面に配置する。これにより、吸着ユニットからの作業対象物の離型性が向上する。
104aに異物が付着しても、付着した異物を視認し易く、容易に異物を除去できるため、前記主面4a,104aに付着した異物によってセラミックグリーンシートが傷つき、セラミックコンデンサの品質が低下するおそれが低減する。
各実施例及び比較例のシートの表面をSEM(JEOL社(日本電子株式会社)製、JSM−6510LV)により撮像し、得られたSEM像から任意に選択した10の貫通孔の孔径(直径)を各々当該像から測定し、その平均値を貫通孔の孔径とした。
シートの孔密度(1平方センチメートル当たりの孔数)は、各試料について、上記の孔径の測定で使用したSEM像の孔数を目視でカウントし、1平方センチメートル当たりに換算して算出した。なお、SEM像の撮影では、可能な限り画像に含まれる孔の輪郭が欠けないように視野範囲を設定した。前記範囲において、隣接する孔とつながっている孔及び画像の境界に跨って存在する孔は、孔径、孔数及び孔密度の評価において評価対象外とした。
表面粗さは、触針式表面粗さ計(株式会社東京精密製品、サーフコム550A)を用いて測定した。測定条件は、先端径R250μm、速度0.3mm/sec、測定長4mmとした。表面粗さとしては、算術平均粗さRaを測定した。
通気度としてガーレー数を評価した。ガーレー数は、JIS P8117に準拠して、ガーレー式デンソメーター(安田精機製作所製)又は王研式透気度試験装置(旭精工製、EG02−S)を用いて求めた。
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する市販のPETからなるシート(it4ip製、Track etched membrane、厚さ25μm)を準備した。このシートは、無孔のPETシートにイオンビームを照射し、照射後のシートを化学エッチングして製造されたシートである。
このシートの表面及び断面をSEMにより観察したところ、以下のことが確認された:
(1)貫通孔が、0.2μmの径を有するストレート孔である;
(2)シートの主面に対して垂直な方向に延びる貫通孔がシート内に存在している;
(3)シートの孔密度は、5.7×107個/cm2である。
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する市販のPETからなるシート(it4ip製、Track etched membrane、厚さ50μm)を準備した。このシートは、無孔のPETシートにイオンビームを照射し、照射後のシートを化学エッチングして製造されたシートである。このシートの表面及び断面をSEMにより観察したところ、以下のことが確認された:
(1)貫通孔が、1μmの径を有するストレート孔である;
(2)シートの主面に対して垂直な方向に延びる貫通孔がシート内に存在している;
(3)シートの孔密度は、2×105個/cm2である。
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する市販のPETからなるシート(it4ip製、Track etched membrane、厚さ50μm)を準備した。このシートは、無孔のPETシートにイオンビームを照射し、照射後のシートを化学エッチングして製造されたシートである。このシートの表面及び断面をSEMにより観察したところ、以下のことが確認された:
(1)貫通孔が、1μmの径を有するストレート孔である;
(2)シートの主面に対して垂直な方向に延びる貫通孔がシート内に存在している;
(3)シートの孔密度は、2×106個/cm2である。
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する市販のPETからなるシート(it4ip製、Track etched membrane、厚さ24μm)を準備した。このシートは、無孔のPETシートにイオンビームを照射し、照射後のシートを化学エッチングして製造されたシートである。このシートの表面及び断面をSEMにより観察したところ、以下のことが確認された:
(1)貫通孔が、0.6μmの径を有するストレート孔である;
(2)シートの主面に対して垂直な方向に延びる貫通孔がシート内に存在している;
(3)シートの孔密度は、5.7×107個/cm2である。
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する市販のPETからなるシート(it4ip製、Track etched membrane、厚さ25μm)を準備した。このシートは、無孔のPETシートにイオンビームを照射し、照射後のシートを化学エッチングして製造されたシートである。
このシートの表面及び断面をSEMにより観察したところ、以下のことが確認された:
(1)貫通孔が、0.4μmの径を有するストレート孔である;
(2)シートの主面に対して垂直な方向に延びる貫通孔がシート内に存在している;
(3)シートの孔密度は、5.7×107個/cm2である。
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する市販のPETからなるシート(it4ip製、Track etched membrane、厚さ42μm)を準備した。このシートは、無孔のPETシートにイオンビームを照射し、照射後のシートを化学エッチングして製造されたシートある。このシートの表面及び断面をSEMにより観察したところ、以下のことが確認された:
(1)貫通孔が、15μmの径を有するストレート孔である;
(2)シートの主面に対して垂直な方向に延びる貫通孔がシート内に存在している;
(3)シートの孔密度は、1×105個/cm2である。
の製造、微小部品の吸引固定等、幅広い用途に応用できる。
2 イオン
3 (高分子シート1におけるイオン2の衝突の)軌跡
4 マスキング層
5 細孔(貫通孔)
6,9,109 貫通孔を有する樹脂シート
10 白色粒子
4a,104a 一方面
4b,104b 他方面
11,104 吸着用シート
12 貫通孔
13 吸着面
14 吸着ユニット
15 作業対象物
16 孔
21 離型フィルム
22 セラミックグリーンシート
23 積層体
24 焼成体
131 白色層
132 下地層
a 一方面の開口径
b 他方面の開口径
Claims (7)
- 作業対象物を真空吸着する吸着ユニットの吸着面に取り付けられる吸着用シートであって、
前記吸着用シートは、中心軸が直線状に延びて、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する単層の樹脂シートを備え、
前記樹脂シートの一方の主面の貫通孔の開口径aと他方の主面の貫通孔の開口径bとの比率a/bが80%以下であり、
前記開口径aが10μm以下である吸着用シート。 - 前記吸着用シートの前記開口径aの貫通孔を有する主面の表面粗さ(Ra)が2μm以下であり、厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、10秒/100mL以下である請求項1に記載の吸着用シート。
- 前記樹脂シートが、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエチレンナフタレート及びポリフッ化ビニリデンからなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂から構成される請求項1又は2に記載の吸着用シート。
- 吸着ユニットの吸着面に、前記吸着面と作業対象物を直接的に接触させずに、吸着用シートを介して前記作業対象物を吸着させる工程を含み、
前記吸着用シートは、中心軸が直線状に延びて、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する単層の樹脂シートを備え、
前記樹脂シートの一方の主面の貫通孔の開口径aと他方の主面の貫通孔の開口径bとの比率a/bが80%以下であり、
前記開口径aが10μm以下であり、
前記吸着用シートは、前記開口径bの貫通孔を有する主面が前記吸着面に対向するように配置されている、
吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。 - 前記開口径aの貫通孔を有する主面の表面粗さ(Ra)が2μm以下であり、厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、10秒/100mL以下である請求項4に記載の吸着方法。
- 離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に吸着させて前記離型フィルムから剥離する剥離工程と、
剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、
前記剥離工程及び前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記吸着面に、前記セラミックグリーンシートと前記吸着面との直接的な接触を防ぐ、吸着用シートが配置されており、
前記吸着用シートは、中心軸が直線状に延びて、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する単層の樹脂シートを備え、
前記樹脂シートの一方の主面の貫通孔の開口径aと他方の主面の貫通孔の開口径bとの比率a/bが80%以下であり、
前記開口径aが10μm以下であり、
前記吸着用シートは、前記開口径bの貫通孔を有する主面が前記吸着面に対向するように配置されている、
セラミックコンデンサの製造方法。 - 前記吸着用シートの前記開口径aの貫通孔を有する主面の表面粗さ(Ra)が2μm以下であり、厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、10秒/100mL以下である請求項6に記載の製造方法。
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